JP7056287B2 - ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ヘッドに関し、例えば、液体吐出装置のヘッドに関する。

従来のヘッドを有する装置として、例えば、特許文献１の液体噴射装置が知られている。この液体噴射装置では、ノズルに連通する連通路が設けられた連通板、及び、連通路に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板が積層されている。この連通板及び流路形成基板に循環流路が設けられており、循環流路は圧力発生室及び連通路に循環連通路を介して連通している。また、流路形成基板において連通板側とは反対側の面に振動板が設けられており、振動板上に、ノズルから液体を吐出させるように圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段が配置されている。

特開２０１２－１４３９８０号公報

ところで、非吐出時にも液体がノズルを介して外気に触れるため、ノズル近傍の液体は粘性が増加する。このような粘性の増加を抑制するため、特許文献１の液体噴射装置では、上記のようにして液体を循環させ、ノズル近傍の液体が過剰に高粘度にならないようにしている。

しかしながら、循環流路の抵抗が大きいと、循環流路の下流側と上流側とでは液体の流速が異なる。すると、循環流路に対して下流側で接続する連通路上のノズル付近と、上流側で接続する連通路上のノズル付近とでも、液体の流速に差が生じる。その結果、液体の吐出特性は、循環流路の下流側に位置するノズルと上流側に位置するノズルとで異なってしまい、好ましくない。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、液体の吐出特性の向上を図ることができるヘッドを提供することを目的としている。

本発明のある態様に係るヘッドは、ノズルと連通するディセンダが形成された連通プレートと、前記連通プレートに積層され、且つ、前記ディセンダと連通する圧力室が形成された圧力室プレートと、前記連通プレートと前記圧力室プレートとの積層方向において前記圧力室と重なる位置に配置される圧電素子と、複数の前記圧力室が並ぶ配列方向に延び、且つ、複数の前記圧力室に連通する排出共通路と、を備え、前記排出共通路は、前記連通プレートに形成された第１排出部分と、前記第１排出部分と連通し、且つ、前記圧力室プレートに形成され、前記積層方向において前記圧力室における前記圧電素子側の面の高さまで至っている第２排出部分と、を有している。

この構成によれば、排出共通路は、第２排出部分の高さが圧力室における圧電素子側の面の高さまで至っている。これにより、排出共通路が拡張されるため、排出共通路における液体の流れに対する抵抗を低減し、延いては、各圧力室の抵抗差を小さくすることができる。これにより、圧力室の抵抗差によって生じるノズルからの液滴の吐出速度及び吐出量の違いを減少させ、複数の圧力室に対する吐出ばらつきを少なくすることができる。また、圧力室の抵抗差によって生じる流れ方向に並ぶ複数のノズルにおける液体の粘度差を減少させ、液体の吐出ばらつきを少なくすることができる。

本発明の実施の形態１に係るヘッドを概略的に示す図である。 図１のＡ－Ａ線に沿って切断したヘッドの断面図である。 図２のＢ－Ｂ線に沿って切断したヘッドの一部の断面図である。 図４（ａ）は、本発明の実施の形態１の変形例１に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。図４（ｂ）は、本発明の実施の形態１の変形例２に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態１の変形例３に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態２に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 図７（ａ）～図７（ｄ）は、図６のヘッドの製造方法を説明するための図である。 本発明の実施の形態２の変形例４に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態２の変形例５に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態２の変形例６に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態２の変形例７に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態３に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態３の変形例に係るヘッドの一部を概略的に示す図である。

（実施の形態１）
＜液体吐出装置＞
本発明の実施の形態１に係るヘッド１０が用いられた液体吐出装置１１は、図１に示すように、例えば、用紙等の記録媒体１２を搬送しながらインク等の液体と吐出することにより、記録媒体１２に液体で印刷するプリンタである。なお、以下、ヘッド１０が用いられた装置として液体吐出装置１１について説明するが、ヘッド１０が用いられた装置はこれに限定されない。また、以下、液体吐出装置１１としてプリンタについて説明するが、液体吐出装置１１は、液体を吐出する物であれば、プリンタに限定されない。

液体吐出装置１１は、ヘッドユニット１３、プラテン１４、搬送機構１５及び制御部１６を備えている。ヘッドユニット１３は複数のヘッド１０を有しており、複数のヘッド１０は搬送方向と直交する方向に並んで配置されている。ヘッド１０は、液体を吐出する複数のノズル２０を有している。このヘッド１０の詳細に関しては後述する。

プラテン１４は、記録媒体１２が載置される台であって、ヘッド１０のノズル２０が開口するノズル面に対向して配置される。搬送機構１５は、記録媒体１２を搬送する機構であって、４本のローラ１５ａ、及び、ローラ１５ａを駆動する搬送モータ１５ｂを有している。４本のローラ１５ａは２本が一対となり、２対のローラ１５ａは、搬送方向において互いの間にプラテン１４を挟むように配置されている。各対における２本のローラ１５ａは、互いの間に記録媒体１２を挟むように配置され、搬送モータ１５ｂによって互いに逆向きに回転する。これにより、記録媒体１２は搬送方向に沿って搬送される。

制御部１６は演算部（図示せず）及び記憶部（図示せず）を有しており、演算部はプロセッサなどで構成され、記憶部は演算部がアクセス可能なメモリで構成されている。この記憶部に記憶されたプログラムを演算部が実行することにより、液体吐出装置１１のヘッドユニット１３及び搬送機構１５が制御される。

＜ヘッド＞
図１に示すように、各ヘッド１０において、複数のノズル２０は、搬送方向に対して所定の角度θをなす方向（配列方向）に直線状に配列された列（ノズル列２０ａ）を形成している。このノズル列２０ａは、配列方向と直交する方向（幅方向）において互いに間隔を空けて、２本、互いに平行に並べて設けられている。２本のノズル列２０ａは互いに同じ数のノズル２０を含む。また、搬送方向に対する配列方向の角度θは、例えば、３０度以上６０度以下に設定されている。

図２及び図３に示すように、ヘッド１０は、ノズル２０に連通し流体が流れる流路が形成された流路形成部材５０、圧電素子７０及び駆動部８０を備えている。なお、ノズル２０側よりも圧電素子７０側を上側と称し、その反対側を下側と称するが、ヘッド１０の配置方向はこれに限定されない。

流路形成部材５０は、ノズルプレート５１、連通プレート５２、圧力室プレート５３、収容プレート５４及びダンパープレート５５を有し、これらのプレートがこの順で積層して接着剤等で接合されて形成されている。これらのプレートが積層される方向（積層方向）は配列方向及び幅方向に対して直交している。各プレートは、例えば、平板形状であって、ステンレス鋼等の金属材料、シリコン、セラミックス、あるいは、ポリイミド等の合成樹脂材料などで形成されている。

ノズルプレート５１には複数のノズル２０が設けられている。ノズル２０は、ノズルプレート５１を積層方向に貫通して形成されている。ノズルプレート５１の下面は、ノズル２０が開口するノズル面を構成する。

連通プレート５２は、積層方向及び幅方向における寸法がノズルプレート５１の寸法よりも大きい。連通プレート５２にはディセンダ２１、排出個別路２２及び排出共通路３０の第１排出部分３１が設けられている。例えば、ディセンダ２１及び排出個別路２２は、ノズル２０と同数、設けられ、ノズル列２０ａ（図１）に沿って配列されている。これに対し、排出共通路３０は、幅方向において２本のノズル列２０ａの間に１本、設けられ、配列方向に延びており、一端に排出管１７が接続されている。排出共通路３０において、液体は他端側から一端側へ流れるため、他端側を上流側と称し、一端側を下流側と称することがある。

ディセンダ２１は、ノズル２０に連通する流路であって、積層方向にノズル２０と重なるように連通プレート５２を貫通して形成されている。幅方向において排出共通路３０を挟んで配置されている複数のディセンダ２１は、配列方向において互い違いになるように配置されている。

排出個別路２２は、複数のディセンダ２１から１本の排出共通路３０の第１排出部分３１へ合流させるための流路であって、幅方向においてディセンダ２１及び第１排出部分３１との間に配置され、これらを連通するように幅方向に延びている。排出個別路２２は、連通プレート５２の下面から窪んで下面に開口し、この開口部はノズルプレート５１により覆われて形成されている。幅方向において排出共通路３０を挟んで配置されている複数の排出個別路２２は、配列方向において互い違いになるように配置されている。

第１排出部分３１は、連通プレート５２を積層方向に貫通し、連通プレート５２の下面に開口しており、この開口部はノズルプレート５１により覆われている。第１排出部分３１は、幅方向に並ぶ２つの排出個別路２２の間に設けられ、配列方向に並ぶ排出個別路２２の配置範囲よりも長く配列方向に延びている。第１排出部分３１は、配列方向に対する断面が矩形状である。

圧力室プレート５３は、配列方向及び幅方向において連通プレート５２と同じ寸法を有し、積層方向において連通プレート５２と同じ又はそれよりも大きな寸法を有している。圧力室プレート５３には、排出共通路３０の第２排出部分３２、圧力室２３、供給個別路２４及び供給共通路４０の第１供給部分４１が設けられている。これらは、幅方向において、第２排出部分３２を２つの圧力室２３の間に挟み、これを２つの供給個別路２４の間に挟み、さらにこれを２つの第１供給部分４１の間に挟むように配置されている。例えば、圧力室２３及び供給個別路２４は、ノズル２０と同数、設けられているのに対し、供給共通路４０は１本、設けられている。

複数の圧力室２３は配列方向において互いに間隔を空けながら配列され、各圧力室２３は幅方向において第２排出部分３２と供給個別路２４の間に配置されている。圧力室２３は、圧力室プレート５３の下面から窪むようにして形成されており、圧力室プレート５３において圧力室２３の上側に残る部分が振動板部分５６として用いられる。

なお、上記では、振動板部分５６が圧力室プレート５３の一部として圧力室プレート５３と一体的に設けられていたが、振動板部分５６は圧力室プレート５３とは別に設けられていてもよい。この場合、圧力室２３は圧力室プレート５３を積層方向に貫通して形成され、圧力室プレート５３の上面に振動板部分５６が積層されていてもよい。圧力室２３の積層方向における寸法は、例えば、６０μｍ以上８０μｍ以下である。

圧力室２３は、圧力室プレート５３の下面に開口している。圧力室２３は、この開口部の一部を介してディセンダ２１と連通し、ディセンダ２１と積層方向に重なるように配置されている。これ以外の開口部は連通プレート５２により覆われている。圧力室２３において、ディセンダ２１は第１供給部分４１よりも第２排出部分３２の近くに配置されている。

圧力室２３は、積層方向に直交する断面において平行四辺形の形状を有している。この平行四辺形は、一対の第１辺２３ａ及び一対の第２辺２３ｂを有している。第１辺２３ａは幅方向に延び、第２辺２３ｂは、下流側（排出管１７側）ほど第２排出部分３２に近くなるように、配列方向に延びる第２排出部分３２に対して傾斜している。

この圧力室２３に連通するディセンダ２１も平行四辺形の形状であって、一対の第３辺２１ａ及び一対の第４辺２１ｂを有している。第３辺２１ａは、幅方向に延び、積層方向において圧力室２３の第１辺２３ａと連続している。第４辺２１ｂは圧力室２３の第２辺２３ｂと同様に傾斜している。幅方向において一対の第４辺２１ｂは、一対の第２辺２３ｂの間に配置されており、一対の第４辺２１ｂ間の寸法は一対の第２辺２３ｂ間の寸法よりも小さい。

供給個別路２４は、１本の供給共通路４０から複数の圧力室２３に分岐するための流路であって、幅方向において供給共通路４０の第１供給部分４１と圧力室２３との間に配置され、これらを連通するように幅方向に延びている。供給個別路２４は、圧力室２３に連通する流路であって、圧力室プレート５３の下面から窪むようにして形成され、圧力室プレート５３の下面に開口する開口部が連通プレート５２により覆われている。供給個別路２４は、圧力室２３において配列方向の上流側部分に接続されており、配列方向において排出個別路２２よりも上流側に配置されている。

第１供給部分４１は、圧力室プレート５３を積層方向に貫通し、圧力室プレート５３の下面に開口しており、この開口部は連通プレート５２により覆われている。第１供給部分４１は、配列方向に延びている。

第２排出部分３２は、圧力室プレート５３の下面から窪むようにして形成され、圧力室プレート５３の下面に開口している。これによれば、第２排出部分３２の上側を覆う部分を別に用意して接合する必要がなく、例えば、ハーフエッチングにより第２排出部分３２を容易に形成することができる。

第２排出部分３２は、第１排出部分３１と積層方向に重なるように第１排出部分３１と連通し、幅方向に並ぶ２つの圧力室２３の間において、第１排出部分３１と同様に、複数の圧力室２３が並ぶ配列方向に延びている。第２排出部分３２は、配列方向に対する断面が矩形状である。この第１排出部分３１及び第２排出部分３２は、複数の圧力室２３にディセンダ２１及び排出個別路２２を介して連通し、且つ、複数の圧力室２３から液体が排出される排出共通路３０を構成する。

この圧力室プレート５３において第２排出部分３２の上側に残る部分は、圧力室２３の上側に残る振動板部分５６と、積層方向における寸法が等しい。このため、第２排出部分３２は、積層方向の寸法が圧力室２３の寸法と等しい。これによれば、例えば、圧力室プレート５３を下面側からエッチング等により除去して、圧力室２３と共に、第２排出部分３２を同一の工程で形成することできる。なお、「等しい」とは、製造誤差など許容可能な誤差（例えば、プラスマイナス５％）を含む概念である。

第２排出部分３２における第１排出部分３１側と反対側の上面は、積層方向において、圧力室２３におけるディセンダ２１側と反対側の上面と同じ位置になる。この圧力室２３の上側を覆う振動板部分５６上において、積層方向において圧力室２３と重なる位置に圧電素子７０が配置されるため、第２排出部分３２は積層方向において圧力室２３における圧電素子７０側の面の高さまで至っている。これにより、排出共通路３０における配列方向に直交する断面積が拡張されている。

収容プレート５４は、配列方向及び幅方向において圧力室プレート５３と同じ寸法を有している。収容プレート５４には、収容部５７、中空部（第１中空部５８）及び供給共通路４０の第２供給部分４２が設けられている。これらは、幅方向において、第１中空部５８を２つの収容部５７の間に挟み、これを２つの第２供給部分４２の間に挟むように配置されている。

収容部５７は、幅方向において寸法が圧力室２３と等しく、例えば、５００μｍである。収容部５７は、積層方向において圧力室２３と重なるように配置され、配列方向に長く延び、積層方向に収容プレート５４の下面から窪んで形成されている。この収容部５７内に圧電素子７０が配置され、収容プレート５４は圧電素子７０を覆っている。

圧電素子７０は、共通電極、圧電体及び個別電極により構成されている。共通電極は、複数の圧電素子７０に共通の電極であって、振動板部分５６の上面を全体的に覆うように振動板部分５６上に積層されている。共通電極には共通リード線(図示せず)が接続されている。なお、振動板部分５６における上面は絶縁膜（図示せず）により覆われており、共通電極は絶縁膜を介して振動板部分５６の上面上に配置されていてもよい。また、振動板部分５６と共通電極とが一体的に形成されていてもよい。

圧電体は、圧力室２３毎に設けられ、振動板部分５６及び共通電極を介して圧力室２３上に配置されている。個別電極は圧電体上に配置されている。個別電極には個別リード線７１が接続されており、個別リード線７１は幅方向において収容部５７から第１中空部５８へ引き出されている。

個別電極に電圧が印加されると、圧電体が変形し、それに応じて振動板部分５６が変位する。この振動板部分５６が圧力室２３側に変位することにより、圧力室２３の容積が減少し、圧力室２３内の液体に圧力が付与されて、圧力室２３に連通するノズル２０から液体が吐出される。

第１中空部５８は、積層方向において排出共通路３０と重なるように配置され、配列方向に長く延び、積層方向に収容部５７プレートを貫通して形成されている。収容プレート５４の下面における第１中空部５８の開口部は振動板部分５６により覆われ、この第１中空部５８内の振動板部分５６上に駆動部８０が配置されている。また、第１中空部５８により収容プレート５４の上面に開口し、この開口部を介して駆動部８０は外部に現れて、制御装置等の外部機器と接続可能である。

駆動部８０は、例えば、圧電素子７０を駆動する半導体チップ等の駆動ＩＣであって、フィルム状基板８１に実装されている。このフィルム状基板８１は、例えば、ポリイミド等から成り、薄く柔軟性のあるフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）であって、駆動部８０を搭載してチップオンフィルム（ＣＯＦ８２：Chip on Film）を構成している。フィルム状基板８１の一端は、収容部５７内の圧電素子７０から第１中空部５８に延びる個別リード線７１又は共通リード線に電気的に接続され、フィルム状基板８１の他端が制御装置（図示せず）に接続されている。これにより、駆動部８０は、制御装置からの制御信号を圧電素子７０の駆動信号に変換して出力し、圧電素子７０の駆動を制御する。なお、駆動部８０はリジッド基板に搭載されていてもよい。

第２供給部分４２は、収容プレート５４を積層方向に貫通し、収容プレート５４の上面に開口している。この開口部を覆うようにダンパー膜６０が接着されている。ダンパー膜６０は、可撓性を有するフィルム状部材であって、変形することによって供給共通路４０の液体の圧力変動を抑制している。

ダンパー膜６０はダンパープレート５５により覆われている。ダンパープレート５５は、配列方向及び幅方向において収容プレート５４と同じ寸法を有している。ダンパープレート５５には、中空部（第２中空部５９）及び２つのダンパー部６１が設けられている。幅方向において、第２中空部５９を２つのダンパー部６１の間に挟むように配置されている。

第２中空部５９は、積層方向において第１中空部５８及び収容部５７と重なるように配置され、配列方向に長く延び、積層方向にダンパープレート５５を貫通して形成されている。ＣＯＦ８２は、第１中空部５８及び第２中空部５９を外部に現れている。

ダンパー部６１は、ダンパープレート５５の下面から窪んで下面に開口して形成されている。ダンパープレート５５は、積層方向においてダンパー部６１が第２供給部分４２に重なるように配置され、ダンパー膜６０の周縁に固定されている。これにより、ダンパープレート５５は、ダンパー膜６０を覆って保護している。

第２供給部分４２は、収容プレート５４の下面に開口し、この開口部を介して第１供給部分４１と連通している。この第１供給部分４１及び第２供給部分４２は、複数の圧力室２３に供給個別路２４を介して液体を供給する供給共通路４０を構成している。

供給共通路４０は、図３に示すように、上側から視た状態においてコの字状に形成されており、配列方向に延びる一対の第１部分４０ａ、及び、幅方向に延びる第２部分４０ｂを有している。一対の第１部分４０ａの各一端（上流端）に第２部分４０ｂが接続されている。第２部分４０ｂは、幅方向における中央の位置に供給管１８の一端が接続され、供給管１８の他端はタンク１９に接続されている。タンク１９は排出管１７にさらに接続され、排出管１７にポンプ１７ａが設けられている。

このポンプ１７ａによって、液体は、排出管１７、及び、これに接続される排出共通路３０を流れてタンク１９に流入する。タンク１９の液体は、供給管１８を流れ、これに接続される供給共通路４０の第２部分４０ｂに流入し、さらに、第２部分４０ｂから一対の第１部分４０ａへ分岐して流れる。そして、液体は、第１部分４０ａから複数の供給個別路２４を介して複数の圧力室２３へ分配されて、圧力室２３からディセンダ２１に流入する。このディセンダ２１の液体のうちの一部の液体がノズル２０へ流れ、残りの液体が排出個別路２２を介して排出共通路３０へ排出される。

この排出共通路３０では、圧力室２３の圧電素子７０側の面の高さまで至っている第２排出部分３２によって積層方向に拡張されている。このため、排出共通路３０に流れる液体の抵抗が低減し、この流れ方向に並び且つ排出共通路３０に連通する複数の圧力室２３における流速差が小さくなる。これにより、複数の圧力室２３のそれぞれに連通する複数のノズル２０間において、時間の経過に伴うノズル２０内の液体の粘度、並びに、ノズル２０から吐出される液滴の速度及び量についてのそれぞれバラつきが減少するため、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

＜変形例１＞
実施の形態１の変形例１に係るヘッド１１０において、図４（ａ）に示すように、排出共通路１３０の第２排出部分１３２は、幅方向に交差する面と積層方向に交差する面との間の角部が湾曲していてもよい。

例えば、第２排出部分１３２は、圧力室プレート５３において、積層方向に交差（例えば、直交）する面（上面１３２ａ）、幅方向に交差（例えば、直交）する一対の面（側面１３２ｂ）、及び、配列方向に交差（例えば、直交）する一対の面（端面）により周囲が囲まれている。この上面１３２ａと側面１３２ｂとの間の角部１３２ｃは、配列方向における断面において湾曲した弧形状に面取りされた曲面により形成されている。このようなアール状の角部１３２ｃに沿って泡が円滑に流れるため、第２排出部分１３２に泡が滞留することが防止され、泡による液体の吐出不良を抑制することができる。

＜変形例２＞
実施の形態１の変形例２に係るヘッド２１０において、図４（ｂ）に示すように、排出共通路２３０の第２排出部分２３２は、幅方向に交差する面と積層方向に交差する面との間の角部が傾斜していてもよい。

例えば、第２排出部分２３２は、圧力室プレート５３において上面２３２ａ、一対の側面２３２ｂ及び一対の端面により周囲が囲まれている。この上面２３２ａと側面２３２ｂとの間の角部２３２ｃは、配列方向における断面において上面２３２ａ及び側面２３２ｂに対して傾斜した斜線に面取りされた傾斜面により形成されている。このような傾斜した角部２３２ｃに沿って泡が円滑に流れるため、第２排出部分２３２に泡が滞留することが防止され、泡による液体の吐出不良を抑制することができる。

＜変形例３＞
実施の形態１の変形例３に係るヘッド３１０において、図５に示すように、排出共通路３３０は、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていてもよい。すなわち、排出共通路３３０は、幅方向に対向する一対の面（対向面３３０ａ）を有している。この一対の対向面３３０ａは、この間隔が下流側ほど小さくなるように、配列方向に対して線対称に一定の角度βで傾斜している。例えば、幅方向において排出個別路２２の寸法分、排出共通路３３０の寸法は拡がることができるため、配列方向における寸法が３０ｍｍの排出共通路３３０では、対向面３３０ａの角度βは８９度以下である。

これによれば、排出共通路３３０は液体が流れる抵抗が下流側ほど大きくなるため、排出共通路３３０の上流側と下流側とにおいて、排出共通路３３０に接続する排出個別路２２を流れる液体の流速の差を低減することができる。よって、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

なお、排出共通路３３０において、第１排出部分３１及び第２排出部分３２の両方について、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていてもよい。又は、排出共通路３３０において、第１排出部分３１の幅方向の寸法が下流側ほど小さくなり、第２排出部分３２の幅方向の寸法が配列方向において変化せず一定であってもよい。又は、排出共通路３３０において、第２排出部分３２の幅方向の寸法が下流側ほど小さくなり、第１排出部分３１の幅方向の寸法が配列方向において変化せず一定であってもよい。

また、変形例３において、変形例１と同様に、第２排出部分３２の角部が湾曲していてもよい。又は、変形例３において、変形例２と同様に、第２排出部分３２の角部が傾斜していてもよい。

（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係るヘッド４１０では、図６に示すように、排出共通路４３０の形状、収容プレート５４の形状及びＣＯＦ８２の位置が実施の形態１と異なる。これ以外は、実施の形態１に係るヘッド１０と同様であるため、その構成、作用及び効果の説明を省略する。

＜ヘッド＞
排出共通路４３０の第２排出部分４３２は、圧力室プレート５３を貫通して形成され、圧力室プレート５３の下面及び上面のそれぞれに開口している。第２排出部分４３２は、圧力室プレート５３の下面の開口部を介して第１排出部分３１と連通し、第１排出部分３１と積層方向に重なっている。また、第２排出部分４３２は、積層方向において、上端が、圧力室２３の上面よりも上方に位置している。

排出共通路４３０は、収容プレート５４に形成され、且つ、第２排出部分４３２に連通する第３排出部分４３３をさらに有している。第３排出部分４３３は、収容プレート５４の下面から窪むようにして形成され、収容プレート５４の下面に開口している。これによれば、例えば、ハーフエッチングにより第３排出部分４３３を容易に形成することができる。

第３排出部分４３３は、幅方向において第２排出部分４３２の寸法よりも小さな寸法を有し、幅方向において中心が第２排出部分４３２の中心と一致するように、積層方向に第２排出部分４３２と重なるように配置されている。例えば、幅方向における第３排出部分４３３の寸法ｗ１は、３００μｍ以上４００μｍ以下であって、第２排出部分４３２の寸法ｗ２は４００μｍ以上５００μｍ以下である。また、幅方向における第３排出部分４３３の寸法ｗ１は、ＣＯＦ８２の接点寸法と等しい。なお、「等しい」とは、製造誤差など許容可能な誤差（例えば、プラスマイナス５％）を含む概念である。

このため、収容プレート５４における収容部５７と第３排出部分４３３との間の部分（壁部５４ａ）を、幅方向における第３排出部分４３３の寸法が第２排出部分４３２の寸法と等しい場合に比べて大きくすることができる。よって、第３排出部分４３３に重なるようにＣＯＦ８２を収容プレート５４上に配置しても、ＣＯＦ８２の重みによる収容プレート５４の耐久性の低下を低減することができる。

第３排出部分４３３は、収容プレート５４の下面の開口部を介して第２排出部分４３２と連通している。第３排出部分４３３は、幅方向に並ぶ２つの収容部５７の間において、第１排出部分３１及び第２排出部分４３２と同様に、複数の収容部５７が並ぶ配列方向に延びている。

第１排出部分３１、第２排出部分４３２及び第３排出部分４３３は、一体になって、排出共通路４３０を構成している。この第３排出部分４３３によって排出共通路４３０が一層、拡張されるため、排出共通路４３０に流れる液体の抵抗が低減し、これに連通する複数の圧力室２３における流速差が小さくなる。よって、複数の圧力室２３のそれぞれに連通する複数のノズル２０間において、液体の粘度、並びに、吐出される液滴の速度及び量についてのバラつきを減少させ、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

第３排出部分４３３における第２排出部分４３２側と反対側の上面は、積層方向において、収容部５７における圧力室２３側と反対側の上面と同じ位置である。このため、第３排出部分４３３は、積層方向の寸法が収容部５７の寸法と等しい。例えば、積層方向における圧電素子７０の寸法を１μｍ以上２μｍ以下とし、収容部５７のたわみを２０μｍ以上３０μｍ以下とした場合、収容部５７の寸法は１００μｍである。これによれば、例えば、収容プレート５４を下面側からエッチング等により除去して、収容部５７と共に、第３排出部分４３３を同一の工程で形成することできる。なお、「等しい」とは、製造誤差など許容可能な誤差（例えば、プラスマイナス５％）を含む概念である。

収容プレート５４には、収容部５７、排出共通路４３０の第３排出部分４３３、及び供給共通路４０の第２供給部分４２が設けられている。これらは、幅方向において、第３排出部分４３３を２つの収容部５７の間に挟み、これを２つの供給共通路４０の間に挟むように配置されている。

このように、収容プレート５４では、第１中空部５８に代えて第３排出部分４３３が形成されている。このため、収容プレート５４の上面は、ダンパープレート５５の第２中空部５９を介して外部に現れ、ここにＣＯＦ８２が配置されている。ＣＯＦ８２は、第２中空部５９を介して外部機器と接続可能である。

収容プレート５４には、積層方向に貫通する複数の貫通孔４６１、及び、貫通孔４６１に配された貫通電極４６２がさらに設けられている。貫通孔４６１は、幅方向において収容部５７と第３排出部分４３３と間に設けられ、収容プレート５４の上面及び下面のそれぞれに開口している。この下面の開口部に対向して、圧電素子７０から延びる個別リード線７１及び共通リード線が配置されている。

貫通電極４６２は、銅などの金属から成り、この表面にメッキ等の処理が施されていてもよい。貫通電極４６２は、貫通孔４６１を通り、貫通孔４６１の下側開口部から出た下端が個別リード線７１に接続されている。また、貫通孔４６１の上側開口部から出た貫通電極４６２は、収容プレート５４の上面において幅方向に延びてＣＯＦ８２に接続される。これにより、ＣＯＦ８２は、貫通電極４６２及び個別リード線７１を介して圧電素子７０の個別電極に電気的に接続されている。また、ＣＯＦ８２は、積層方向において第３排出部分４３３に重なるように収容プレート５４の上面において配置され、貫通電極４６２及び共通リード線を介して電気的に接続されている。このように、貫通電極４６２によれば、収容プレート５４上の駆動部８０と収容プレート５４の収容部５７内の圧電素子７０とを貫通電極４６２によって容易に接続することができる。

＜ヘッドの製造方法＞
ヘッド４１０の製造方法では、図７（ａ）に示すように、幅方向において、第３排出部分４３３、これを互いの間に挟む一対の収容部５７、及び、これらを互いの間に挟む一対の第２供給部分４２、一対の収容部５７の一方の収容部５７と第３排出部分４３３との間の貫通孔４６１を、収容プレート５４においてヘッド４１０を構成する一組の加工部とする。なお、一組の加工部には、上記以外の加工部を含んでいてもよい。

そして、複数組の加工部が幅方向に並ぶように収容プレート５４にエッチング等の加工方法によって形成する。これにより、第３排出部分４３３及び収容部５７を同一の工程によって容易に加工することができる。また、これとは別の工程において第２供給部分４２を形成し、さらに別の工程において貫通孔４６１を形成する。

ここで、収容プレート５４の下側面から収容部５７の上側面までの寸法が、収容プレート５４の下側面から第３排出部分４３３までの寸法と等しい。このため、収容部５７及び第３排出部分４３３は収容プレート５４の下面から窪むようにハーフエッチングにより加工すると、加工時間が等しくなり、これらを容易に形成することができる。

貫通孔４６１を通り、収容プレート５４の上面において第３排出部分４３３の上側へ延びるように、貫通電極４６２を配置する。そして、収容部５７内に圧電素子７０を収容し、且つ、圧電素子７０から引き出されるリード線に貫通電極４６２が接続されるように、圧力室プレート５３上に収容プレート５４を積層して接着剤等により接合する。ここで、圧力室プレート５３の振動板部分５６上に圧電素子７０が配されるように圧力室プレート５３を配置する。

続いて、図７（ｂ）に示すように、第１供給部分４１、圧力室２３、第２排出部分４３２及び供給個別路２４を、圧力室プレート５３においてヘッド４１０を構成する一組の加工部として、圧力室プレート５３にエッチング等の加工方法によって形成する。ここで、積層方向において、第１供給部分４１に第２供給部分４２が重なって互いに連通し、圧力室２３に収容部５７が重なって互いに連通し、第２排出部分４３２に第３排出部分４３３が重なって互いに連通し、圧力室２３と第１供給部分４１とを供給個別路２４が連通するようにする。このように、第１供給部分４１、圧力室２３、第２排出部分４３２及び供給個別路２４を同一の工程によって容易に加工することができる。

こうして、接合されて一体となった収容プレート５４及び圧力室プレート５３には、それぞれ、複数組の加工部が形成されている。この組ごとに、図７（ｃ）に示すように、収容プレート５４及び圧力室プレート５３を切断する。これにより、ヘッド４１０ごとに収容プレート５４及び圧力室プレート５３の各加工部を形成するよりも容易に、複数のヘッド４１０に対する加工部を形成することができる。

続いて、図７（ｄ）に示すように、１組の加工部が形成された収容プレート５４及び圧力室プレート５３を、連通プレート５２上に積層する。この連通プレート５２には、ディセンダ２１、第１排出部分３１、及び、これらを連通する排出個別路２２が形成されている。そして、積層方向において、圧力室２３にディセンダ２１が重なって連通し、第２排出部分４３２に第１排出部分３１が重なって連通するように圧力室プレート５３と連通プレート５２とを接着剤等により接合する。なお、ディセンダ２１、第１排出部分３１及び排出個別路２２は、連通プレート５２と圧力室プレート５３との接合後に形成されてもよい。

続いて、図６に示すように、連通プレート５２に、ノズル２０が形成されたノズルプレート５１を積層して接着剤等により接合する。なお、この接合後に、ノズルプレート５１にノズル２０が形成されてもよい。

また、ＣＯＦ８２を、収容プレート５４の上面に延びる貫通電極４６２に電気的に接続する。これにより、ＣＯＦ８２の駆動部８０と圧電素子７０とが貫通電極４６２及びリード線により電気的に接続される。さらに、収容プレート５４の上面において第２供給部分４２の開口部をダンパー膜６０で覆い、このダンパー膜６０の周縁部をダンパープレート５５と収容プレート５４との間に挟むようにしてダンパープレート５５を収容プレート５４に積層して接着剤等により接合する。このようにして、ヘッド４１０が製造される。

なお、実施の形態１に係るヘッド１０においても、実施の形態２の製造方法と同様の製造方法により製造することができる。

＜変形例４＞
実施の形態２の変形例４に係るヘッド５１０において、図８に示すように、排出共通路５３０の第３排出部分５３３は、積層方向の寸法が収容部５７の寸法よりも大きくてもよい。

積層方向において、例えば、第３排出部分５３３の寸法は、収容プレート５４の半分以上であって、２００μｍ以下である。これにより、第３排出部分５３３よりも上側の収容プレート５４においてＣＯＦ８２を接合するための強度を確保することができる。

第３排出部分５３３の上面は、積層方向において収容部５７の上面よりも圧力室プレート５３側と反対側の上側に位置している。このため、積層方向における第３排出部分５３３の寸法が収容部５７の寸法よりも大きくなることにより、排出共通路４３０が拡張される。よって、排出共通路４３０を流れる液体の抵抗が低減し、排出共通路４３０に連通する複数の圧力室２３の抵抗差を小さくなる。このため、圧力室２３に連通するノズル２０から吐出される液滴のばらつきを少なくし、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

＜変形例５＞
実施の形態２の変形例５に係るヘッド６１０において、図９に示すように、幅方向において排出共通路６３０の第３排出部分６３３の中心が第２排出部分４３２の中心とずれていてもよい。なお、幅方向において、第３排出部分６３３の中心に対して第２排出部分４３２の中心を左側と称し、その反対側を右側と称するが、ヘッド６１０の配置はこれに限定されない。

ＣＯＦ８２のフィルム状基板８１は、幅方向（左右方向）に延び、左側の一端部が、収容プレート５４における第３排出部分６３３側の反対側（上面）に固定されている。フィルム状基板８１は、第３排出部分６３３上において、積層方向において第３排出部分６３３に重なる位置に配置されている。フィルム状基板８１は、固定部分から幅方向の右側に引き出されて、第３排出部分６３３よりも収容部５７側の右側において曲げられて上方へ延びている。このフィルム状基板８１において固定部分よりも他端部側の右側に駆動部８０が搭載されている。

第３排出部分６３３は、幅方向において第２排出部分４３２の中心よりも、フィルム状基板８１が一端部から延びる他端部側（右側）に中心が配置されるように形成されている。幅方向において、第３排出部分６３３の寸法が第２排出部分４３２の寸法よりも小さく、第３排出部分６３３は第２排出部分４３２よりも右側へ窪んでいる。

第３排出部分６３３は、幅方向に並ぶ２つの収容部５７間の中心よりも右側に中心が配置されており、幅方向に並ぶ２つの収容部５７のうちの左側の収容部５７よりも右側の収容部５７に近い。このため、収容プレート５４において、第３排出部分６３３と右側の収容部５７との間の部分（右側壁部５４ａ１）の寸法は、第３排出部分６３３と左側の収容部５７との間の部分（左側壁部５４ａ２）の寸法よりも小さい。例えば、幅方向における右側壁部５４ａ１の寸法は１００μｍであるのに対し、左側壁部５４ａ２の寸法は３００μｍである。

この右側壁部５４ａ１上ではフィルム状基板８１が上方へ持ち上げられているため、ＣＯＦ８２の接合荷重による負荷は左側壁部５４ａ２よりも右側壁部５４ａ１に対して小さい。このように、左側壁部５４ａ２よりも、右側壁部５４ａ１は、作用する負荷が小さいため、幅方向の寸法を小さくしている。つまり、ＣＯＦ８２の先端の方が荷重が大きいため、ＣＯＦ８２の先端を支持する左側壁部５４ａ２の幅方向の寸法を右側壁部５４ａ１よりも大きくしている。これにより、ＣＯＦ８２の接合荷重による収容プレート５４の耐久性の低下を低減することができる。

＜変形例６＞
実施の形態２の変形例６に係るヘッド７１０において、図１０に示すように、収容プレート５４における第３排出部分４３３側の反対側（上面）に配置された駆動部７８０をさらに備えてもよい。この場合、第３排出部分４３３は、幅方向の寸法が、駆動部７８０の幅方向の寸法（例えば、１０００μｍ）よりも小さくてもよい。

具体的には、駆動部７８０は、圧電素子７０を駆動する駆動回路を構成する電子部品であって、例えば、平板形状である。駆動部７８０は、第３排出部分４３３、及び、これを互いの間に幅方向において挟む２つの収容部５７に積層方向において重なるように、収容プレート５４の上面に配置されている。駆動部７８０の端子は、貫通電極４６２を介して圧電素子７０に電気的に接続されていると共に、ケーブル（図示せず）を介して外部機器に電気的に接続されている。

幅方向において、駆動部７８０の寸法が第３排出部分４３３の寸法よりも大きい。このため、駆動部７８０は、収容プレート５４における収容部５７と第３排出部分４３３との間の部分（壁部５４ａ）の上に配置されている。よって、駆動部７８０は壁部５４ａにより支持されるため、収容プレート５４に第３排出部分６３３が形成されても、収容プレート５４は耐久性を維持することができる。

この駆動部７８０にはヒートシンク７８３が装着されていてもよい。ヒートシンク７８３は、放熱体であって、駆動部７８０の収容プレート５４側と反対側の上面を覆い、駆動部７８０を放熱する。この駆動部７８０及びヒートシンク７８３は、ダンパープレート５５の第２中空部５９に配置されている。

このヒートシンク７８３を駆動部７８０に接着する接着剤には、例えば、熱伝導率が高い金属が配合された接着剤等の、高い熱伝導率の接着剤が用いられる。これにより、駆動部７８０の熱が接着剤を介してヒートシンク７８３に速やかに伝わり、駆動部７８０が効率的に冷却される。

＜変形例７＞
実施の形態２の変形例７に係るヘッド８１０において、図１１に示すように、供給共通路８４０の第２供給部分８４２は幅方向に拡がる部分（幅広部分８４３）をさらに有している。

幅広部分８４３は、収容プレート５４において収容部５７よりも上側であって、積層方向に収容部５７に重なるように、幅方向の第３排出部分４３３側へ拡がっている。幅方向において、幅広部分８４３が設けられた第２供給部分８４２の寸法は、これ以外の第２供給部分８４２の寸法、及び、第１供給部分４１の寸法よりも大きい。例えば、幅方向において第２供給部分８４２の寸法が１０００μｍであり、幅広部分８４３の寸法が３００μｍ以上４００μｍ以下である。このため、幅広部分８４３が形成されている範囲の第２供給部分８４２の寸法（第２供給部分８４２の最大寸法）が、１３００μｍ以上１４００μｍ以下である。これにより、幅広部分８４３における液体の流動を維持しながら、放熱効果を発揮することができる。

収容プレート５４において、収容部５７よりも第３排出部分４３３側と反対側だけでなく、幅広部分８４３によって収容部５７よりも上側にも第２供給部分８４２が設けられる。よって、第２供給部分８４２を画定する収容プレート５４の表面積が増える。また、第２供給部分８４２は、幅方向において幅広部分８４３によって駆動部７８０側へ突出し、駆動部７８０へ近づいている。このため、収容プレート５４の上面に配置された駆動部７８０からの熱が収容プレート５４を介して第２供給部分８４２の液体により速やかに伝わって、駆動部７８０は効率的に冷却される。

ここで、収容プレート５４がシリコン等の高伝熱性材料により形成されていれば、駆動部７８０の冷却効率はさらに向上する。このように、第２供給部分８４２は、圧力室２３に供給される液体の経路としてだけでなく、駆動部７８０を冷却する液体の経路としても兼用されるため、ノズル２０を大型化することなく、駆動部７８０を冷却することができる。

このように、収容プレート５４の上面における第２供給部分８４２の開口部が幅広部分８４３によって拡がっている。このため、これに応じて、開口部を覆うダンパー膜６０、ダンパー膜６０を挟んで第２供給部分８４２側と反対側にあるダンパー部６１、ダンパー部６１の周囲を取り囲むダンパープレート５５も幅方向に拡がっている。

なお、変形例５、６、７において、変形例４と同様に、第３排出部分４３３、６３３は、積層方向の寸法が収容部５７の寸法よりも大きくてもよい。さらに、変形例７において、変形例５と同様に、幅方向において第３排出部分４３３の中心が第２排出部分４３２の中心とずれていてもよい。さらに、変形例７において、変形例６と同様に、駆動部７８０が収容プレート５４の上面に配置されていてもよい。

また、実施の形態２及びその上記全変形例において、第２排出部分４３２及び第３排出部分４３３、５３３、６３３のそれぞれの角部は、変形例１と同様に湾曲したり、変形例２と同様に傾斜したりしていてもよい。

さらに、実施の形態２及びその上記全変形例において、変形例３と同様に、排出共通路４３０、５３０、６３０は、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていてもよい。ここで、排出共通路４３０、５３０、６３０において、第１排出部分３１、第２排出部分４３２及び第３排出部分４３３、５３３、６３３の少なくともいずれか１つの排出部分について、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていればよい。

（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係るヘッド９１０では、図１２に示すように、排出共通路９３０と供給共通路９４０との位置、及び、排出個別路９２２と供給個別路９２４との位置が実施の形態１の場合に比べてそれぞれ入れ替わっている。これ以外は、実施の形態１に係るヘッド１０と同様であるため、その構成、作用及び効果の説明を省略する。

連通プレート５２では、幅方向において、供給共通路９４０の第１供給部分９４１を２つの供給個別路９２４の間に挟み、これを２つのディセンダ２１の間に挟むように配置されている。第１供給部分９４１は連通プレート５２を積層方向に貫通し、供給個別路９２４は、連通プレート５２の下面から窪むように形成されている。供給個別路９２４は、ディセンダ２１と第１供給部分９４１とを連通している。

圧力室プレート５３では、幅方向において、第２供給部分９４２を２つの圧力室２３の間に挟み、これを２つの排出個別路９２２の間に挟み、さらにこれを２つの排出共通路９３０の第１排出部分９３１の間に挟むように配置されている。排出個別路９２２は、第１排出部分９３１と圧力室２３とを連通し、配列方向において供給個別路９２４よりも下流側に配置されている。第１排出部分９３１は、圧力室プレート５３を積層方向に貫通し、第２供給部分９４２は、圧力室プレート５３の下面から窪むようにして形成されている。第２供給部分９４２の上側に残る部分は、圧力室２３の上側に残る振動板部分５６と、積層方向における寸法が等しい。なお、「等しい」とは、製造誤差など許容可能な誤差（例えば、プラスマイナス５％）を含む概念である。

第２供給部分９４２は、第１供給部分９４１と連通し、第２供給部分９４２と一体となって供給共通路９４０を構成し、供給共通路９４０は供給管１８（図３）に接続されている。この第２供給部分９４２は積層方向において圧力室２３における圧電素子７０側の面（上面）の高さまで至っている。これにより、供給共通路９４０における配列方向に直交する断面積が拡張されている。よって、供給共通路９４０に流れる液体の抵抗が低減し、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

収容プレート５４では、幅方向において、第１中空部５８を２つの収容部５７の間に挟み、これを２つの第２排出部分９３２の間に挟むように配置されている。第２排出部分９３２は、収容プレート５４を積層方向に貫通し、第１排出部分９３１と連通し、第１排出部分９３１と一体となって排出共通路９３０を構成している。排出共通路９３０は排出管１７（図３）に接続されている。

なお、実施の形態３において、実施の形態２と同様に、図１３に示すように、供給共通路１０４０は、収容プレート５４に形成され、且つ、第２供給部分９４２に連通する第３供給部分１０４３をさらに有していてもよい。第３供給部分１０４３は、収容プレート５４の下面から窪むようにして形成され、積層方向の寸法が収容部５７の寸法と同じであって、幅方向において第２供給部分９４２の寸法よりも小さな寸法を有している。第１供給部分９４１、第２供給部分９４２及び第３供給部分１０４３は、一体になって、供給共通路１０４０を構成している。この第３供給部分１０４３によって供給共通路１０４０が一層、拡張されるため、液体の吐出特性の向上を図ることができる。

実施の形態３の変形例において、変形例４と同様に、第３供給部分１０４３は、積層方向の寸法が収容部５７の寸法よりも大きくてもよい。さらに、実施の形態３の変形例において、変形例５と同様に、幅方向において第３供給部分１０４３の中心が第２供給部分９４２の中心とずれていてもよい。さらに、実施の形態３の変形例において、変形例６と同様に、駆動部７８０が収容プレート５４の上面に配置されていてもよい。

また、実施の形態３及びその上記全変形例において、第２供給部分９４２及び第３供給部分１０４３のそれぞれの角部は、変形例１と同様に湾曲したり、変形例２と同様に傾斜したりしていてもよい。

さらに、実施の形態３及びその上記全変形例において、変形例３と同様に、供給共通路１０４０は、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていてもよい。ここで、供給共通路１０４０において、第１供給部分９４１、第２供給部分９４２及び第３供給部分１０４３の少なくともいずれか１つの排出部分について、幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっていればよい。

なお、上記全実施の形態は、互いに相手を排除しない限り、互いに組み合わせてもよい。また、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明は実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなくその構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。

本発明のヘッドは、液体の吐出特性の向上を図ることができるヘッド等として有用である。

１０ ：ヘッド
２０ ：ノズル
２１ ：ディセンダ
２３ ：圧力室
３０ ：排出共通路
３１ ：第１排出部分
３２ ：第２排出部分
５２ ：連通プレート
５３ ：圧力室プレート
５４ ：収容プレート
５７ ：収容部
７０ ：圧電素子
８０ ：駆動部
８１ ：フィルム状基板
１１０ ：ヘッド
１３０ ：排出共通路
１３２ ：第２排出部分
２１０ ：ヘッド
２３０ ：排出共通路
２３２ ：第２排出部分
３１０ ：ヘッド
３３０ ：排出共通路
４１０ ：ヘッド
４３０ ：排出共通路
４３２ ：第２排出部分
４３３ ：第３排出部分
４６２ ：貫通電極
５１０ ：ヘッド
５３０ ：排出共通路
５３３ ：第３排出部分
６１０ ：ヘッド
６３０ ：排出共通路
６３３ ：第３排出部分
７１０ ：ヘッド
７８０ ：駆動部
８１０ ：ヘッド
９１０ ：ヘッド
９４０ ：供給共通路
９４１ ：第１供給部分
９４２ ：第２供給部分
１０４０ ：供給共通路

Claims (13)

1. ノズルが形成されたノズルプレートと、
   前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記ノズルと連通するディセンダが形成された連通プレートと、
   前記連通プレートに積層され、且つ、前記ディセンダと連通する圧力室が形成された圧力室プレートと、
   前記連通プレートと前記圧力室プレートとの積層方向において前記圧力室と重なる位置に配置される圧電素子と、
   複数の前記圧力室が並ぶ配列方向に延び、且つ、複数の前記圧力室に連通する排出共通路と、を備え、
   前記排出共通路は、
   前記ノズルプレートに形成されずに前記連通プレートに形成され、且つ、前記積層方向において前記ノズル側の開口が前記ノズルプレートに覆われている第１排出部分と、
   前記第１排出部分と連通し、且つ、前記圧力室プレートに形成され、前記積層方向において前記圧力室における前記圧電素子側の面の高さまで至っている第２排出部分と、を有している、ヘッド。
2. 前記第２排出部分は、前記積層方向の寸法が前記圧力室の寸法と等しい、請求項１に記載のヘッド。
3. 前記第２排出部分は、前記連通プレート側の面から窪むように前記圧力室プレートに形成されている、請求項１又は２に記載のヘッド。
4. 前記第２排出部分は、前記配列方向及び前記積層方向に直交する幅方向に交差する面と前記積層方向に交差する面との間の角部が湾曲している、請求項１～３のいずれか一項に記載のヘッド。
5. 前記第２排出部分は、前記配列方向及び前記積層方向に直交する幅方向に交差する面と前記積層方向に交差する面との間の角部が傾斜している、請求項１～３のいずれか一項に記載のヘッド。
6. 前記圧力室プレートに積層され、且つ、前記圧電素子を収容する収容部が形成された収容プレートをさらに備え、
   前記排出共通路は、前記収容プレートに形成され、且つ、前記第２排出部分に連通する第３排出部分をさらに有している、請求項１～５のいずれか一項に記載のヘッド。
7. 前記第３排出部分は、前記積層方向の寸法が前記収容部の寸法と等しい、請求項６に記載のヘッド。
8. 前記第３排出部分は、前記積層方向の寸法が前記収容部の寸法よりも大きい、請求項６に記載のヘッド。
9. 前記収容プレートにおける前記第３排出部分の反対側に配置された、前記圧電素子を駆動する駆動部をさらに備え、
   前記第３排出部分は、前記配列方向及び前記積層方向に直交する幅方向の寸法が、前記駆動部の幅方向の寸法よりも小さい、請求項６～８のいずれか一項に記載のヘッド。
10. 前記収容プレートにおける前記第３排出部分の反対側に一端部が固定されたフィルム状基板と、
    前記フィルム状基板の他端部側に搭載された駆動部とをさらに備え、
    前記第３排出部分は、前記配列方向及び前記積層方向に直交する幅方向において前記第２排出部分の中心よりも前記フィルム状基板が前記一端部から延びる前記他端部側に中心が配置されるように形成されている、請求項６～８のいずれか一項に記載のヘッド。
11. 前記収容プレートを貫通し、且つ、前記駆動部と前記圧電素子とに接続される貫通電極をさらに備えている、請求項９又は１０に記載のヘッド。
12. 前記排出共通路は、前記配列方向及び前記積層方向に直交する幅方向の寸法が下流側ほど小さくなっている、請求項１～１１のいずれか一項に記載のヘッド。
13. ノズルが形成されたノズルプレートと、
    前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記ノズルと連通するディセンダが形成された連通プレートと、
    前記連通プレートに積層され、且つ、前記ディセンダと連通する圧力室が形成された圧力室プレートと、
    前記連通プレートと前記圧力室プレートとの積層方向において前記圧力室と重なる位置に配置される圧電素子と、
    複数の前記圧力室が並ぶ配列方向に延び、且つ、複数の前記圧力室に連通する供給共通路と、を備え、
    前記供給共通路は、
    前記ノズルプレートに形成されずに前記連通プレートに形成され、且つ、前記積層方向において前記ノズル側の開口が前記ノズルプレートに覆われている第１供給部分と、
    前記第１供給部分と連通し、且つ、前記圧力室プレートに形成され、前記積層方向において前記圧力室における前記圧電素子側の面の高さまで至っている第２供給部分と、を有している、ヘッド。

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