JP2023068412A - 液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子に供給される電圧のばらつきを抑制する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、第１圧力室列と、第２圧力室列と、複数のノズルが、第１方向に配列されたノズル列と、第１圧電体と、第１個別電極と、第１共通電極と、第２圧電体と、第２個別電極と、第２共通電極と、配線部材と、第１個別電極と配線部材を電気的に接続する第１個別配線と、第１共通電極と配線部材を電気的に接続する第１共通配線と、第２個別電極と配線部材を電気的に接続する第２個別配線と、第２共通電極と配線部材を電気的に接続する第２共通配線と、を有し、配線部材と第１共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されており、配線部材と第２共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されている。【選択図】図８

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置に関する。

例えば、液体吐出ヘッドは、液体を貯留する複数の圧力室と、圧力室上に形成される振動板と、振動板を駆動するアクチュエーターと、アクチュエーターに信号を供給する配線部材とを備える（例えば、特許文献１参照）。アクチュエーターは、複数の圧力室ごとに設けられる個別電極と、複数の個別電極に対して共通に設けられる共通電極と、個別電極と共通電極との間に配置される圧電体とを有する。

液体吐出ヘッドは、ノズル列と、複数の圧力室列とを備える。ノズル列は、所定の方向に並ぶ複数のノズルを含む。ノズルには、少なくとも１つの圧力室が連通されている。圧力室列は、ノズル列が延在する方向に延在する。複数の圧力室列は、ノズル列が延在する方向と交差する方向に互いに離間する。

特開２０２１－１３０２５８号公報

液体吐出ヘッドでは、駆動回路から出力された信号は、配線基板、及び共通配線を介して、共通電極に供給される。共通配線は、圧力室列が延在する方向である第１方向に沿って延在している。配線基板と共通配線とは、共通配線実装部を介して電気的に接続されている。共通配線実装部から遠い方のアクチュエーターに供給される電圧は、共通配線実装部から近い方のアクチュエーターに供給される電圧よりも低くなる。具体的には、共通配線実装部は、第１方向において、共通配線の両端部に位置するので、中央部に位置するアクチュエーターに供給される電圧は、外側に位置するアクチュエーターに供給される電圧より低くなるという問題が生じる。そのため、第１方向に並ぶ複数のアクチュエーターにおいて、供給される電圧にばらつきが大きくなると、第１方向に並ぶ複数のノズルにおいて、液体の吐出にばらつきが大きくなるおそれがある。

本発明の一態様に係る液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室が第１方向に配列された第１圧力室列と、複数の第２圧力室が第１方向に配列され、第１圧力室と第１方向と交差する第２方向に異なる位置に設けられた第２圧力室列と、それぞれ第１圧力室と第２圧力室に共通に連通した複数のノズルが、第１方向に配列されたノズル列と、複数の第１圧力室に対応して設けられた第１圧電体と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して個別に設けられた第１個別電極と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第１共通電極と、複数の第２圧力室に対応して設けられた第２圧電体と、第２圧電体と電気的に接続し、複数の第２圧力室に対して個別に設けられた第２個別電極と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第２共通電極と、第１個別電極、第１共通電極、第２個別電極、第２共通電極に対して電圧を供給するための配線部材と、第１個別電極と配線部材を電気的に接続する第１個別配線と、第１共通電極と配線部材を電気的に接続する第１共通配線と、第２個別電極と配線部材を電気的に接続する第２個別配線と、第２共通電極と配線部材を電気的に接続する第２共通配線と、を有し、配線部材と第１共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されており、配線部材と第２共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されている。

本発明の一態様に係る液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室が第１方向に配列された第１圧力室列と、複数の第２圧力室が第１方向に配列され、第１圧力室と第１方向と交差する第２方向に異なる位置に設けられた第２圧力室列と、複数の第１圧力室にそれぞれ連通する複数の第１ノズルが、第１方向に配列された第１ノズル列と、複数の第２圧力室にそれぞれ連通する複数の第２ノズルが、第１方向に配列された第２ノズル列と、複数の第１圧力室に対応して設けられた第１圧電体と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して個別に設けられた第１個別電極と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第１共通電極と、複数の第２圧力室に対応して設けられた第２圧電体と、第２圧電体と電気的に接続し、複数の第２圧力室に対して個別に設けられた第２個別電極と、第１圧電体と電気的に接続し、複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第２共通電極と、第１個別電極、第１共通電極、第２個別電極、第２共通電極に対して電圧を供給するための配線部材と、第１個別電極と配線部材を電気的に接続する第１個別配線と、第１共通電極と配線部材を電気的に接続する第１共通配線と、第２個別電極と配線部材を電気的に接続する第２個別配線と、第２共通電極と配線部材を電気的に接続する第２共通配線と、を有し、配線部材と第１共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されており、配線部材と第２共通配線は、第１、第２圧力室列の第１方向における中央よりも、第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されている。

本発明の一態様に係る液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有する。

実施例１に係る液体吐出ヘッドを示す分解斜視図である。 液体吐出ヘッドを示す断面図であり、図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿う断面を示す図である。 液体吐出ヘッドを示す平面図である。 図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う切断面を示す断面図である。 圧力室、個別電極、及びＣＯＭ配線を示す平面図である。 共通電極、及びＶＢＳ配線を示す平面図である。 図６中のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。 実施例１に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。 図８中のＩＸ－ＩＸ線に沿う切断面を示す断面図である。 実施例２に係る液体吐出ヘッドの一部を示す断面図である。 実施例２に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。 実施例３に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。 実施例４に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。 実施例５に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。 実施例６に係る液体吐出ヘッドのＡ列側の圧力室を示す断面図である。 実施例６に係る液体吐出ヘッドのＢ列側の圧力室を示す断面図である。 実施例７に係る液体吐出ヘッドを示す断面図である。 液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置を示す概略図である。 液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置を示すブロック図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する場合がある。Ｘ軸方向は、互いに反対の方向であるＸ１方向及びＸ２方向を含む。Ｘ軸方向は、第２方向の一例である。Ｙ軸方向は、互いに反対の方向であるＹ１方向及びＹ２方向を含む。Ｙ軸方向は、第１方向の一例である。Ｚ軸方向は、互いに反対の方向であるＺ１方向及びＺ２方向を含む。Ｚ１方向は、第３方向の一例である。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、直交している。Ｚ軸方向は、通常上下方向に沿う方向であるが、Ｚ軸方向は、上下方向に沿う方向でなくてもよい。

＜実施例１＞
図１～図８を参照して、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。図１は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０を示す分解斜視図である。図２は、液体吐出ヘッド１０を示す断面図であり、図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿う断面を示す図である。図３は、液体吐出ヘッド１０を示す平面図である。図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う切断面を示す断面図である。図５は、圧力室ＣＡ、個別電極５１Ａ、及びＣＯＭ配線５４Ａを示す平面図である。図６は、共通電極５２Ａ、及びＶＢＳ配線５５Ａを示す平面図である。液体吐出ヘッド１０は、共通液室ＲＡ，ＲＢ及び圧力室ＣＡ，ＣＢを流れた液体を循環させる循環方式を採用する。

図１に示されるように、液体吐出ヘッド１０は、圧力室列ＣＡＬと、圧力室列ＣＢＬとを備える。圧力室列ＣＡＬは、Ｙ軸方向に並ぶ複数の圧力室ＣＡを含む。圧力室列ＣＢＬは、Ｙ軸方向に並ぶ複数の圧力室ＣＢを含む。圧力室ＣＡは、「第１圧力室」の一例であり、圧力室ＣＢは、「第２圧力室」の一例である。圧力室列ＣＡＬは、「第１圧力室列」の一例であり、圧力室列ＣＢＬは、「第２圧力室列」の一例である。図１及び図３に示されるように、圧力室列ＣＡＬと、圧力室列ＣＢＬとは、Ｘ軸方向に互いに離間する。なお、図４～図６では、圧力室列ＣＡＬを示しているが、圧力室列ＣＢＬは、圧力室列ＣＡＬと同様の図となるため、図示を省略する。図３では、複数の圧力室ＣＡ，ＣＢのうちの一部を図示している。

また、本件の明細書において、「Ａ列側」及び「Ｂ列側」との用語を用いる。「Ａ列側」とは、「圧力室列ＣＡＬ」に関連するものを指す場合に使用し、「Ｂ列側」とは、「圧力室列ＣＢＬ」に関連するものを指す。例えば、「Ａ列側の圧電素子５０Ａ」と記載した場合には、圧力室列ＣＡＬの圧力室ＣＡ内の液体の圧力を変動させる圧電素子５０Ａをいう。「Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａ」と記載した場合には、圧電素子５０Ａの共通電極５２Ａに電圧を供給するＶＢＳ配線５５Ａをいう。

また、図３には、Ｙ軸方向における圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬの中央を通り、Ｘ軸方向に延在する中心線ＯＸが図示されている。圧力室列ＣＡＬは、圧力室ＣＡ０，ＣＡ１，ＣＡ２を含む。圧力室ＣＡ０は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における中央に位置する。圧力室ＣＡ０は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸに最も近い圧力室ＣＡである。なお、複数の圧力室ＣＡ間に中心線ＯＸが存在する場合には、複数の圧力室ＣＡが圧力室ＣＡ０である。

圧力室ＣＡ１は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における一方の端部に位置する圧力室ＣＡである。圧力室ＣＡ１は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸから最もＹ１方向に離れている。圧力室ＣＡ２は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における他方の端部に位置する圧力室ＣＡである。圧力室ＣＡ２は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸから最もＹ２方向に離れている。

圧力室列ＣＢＬは、圧力室ＣＢ０，ＣＢ１，ＣＢ２を含む。圧力室ＣＢ０は、複数の圧力室ＣＢのうち、Ｙ軸方向における中央に位置する。圧力室ＣＢ０は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸに最も近い圧力室ＣＢである。

圧力室ＣＢ１は、複数の圧力室ＣＢのうち、Ｙ軸方向における一方の端部に位置する圧力室ＣＢである。圧力室ＣＢ１は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸから最もＹ１方向に離れている。圧力室ＣＡ２は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における他方の端部に位置する圧力室ＣＢである。圧力室ＣＢ２は、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸから最もＹ２方向に離れている。

液体吐出ヘッド１０は、ノズルプレート２１、コンプライアンス基板２３、連通板２４、圧力室基板２５、振動板２６、封止板２７、及び圧電素子５０Ａ，５０Ｂを備える。また、液体吐出ヘッド１０は、ケース２８、及びＣＯＦ６０を備える。ＣＯＦは、Chip on Filmの略称である。本実施形態では、液体の一例であるインクを吐出する液体吐出ヘッド１０について説明する。液体は、インクに限定されず、液体吐出ヘッド１０は、その他の液体を吐出することができる。

ノズルプレート２１、コンプライアンス基板２３、連通板２４、圧力室基板２５、振動板２６、封止板２７、及びケース２８の厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。ノズルプレート２１及びコンプライアンス基板２３は、液体吐出ヘッド１０の底部に配置される。ノズルプレート２１及びコンプライアンス基板２３のＺ２方向には、連通板２４が配置される。連通板２４のＺ２方向には、圧力室基板２５が配置される。圧力室基板２５のＺ２方向には、振動板２６が配置される。振動板２６上には、複数の圧電素子５０Ａ，５０Ｂが形成される。振動板２６のＺ２方向には、封止板２７が配置される。封止板２７は、複数の圧電素子５０を覆う。ケース２８は、連通板２４上に配置される。圧電素子５０Ａは、圧力室ＣＡに対応して設けられている。圧電素子５０Ｂは、圧力室ＣＢに対応して設けられている。圧電素子５０Ａは、「第１圧電素子」でもよい。圧電素子５０Ｂは、「第２圧電素子」でもよい。また、「圧電素子５０Ａ」と「圧電素子５０Ｂ」とを区別しない場合には、「圧電素子５０」と記載する場合がある。

次に、インクが流れる流路４０について説明する。液体吐出ヘッド１０には、インクが流れる流路４０が形成されている。流路４０は、供給口４２Ａ、排出口４２Ｂ、共通液室ＲＡ，ＲＢ、中継流路４３Ａ，４３Ｂ、圧力室ＣＡ，ＣＢ、連通流路４５Ａ～４５Ｃ、及びノズルＮを含む。

流路４０は、複数の個別流路４１を含む。複数の個別流路４１は、複数のノズルＮに対応してそれぞれ設けられている。個別流路４１は、個別流路４１Ａ及び個別流路４１Ｂを有する。個別流路４１Ａは、中継流路４３Ａ、圧力室ＣＡ、連通流路４５Ａ、及び連通流路４５Ｃの一部を含む。共通液室ＲＡは、複数の個別流路４１Ａに共通に連通し、複数の個別流路４１Ａにインクを供給する。共通液室ＲＡは、共通供給流路の一例である。個別流路４１Ａは、個別流路４１のうちノズルＮよりも上流側の部分である。

個別流路４１Ｂは、中継流路４３Ｂ、圧力室ＣＢ、連通流路４５Ｂ、及び連通流路４５Ｃの一部を含む。共通液室ＲＢは、複数の個別流路４１Ｂに共通に連通する。共通液室ＲＢには、複数の個別流路４１Ｂからインクが排出される。共通液室ＲＢは、複数の個別流路４１Ｂからのインクを排出する。共通液室ＲＢは、共通排出流路の一例である。

液体吐出ヘッド１０では、圧力室ＣＡ，ＣＢを流れたインクが循環する循環方式を採用する。図１８に示されるように、液体吐出ヘッド１０には、インクを循環させる循環機構８が接続されている。循環機構８には、液体容器２が接続されている。循環機構８は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する供給流路８１と、液体吐出ヘッド１０から排出されたインクを回収する回収流路８２と、インクを移送するポンプ８３と、を含む。供給流路８１及び回収流路８２は、例えばチューブ内の流路でもよい。供給流路８１及び回収流路８２は、開口、溝、凹部等によって形成された流路を含む。

液体容器２内のインクは、ポンプ８３によって移送され、供給流路８１内を流れて、供給口４２Ａを通り、共通液室ＲＡに流入する。共通液室ＲＡの一部は、連通板２４に形成され、共通液室ＲＡの一部は、ケース２８に形成される。共通液室ＲＡ内のインクは、中継流路４３Ａを通り、圧力室ＣＡに供給される。圧力室ＣＡ内のインクは、連通流路４５Ａ及び連通流路４５Ｃを通り、ノズルＮから吐出される。

ノズルＮから吐出されなかったインクは、連通流路４５Ｃ及び連通流路４５Ｂを通り、圧力室ＣＢに流入する。圧力室ＣＢ内のインクは、中継流路４３Ｂを通り、共通液室ＲＢに排出される。共通液室ＲＢ内のインクは、排出口４２Ｂを通じて、回収流路８２内に流入し、液体容器２に回収される。液体吐出ヘッド１０では、このようにインクが循環される。

次に、液体吐出ヘッド１０の構造について説明する。図１及び図２に示されるノズルプレート２１には、複数のノズルＮが形成されている。複数のノズルＮは、ノズル列Ｎ１を構成する。ノズル列Ｎ１は、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮを含む。ノズルＮは、ノズルプレート２１をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。

コンプライアンス基板２３は、Ｘ軸方向において、ノズルプレート２１の両側に配置される。コンプライアンス基板２３は、可撓性を有する膜を含む。コンプライアンス基板２３は、共通液室ＲＡ，ＲＢの底面を構成する。コンプライアンス基板２３は、インクの圧力を受けて変形可能である。コンプライアンス基板２３は、インクの圧力によって変形し、液体吐出ヘッド１０内のインクの圧力変動を吸収できる。

連通板２４には、共通液室ＲＡ，ＲＢの一部、中継流路４３Ａ，４３Ｂ、及び連通流路４５Ａ～４５Ｃが形成されている。連通板２４には、貫通孔、溝、又は凹部等が形成されている。これらの貫通孔、溝、又は凹部等により、共通液室ＲＡ，ＲＢの一部、中継流路４３、及び連通流路４５が形成されている。

共通液室ＲＡ，ＲＢは、Ｙ軸方向に長尺である。共通液室ＲＡ，ＲＢは、Ｙ軸方向において、複数のノズルＮの配置に対応している。図２に示されるように、共通液室ＲＡ，ＲＢの上側の部分は、ケース２８に形成され、共通液室ＲＡ，ＲＢの下側の部分は、連通板２４に形成されている。連通板２４に形成された共通液室ＲＡ，ＲＢの下側の部分は、Ｚ軸方向に貫通している。共通液室ＲＡのノズルＮに近い方の部分は、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＡに重なる位置まで形成されている。同様に、共通液室ＲＢのノズルＮに近い方の部分は、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＢに重なる位置まで形成されている。

中継流路４３Ａは、圧力室ＣＡと共通液室ＲＡとを連通する。中継流路４３Ａは、複数の圧力室ＣＡに対して各々設けられている。複数の中継流路４３Ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。中継流路４３Ｂは、圧力室ＣＢと共通液室ＲＢとを連通する。中継流路４３Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対して各々設けられている。複数の中継流路４３Ｂは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。

連通流路４５Ａは、圧力室ＣＡに連通し、Ｚ軸方向に延在する。連通流路４５Ａは、複数の圧力室ＣＡに対して各々設けられている。連通流路４５Ｂは、圧力室ＣＢに連通し、Ｚ軸方向に延在する。連通流路４５Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対して各々設けられている。

連通流路４５Ａ，４５Ｂは、連通板２４をＺ軸方向に貫通する。連通流路４５Ａ，４５Ｂは、Ｘ軸方向に互いに離間する。連通流路４５Ａは、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＡと重なる位置に配置されている。連通流路４５Ｂは、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＢと重なる位置に配置されている。連通流路４５Ｃは、Ｘ軸方向に延在し、連通流路４５Ａと連通流路４５Ｂとを連通する。連通流路４５Ｃは、連通板２４の底面から凹む溝である。連通流路４５Ｃは、ノズルＮと連通する。複数の連通流路４５Ａ～４５Ｃは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。ノズルプレート２１は、連通流路４５Ａ～４５Ｃを下方から覆うように配置されている。圧力室ＣＡ，ＣＢは、連通流路４５Ａ～４５Ｃによって互いに連通される。

圧力室基板２５には、複数の圧力室ＣＡ，ＣＢが形成されている。圧力室ＣＡ，ＣＢは、圧力室基板２５をＺ軸方向に貫通する。圧力室ＣＡ，ＣＢは、所定の容積を有する。圧力室ＣＡ，ＣＢは、Ｘ軸方向に互いに離間する。複数の圧力室ＣＡは、複数のノズルＮに対してそれぞれ設けられている。複数の圧力室ＣＡは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。複数の圧力室ＣＢは、複数のノズルＮに対してそれぞれ設けられている。複数の圧力室ＣＢは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。上述したように、圧力室列ＣＡＬは、複数の圧力室ＣＡを含む。圧力室基板２５は、例えばシリコンの単結晶基板から製造できる。圧力室基板２５は、その他の材料から製造されていてもよい。

図７は、図６中のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。図４及び図７に示されるように、振動板２６は、圧力室基板２５の上面に配置される。振動板２６は、圧力室基板２５の開口を覆う。振動板２６のうち、圧力室基板２５の開口を覆う部分は、圧力室ＣＡ，ＣＢの上側の壁面を構成する。

図７に示されるように、振動板２６は、弾性層２６ａと、絶縁層２６ｂとを含む。弾性層２６ａは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）からなる。絶縁層２６ｂは、例えば二酸化ジルコニウム（ＺrＯ_２）からなる。弾性層２６ａは、圧力室基板２５上に成膜され、絶縁層２６ｂは、弾性層２６ａ上に成膜される。

振動板２６上には、複数の圧電素子５０Ａ，５０Ｂが形成されている。図６に示される圧電素子５０Ａは、Ｚ軸方向に見て圧力室ＣＡに重なる位置に配置される。圧電素子５０Ｂは、Ｚ軸方向に見て圧力室ＣＢに重なる位置に配置される。圧電素子５０Ａは、複数の圧力室ＣＡに対してそれぞれ設けられている。圧電素子５０Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対してそれぞれ設けられている。

振動板２６は、圧電素子５０Ａ，５０Ｂによって駆動され、Ｚ軸方向に振動する。圧力室ＣＡの上側の壁面を成す振動板２６は、圧力室ＣＡ上の圧電素子５０Ａによって駆動される。圧力室ＣＢの上側の壁面を成す振動板２６は、圧力室ＣＢ上の圧電素子５０Ｂによって駆動される。振動板２６の合計の厚さは、例えば、２μｍ以下である。振動板２６の合計の厚さは、１５μｍ以下でもよく、４０μｍ以下でもよく、１００μｍ以下でもよい。例えば、振動板２６の合計の厚さが、１５μｍ以下の場合には、樹脂層を含んでいてもよい。振動板２６は、金属から形成されたものでもよい。金属としては、例えば、ステンレス鋼、ニッケル等が挙げられる。振動板２６が金属製である場合、振動板２６の板厚は、１５μｍ以上、１００μｍ以下でもよい。

図４及び図７に示されるように、圧電素子５０Ａは、個別電極５１Ａ、共通電極５２Ａ、及び圧電体層５３Ａを有する。圧電素子５０Ｂは、個別電極５１Ｂ、共通電極５２Ｂ、及び圧電体層５３Ｂを有する。圧電素子５０Ａ，５０Ｂは、同様の構成であるので、主に、圧電素子５０Ａについて説明する。圧電素子５０Ｂの説明は省略する場合がある。

個別電極５１Ａ、圧電体層５３Ａ、及び共通電極５２Ａは、振動板２６上でこの順で積層されている。圧電体層５３Ａは、個別電極５１Ａと共通電極５２Ａとによって挟まれている。個別電極５１Ａは、Ｘ軸方向に沿う長尺状を成す。複数の個別電極５１Ａは、Ｙ軸方向に相互に間隔を開けて配列される。複数の個別電極５１Ａは、複数の圧力室ＣＡごとに配置される。図５及び図６に示されるように、複数の圧力室ＣＡに対して複数の個別電極５１Ａがそれぞれ設けられている。同様に、複数の圧力室ＣＢに対して複数の個別電極５１Ｂがそれぞれ設けられている。個別電極５１Ａは、Ｚ軸方向に見て、複数の圧力室ＣＡに重なる位置にそれぞれ配置されている。個別電極５１Ｂは、Ｚ軸方向に見て、複数の圧力室ＣＢに重なる位置にそれぞれ配置されている。

共通電極５２Ａ，５２Ｂは、帯状を成し、Ｙ軸方向に延在する。共通電極５２Ａは、複数の個別電極５１Ａを覆うように連続する。共通電極５２Ｂは、複数の個別電極５１Ｂを覆うように連続する。

個別電極５１Ａ，５１Ｂは、下地層と、電極層とを含む。下地層は、例えば、チタン（Ｔｉ）を含む。電極層は、例えば、白金（Ｐｔ）又はイリジウム（Ｉｒ）等の低抵抗な導電材料を含む。当該電極層は、例えばルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ_３）、及びニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ_３）等の酸化物で形成されてもよい。圧電体層５３Ａ，５３Ｂは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）またはセラミック等の公知の圧電材料で形成される。

共通電極５２Ａ，５２Ｂは、下地層と、電極層とを含む。下地層は、例えば、チタンを含む。電極層は、例えば、白金又はイリジウム等の低抵抗な導電材料を含む。当該電極層は、例えばルテニウム酸ストロンチウム、及びニッケル酸ランタン等の酸化物で形成されてもよい。圧電体層５３Ａのうち、個別電極５１Ａと共通電極５２Ａとの間の領域が駆動領域となる。圧電体層５３Ｂのうち、個別電極５１Ｂと共通電極５２Ｂとの間の領域が駆動領域となる。複数の圧力室ＣＡ，ＣＢ上には、駆動領域が各々形成されている。

共通電極５２Ａ，５２Ｂには、所定の基準電圧が印加される。基準電圧は一定の電圧であり、例えば接地電圧よりも高い電圧に設定される。共通電極５２Ａ，５２Ｂには、例えば、電圧が一定である保持信号が印加される。個別電極５１Ａ，５１Ｂには、電圧が変動する駆動信号が印加される。共通電極５２Ａに印加される基準電圧と個別電極５１Ａに供給される駆動信号との差分に相当する電圧が圧電体層５３Ａに印加される。同様に、共通電極５２Ｂに印加される基準電圧と個別電極５１Ｂに供給される駆動信号との差分に相当する電圧が圧電体層５３Ｂに印加される。駆動信号は、ノズルＮから吐出される液体の吐出量に対応する。

個別電極５１Ａと共通電極５２Ａとの間に電圧が印加されることで圧電体層５３Ａが変形することにより、圧電素子５０Ａは、振動板２６を撓み変形させるエネルギーを生成する。同様に、個別電極５１Ｂと共通電極５２Ｂとの間に電圧が印加されることで圧電体層５３Ｂが変形することにより、圧電素子５０Ｂは、振動板２６を撓み変形させるエネルギーを生成する。

圧電素子５０Ａが生成したエネルギーにより振動板２６が振動することにより圧力室ＣＡ内の液体の圧力が変化して、圧力室ＣＡ内の液体がノズルＮから吐出される。圧電素子５０Ｂが生成したエネルギーにより振動板２６が振動することにより圧力室ＣＢ内の液体の圧力が変化して、圧力室ＣＢ内の液体がノズルＮから吐出される。

封止板２７はＺ軸方向に見て矩形状を成している。封止板２７は、複数の圧電素子５０Ａ，５０Ｂを保護するとともに圧力室基板２５及び振動板２６の機械的な強度を補強する。封止板２７は、例えば、接着剤によって、振動板２６に接着されている。封止板２７は、振動板２６を介して、圧力室基板２５に対して固定される。

図１及び図２に示されるように、ＣＯＦ６０は、フレキシブル配線基板６１、及び駆動回路６２を備える。フレキシブル配線基板６１は、可撓性を有する配線基板である。フレキシブル配線基板６１は、例えばＦＰＣである。フレキシブル配線基板６１は、例えばＦＦＣでもよい。ＦＰＣは、Flexible Printed Circuitの略称である。ＦＦＣは、Flexible Flat Cableの略称である。

図２に示されるように、フレキシブル配線基板６１は、後述するＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂを介して、圧電素子５０Ａ，５０Ｂの個別電極５１Ａ，５１Ｂと電気的に接続されている。また、フレキシブル配線基板６１は、後述するＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂを介して、圧電素子５０Ａ，５０Ｂの共通電極５２Ａ，５２Ｂと電気的に接続されている。フレキシブル配線基板６１は、図示しない回路基板と電気的に接続されている。回路基板は、図１９に示される駆動信号生成回路３２を含む。

駆動回路６２は、フレキシブル配線基板６１に対して実装されている。駆動回路６２は、圧電素子５０を駆動するためのスイッチング素子を含む。駆動回路６２は、フレキシブル配線基板６１、及び回路基板を介して、図１９に示される制御部３０と電気的に接続されている。駆動回路６２は、駆動信号生成回路３２から出力された駆動信号Ｃｏｍを受信する。駆動回路６２のスイッチング素子は、駆動信号生成回路３２で生成された駆動信号Ｃｏｍを圧電素子５０Ａ，５０Ｂに供給するか否かを切り替える。駆動回路６２は、圧電素子５０Ａ，５０Ｂに対して、駆動電圧又は電流を供給して、振動板２６を振動させる。

図６及び図７に示されているように、液体吐出ヘッド１０は、ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂを備える。圧電素子５０Ａには、ＣＯＭ配線５４Ａが電気的に接続されている。圧電素子５０Ｂには、ＣＯＭ配線５４Ｂが電気的に接続されている。複数の個別電極５１Ａに対して、複数のＣＯＭ配線５４Ａがそれぞれ接続されている。複数の個別電極５１Ｂに対して、複数のＣＯＭ配線５４Ｂがそれぞれ接続されている。複数の個別電極５１Ａは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＡＬが形成されている領域内に配置されている。複数の個別電極５１Ｂは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＢＬが形成されている領域内に配置されている。ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、同様の構成であるので、主に、ＣＯＭ配線５４Ａについて説明し、ＣＯＭ配線５４Ｂの説明は省略する場合がある。

複数のＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、Ｘ軸方向に延在し、封止板２７の開口部２７ａ内まで引き出されている。開口部２７ａは、図１及び図２に図示されている。なお、図１において、ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂの図示が省略されている。開口部２７ａは、Ｚ軸方向に封止板２７を貫通する。Ｚ軸方向に見て、開口部２７ａに対応する位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、個別電極５１Ａ，５１Ｂよりも低抵抗な導電材料で形成される。例えば、ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、ニクロム（ＮｉＣｒ）で形成された導電膜の表面に金（Ａｕ）の導電膜を積層した構造の導電パターンである。

ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、電極層５４ａと、第１密着層５４ｂと、第１配線層５４ｃとを有する。電極層５４ａは圧電体層５３のＸ２方向の端面を覆う。Ｘ２方向の端面は、Ｘ軸方向と交差する面をなす。第１密着層５４ｂは、電極層５４ａ及び個別電極５１を覆う。第１密着層５４ｂは、電極層５４ａ及び個別電極５１に密着する。第１配線層５４ｃは、第１密着層５４ｂを覆う。第１配線層５４ｃは、第１密着層５４ｂを介して、個別電極５１と電気的に接続されている。

図８は、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０の要部を拡大して示す平面図である。ＣＯＭ配線５４Ａ，５４Ｂは、図３及び図８に示されるＣＯＦ実装部６４を介して、フレキシブル配線基板６１に電気的に接続されている。ＣＯＦ実装部６４は、第１配線層５４ｃと、フレキシブル配線基板６１の配線部とを電気的に接続する導電層を含む。個別電極５１Ａは、ＣＯＭ配線５４Ａ、ＣＯＦ実装部６４、及びフレキシブル配線基板６１を介して、駆動回路６２と電気的に接続されている。個別電極５１Ｂは、ＣＯＭ配線５４Ｂ、ＣＯＦ実装部６４、及びフレキシブル配線基板６１を介して、駆動回路６２と電気的に接続されている。

液体吐出ヘッド１０は、図３及び図８に示されるように、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂ及びＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂを備える。ＶＢＳ配線５５Ａは、共通電極５２Ａに電気的に接続される。ＶＢＳ配線５５Ｂは、共通電極５２Ｂに電気的に接続される。ＶＢＳ配線５５Ａは、ＶＢＳ配線実装部５６Ａを介して、ＣＯＦ６０に電気的に接続されている。ＶＢＳ配線５５Ｂは、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂを介してＣＯＦ６０に電気的に接続されている。ＶＢＳ配線５５Ａは、「第１共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線５５Ｂは、「第２共通配線」の一例である。

図７に示されるように、ＶＢＳ配線５５Ａと、ＣＯＭ配線５４Ａとは、Ｘ軸方向に離間している。ＶＢＳ配線５５ＡとＣＯＭ配線５４との間には、絶縁性の接着剤５９が設けられている。封止板２７は、接着剤５９を用いて、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂ、圧電体層５３Ａ，５３Ｂ、及びＣＯＭ配線５４等に接着されている。

図８に示されるように、ＶＢＳ配線５５Ａは、Ｙ軸方向に延びる第１部分５７Ａと、第１部分５７Ａの端部５７ｃからＸ軸方向に張り出す第２部分５８Ａと、を有する。第１部分５７Ａは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＡＬを覆うように設けられている。第１部分５７Ａは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＡＬの外側まで延在する。Ｙ軸方向において、第１部分５７Ａの長さは、圧力室列ＣＡＬの長さよりも長い。

第１部分５７Ａは、第１端部５７ｃ及び第２端部５７ｄを有する。第１端部５７ｃは、Ｙ１方向の端部であり、第２端部５７ｄは、Ｙ２方向の端部である。第１端部５７ｃは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に位置する。第２端部５７ｂは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に位置する。Ｚ軸方向において、第１部分５７Ａの下側に共通電極５２Ａが形成されている。ＶＢＳ配線５５Ａは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ａを覆うように配置されている。ＶＢＳ配線５５Ａは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ａよりも長い。ＶＢＳ配線５５Ａは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ａよりも短くてもよい。

第２部分５８Ａは、第１部分５７Ａの第１端部５７ａからＸ２方向に延びる。第２部分５８Ａは、Ｚ軸方向に見て、ＣＯＦ実装部６４のＹ１方向に位置する。ＶＢＳ配線５５Ａは、ＣＯＦ実装部６４と電気的に接続されていない。

図９は、図８中のＩＸ－ＩＸ線に沿う切断面を示す断面図である。図９は、ＶＢＳ配線５５Ａの第２部分５８Ａ、ＶＢＳ配線実装部５６Ａ、及びＣＯＦ６０を示す断面図である。図８及び図９に示されるように、ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、ＶＢＳ配線５５Ａの第２部分５８Ａ上に形成されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、導電層を含む。ＶＢＳ配線実装部５６Ａには、フレキシブル配線基板６１が電気的に接続されている。

図８に示されるように、ＶＢＳ配線５５Ｂは、Ｙ軸方向に延びる第１部分５７Ｂと、第１部分５７Ｂの端部５７ｆからＸ軸方向に張り出す第２部分５８Ｂと、を有する。第１部分５７Ｂは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＢＬを覆うように設けられている。第１部分５７Ｂは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＢＬの外側まで延在する。Ｙ軸方向において、第１部分５７Ｂの長さは、圧力室列ＣＢＬの長さよりも長い。

第１部分５７Ｂは、第１端部５７ｅ及び第２端部５７ｆを有する。第１端部５７ｅは、Ｙ１方向の端部であり、第２端部５７ｆは、Ｙ２方向の端部である。第１端部５７ｅは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ１方向に位置する。第２端部５７ｆは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。Ｚ軸方向において、第１部分５７Ｂの下側に共通電極５２Ｂが形成されている。ＶＢＳ配線５５Ｂは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ｂを覆うように配置されている。ＶＢＳ配線５５Ｂは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ｂよりも長い。ＶＢＳ配線５５Ｂは、Ｙ軸方向において、共通電極５２Ｂよりも短くてもよい。

第２部分５８Ａは、第１部分５７Ａの第１端部５７ａからＸ２方向に延びる。第２部分５８Ａは、Ｚ軸方向に見て、ＣＯＦ実装部６４のＹ１方向に位置する。ＶＢＳ配線５５Ａは、ＣＯＦ実装部６４と電気的に接続されていない。

図８に示されるように、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、ＶＢＳ配線５５Ｂの第２部分５８Ｂ上に形成されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、導電層を含む。ＶＢＳ配線実装部５６Ｂには、フレキシブル配線基板６１が電気的に接続されている。

このような液体吐出ヘッド１０では、圧力室列ＣＡＬの共通電極５２Ａと電気的に接続されるＶＢＳ配線５５Ａは、ＶＢＳ配線実装部５６Ａを介してＣＯＦ６０と電気的に接続されている。圧力室列ＣＢＬの共通電極５２Ｂと電気的に接続されるＶＢＳ配線５５Ｂは、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂを介してＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ１方向に配置され、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ２方向に配置されている。

液体吐出ヘッド１０では、Ｙ軸方向において、ＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂが互いに反対側に配置されている。圧力室列ＣＡＬに対応する複数の圧電素子５０Ａのうち、ＶＢＳ配線実装部５６Ａに最も近い圧電素子５０Ａ１の共通電極５２Ａに供給される電圧が最も高く、ＶＢＳ配線実装部５６Ａから最も遠い圧電素子５０Ａ２の共通電極５２Ａに供給される電圧が最も低い。これは、ＶＢＳ配線５５Ａの電気抵抗による電圧降下の影響である。なお、圧電素子５０Ａ１及び圧電素子５０Ａ２は、圧電素子５０Ａに含まれる。

圧力室列ＣＢＬに対応する複数の圧電素子５０Ｂのうち、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂに最も近い圧電素子５０Ｂ２の共通電極５２Ａに供給される電圧が最も高く、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂから最も遠い圧電素子５０Ｂ１の共通電極５２Ｂに供給される電圧が最も低い。これは、ＶＢＳ配線５５Ｂの電気抵抗による電圧降下の影響である。なお、圧電素子５０Ｂ１及び圧電素子５０Ｂ２は、圧電素子５０Ｂに含まれる。

複数の圧力室列ＣＡＬのうち最もＹ１方向に位置する圧力室ＣＡ１と、複数の圧力室列ＣＢＬのうち最もＹ１方向に位置する圧力室ＣＢ１とは、共通のノズルＮと連通する。圧力室ＣＡ１，ＣＢ１内の液体は、同一のノズルＮから吐出される。

複数の圧力室列ＣＡＬのうち最もＹ２方向に位置する圧力室ＣＡ２と、複数の圧力室列ＣＢＬのうち最もＹ２方向に位置する圧力室ＣＢ２とは、共通のノズルＮと連通する。圧力室ＣＡ２，ＣＢ２内の液体は、同一のノズルＮから吐出される。Ｙ軸方向において同じ位置に存在する圧力室ＣＡ，ＣＢ内の液体は、同一のノズルＮから吐出される。

＜従来技術の課題＞
次に、従来技術の課題について説明する。従来技術では、ＶＢＳ配線実装部は、Ｙ軸方向の両端部に配置されていた。従来技術では、圧力室列ＣＡＬの圧電素子５０Ａに接続されるＶＢＳ配線と、圧力室列ＣＢＬの圧電素子５０Ｂに接続されるＶＢＳ配線に対して、共通のＶＢＳ配線実装部を介して、電圧が供給されていた。そのため、Ｙ軸方向において、ＶＢＳ配線実装部に近い方の外側の圧電素子５０に供給される電圧が高く、ＶＢＳ配線実装部から遠い方の中央部の圧電素子５０に供給される電圧が低くなっていた。

このような従来技術では、重畳的に電圧降下の影響を受けるため、Ｙ軸方向において、ＶＢＳ配線実装部に近い方の外側の圧力室ＣＡ，ＣＢに連通するノズルＮからの液体の吐出と、ＶＢＳ配線実装部から遠い方の中央部の圧力室ＣＡ，ＣＢに連通するノズルＮからの液体の吐出とのばらつきが大きくなるという問題が生じていた。

＜実施例１の効果＞
上述したように、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０では、Ａ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ｂとが、Ｙ軸方向において互いに反対側に配置されている。Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂとにおいて、互いに逆方向から電圧が供給される。例えば、Ｙ１方向の端部に配置される圧力室ＣＡ１に対しては、近い方のＶＢＳ配線実装部５６ＡからＶＢＳ配線５５Ａを介して電圧が供給され、Ｙ１方向の端部に配置される圧力室ＣＢ１に対しては、遠い方のＶＢＳ配線実装部５６ＢからＶＢＳ配線５５Ｂを介して電圧が供給される。この場合ＶＢＳ配線５５Ａによる電圧降下は、ＶＢＳ配線５５Ｂによる電圧降下と比較して小さい。ＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂからの距離に基づく電圧降下の影響は、Ａ列側の圧電素子５０ＡとＢ列側の圧電素子５０Ｂとにおいて相殺される。そのため、複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。その結果、液体吐出ヘッド１０の信頼性の向上が図られる。

＜実施例２＞
次に、図１０及び図１１を参照して、実施例２に係る液体吐出ヘッド１０Ｂについて説明する。図１０は、実施例２に係る液体吐出ヘッド１０Ｂの一部を示す断面図である。図１１は、実施例２係る液体吐出ヘッド１０Ｂの要部を拡大して示す平面図である。実施例２に係る液体吐出ヘッド１０Ｂが、実施例１の液体吐出ヘッド１０と違う点は、Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａに代えて、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａを備える点、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂに代えて、ＶＢＳ配線１２１Ｂ，１２２Ｂを備える点、Ａ列側のＶＢＳ配線実装部としてＶＢＳ配線実装部５６Ａ，１２７Ａを備える点、及び、Ｂ列側のＶＢＳ配線実装部としてＶＢＳ配線実装部５６Ｂ，１２７Ｂを備える点である。実施例２の説明において、実施例１と同様の説明については省略する場合がある。ＶＢＳ配線１２１Ａは、「第１共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１２１Ｂは、「第２共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１２２Ａは、「第３共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１２２Ｂは、「第４共通配線」の一例である。

図１１に示されるように、液体吐出ヘッド１０Ｂは、Ａ列側のＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線１２１Ｂ，１２２Ｂとを有する。ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａは、Ａ列側の共通電極５２Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１２２Ｂ，１２２Ｂは、Ｂ列側の共通電極５２Ｂと電気的に接続されている。

ＶＢＳ配線１２１Ａは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１２３Ａと、第１部分１２３Ａの端部１２３ｃからＸ軸方向に張り出す第２部分１２４Ａと、を有する。ＶＢＳ配線１２２Ａは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１２５Ａと、第１部分１２５Ａの端部１２５ｄからＸ軸方向に張り出す第２部分１２６Ａと、を有する。なお、端部１２３ｃは、Ｙ軸方向において、圧力室ＣＡ１に近い方の端部であり、端部１２５ｄは、Ｙ軸方向において、圧力室ＣＡ２に近い方の端部である。

ＶＢＳ配線１２１Ａの第１部分１２３Ａと、ＶＢＳ配線１２２Ａの第１部分１２５Ａとは、Ｘ軸方向に離間する。第１部分１２３Ａは、Ｘ軸方向において、第１部分１２５ＡよりもＣＯＦ６０から遠い位置に配置されている。換言すると、第１部分１２５Ａは、Ｘ軸方向において、圧力室列ＣＢＬに対して、第１部分１２３Ａよりも近い位置に配置されている。なお、Ｘ軸方向においてＣＯＦ６０に近い方を「内側」とし、ＣＯＦ６０から遠い方を「外側」と記載する場合がある。また、ＶＢＳ配線１２１Ａを「外側のＶＢＳ配線１２１Ａ」と記載し、ＶＢＳ配線１２２Ａを「内側のＶＢＳ配線１２２Ａ」と記載する場合がある。

図１０に示されるように、内側のＶＢＳ配線１２２Ａの第１部分１２５Ａは、Ｘ軸方向において、外側のＶＢＳ配線１２１Ａの第１部分１２３Ａよりも、ＣＯＦ配線６０に近い位置で、共通電極５２Ａに対して電気的に接続されている。

ＶＢＳ配線１２１Ｂは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１２３Ｂと、第１部分１２３Ｂの端部１２３ｆからＸ軸方向に張り出す第２部分１２４Ｂと、を有する。ＶＢＳ配線１２２Ｂは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１２５Ｂと、第１部分１２５Ｂの端部１２５ｅからＸ軸方向に張り出す第２部分１２６Ｂと、を有する。なお、端部１２３ｆは、Ｙ軸方向において、圧力室ＣＢ２に近い方の端部であり、端部１２５ｅは、Ｙ軸方向において、圧力室ＣＢ１に近い方の端部である。

ＶＢＳ配線１２１Ｂの第１部分１２３Ｂと、ＶＢＳ配線１２２Ｂの第１部分１２５Ｂとは、Ｘ軸方向に離間する。第１部分１２３Ｂは、Ｘ軸方向において、第１部分１２５ＢよりもＣＯＦ６０から遠い位置に配置されている。換言すると、第１部分１２５Ｂは、Ｘ軸方向において、圧力室列ＣＡＬに対して、第１部分１２３Ｂよりも近い位置に配置されている。なお、ＶＢＳ配線１２１Ｂを「外側のＶＢＳ配線１２１Ｂ」と記載し、ＶＢＳ配線１２２Ｂを「内側のＶＢＳ配線１２２Ｂ」と記載する場合がある。

図１０に示されるように、内側のＶＢＳ配線１２２Ｂの第１部分１２５Ｂは、Ｘ軸方向において、外側のＶＢＳ配線１２１Ｂの第１部分１２３Ｂよりも、ＣＯＦ配線６０に近い位置で、共通電極５２Ｂに対して電気的に接続されている。

図１１に示されるように、液体吐出ヘッド１０Ｂは、Ａ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ａ，１２７Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ｂ，１２７Ｂと、を備える。
ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、Ａ列側の圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に配置されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、外側のＶＢＳ配線１２１Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ａは、第２部分１２４Ａに設けられている。
ＶＢＳ配線実装部１２７Ａは、Ａ列側の圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に配置されている。ＶＢＳ配線実装部１２７Ａは、内側のＶＢＳ配線１２２Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線実装部１２７Ａは、第２部分１２６Ａに設けられている。

ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、Ｂ列側の圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に配置されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、外側のＶＢＳ配線１２１Ｂと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ｂは、第２部分１２４Ｂに設けられている。
ＶＢＳ配線実装部１２７Ｂは、Ｂ列側の圧力室列ＣＢＬよりもＹ１方向に配置されている。ＶＢＳ配線実装部１２７Ｂは、内側のＶＢＳ配線１２２Ｂと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線実装部１２７Ｂは、第２部分１２６Ｂに設けられている。

実施例２に係る液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ａ列側の共通電極５２Ａに対して、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａが電気的に接続され、ＶＢＳ配線１２１Ａは、一方の端部側で、ＣＯＦ６０に電気的に接続され、ＶＢＳ配線１２２Ａは、他方の端部側でＣＯＦ６０に電気的に接続されている。Ｙ軸方向において、互いに反対側に位置するＶＢＳ配線実装部５６Ａ，１２７Ａを介して、共通電極５２Ｂに電圧が供給される。液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ｂ列側の共通電極５２Ｂに対して、ＶＢＳ配線１２１Ｂ，１２２Ｂが電気的に接続され、ＶＢＳ配線１２１Ｂは、他方の端部側で、ＣＯＦ６０に電気的に接続され、ＶＢＳ配線１２２Ｂは、他方の端部側でＣＯＦ６０に電気的に接続されている。Ｙ軸方向において、互いに反対側に位置するＶＢＳ配線実装部５６Ｂ，１２７Ｂを介して、共通電極５２Ｂに電圧が供給される。これにより、共通電極５２Ａ，５２Ｂに対する電圧降下の影響が緩和されるので、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜実施例３＞
次に、図１２を参照して、実施例３に係る液体吐出ヘッド１０Ｃについて説明する。図１２は、実施例３に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。実施例３に係る液体吐出ヘッド１０Ｃが、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０Ｂと違う点は、Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａに代えて、ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３２Ａを備える点、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂに代えて、ＶＢＳ配線１３１Ｂ，１３２Ｂを備える点、ＶＢＳ配線１３１ＡとＶＢＳ配線１３１Ｂとを連結する連結部１３３を備える点、ＶＢＳ配線１３２ＡとＶＢＳ配線１３２Ｂとを連結する連結部１３４を備える点、連結部１３３に設けられたＶＢＳ配線実装部１３６を備える点、連結部１３４に設けられたＶＢＳ配線実装部１３７を備える点である。実施例３の説明において、実施例１，２と同様の説明については省略する場合がある。ＶＢＳ配線１３１Ａは、「第１共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１３２Ｂは、「第２共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１３２Ａは、「第３共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１３１Ｂは、「第４共通配線」の一例である。

液体吐出ヘッド１０Ｃは、Ａ列側のＶＢＳ配線１３１Ａ，１３２Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線１３１Ｂ，１３２Ｂとを有する。ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３２Ａは、Ａ列側の共通電極５２Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１３２Ｂ，１３２Ｂは、Ｂ列側の共通電極５２Ｂと電気的に接続されている。

ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３２Ａは、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向に互いに離間する。ＶＢＳ配線１３２Ａは、Ｘ軸方向において、ＣＯＦ６０に対してＶＢＳ配線１３１Ａよりも近い位置に配置されている。ＶＢＳ配線１３１Ａは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に張り出している。ＶＢＳ配線１３１Ａの端部１３１ｃは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に位置する。ＶＢＳ配線１３２Ａは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に張り出している。ＶＢＳ配線１３２Ａの端部１３２ｄは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に位置する。

ＶＢＳ配線１３１Ｂ，１３２Ｂは、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向に互いに離間する。ＶＢＳ配線１３２Ｂは、Ｘ軸方向において、ＣＯＦ６０に対してＶＢＳ配線１３１Ｂよりも近い位置に配置されている。ＶＢＳ配線１３１Ｂは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ１方向に張り出している。ＶＢＳ配線１３１Ｂの端部１３１ｅは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に位置する。ＶＢＳ配線１３２Ｂは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に張り出している。ＶＢＳ配線１３２Ｂの端部１３２ｆは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。

液体吐出ヘッド１０Ｃは、上述したように、連結部１３３，１３４と、ＶＢＳ配線実装部１３６，１３７とを備える。連結部１３３は、Ｘ軸方向に延在し、ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３１Ｂの端部１３１ｃ，１３１ｅ同士を連結する。連結部１３３は、Ｘ軸方向における外側のＶＢＳ配線１３１Ａ，１３１Ｂを連結する。連結部１３３は、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ１方向に位置する。連結部１３３には、ＶＢＳ配線実装部１３６が設けられている。ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３１Ｂは、ＶＢＳ配線実装部１３６及び連結部１３３を介して、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１３１Ａ，１３１Ｂは、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりも一方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。「一方側の位置」とは、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸよりもＹ１方向にずれた位置を含む。なお、後述する「他方側の位置」とは、Ｙ軸方向において、中心線ＯＸよりもＹ２方向にずれた位置を含む。

連結部１３４は、Ｘ軸方向に延在し、ＶＢＳ配線１３２Ａ，１３２Ｂの端部１３２ｄ，１３１ｆ同士を連結する。連結部１３４は、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。連結部１３４には、ＶＢＳ配線実装部１３７が設けられている。ＶＢＳ配線１３２Ａ，１３２Ｂは、ＶＢＳ配線実装部１３７及び連結部１３４を介して、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１３２Ａ，１３２Ｂは、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりも他方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。

このような実施例３に係る液体吐出ヘッド１０Ｃにおいても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１３１Ａ，１３１Ｂ，１３２Ａ，１３２Ｂによる電圧降下の影響が考慮されている。このような液体吐出ヘッド１０Ｃによれば、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜実施例４＞
次に、図１３を参照して、実施例４に係る液体吐出ヘッド１０Ｄについて説明する。図１３は、実施例４に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。実施例４に係る液体吐出ヘッド１０Ｄが、実施例２に係る液体吐出ヘッド１０Ｂと違う点は、ＶＢＳ配線１２１ＡとＶＢＳ配線１２２Ｂとを連結する連結部１４１を備える点、ＶＢＳ配線１２１ＡとＶＢＳ配線１２２Ｂとを連結する連結部１４１を備える点、連結部１４１に設けられたＶＢＳ配線実装部１４６を備える点である。実施例４の説明において、実施例１～３と同様の説明については省略する場合がある。

液体吐出ヘッド１０Ｄは、Ａ列側のＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線１２１Ｂ，１２２Ｂとを有する。ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ａは、Ａ列側の共通電極５２Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１２１Ｂ，１２２Ｂは、Ｂ列側の共通電極５２Ｂと電気的に接続されている。

液体吐出ヘッド１０Ｄは、連結部１４１，１４２と、ＶＢＳ配線実装部１４６，１４７とを備える。連結部１４１は、Ｘ軸方向に延在し、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ｂの端部１２１ｃ，１２２ｅ同士を連結する。ＶＢＳ配線１２１Ａの端部１２１ｃは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に位置する。ＶＢＳ配線１２２Ｂの端部１２２ｅは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ１方向に位置する。連結部１４１は、Ａ列側の外側のＶＢＳ配線１２１ＡとＢ列側の内側のＶＢＳ配線１２２Ｂとを連結する。連結部１４１は、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ１方向に位置する。連結部１４１には、ＶＢＳ配線実装部１４６が設けられている。ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ｂは、ＶＢＳ配線実装部１４６及び連結部１４１を介して、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２２Ｂは、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりも一方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。

連結部１４２は、Ｘ軸方向に延在し、ＶＢＳ配線１２２Ａ，１２１Ｂの端部１２２ｄ，１２１ｆ同士を連結する。ＶＢＳ配線１２２Ａの端部１２２ｄは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に位置する。ＶＢＳ配線１２１Ｂの端部１２１ｆは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。連結部１４２は、Ａ列側の内側のＶＢＳ配線１２２ＡとＢ列側の外側のＶＢＳ配線１２１Ｂとを連結する。連結部１４２は、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。連結部１４２には、ＶＢＳ配線実装部１４７が設けられている。ＶＢＳ配線１２２Ａ，１２１Ｂは、ＶＢＳ配線実装部１４７及び連結部１４２を介して、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１２２Ａ，１２１Ｂは、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりも他方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。

このような実施例４に係る液体吐出ヘッド１０Ｄにおいても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂによる電圧降下の影響が考慮されている。このような液体吐出ヘッド１０Ｄによれば、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜実施例５＞
次に、図１４を参照して、実施例５に係る液体吐出ヘッド１０Ｅについて説明する。図１４は、実施例５に係る液体吐出ヘッドの要部を拡大して示す平面図である。実施例５に係る液体吐出ヘッド１０Ｅが、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０と違う点は、ＶＢＳ配線５５Ａに代えて、ＶＢＳ配線１５１Ａを備える点、及びＶＢＳ配線５５Ｂに代えて、ＶＢＳ配線５５Ｂに代えて、ＶＢＳ配線１５１Ｂを備える点である。実施例５の説明において、実施例１～４と同様の説明については省略する場合がある。ＶＢＳ配線１５１Ａは、「第１共通配線」の一例である。ＶＢＳ配線１５１Ｂは、「第２共通配線」の一例である。

液体吐出ヘッド１０Ｅは、Ａ列側のＶＢＳ配線１５１Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線１５１Ｂとを有する。ＶＢＳ配線１５１Ａは、Ａ列側の共通電極５２Ａと電気的に接続されている。ＶＢＳ配線１５１Ｂは、Ｂ列側の共通電極５２Ｂと電気的に接続されている。

ＶＢＳ配線１５１Ａは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１５７Ａと、第１部分１５７ＡからＹ１方向に張り出す第２部分１５８Ａと、第２部分１５８ＡからＸ２方向に張り出す第３部分１５９Ａと、を有する。第１部分１５７Ａは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＡＬを覆うように設けられている。第１部分１５７Ａは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＡＬに対向する長さを有する。Ｙ軸方向において、第１部分１５７Ａの長さは、圧力室列ＣＡＬの長さとほぼ同じである。

第３部分１５９Ａには、ＶＢＳ配線実装部５６Ａが設けられている。ＶＢＳ配線１５１Ａは、ＶＢＳ配線実装部５６Ａを介してＣＯＦ６０と電気的に接続されている。

第１部分１５７Ａは、第１端部１５７ｃ及び第２端部１５７ｄを有する。第１端部１５７ｃは、Ｙ１方向の端部であり、第２端部１５７ｄは、Ｙ２方向の端部である。第１端部１５７ｃは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ１方向に位置する。第２端部１５７ｄは、圧力室列ＣＡＬよりもＹ２方向に位置する。Ｘ軸方向に沿う第１端部１５７ｃの幅Ｗ１は、Ｘ軸方向に沿う第２端部１５７ｄの幅Ｗ２よりも広い。Ｙ軸方向において、ＶＢＳ配線実装部５６Ａに近い方の第１端部１５７ｃの幅Ｗ１は、ＶＢＳ配線実装部５６Ａから遠い方の第２端部１５７ｄの幅Ｗ２よりも広い。第１部分１５７Ａの幅は、ＶＢＳ配線実装部５６Ａから近いほど広く、ＶＢＳ配線実装部５６Ａから遠いほど狭い。

ＶＢＳ配線１５１Ｂは、Ｙ軸方向に延びる第１部分１５７Ｂと、第１部分１５７ＢからＹ２方向に張り出す第２部分１５８Ｂと、第２部分１５８ＢからＸ１方向に張り出す第３部分１５９Ｂと、を有する。第１部分１５７Ｂは、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＢＬを覆うように設けられている。第１部分１５７Ｂは、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＢＬに対向する長さを有する。Ｙ軸方向において、第１部分１５７Ｂの長さは、圧力室列ＣＢＬの長さとほぼ同じである。

第３部分１５９Ｂには、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂが設けられている。ＶＢＳ配線１５１Ｂは、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂを介してＣＯＦ６０と電気的に接続されている。

第１部分１５７Ｂは、第１端部１５７ｅ及び第２端部１５７ｆを有する。第１端部１５７ｅは、Ｙ２方向の端部であり、第２端部１５７ｆは、Ｙ２方向の端部である。第１端部１５７ｅは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。第２端部１５７ｆは、圧力室列ＣＢＬよりもＹ２方向に位置する。Ｘ軸方向に沿う第１端部１５７ｅの幅Ｗ３は、Ｘ軸方向に沿う第２端部１５７ｆの幅Ｗ４よりも狭い。Ｙ軸方向において、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂに近い方の第２端部１５７ｄの幅Ｗ４は、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂから遠い方の第１端部１５７ｅの幅Ｗ３よりも広い。第１部分１５７Ｂの幅は、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂから近いほど広く、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂから遠いほど狭い。なお、幅Ｗ１，Ｗ４は、略同じ長さである。幅Ｗ２，Ｗ３は、略同じ長さである。

このような実施例５に係る液体吐出ヘッド１０Ｅでは、Ａ列側のＶＢＳ配線１５１Ａの第１部分１５７Ａの幅は、中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど広くなり、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど狭くなっている。一方、Ｂ列側のＶＢＳ配線１５１Ｂの第１部分１５７Ｂの幅は、中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど狭くなり、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど広くなっている。

このような実施例５に係る液体吐出ヘッド１０Ｅにおいても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１５１Ａ，１５１Ｂによる電圧降下の影響が考慮されている。このような液体吐出ヘッド１０Ｅによれば、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜実施例６＞
次に、図１５及び図１６を参照して、実施例６に係る液体吐出ヘッド１０Ｆについて説明する。図１５は、実施例６に係る液体吐出ヘッド１０ＦのＡ列側の圧力室ＣＡ１，ＣＡ２を示す断面図である。実施例６に係る液体吐出ヘッド１０Ｆが、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０と違う点は、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂの厚さＴ１～Ｔ４が、Ｙ軸方向の位置に応じて異なる点である。実施例６の説明において、実施例１～５と同様の説明については省略する場合がある。厚さＴ１～Ｔ４は、Ｚ軸方向に沿う厚さである。

図１５に示される圧力室ＣＡ１は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における一方の端部に位置する圧力室ＣＡである。圧力室ＣＡ２は、複数の圧力室ＣＡのうち、Ｙ軸方向における他方の端部に位置する圧力室ＣＡである。圧力室ＣＡ１は、Ｙ軸方向において、複数の圧力室ＣＡのうちＶＢＳ配線実装部５６Ａに最も近い。圧力室ＣＡ２は、Ｙ軸方向において、複数の圧力室ＣＡのうちＶＢＳ配線実装部５６Ａから最も遠い。

圧力室ＣＡ１に近い方のＶＢＳ配線５５Ａの厚さＴ１は、圧力室ＣＡ２に近い方のＶＢＳ配線５５Ａの厚さＴ２よりも厚い。ＶＢＳ配線５５Ａの厚さは、図８に示される中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど厚く、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど薄い。

図１６に示される圧力室ＣＢ１は、複数の圧力室ＣＢのうち、Ｙ軸方向における一方の端部に位置する圧力室ＣＢである。圧力室ＣＢ２は、複数の圧力室ＣＢのうち、Ｙ軸方向における他方の端部に位置する圧力室ＣＢである。圧力室ＣＢ１は、Ｙ軸方向において、複数の圧力室ＣＢのうちＶＢＳ配線実装部５６Ｂに最も遠い。圧力室ＣＢ２は、Ｙ軸方向において、複数の圧力室ＣＢのうちＶＢＳ配線実装部５６Ｂに最も近い。

圧力室ＣＢ１に近い方のＶＢＳ配線５５Ｂの厚さＴ３は、圧力室ＣＢ２に近い方のＶＢＳ配線５５Ｂの厚さＴ２よりも厚い。ＶＢＳ配線５５Ｂの厚さは、図８に示される中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど薄く、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど厚い。

このような実施例６に係る液体吐出ヘッド１０Ｆでは、Ａ列側のＶＢＳ配線１５１Ａの第１部分１５７Ａの幅は、中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど広くなり、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど狭くなっている。一方、Ｂ列側のＶＢＳ配線１５１Ｂの第１部分１５７Ｂの幅は、中心線ＯＸからＹ１方向に離れるほど狭くなり、中心線ＯＸからＹ２方向に離れるほど広くなっている。

このような実施例６に係る液体吐出ヘッド１０Ｆにおいても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１５１Ａ，１５１Ｂによる電圧降下の影響が考慮されている。このような液体吐出ヘッド１０Ｅによれば、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜実施例７＞
次に、図１１及び図１７を参照して、実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇについて説明する。図１７は、実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇを示す断面図である。実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇが、図２に示される実施例１に係る液体吐出ヘッド１０Ｂと違う点は、Ａ列側の圧力室ＣＡ及びＢ列側の圧力室ＣＢに共通に連通するノズルＮを備える構成に代えて、Ａ列側の圧力室ＣＡに連通するノズルＮＡと、Ｂ列側の圧力室ＣＢに連通するノズルＮＢとを別々に備える点、及びＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂに代えて、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂを備える点である。実施例７に係る液体吐出ヘッド１０ＧのＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂは、図１１に示す実施例２に係る液体吐出ヘッド１０ＢのＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂと同じである。実施例７の説明において、実施例１～６と同様の説明については省略する場合がある。

図１７に示される液体吐出ヘッド１０Ｇは、複数の圧力室ＣＡ，ＣＢを備える。圧力室ＣＡには、共通液室ＲＡ、中継流路４３Ａ、連通流路４５Ａ、及びノズルＮＡが連通されている。圧力室ＣＢには、共通液室ＲＢ、中継流路４３Ｂ、連通流路４５Ｂ、及びノズルＮＢが連通されている。

このような実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇにおいても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂによる電圧降下の影響が考慮されている。図１１に示されるように、Ｙ軸方向において一方の端部に配置された圧力室ＣＡは、ＶＢＳ配線実装部５６Ａに近く、ＶＢＳ配線実装部１２７Ａから遠い。圧力室ＣＡ１上の共通電極５２Ａは、ＶＢＳ配線１２１Ａを介して、近い方のＶＢＳ配線実装部５６Ａと電気的に接続されていると共に、ＶＢＳ配線１２２Ａを介して、遠い方のＶＢＳ配線実装部１２７Ａと電気的に接続されている。

Ｙ軸方向において他方の端部に配置された圧力室ＣＡ２は、ＶＢＳ配線実装部５６Ａから遠く、ＶＢＳ配線実装部１２７Ａに近い。圧力室ＣＡ２上の共通電極５２Ａは、ＶＢＳ配線１２１Ａを介して、遠い方のＶＢＳ配線実装部５６Ａと電気的に接続されていると共に、ＶＢＳ配線１２２Ａを介して、近い方のＶＢＳ配線実装部１２７Ａと電気的に接続されている。Ｂ列側の圧力室ＣＢ，ＣＢ１，ＣＢ２の共通電極５２Ｂについても、互いに反対側のＶＢＳ配線実装部５６Ｂ，１７６Ｂにそれぞれ電気的に接続されている。

このような実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇによれば、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂによる電圧降下の影響が考慮されているので、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮＡ，ＮＢにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

実施例７に係る液体吐出ヘッド１０Ｇでは、図１１に示される実施例２と同様のＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂ、及びＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂ，１２７Ａ，１２７Ｂを備えているが、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂ、及びＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂ，１２７Ａ，１２７Ｂの配置はこれに限定されない。液体吐出ヘッド１０Ｇは、例えば、図１２又は図１３に示されるような、ＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂ，１３１Ａ，１３１Ｂ，１３２Ａ，１３２Ｂを備える構成でもよい。また、液体吐出ヘッド１０ＧのＶＢＳ配線１２１Ａ，１２１Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂは、実施例６と同様に、Ｙ軸方向の位置に応じて厚さＴ１～Ｔ４が異なっていてもよい。

＜液体吐出装置＞
次に、図１８及び図１９を参照して、液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１について説明する。図１８は、液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１を示す概略図である。液体吐出装置１は、上記の実施例１に係る液体吐出ヘッド１０を備える。図１８は、液体吐出装置１を示すブロック図である。なお、液体吐出装置１は、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０を備える構成に限定されない。液体吐出装置１は、実施例１に係る液体吐出ヘッド１０に代えて、実施例２～７に係る液体吐出ヘッド１０Ｂ～１０Ｇを備えるものでもよい。

液体吐出装置１は、「液体」の一例であるインクを液滴として媒体ＰＡに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１は、シリアル型の印刷装置である。媒体ＰＡは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体ＰＡは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。

液体吐出装置１は、インクを吐出する液体吐出ヘッド１０、インクを貯留する液体容器２、液体吐出ヘッド１０を搭載するキャリッジ３、キャリッジ３を搬送するキャリッジ搬送機構４、媒体ＰＡを搬送する媒体搬送機構５、及び、制御部３０を備える。制御部３０は、液体の吐出を制御する制御部である。

液体容器２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器２に貯留されるインクの種類は任意である。液体吐出装置１は、例えば、４色のインクに対応して複数の液体容器２を備える。４色のインクとしては、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、及び、ブラックがある。液体容器２は、キャリッジ３に搭載されるものでもよい。

液体吐出装置１は、インクを循環させる循環機構８を備える。循環機構８は、液体吐出ヘッド１０にインクを供給する供給流路８１と、液体吐出ヘッド１０から排出されたインクを回収する回収流路８２と、インクを移送するポンプ８３と、を含む。

キャリッジ搬送機構４は、キャリッジ３を搬送するための搬送ベルト４ａ及びモーターを有する。媒体搬送機構５は、媒体ＰＡを搬送するための搬送ローラー５ａ及びモーターを有する。キャリッジ搬送機構４及び媒体搬送機構５は、制御部３０によって制御される。液体吐出装置１は、媒体搬送機構５によって媒体ＰＡを搬送させながら、キャリッジ搬送機構４によってキャリッジ３を搬送させて、媒体ＰＡにインク滴を吐出して印刷する。

液体吐出装置１は、図１９に示されるように、リニアエンコーダー６を備える。キャリッジ３の位置を検出可能な位置に設けられている。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の位置に関する情報を取得する。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の移動に伴って、制御部３０にエンコーダー信号を出力する。

制御部３０は、１又は複数のＣＰＵ３１を含む。制御部３０は、ＣＰＵ３１の代わりに、又は、ＣＰＵ３１に加えて、ＦＰＧＡを備えるものでもよい。制御部３０は、記憶部３５を含む。記憶部３５は、例えばＲＯＭ３６及びＲＡＭ３７を備える。記憶部３５は、ＥＥＰＲＯＭ、又はＰＲＯＭを備えていてもよい。記憶部３５は、ホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを記憶できる。記憶部３５は、液体吐出装置１の制御プログラムを記憶する。

ＣＰＵは、Central Processing Unitの略称である。ＦＰＧＡは、field-programmable gate arrayの略称である。ＲＡＭは、Random Access Memoryの略称である。ＲＯＭは、Read Only Memoryの略称である。ＥＥＰＲＯＭEは、Electrically Erasable Programmable Read-Only Memoryの略称である。ＰＲＯＭは、Programmable ROMの略称である。

制御部３０は、液体吐出装置１の各部の動作を制御するための信号を生成する。制御部３０は、印刷信号ＳＩ及び波形指定信号ｄＣｏｍを生成できる。印刷信号ＳＩは、液体吐出ヘッド２０の動作の種類を指定するためのデジタル信号である。印刷信号ＳＩは、圧電素子５０に対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定できる。波形指定信号ｄＣｏｍは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタル信号である。駆動信号Ｃｏｍは、圧電素子５０を駆動するためのアナログ信号である。

液体吐出装置１は、駆動信号生成回路３２を備える。駆動信号生成回路３２は、制御部３０と電気的に接続されている。駆動信号生成回路３２は、ＤＡ変換回路を含む。駆動信号生成回路３２は、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。制御部３０は、リニアエンコーダー６からエンコーダー信号を受信すると、駆動信号生成回路３２に、タイミング信号ＰＴＳを出力する。タイミング信号ＰＴＳは、駆動信号Ｃｏｍの生成タイミングを規定する。駆動信号生成回路３２は、タイミング信号ＰＴＳを受信するごとに、駆動信号Ｃｏｍを出力する。

駆動回路６２は、制御部３０及び駆動信号生成回路３２と電気的に接続されている。駆動回路６２は、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを圧電素子５０に供給するか否かを切り替える。駆動回路６２は、制御部３０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及び、チェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号Ｃｏｍが供給される圧電素子５０を選択できる。ラッチ信号ＬＡＴは、印刷データＩｍｇのラッチタイミングを規定する。チェンジ信号ＣＨは、駆動信号Ｃｏｍに含まれる駆動パルスの選択タイミングを規定する。

制御部３０は、液体吐出ヘッド２０によるインクの吐出動作を制御する。制御部３０は、上述の通り、圧電素子５０を駆動することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させて、ノズルＮからインクを吐出する。制御部３０は、印刷動作を行う際に、吐出動作を制御する。

このような液体吐出装置１において、上記の液体吐出ヘッド１０を適用できる。液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１では、Ａ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線実装部５６Ｂとが、Ｙ軸方向において互いに反対側に配置されている。Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａと、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂとにおいて、互いに逆方向から電圧が供給される。これにより、ＶＢＳ配線実装部５６Ａ，５６Ｂからの距離に基づく電圧降下の影響は、Ａ列側の圧電素子５０ＡとＢ列側の圧電素子５０Ｂとにおいて相殺される。そのため、複数のノズルＮにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。その結果、液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１の信頼性の向上が図られる。

＜変形例１＞
次に、変形例１に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例１に係る液体吐出ヘッド１０が実施例に係る液体吐出ヘッド１０と違う点は、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５ＢのＸ軸方向に沿う幅が、Ｙ軸方向の位置に応じて異なる点である。なお、上記の実施例１～７の説明と同様の説明については省略する場合がある。

変形例１に係る液体吐出ヘッド１０では、一方側の端部にＶＢＳ配線実装部５６Ａが配置され、他方側の端部にＶＢＳ配線実装部５６Ｂが配置されている。ＶＢＳ配線実装部５６Ａには、ＶＢＳ配線５５Ａが電気的に接続され、ＶＢＳ配線実装部５６Ｂには、ＶＢＳ配線５５Ｂが電気的に接続されている。

変形例１に係る液体吐出ヘッド１０では、Ｙ軸方向に沿って、一方側から他方側に向かうにしたがって、Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａにおける電気抵抗が小さくなるように、ＶＢＳ配線５５Ａが形成されている。具体的には、ＶＢＳ配線５５Ａの一方側の端部における幅Ｗ１１は、ＶＢＳ配線５５Ａの他方側の端部における幅Ｗ１２よりも狭い。なお、幅Ｗ１１は、図１４に示される幅Ｗ１とＹ軸方向において同じ位置であり、幅Ｗ１２は、幅Ｗ２とＹ軸方向において同じ位置である。

変形例１に係る液体吐出ヘッド１０では、Ｙ軸方向に沿って、他方側から一方側に向かうにしたがって、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂにおける電気抵抗が小さくなるように、ＶＢＳ配線５５Ｂが形成されている。具体的には、ＶＢＳ配線５５Ｂの一方側の端部における幅Ｗ１３は、ＶＢＳ配線５５Ｂの他方側の端部における幅Ｗ１４よりも広い。なお、幅Ｗ１３は、図１４に示される幅Ｗ３とＹ軸方向において同じ位置であり、幅Ｗ１４は、幅Ｗ４とＹ軸方向において同じ位置である。

このような変形例１に係る液体吐出ヘッド１０においても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂによる電圧降下の影響が考慮されているので、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮＡ，ＮＢにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

＜変形例２＞
次に、変形例２に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例２に係る液体吐出ヘッド１０が実施例に係る液体吐出ヘッド１０と違う点は、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５ＢのＺ軸方向に沿う厚さが、Ｙ軸方向の位置に応じて異なる点である。なお、上記の実施例１～７及び変形例１の説明と同様の説明については省略する場合がある。

変形例２に係る液体吐出ヘッド１０では、Ｙ軸方向に沿って、一方側から他方側に向かうにしたがって、Ａ列側のＶＢＳ配線５５Ａにおける電気抵抗が小さくなるように、ＶＢＳ配線５５Ａが形成されている。具体的には、ＶＢＳ配線５５Ａの一方側の端部における厚さＴ１１は、ＶＢＳ配線５５Ａの他方側の端部における厚さＴ１２よりも薄い（Ｔ１１＜Ｔ１２）。

変形例２に係る液体吐出ヘッド１０では、Ｙ軸方向に沿って、他方側から一方側に向かうにしたがって、Ｂ列側のＶＢＳ配線５５Ｂにおける電気抵抗が小さくなるように、ＶＢＳ配線５５Ｂが形成されている。具体的には、ＶＢＳ配線５５Ｂの一方側の端部における厚さＴ１３は、ＶＢＳ配線５５Ｂの他方側の端部における厚さＴ１４よりも厚い（Ｔ１３＜Ｔ１４）。

このような変形例２に係る液体吐出ヘッド１０においても、Ｙ軸方向におけるＶＢＳ配線５５Ａ，５５Ｂによる電圧降下の影響が考慮されているので、Ｙ軸方向に並ぶ複数のノズルＮＡ，ＮＢにおける液体の吐出のばらつきが抑制される。

なお、前述した実施形態は、本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更、付加が可能である。

上記の実施形態では、Ｙ軸方向において、圧力室列ＣＡＬ，ＣＢＬよりも外側で、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５ＢとＣＯＦ６０とが電気的に接続されている場合について例示しているが、ＶＢＳ配線５５Ａ，５５ＢとＣＯＦ６０とが電気的に接続される位置はこれに限定されない。例えば、ＶＢＳ配線５５ＡとＣＯＦ６０とが電気的に接続される位置は、中心線ＯＸからＹ１方向にずれた位置でよい。ＶＢＳ配線５５ＢとＣＯＦ６０とが電気的に接続される位置は、中心線ＯＸからＹ２方向にずれた位置でよい。例えば、ＶＢＳ配線５５ＡとＣＯＦ６０とが電気的に接続される位置は、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＡＬに重なる位置であり、中心線ＯＸからＹ１方向にずれた位置でもよい。ＶＢＳ配線５５ＢとＣＯＦ６０とが電気的に接続される位置は、Ｚ軸方向に見て、圧力室列ＣＢＬに重なる位置であり、中心線ＯＸからＹ２方向にずれた位置でもよい。なお、「一方側」は、中心線ＯＸからＹ１方向にずれた位置に限定されず、Ｙ２方向にずれた位置でもよい。同様に、「他方側」は、中心線ＯＸからＹ２方向にずれた位置に限定されず、Ｙ１方向にずれた位置でもよい。「一方側」及び「他方側」は、中心線ＯＸを基準とした場合に、互いに反対側である。

なお、上記の実施例１において、ＶＢＳ配線５５Ａは、一方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されているが、他方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されていない。同様に、実施例１において、ＶＢＳ配線５５Ｂは、他方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されているが、一方側の位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されていない。

また、ＣＯＭ配線５４Ａ、ＣＯＭ５４Ｂ、ＶＢＳ配線５５Ａ、及びＶＢＳ配線５５Ｂは、それぞれＣＯＦ６０と電気的に接続されているが、これらのＣＯＭ配線５４Ａ、ＣＯＭ５４Ｂ、ＶＢＳ配線５５Ａ、及びＶＢＳ配線５５Ｂは、ＣＯＦ６０のそれぞれ異なる配線部に接続されているのであり、共通の配線部に接続されていない。

ＶＢＳ配線５５Ａは、Ｙ軸方向において、一方側から他方側に向かうにしたがって、配線抵抗が異なるように設けられ、ＶＢＳ配線５５Ｂは、Ｙ軸方向において、他方側から一方側に向かうにしたがって、配線抵抗が異なるように設けられている。上述したように、ＶＢＳ配線の幅を変えたり、ＶＢＳ配線の厚さを変えたりすることで、配線抵抗を異なるようにすることができる。

例えば、Ａ列側のＶＢＳ配線は、Ｙ軸方向において、一方側から他方側に向かうにしたがって、配線抵抗が大きくなるように設けられ、Ｂ列側のＶＢＳ配線は、Ｙ軸方向において、他方側から一方側に向かうにしたがって、配線抵抗が大きくなるように設けられていてもよい。

例えば、Ａ列側のＶＢＳ配線は、Ｙ軸方向において、一方側から他方側に向かうにしたがって、配線抵抗が小さくなるように設けられ、Ｂ列側のＶＢＳ配線は、Ｙ軸方向において、他方側から一方側に向かうにしたがって、配線抵抗が小さくなるように設けられていてもよい。

上記の実施例１において、液体が循環する場合の液体吐出ヘッド１０について例示しているが、液体が循環しない方式の液体吐出ヘッド１０に本発明を適用してもよい。

上述の実施例１において、１つのノズルＮに対して、１つの第１圧力室ＣＡと１つの第２圧力室ＣＢの合計２つの圧力室が連通する場合について例示したが、１つのノズルＮに対して、Ｙ軸方向に互いに隣接する２つの第１圧力室ＣＡと、Ｙ軸方向に互いに隣接する２つの第２圧力室ＣＢとの、合計４つの圧力室が連通していても良い。

前述の実施形態では、液体吐出ヘッド１０を搭載したキャリッジを媒体ＰＡの幅方向に往復させるシリアル方式の液体吐出装置について例示しているが、複数の液体吐出ヘッド１０を搭載するラインヘッドを備えたライン方式の液体吐出装置１にも本発明を適用してもよい。

前述の実施形態で例示した液体吐出装置１は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を吐出する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

１…液体吐出装置、１０，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ…液体吐出ヘッド、３０…制御部、５１Ａ…個別電極（第１個別電極）、５１Ｂ…個別電極（第２個別電極）、５２Ａ…共通電極（第１共通電極）、５２Ｂ…共通電極（第２共通電極）、５３Ａ…圧電体層（第１圧電体）、５３Ｂ…圧電体層（第２圧電体）、５４Ａ…ＣＯＭ配線（第１個別配線）、５４Ｂ…ＣＯＭ配線（第２個別配線）、５５Ａ…ＶＢＳ配線（第１共通配線）、５５Ｂ…ＶＢＳ配線（第２共通配線）、６０…ＣＯＦ、６１…フレキシブル配線基板（配線部材）、１２１Ａ…ＶＢＳ配線（第１共通配線）、１２１Ｂ…ＶＢＳ配線（第２共通配線）、１２２Ａ…ＶＢＳ配線（第３共通配線）、１２２Ｂ…ＶＢＳ配線（第４共通配線）、１３１Ａ…ＶＢＳ配線（第１共通配線）、１３１Ｂ…ＶＢＳ配線（第４共通配線）、１３２Ａ…ＶＢＳ配線（第３共通配線）、１３２Ｂ…ＶＢＳ配線（第２共通配線）、ＣＡ…圧力室（第１圧力室）、ＣＢ…圧力室（第２圧力室）、ＣＡＬ…圧力室列（第１圧力室列）、ＣＢＬ…圧力室列（第２圧力室列）、ＲＡ…共通液室（共通供給流路）、ＲＢ…共通液室（共通排出流路）、ＯＸ…中心線、Ｎ…ノズル、Ｎ１…ノズル列、ＮＡ…ノズル（第１ノズル）、ＮＢ…ノズル（第２ノズル）、Ｘ…Ｘ軸方向（第２方向）、Ｙ…Ｙ軸方向（第１方向）、Ｚ…Ｚ軸方向（第３方向）。

Claims (16)

1. 液体吐出ヘッドであって、
   複数の第１圧力室が第１方向に配列された第１圧力室列と、
   複数の第２圧力室が前記第１方向に配列され、前記第１圧力室と前記第１方向と交差する第２方向に異なる位置に設けられた第２圧力室列と、
   それぞれ前記第１圧力室と前記第２圧力室に共通に連通した複数のノズルが、前記第１方向に配列されたノズル列と、
   前記複数の第１圧力室に対応して設けられた第１圧電体と、
   前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられた第１個別電極と、
   前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第１共通電極と、
   前記複数の第２圧力室に対応して設けられた第２圧電体と、
   前記第２圧電体と電気的に接続し、前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられた第２個別電極と、
   前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第２圧力室に対して共通に設けられた第２共通電極と、
   前記第１個別電極、前記第１共通電極、前記第２個別電極、前記第２共通電極に対して電圧を供給するための配線部材と、
   前記第１個別電極と前記配線部材を電気的に接続する第１個別配線と、
   前記第１共通電極と前記配線部材を電気的に接続する第１共通配線と、
   前記第２個別電極と前記配線部材を電気的に接続する第２個別配線と、
   前記第２共通電極と前記配線部材を電気的に接続する第２共通配線と、を有し、
   前記配線部材と前記第１共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されており、
   前記配線部材と前記第２共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記配線部材と前記第１共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記一方側の端部よりも前記一方側の位置で電気的に接続されており、
   前記配線部材と前記第２共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記他方側の端部よりも前記他方側の位置で電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、配線抵抗が大きくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、配線抵抗が大きくなるように設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、前記第２方向の幅が小さくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、前記第２方向の幅が小さくなるように設けられることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、前記第１方向と前記第２方向の両方に交差する第３方向の幅が小さくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、前記第３方向の幅が小さくなるように設けられることを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、配線抵抗が小さくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、配線抵抗が小さくなるように設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、前記第２方向の幅が大きくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、前記第２方向の幅が大きくなるように設けられることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１共通配線は、前記第１方向に沿って前記一方側から前記他方側に向かうにしたがって、前記第１方向と前記第２方向の両方に交差する第３方向の幅が大きくなるように設けられ、
   前記第２共通配線は、前記第１方向に沿って前記他方側から前記一方側に向かうにしたがって、前記第３方向の幅が大きくなるように設けられることを特徴とする請求項６または７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１個別配線と前記第２個別配線は、前記第１方向において、前記第１、第２圧力室と重なる範囲に設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記複数の第１圧力室に共通に連通して液体を供給する共通供給流路と、
    前記複数の第２圧力室に共通に連通して液体を排出する共通排出流路と、を更に有することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 液体吐出ヘッドであって、
    複数の第１圧力室が第１方向に配列された第１圧力室列と、
    複数の第２圧力室が前記第１方向に配列され、前記第１圧力室と前記第１方向と交差する第２方向に異なる位置に設けられた第２圧力室列と、
    前記複数の第１圧力室にそれぞれ連通する複数の第１ノズルが、前記第１方向に配列された第１ノズル列と、
    前記複数の第２圧力室にそれぞれ連通する複数の第２ノズルが、前記第１方向に配列された第２ノズル列と、
    前記複数の第１圧力室に対応して設けられた第１圧電体と、
    前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられた第１個別電極と、
    前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第１共通電極と、
    前記複数の第２圧力室に対応して設けられた第２圧電体と、
    前記第２圧電体と電気的に接続し、前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられた第２個別電極と、
    前記第１圧電体と電気的に接続し、前記複数の第１圧力室に対して共通に設けられた第２共通電極と、
    前記第１個別電極、前記第１共通電極、前記第２個別電極、前記第２共通電極に対して電圧を供給するための配線部材と、
    前記第１個別電極と前記配線部材を電気的に接続する第１個別配線と、
    前記第１共通電極と前記配線部材を電気的に接続する第１共通配線と、
    前記第２個別電極と前記配線部材を電気的に接続する第２個別配線と、
    前記第２共通電極と前記配線部材を電気的に接続する第２共通配線と、を有し、
    前記配線部材と前記第１共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されており、
    前記配線部材と前記第２共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
12. 前記第１共通電極と前記配線部材を電気的に接続し、前記第１共通配線とは異なる第３共通配線と、
    前記第２共通電極と前記配線部材を電気的に接続し、前記第２共通配線とは異なる第４共通配線と、を有し、
    前記配線部材と前記第３共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った他方側にずれた位置で電気的に接続されており、
    前記配線部材と前記第４共通配線は、前記第１、第２圧力室列の前記第１方向における中央よりも、前記第１方向に沿った一方側にずれた位置で電気的に接続されていることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第３共通配線は、前記第２方向において前記第２圧力室列に対して前記第１共通配線よりも近い位置で、前記第１共通電極に電気的に接続され、
    前記第４共通配線は、前記第２方向において前記第１圧力室列に対して前記第２共通配線よりも近い位置で、前記第２共通電極に電気的に接続されていることを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第１共通配線と前記第３共通配線とが電気的に接続され、
    前記第２共通配線と前記第４共通配線とが電気的に接続されている、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記第３共通配線は、前記第２方向において前記第２圧力室列に対して前記第１共通配線よりも近い位置で、前記第１共通電極に電気的に接続され、
    前記第４共通配線は、前記第２方向において前記第１圧力室列に対して前記第２共通配線よりも遠い位置で、前記第２共通電極に電気的に接続され、
    前記第１共通配線と前記第４共通配線とが電気的に接続され、
    前記第２共通配線と前記第３共通配線とが電気的に接続されていることを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。

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