JP5948992B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

特許文献１には、２列のノズル列からなるノズル列群と、６列のノズル列からなるノズル列群とを含むインク流路が形成されたキャビティユニットと、キャビティユニットの上面に配置された３つの圧電層、及び、最も上側の圧電層を上下から挟むように配置された電極とを有する圧電アクチュエータと、を備えたインクジェットヘッドが記載されている。また、圧電アクチュエータにおいて、上述の２つのノズル列群が互いに間隔をあけて配置されており、これらの間に、検査用電極パターンが形成されている。そして、検査用電極パターンを用いて圧電層の静電容量を測定し、測定した静電容量に応じて、電極に付与する駆動電位を決定している。

特開２０１０−１５５４０７号公報

ここで、特許文献１の圧電アクチュエータでは、３つの圧電層の部分毎の厚みのばらつきなどによって、部分毎に厚みがばらついてしまう。そして、圧電アクチュエータの厚みが部分毎にばらついていると、全ての電極に対して同じ駆動電位を付与して圧電アクチュエータを駆動すると、ノズルの間でインクの吐出特性にばらつきが生じてしまう。

特許文献１では、上述したように、２つのノズル列群の間に設けた検査用電極パターンなどを用いて測定した静電容量に基づいて、圧電アクチュエータの駆動電極に付与する駆動電位を決定している。しかしながら、２つのノズル列群の間には上記静電容量を検出するための構成が１つ設けられているだけであるので、圧電層の部分毎の静電容量のばらつき、つまり、圧電アクチュエータの部分毎の厚みのばらつきを検出することはできない。そのため、複数の圧電アクチュエータの間では、駆動電位を異ならせることができるものの、１つの圧電アクチュエータにおいては、全ての電極に同じ駆動電位が付与されることとなり、ノズル間でのインクの吐出特性のばらつきを抑えることはできない。

本発明の目的は、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することが可能な液体吐出装置を提供することである。

第１の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットには、前記複数の圧力室とは別に、前記複数のノズルとは連通しない複数の検査用空間が設けられており、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第１の層と、前記第１の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた、少なくとも圧電層を含む第２の層と、前記第２の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記第２の層の前記複数の検査用空間と重なる部分に設けられた複数の検査用電極と、前記複数の検査用電極とそれぞれ導通した、前記検査用電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の検査用空間と重なる部分であって、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部から、前記一方向と直交する直交方向にずれた位置に設けられており、前記一方向に沿って配列された複数の第１検査部を含むことを特徴とする。

第２の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を覆う第１の層と、前記第１の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた、少なくとも圧電層を含む第２の層と、前記第２の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記複数の駆動電極のうち、少なくとも２以上の駆動電極とそれぞれ導通した、当該駆動電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の圧力付与部のうち、前記パッドと導通した前記駆動電極を含む前記圧力付与部によって形成された、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列された複数の第１検査部を含むことを特徴とする。

これらの発明によると、圧力室と同じく一方向に沿って配列された複数の第１検査部の共振周波数に応じて、駆動電極に付与する駆動電位などを決定することにより、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、第２の発明では、複数の圧力付与部のうち一部の圧力付与部が第１検査部を兼ねているため、別途専用の検査部を設ける場合に比べて、装置を小型化することができる。

第３の発明に係る液体吐出装置は、第１又は第２の発明に係る液体吐出装置において、前記第１の層と前記第２の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の第１検査部が、前記圧電アクチュエータにおいて、前記一方向に対称に配置されていることを特徴とする。

本発明によると、圧電アクチュエータにおいて、検査用電極が一方向に対称に配置されるため、第１の層と第２の層とを接合する際の加熱で、第１、第２の層が、第２の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差によって反ってしまうのを抑制することができる。

第４の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第３のいずれか発明に係る液体吐出装置において、前記第１の層と前記第２の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の第１検査部には、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列の、前記一方向における両端部に対応して設けられたものが含まれることを特徴とする。

第１の層と第２の層とを接着剤で接合する場合、接合面に空気を挟みこまないようにするために、接合面の中央部に接着剤を塗布し、接合する部材を互いに押し付けることによって塗布した接着剤を接合面全体に広げて接合を行うことがある。この場合、接合面の端部には、最後に接着剤が到達することとなるため接着剤が行き届きにくく、当該端部における接着剤の厚みにばらつきが生じやすい。そのため、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルでは液体の吐出特性にばらつきが生じやすい。

これに対して、本発明では、少なくとも、一方向に沿って配列された圧力付与部の列の、一方向における両端部に対応して第１検査部が設けられているため、これらの第１検査部の共振周波数に応じて、駆動電位などを決定することにより、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルからの液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

第５の発明に係る液体吐出装置は、第４の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の第１検査部には、さらに、前記圧力室列の前記一方向における中央部に対応して設けられたものが含まれることを特徴とする。

本発明によると、圧力付与部の列の一方向に関する略中央部に対応してさらに第１検査部が設けられているため、これらの第１検査部の共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルと、中央部側の圧力付与部に対応するノズルとの間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

第６の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第５のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記パッドの面積が、前記駆動電極の面積よりも大きいことを特徴とする。

本発明によると、パッドの面積が駆動電極の面積よりも大きいので、プローブを容易にパッドに接触させることができる。

第７の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前記第２の層には、前記駆動電極及び前記検査用電極とは別に、電圧が印加されない複数のダミー電極が設けられており、前記複数のダミー電極は、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と、前記一方向に沿って一列又は二列に並んでいることを特徴とする。
第８の発明に係る液体吐出装置は、第２の発明に係る液体吐出装置において、前記第２の層には、前記駆動電極とは別に、電圧が印加されない複数のダミー電極が設けられており、前記複数のダミー電極は、前記複数のパッドと前記一方向に沿って一列に並んでいることを特徴とする。

本発明によると、圧電層に、検査用電極及びパッドの少なくともいずれか一方と、一方向に沿って一列又は二列に並ぶ又はパッドと一方向に沿って一列に並ぶダミー電極が設けられているため、第２の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差による、第１、第２の層の反りを抑制することができる。

第９の発明に係る液体吐出装置は、第７又は８の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の第１検査部は、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列のある偏った部分に位置する前記圧力付与部に対応して設けられ、前記複数のダミー電極が、前記複数のパッドよりも面積が小さく、前記複数のパッドと前記一方向に沿って一列に配列されている複数の第１ダミー電極を含むことを特徴とする。

仮に、圧力付与部の列から一方向にずれた領域の全域にわたって第１検査部が配置されているとすると、面積の大きいパッドが、第２の層の圧力付与部の列の全長にわたる領域に配置されることとなる。この場合には、第２の層とパッドとの線膨張係数の差による、第１、第２の層の反りが発生しやすい。さらに、このような場合には、第２の層のパッドの間の領域などにダミー電極を設けたとしても、第１、第２の層の反りを十分に抑制することができない虞がある。

これに対して、本発明では、圧力付与部の列のある偏った部分に位置する圧力付与部に対応して第１検査部が設けられているため、上述の場合に比べて、第１、第２の層に反りが発生しにくい。さらに、パッドよりも面積の小さい第１ダミー電極がパッドと一方向に沿って一列に並んでいるため、第１、第２の層の反りを確実に抑制することができる。

第１０の発明に係る液体吐出装置は、第７の発明に係る液体吐出装置において、前記複数のダミー電極が、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と一緒になって、前記一方向に沿って一列又は二列に等間隔に配列されていることを特徴とする。
第１１の発明に係る液体吐出装置は、第８の発明に係る液体吐出装置において、前記複数のダミー電極が、前記複数のパッドと一緒になって、前記一方向に沿って一列に等間隔に配列されていることを特徴とする。

本発明によると、検査用電極とダミー電極、及び、パッドとダミー電極の少なくとも一方が、一方向に沿って一列又は二列に均等に並ぶため、第２の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差による第１、第２の層の反りを抑制することができる。

第１２の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第１１のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列が、前記一方向と直交する直交方向に沿って複数配列されており、前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部の列の前記一方向に関する両側に設けられており、前記直交方向に沿って配列された複数の第２検査部を含むことを特徴とする。

本発明によると、圧力付与部の列の一方向に関する両側の第２領域に、直交方向に配列された複数の第２検査部を設けられているため、圧力付与部の列が複数設けられている場合でも、これらの検査部の共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、異なる圧力付与部の列に対応するノズルの間での、液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

第１３の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見た前記検査用空間の形状が円形であることを特徴とする。

本発明によると、検査用電極に印加する電圧の周波数を変化させたときに、出力される電流のピークが鋭くなる。したがって、第１検査部の共振周波数を検出しやすい。

第１４の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第１２の発明に係る液体吐出装置において、前記第１検査部の形状が前記圧力付与部の形状と同じであることを特徴とする。

本発明によると、第１検査部の共振周波数と圧力付与部の共振周波数とがほぼ同じになる。したがって、第１検査部の共振周波数を検出し、その共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、ノズルからの液体の吐出特性のばらつきを確実に抑制することができる。

本発明によれば、複数の第１検査部の共振周波数に応じて、駆動電極に付与する駆動電位などを決定することにより、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の部分拡大図である。 図３のIV−IV線断面図である。 プリンタの製造手順を示す工程図である。 検査部の共振周波数を検出するときの状態を示す図である。 電極に印加する電圧の周波数と出力される電流値との関係を示す図である。 第２実施形態の図３相当の図である。 変形例１の図３相当の図である。 変形例２の図３相当の図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。

図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、ガイドバー５に沿って走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル１５（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを走査方向と直交する紙送り方向に搬送する。

そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４によって紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、用紙搬送ローラ４によって排出される。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。インクジェットヘッド３は、図２、図３に示すように、ノズル１５や後述の圧力室１０などのインク流路が形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ２２とを備えている。

流路ユニット２１は、４枚のプレート３１〜３４が、上からこの順に積層された状態で、接着剤により互いに接合されることによって形成されている。ここで、プレート３１〜３４のうち、最も下側のプレート３４を除く３枚のプレート３１〜３３はステンレスなどの金属材料などからなる。また、プレート３４は合成樹脂材料からなる。あるいは、プレート３４もプレート３１〜３３と同じ金属材料からなるものであってもよい。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は走査方向を長手方向とする略長方形の平面形状を有している。また、複数の圧力室１０は、紙送り方向に沿って千鳥状に配列されることによって圧力室列９を形成しており、プレート３１には、このような圧力室列９が走査方向に４つ配列されている。

また、プレート３１には、略円形の平面形状を有する複数の検査用空間１７ａ〜１７ｃが形成されている。検査用空間１７ａは、各圧力室列９の紙送り方向に関する両端部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ３つずつ形成されており、紙送り方向に沿って配列されている。検査用空間１７ｂは、各圧力室列９の紙送り方向に関する略中央部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ１つずつ形成されており、検査用空間１７ａと紙送り方向に配列されている。検査用空間１７ｃは、４つの圧力室列９の紙送り方向に関する両側に８つずつ形成されており、走査方向に配列されている。

プレート３２には、圧力室１０の長手方向の一方及び他方の端部と重なる部分に、それぞれ、略円形の貫通孔１２、１３ａが形成されている。プレート３３には、マニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、各圧力室列９において複数の圧力室１０が千鳥状に配列されているのに対応して、各圧力室列９の走査方向の一方側に配置された圧力室１０の貫通孔１２側の略半分、及び、他方側に配置された圧力室１０の貫通孔１２側の略半分とそれぞれ重なるように、各圧力室列９に対して紙送り方向に２列に延びている。また、マニホールド流路１１には、その基端部に連通するインク供給口８からインクが供給される。また、プレート３３には、貫通孔１３ａと重なる部分に略円形の貫通孔１３ｂが形成されている。プレート３４には、貫通孔１３ｂと重なる部分にノズル１５が形成されている。

そして、以上のような流路ユニット２１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して複数の圧力室１０と連通しており、各圧力室１０は、対応する貫通孔１３ａ、１３ｂによって形成されるディセンダ流路１３を介してノズル１５に連通している。これにより、流路ユニット２１には、マニホールド流路１１と、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路が形成されている。なお、検査用空間１７ａ〜１７ｃは、これらのインク流路とは連通しない独立した空間となっている。

圧電アクチュエータ２２は、インク分離層４１、セラミックス層４２、圧電層４３、共通電極４４、複数の個別電極４５、複数の検査用電極４６、複数のパッド４７、複数のダミー電極４８ａ〜４８ｃなどを備えている。

インク分離層４１は、ステンレスなどの金属材料からなる板状の部材で、圧力室１０及び検査用空間１７ａ〜１７ｃを覆うように、接着剤によってプレート３１の上面に接合されている。インク分離層４１は、圧力室１０内のインクがセラミックス層４２に接触しないようにするためのものである。セラミックス層４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、インク分離層４１の上面に接着剤２６によって接合されている。圧電層４３は、セラミックス層４２と同様の圧電材料からなり、セラミックス層４２の上面に配置されている。また、セラミックス層４２及び圧電層４３は、複数の圧力室１０及び複数の検査用空間１７ａ〜１７ｃにまたがって連続的に延びている。

なお、セラミックス層４２は、圧電層４３とは異なり、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。また、互いに積層されたインク分離層４１及びセラミックス層４２の代わりに１つの部材、あるいは互いに積層された３以上の部材が配置されていてもよい。

ここで、インクジェットヘッド３では、プレート３１〜３４の間や、プレート３１とインク分離層４１との間にも接着剤が存在しているが、図４では、図面をわかりやすくするために、上述の接着剤２６以外の接着剤については、図示を省略している。

共通電極４４は、セラミックス層４２と圧電層４３との間に形成されており、そのほぼ全域にわたって延びている。共通電極４４は、圧電層４３に形成されたスルーホール３９を介して圧電層４３の上面に形成された表面電極３８に引き出されている。表面電極３８には、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣが接続されており、共通電極４４は、ドライバＩＣにより、常にグランド電位に保持されている。

複数の個別電極４５は、圧力室１０よりも一回り小さい略長方形の平面形状を有しており、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０の略中央部と重なる部分に配置されている。また、個別電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側に、圧力室１０と対向しない位置まで延びており、その先端部が接続端子４５ａとなっている。接続端子４５ａには図示しない配線部材を介してドライバＩＣが接続されている。そして、個別電極４５には、ドライバＩＣにより、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。

複数の検査用電極４６は、検査用空間１７ａ〜１７ｃよりも一回り小さい略円形の平面形状を有しており、圧電層４３の上面の検査用空間１７ａ〜１７ｃの略中央部と重なる部分に配置されている。

ここで、共通電極４４、複数の個別電極４５及び複数の検査用電極４６がこのように配置されているのに対応して、圧電層４３の、個別電極４５と共通電極４４とに挟まれた部分、及び、検査用電極４６と共通電極４４とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。

複数のパッド４７は、紙送り方向に関する長さが個別電極よりも長くなった略長方形の平面形状を有しており、個別電極４５よりも面積が大きくなっている。複数のパッド４７は、複数の検査用電極４６に対応して設けられており、対応する検査用電極４６と走査方向に隣接して配置されている。そして、互いに対応する検査用電極４６とパッド４７とは、圧電層４３の上面に形成された導通部４９を介して互いに導通している。

ダミー電極４８ａは、検査用電極４６とほぼ同じ略円形の平面形状を有しており、圧電層４３の上面の、検査用電極４６の紙送り方向に関する両側の部分に配置されている。ダミー電極４８ｂは、紙送り方向に関する長さがパッド４７よりも短い略長方形の平面形状を有している。ダミー電極４８ｂは、圧電層４３の上面のパッド４７の紙送り方向に関する両側の部分にそれぞれ配置されている。

ダミー電極４８ｃは、走査方向に関する長さがダミー電極４８ｂよりも短い略長方形の平面形状を有している。ダミー電極４８ｃは、圧電層４３の上面の、検査用空間１７ａに対応する検査用電極４６及びパッド４７と、検査用空間１７ｂに対応する検査用電極４６及びパッド４７との間の部分に配置されており、紙送り方向に配列されている。また、ダミー電極４８ｃは、走査方向に２列に配列されており、一方の列を形成するダミー電極４８ｃが、検査用電極４６及びダミー電極４８ａと紙送り方向に並んでおり、もう一方の列を形成するダミー電極４８ｃが、パッド４７及びダミー電極４８ｂと紙送り方向に並んでいる。本実施形態において、ダミー電極４８ｂと、２列のダミー電極４８ｃのうちパッド４７及びダミー電極４８ｂと紙送り方向に並んでいる列のダミー電極４８ｃとが「第１ダミー電極」であり、ダミー電極４８ａと、２列のダミー電極４８ｃのうち検査用電極４６及びダミー電極４８ａと紙送り方向に並んでいる列のダミー電極４８ｃとが「第２ダミー電極」である。

ここで、ダミー電極４８ａ〜４８ｃは、他の電極や配線などとは接続されておらず、個別電極４５や検査用電極４６とは異なり、電圧が印加されることはない。

そして、以上のような構成の圧電アクチュエータ２２は、複数の圧力室１０と重なる部分が、それぞれ、対応する圧力室１０内のインクに圧力を付与するための圧力付与部２２ａとなっている。そして、複数の圧力付与部２２ａは、複数の圧力室１０と同様に、紙送り方向に千鳥状に配列されることによってそれぞれ形成されており、走査方向に配列された４つの圧力付与部２２ａの列を形成している。

また、圧電アクチュエータ２２は、検査用空間１７ａ〜１７ｃと重なる部分が、それぞれ、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３となっている。これにより、検査部２２ｂ１、２２ｂ２は、それぞれ、圧力付与部２２ａの列の紙送り方向に関する両端部及び略中央部から、走査方向に関する両側にずれた位置に配置され、紙送り方向に沿って配列されている。また、検査部２２ｂ３は、４つの圧力付与部２２ａの列の紙送り方向に関する両側に配置され、走査方向に沿って配列されている。本実施形態において、検査部２２ｂ１及び検査部２２ｂ２が「第１検査部」であり、検査部２２ｂ３が「第２検査部」である。

そして、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３がこのように配置されることにより、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３は、圧電アクチュエータ２２の紙送り方向に関する中心に位置し、且つ、走査方向に延びた直線Ｌに関して対称に配置されている。すなわち、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３は、圧電アクチュエータ２２において、紙送り方向に対称に配置されている。さらに、ダミー電極４８ａ〜４８ｃも、直線Ｌに関して対称に配置されている。

ここで、インクジェットヘッド３において、圧電アクチュエータ２２を駆動してノズル１５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２２においては、予め、ドライバＩＣにより、全ての個別電極４５がグランド電位に保持されている。あるノズル１５からインクを吐出させる際には、対応する個別電極４５の電位を駆動電位に切り換える。すると、圧電層４３の当該個別電極４５と共通電極４４とに挟まれた部分に電圧が印加され、圧電層のこの部分に分極方向と平行な電界が発生する。そして、この電界により、圧電層４３のこの部分は、分極方向と直交する水平方向に収縮し、インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の圧力室１０と重なる部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形して、圧力室１０の容積が減少する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

次に、プリンタ１の製造方法について図５のフローチャートを用いて説明する。プリンタ１を製造するには、図５に示すように、まず、インクジェットヘッド３を製造する（ステップＳ１０１、以下、単にＳ１０１などとする）。

このとき、これらの部材のうちある２つの部材を接合する場合に、接合面の略中央部に接着剤を塗布するとともに、これら２つの部材を互いに押し付けることによって、塗布した接着剤を接合面全体に広げる。これにより、これら２つの部材を接合した後に、接合面に空気が残留してしまうのを防止することができる。

続いて、複数の検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数を検出する（Ｓ１０２）。具体的には、例えば、図６に示すように、共通電極４４に電流検出装置６１を接続するとともに、検査用電極４６に対応するパッド４７に、電圧印加装置６２に接続されたプローブ６３を接触させる。そして、電圧印加装置６２により、プローブ６３からパッド４７及び導通部４９を介して検査用電極４６に電圧を印加するとともに、その周波数を順次変化させ、共通電極４４から出力される電流値Ｉｅを検出する。

このとき、図７に示すように、検査用電極４６に印加された電圧の周波数が検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数となったときに、当該周波数が検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数以外の周波数であるときよりも、共通電極４４から出力される電流値Ｉｅが極端に大きくなる。このことを利用して、電流値Ｉｅのピークが得られたときに、検査用電極４６に印加された電圧の周波数を、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数として検出する。

ここで、圧力付与部２２ａについても、上述したのと同様、図７に示すように、個別電極４５に印加された電圧の周波数が圧力付与部２２ａの共振周波数となったときに、当該周波数が圧力付与部２２ａの共振周波数以外の周波数であるときよりも、共通電極４４から出力される電流値Ｉｄが極端に大きくなる。

一方、第１実施形態では、検査用空間１７ａ〜１７ｃは圧力室１０と平面形状が異なっているため、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数は、圧力付与部２２ａの共振周波数とは異なっている。より詳細には、例えば、図７に示すように、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の１次振動モードにおける共振周波数Ｆｅ１が、圧力付与部２２ａの１次振動モードにおける共振周波数Ｆｄ１と、２次振動モードにおける共振周波数Ｆｄ２のほぼ中間の周波数となっている。そして、第１実施形態では、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数として１次振動モードでの共振周波数Ｆｅ１を検出する。

次に、複数の検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数Ｆｅ１が、所定範囲Ｒに収まっているか否かをそれぞれ判定する（Ｓ１０３）。そして、いずれかの検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数Ｆｅ１が上記所定範囲Ｒから外れている場合には（Ｓ１０３：ＮＯ）、圧電アクチュエータ２２が不良品であるとして、当該圧電アクチュエータ２２を有するインクジェットヘッド３を破棄し、又は、当該インクジェットヘッド３を分解してリサイクルするための工程に送り（Ｓ１０４）、フローを終了する。

一方、全ての検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数Ｆｅ１が、上記所定範囲Ｒに収まっている場合には（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、共振周波数Ｆｅ１に応じて、複数の個別電極４５に付与する駆動電位を個別に決定する（Ｓ１０５）。

そして、この後、インクジェットヘッド３にドライバＩＣを取り付ける、インクジェットヘッド３をキャリッジ２に組み付けるなど、プリンタ１の製造のための以降の製造工程に進み（Ｓ１０６）、プリンタ１の完成によってフローを終了する。

以上に説明した第１実施形態によると、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数Ｆｅ１は、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の厚みと相関関係にある。また、検査部２２ｂ１、２２ｂ２は、圧力付与部２２ａの列から走査方向の両側にずれた位置に紙送り方向に沿って配列されている。したがって、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数Ｆｅ１を検出し、検出した共振周波数Ｆｅ１に応じて複数の個別電極４５に付与する駆動電位を決定することにより、複数のノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、インクジェットヘッド３を製造する際に、上述したように、接合面の中央部に接着剤を塗布し、接合する２つの部材を互いに押し付けることによって塗布した接着剤を接合面全体に広げてこれら２つの部材の接合を行う場合、接合面の端部には、最後に接着剤が到達することとなるため、接着剤が行き届きにくい。そのため、当該端部における接着剤の厚みにばらつきが生じやすく、紙送り方向に関する両端側の圧力付与部２２ａに対応するノズル１５は、中央部側の圧力付与部２２ａに対応するノズル１５よりもインクの吐出特性にばらつきが生じやすい。

これに対して、第１実施形態では、圧力付与部２２ａの列の、紙送り方向に関する両端部から走査方向に関する両側にずれた位置に、それぞれ、紙送り方向に配列された検査部２２ｂ１が設けられている。これにより、検査部２２ｂ１の共振周波数に応じて紙送り方向に関する両端側の圧力付与部２２ａの駆動電位を決定することにより、これらの圧力付与部２２ａに対応する複数のノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきを確実に抑制することができる。

また、第１実施形態では、圧力付与部２２ａの列の、紙送り方向に関する略中央部から走査方向に関する両側にずれた位置に、さらに検査部２２ｂ２が設けられている。圧電アクチュエータ２２には、上述の通り、紙送り方向に関する両端側と中央部側とで接着剤２６の厚みに大きな差ができる。これに対して、第１実施形態では、検査部２２ｂ１に加えて、圧力付与部２２ａの列の紙送り方向に関する中央部から走査方向に関する両側にずれた位置に検査部２２ｂ２が設けられている。したがって、検査部２２ｂ１、２２ｂ２の共振周波数に応じて、圧力付与部２２ａに対する駆動電位を決定することにより、紙送り方向に関する両端側のノズル１５と中央部側ノズ１５との間におけるインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、第１実施形態では、各圧力付与部２２ａの列に対して、検査部２２ｂ１、２２ｂ２が設けられている。さらに、４つの圧力付与部２２ａの列の紙送り方向に関する両側に、走査方向に沿って配列された検査部２２ｂ３が設けられている。したがって、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数に応じて、各圧力付与部２２ａに対する駆動電位を決定することにより、互いに異なる圧力付与部２２ａに対応するノズル１５の間においても、インクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、第１実施形態では、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の平面形状が略円形であるので、検査用電極４６に印加する電圧の周波数を変化させたときに共通電極４４から出力される電流値Ｉｅピークが鋭くなる。したがって、共振周波数を検出しやすい。

また、第１実施形態では、パッド４７の面積が、個別電極４５の面積よりも大きくなっているので、プローブ６３を容易にパッド４７に接触させることができる。

また、圧電アクチュエータ２２では、圧電層４３と、その上面に形成された個別電極４５、検査用電極４６及びパッド４７との間には線膨張係数の差がある。そのため、仮に、圧電層４３の上面にダミー電極４８ａ〜４８ｃが配置されていないとすると、圧電層４３とセラミックス層４２とを接着剤で接合する際の加熱により、圧電層４３、及び、圧電層４３と接合されたインク分離層４１及びセラミックス層４２は、上記線膨張係数の差によって反ってしまう虞がある。

これに対して、第１実施形態では、圧電層４３の上面の検査用電極４６の紙送り方向に関する両側の領域にダミー電極４８ａが配置されている。また、圧電層４３の上面のパッド４７の紙送り方向に関する両側の領域にダミー電極４８ｂが配置されている。また、圧電層４３の上面の検査部２２ｂ１に対応する検査用電極４６及びパッド４７と、検査部２２ｂ２に対応する検査用電極４６及びパッド４７との間に、紙送り方向に沿って２列に配列された複数のダミー電極４８ｃが形成されている。すなわち、圧電層４３の上面には、その全域にわたって均等に、個別電極４５、検査用電極４６、パッド４７及びダミー電極４８ａ〜４８ｃのいずれかが配置されている。したがって、上記線膨張係数の差によるインク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層の反りを抑制することができる。

さらに、第１実施形態では、検査用電極４６とダミー電極４８ａ、４８ｃ、及び、パッド４７とダミー電極４８ｂ、４８ｃとが、それぞれ、紙送り方向にほぼ等間隔に配列されている。したがって、圧電層４３の上面にはその全域にわたってきわめて均等に、個別電極４５、検査用電極４６、パッド４７及びダミー電極４８ａ〜４８ｃのいずれかが配置される。したがって、上記インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを確実に抑制することができる。

加えて、第１実施形態では、検査用電極４６、パッド４７及びダミー電極４８ａ〜４８ｃが、直線Ｌに関して対称に配置されているため、上記線膨張係数の差によって圧電層４３に加わる応力が、直線Ｌに関して対称に加わることとなる。したがって、直線Ｌを挟んだ両側の部分の間に応力の偏りがなく、上記インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを確実に抑制することができる。

また、第１実施形態では、以上のように、圧力付与部２２ａの列から走査方向に関する両側にずれた領域のうち、紙送り方向に関する両端部及び略中央部に対応する領域にのみ検査部２２ｂ１、２２ｂ２が配置されているなど、複数の検査部２２ｂ１〜２２ｂ３は圧電アクチュエータ２２において偏って配置されている。すなわち、検査用電極４６やパッド４７は、圧電層４３の上面の偏った領域に配置されている。そして、ダミー電極４８ａ〜４８ｃが、圧電層４３の検査用電極４６やパッド４７が形成されていない領域に配置されることで、圧電層４３の上面の全域にわたって均等に、個別電極４５、検査用電極４６、パッド４７及びダミー電極４８ａ〜４８ｃのいずれかが配置されている。

ここで、第１実施形態とは異なり、圧力付与部２２ａの列の両側の領域に、その全域にわたって、紙送り方向に配列された複数の検査部を設けることが考えられる。この場合でも、圧電層４３の上面の全域にわたって均等に、個別電極４５、検査用電極４６及びパッド４７のいずれかが配置される。しかしながら、この場合には、圧電層４３の上面に個別電極４５よりも面積の大きいパッド４７が多数配置されることとなるため、上記インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りが発生しやすくなってしまう。また、この場合には、圧電層４３の上面のパッド４７の間の領域などにさらにダミー電極を設けたとしても、上記インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを十分に抑制することができない虞がある。

これに対して、第１実施形態では、上述の通り、検査用電極４６やパッド４７が、圧電層４３の上面の偏った領域に配置されている。そして、圧電層４３の上面のパッド４７の間の部分に、パッド４７よりも面積の小さいダミー電極４８ｂ、４８ｃが配置されている。したがって、上記インク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを確実に抑制することができる。

なお、第１実施形態では、インク分離層４１が、本発明に係る第１の層に相当する。また、セラミックス層４２と圧電層４３とを合わせたものが本発明に係る第２の層に相当し、個別電極４５と、共通電極４４の個別電極４５と重なる部分が本発明に係る駆動電極に相当する。また、紙送り方向が本発明に係る一方向に相当し、走査方向が本発明に係る直交方向に相当する。

［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について説明する。ただし、第２実施形態は、第１実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、第１実施形態と異なっている部分を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。

第２実施形態に係るインクジェットヘッド１０３では、図８に示すように、検査用空間１７ａ〜１７ｃ、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３、ダミー電極４８ａ、及び、ダミー電極４８ａと紙送り方向に並ぶダミー電極４８ｃが設けられていない。また、個別電極４５とパッド４７とが、導通部７１を介して導通している。本実施形態において、ダミー電極４８ｂと、パッド４７及びダミー電極４８ｂと紙送り方向に並んでいるダミー電極４８ｃとが「第１ダミー電極」である。

そして、第２実施形態では、上述の第１実施形態のＳ１０２の工程において、パッド４７及び導通部７１を介して個別電極４５に電圧を印加し、当該電圧の周波数を変化させることによって、圧力付与部２２ａの１次共振モードにおける共振周波数Ｆｄ１（図６参照）を検出する。そして、Ｓ１０５において、Ｓ１０２で検出した圧力付与部２２ａの共振周波数Ｆｄ１に応じて、複数の個別電極４５に付与する駆動電位を個別に決定する。

複数の圧力付与部２２ａの共振周波数Ｆｄ１は、圧力付与部２２ａの厚みに対応したものとなる。また、各圧力付与部２２ａの列において、共振周波数が検出される圧力付与部２２ａとそれ以外の圧力付与部２２ａとは紙送り方向に沿って配列されている。したがって、第２実施形態では、複数の圧力付与部２２ａの共振周波数Ｆｄ１に応じて、個別電極４５に付与する駆動電位を決定することにより、複数のノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、第２実施形態では、複数の圧力付与部２２ａのうちの一部が共振周波数を検出するための検査部（第１検査部）を兼ねているため、圧力付与部２２ａとは別に検査部を設ける必要がなく、インクジェットヘッド１０３を小型化することができる。

また、第２実施形態においても、圧電層４３の上面に、パッド４７と紙送り方向に並ぶダミー電極４８ｂ、４８ｃが形成されていることにより、第１実施形態と同様、上記線膨張係数の差によるインク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを抑制することができる。

次に、第１、第２実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、第１、第２実施形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。

第１実施形態では、圧電層４３の上面に、３種類のダミー電極４８ａ〜４８ｃが形成されていたが、これには限られない。一変形例（変形例１）では、図９に示すように、ダミー電極４８ａ、４８ｂに代わって、ダミー電極４８ａ、４８ｂが配置されていた領域にまたがるように走査方向に延びたダミー電極４８ｄが形成されている。また、走査方向に２列に配列されたダミー電極４８ｃに代わって、２列のダミー電極４８ｃが配置されていた領域にまたがるように走査方向に延びたダミー電極４８ｅが形成されている。そして、ダミー電極４８ｄ、４８ｅは、検査用電極４６及びパッド４７のいずれとも紙送り方向に並んでいる。この場合でも、第１実施形態と同様、上記線膨張係数の差によるインク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを抑制することができる。

また、第１実施形態では、検査用電極４６とダミー電極４８ａ、４８ｃとが紙送り方向にほぼ等間隔に配列され、第１、第２実施形態では、パッド４７とダミー電極４８ｂ、４８ｃとが、紙送り方向にほぼ等間隔に配列されていたが、これには限られない。すなわち、検査用電極４６及びダミー電極４８ａ、４８ｃの配列間隔や、パッド４７及びダミー電極４８ｂ、４８ｃの配列間隔は不均一であってもよい。

また、第１実施形態では、ダミー電極が、検査用電極４６及びパッド４７のいずれとも紙送り方向に並ぶように配置されていたが、これには限られない。例えば、ダミー電極４８ａ〜４８ｃのうち、検査用電極４６と紙送り方向に並ぶダミー電極４８ａ、４８ｃ（第２ダミー電極）のみが設けられていてもよい。あるいは、ダミー電極４８ａ〜４８ｃのうち、パッド４７と紙送り方向に並ぶダミー電極４８ｂ、４８ｃ（第１ダミー電極）のみが設けられていてもよい。

また、第１、第２実施形態では、パッド４７と紙送り方向に並ぶダミー電極４８ｂ、４８ｃの面積が、パッド４７の面積よりも小さくなっていたが、これには限られない。すなわち、ダミー電極４８ｂ、４８ｃの面積は、パッド４７の面積と同程度、あるいは、パッド４７の面積よりも大きくてもよい。

これらの場合でも、圧電層４３の上面にダミー電極４８ａ〜４８ｃが形成されていない場合に比べれば、上記線膨張係数の差によるインク分離層４１、セラミックス層４２及び圧電層４３の反りを抑制することができる

また、以上の例では、圧電層４３の上面にダミー電極が形成されていたが、ダミー電極は形成されていなくてもよい。

また、第１実施形態では、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３が略円形の平面形状を有するものであったが、これには限られない。別の一変形例（変形例２）では、図１０に示すように、流路ユニット２１のプレート３１に形成された検査用空間８１の平面形状が、圧力室１０とほぼ同じ略矩形となっている。なお、図１０の検査用空間８１は検査用空間１７ａに対応するものであるが、検査用空間１７ｂ、１７ｃに対応する検査用空間も同様の形状となっている。また、これに対応して、検査用電極８２の平面形状が、個別電極４５とほぼ同じ略矩形となっている。すなわち、検査部の平面形状が、圧力付与部２２ａの平面形状とほぼ同じとなっている。なお、変形例２では、検査用電極８２の形状に対応して、ダミー電極４８ａ、４８ｃの形状が第１実施形態とは異なっている。

この場合には、圧力付与部２２ａの共振周波数と、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数とが、ほぼ同じになる。したがって、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の共振周波数を検出し、検出した共振周波数に応じて駆動電位を決定することにより、ノズル１５からの液体の吐出特性を確実に抑制することができる。

さらには、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３の平面形状は、円形であることや、圧力付与部２２ａの平面形状と同じであることにも限られず、例えば、正方形など、円形及び圧力付与部２２ａの平面形状のいずれとも異なる形状であってもよい。

また、第１実施形態では、圧電アクチュエータ２２に、検査部２２ｂ１〜２２ｂ３が設けられていたが、検査部の配置はこれには限られない。

例えば、検査部２２ｂ３は設けられていなくてもよい。この場合には、圧電アクチュエータ２２の紙送り方向に関する両端部に、検査部２２ｂ３を配置するための領域を設けなくてもよいので、圧電アクチュエータ２２を小型化することができる。

なお、検査部２２ｂ３がないと、異なる圧力室列９に対応するノズル１５の間で、インクの吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。しかしながら、検査部２２ｂ１、２２ｂ２の共振周波数に応じて個別電極４５に付与する駆動電位を決定することにより、１つの圧力室列９に対応する複数のノズル１５の間におけるインクの吐出特性のばらつきを抑制することはできる。

ここで、例えば、プリンタ１では、キャリッジ２とともに走査方向に移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出して記録用紙Ｐにインクを着弾させた後、用紙搬送ローラ４により記録用紙Ｐを紙送り方向に配列されたノズル１５の列の長さだけ搬送するといった動作（以下、単位記録動作とする）を繰り返し行って印刷を行うことがある。

この場合、印刷された画像においては、連続する２回の単位記録動作によって記録された部分の境界に、紙送り方向に関する一方の端に位置するノズル１５から吐出されたインクによって形成されたドットと、他方の端に位置するノズル１５から吐出されたインクによって形成されたドットとが、紙送り方向に隣接して並ぶことになる。

これらのノズル１５に対応する圧力付与部２２ａは大きく離れているため、これらの圧力付与部２２ａの間の厚みの差は大きく、これらの圧力付与部２２ａの個別電極４５に同じの駆動電位を付与すると、印刷される画像の上記境界部分にムラが生じ、画質が大きく低下してしまう。したがって、印刷される画像の画質の低下を抑えるためには、１つの圧力室列９に対応する複数のノズル１５の間では、インクの吐出特性のばらつきを十分に抑制する必要がある。

これに対して、当該画像においては、紙送り方向に関して同じ位置にあるノズル１５から吐出されたインクにより形成されるドットが走査方向に並ぶ。一方、紙送り方向に関して同じ位置にあるノズル１５に対応する圧力付与部２２ａ同士は互いに近い位置にあるため、これらの圧力付与部２２ａの間には、それほど大きな厚みのばらつきはない。すなわち、駆動電極４５に同じ駆動電位を付与しても、異なる圧力付与部２２ａの列に対応するノズル１５のうち、紙送り方向に関する位置が同じとなるノズル１５の間では、それほど大きなインクの吐出特性のばらつきは生じない。

したがって、検査部２２ｂ３（第２検査部）がなく、検査部２２ｂ１、２２ｂ２（第１検査部）の共振周波数に応じて個別電極４５に付与する駆動電位を決定しても、印刷される画像の画質はそれほど大きくは低下しない。

また、検査部２２ｂ１、２２ｂ２は、一部の圧力付与部２２ａの列に対してのみ設けられていてもよい。紙送り方向における圧電アクチュエータ２２の厚みの分布は、走査方向の位置によらず似たような傾向となる。したがって、一部の圧力付与部２２ａの列に対してのみ設けられた検査部２２ｂ１、２２ｂ２の共振周波数に応じて、全ての圧力付与部２２ａに対する駆動電位を決定することにより、各圧力室列９に対応する複数のノズル１５の間での、インクの特性のばらつきを抑制することができる。

また、圧力付与部２２ａの列に対応して設けられる検査部の位置は、以上に説明したものには限られない。例えば、検査部２２ｂ２は設けられていなくてもよい。接着剤によりインクジェットヘッド３を構成する部材同士を接合する場合には、上述の通り、圧電アクチュエータ２２の厚みのばらつきは、その端部においては生じやすく、中央部においては生じにくい。したがって、紙送り方向に関する両端部の圧力付与部２２ａについては検査部２２ｂ１の共振周波数に応じて駆動電位を決定し、中央部の圧力付与部２２ａについては駆動電位を設計上決まる駆動電位とするなどしても、複数のノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきをある程度抑えることができる。

また、検査部は、圧力付与部２２ａに沿って紙送り方向に配列されるように複数設けられていれば、各圧力付与部２２ａの列から走査方向の両側にずれた領域のうち、上述したのとは異なる領域に設けられていてもよい。また、紙送り方向に配列された複数の検査部が、各圧力付与部２２ａの列から走査方向の両側にずれた領域の全域にわたって配置されていてもよい。また、圧力付与部２２ａに対応して設けられる検査部は、圧力付与部２２ａの列から走査方向に関する一方側にずれた領域にのみ設けられていてもよい。

また、以上の例では、セラミックス層４２及び圧電層４３が、全ての圧力室１０及び検査用空間１７ａ〜１７ｃにまたがって延びていたが、これには限られない。例えば、インク分離層４１の上面に、セラミックス層４２及び圧電層４３が、各圧力室列９に対して個別に設けられていてもよい。

また、以上の例では、検査部の共振周波数に応じて駆動電位を決定することによって、ノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきを抑制したが、これには限られない。例えば、駆動電位を決定する代わりに、駆動信号の波形を決定するなどしてもよい。

また、以上では、複数のノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。複数のノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。

１０ 圧力室
１５ ノズル
１７ａ〜１７ｃ 検査用空間
２１ 流路ユニット
２２ 圧電アクチュエータ
２２ａ 圧力付与部
２２ｂ１〜２２ｂ３ 検査部
４１ インク分離層
４２ セラミックス層
４３ 圧電層
４５ 個別電極
４６ 検査用電極
４７ パッド
４８ａ〜４８ｅ ダミー電極

Claims (14)

1. 複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、
   前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、
   前記流路ユニットには、前記複数の圧力室とは別に、前記複数のノズルとは連通しない複数の検査用空間が設けられており、
   前記圧電アクチュエータは、
   前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第１の層と、
   前記第１の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた、少なくとも圧電層を含む第２の層と、
   前記第２の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、
   前記第２の層の前記複数の検査用空間と重なる部分に設けられた複数の検査用電極と、
   前記複数の検査用電極とそれぞれ導通した、前記検査用電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、
   前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、
   前記複数の検査用空間と重なる部分であって、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、
   前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部から、前記一方向と直交する直交方向にずれた位置に設けられており、前記一方向に沿って配列された複数の第１検査部を含むことを特徴とする液体吐出装置。
2. 複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、
   前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、
   前記複数の圧力室を覆う第１の層と、
   前記第１の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた、少なくとも圧電層を含む第２の層と、
   前記第２の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、
   前記複数の駆動電極のうち、少なくとも２以上の駆動電極とそれぞれ導通した、当該駆動電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、
   前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、
   前記複数の圧力付与部のうち、前記パッドと導通した前記駆動電極を含む前記圧力付与部によって形成された、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、
   前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列された複数の第１検査部を含むことを特徴とする液体吐出装置。
3. 前記第１の層と前記第２の層とが接着剤によって接合されており、
   前記複数の第１検査部が、前記圧電アクチュエータにおいて、前記一方向に対称に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
4. 前記第１の層と前記第２の層とが接着剤によって接合されており、
   前記複数の第１検査部には、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列の、前記一方向における両端部に対応して設けられたものが含まれることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出装置。
5. 前記複数の第１検査部には、さらに、前記圧力室列の前記一方向における中央部に対応して設けられたものが含まれることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
6. 前記パッドの面積が、前記駆動電極の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出装置。
7. 前記第２の層には、前記駆動電極及び前記検査用電極とは別に、電圧が印加されない複数のダミー電極が設けられており、
   前記複数のダミー電極は、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と、前記一方向に沿って一列又は二列に並んでいることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
8. 前記第２の層には、前記駆動電極とは別に、電圧が印加されない複数のダミー電極が設けられており、
   前記複数のダミー電極は、前記複数のパッドと前記一方向に沿って一列に並んでいることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
9. 前記複数の第１検査部は、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列のある偏った部分に位置する前記圧力付与部に対応して設けられ、
   前記複数のダミー電極が、前記複数のパッドよりも面積が小さく、前記複数のパッドと前記一方向に沿って一列に配列されている複数の第１ダミー電極を含むことを特徴とする請求項７又は８に記載の液体吐出装置。
10. 前記複数のダミー電極が、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と一緒になって、前記一方向に沿って一列又は二列に等間隔に配列されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
11. 前記複数のダミー電極が、前記複数のパッドと一緒になって、前記一方向に沿って一列に等間隔に配列されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
12. 前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列が、前記一方向と直交する直交方向に沿って複数配列されており、
    前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部の列の前記一方向に関する両側に設けられており、前記直交方向に沿って配列された複数の第２検査部を含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の液体吐出装置。
13. 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見た前記検査用空間の形状が円形であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
14. 前記第１検査部の形状が前記圧力付与部の形状と同じであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の液体吐出装置。

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