JP2012245770A - アクチュエータ用駆動装置、液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】配線間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にする。
【解決手段】基材５１には、紙送り方向にそれぞれ延びているとともに、走査方向に配列された複数の駆動配線５３、最も外側に配置された最外駆動配線５３ａよりも外側に配置されたグランド配線５４、最外駆動配線５３ａとグランド配線５４との間に配置され、最外駆動配線５３ａに沿って延びた調整用配線５５が形成されている。調整用配線５５は、それぞれが、最外駆動配線５３ａに沿って延びているとともに、最外駆動配線５３ａに沿って配列された１つの配線片６１と３つの配線片６２とからなる。導電性接着剤６９を、配線片６１の接続部６４ａと配線片６２の接続部６６ａ、及び、隣接する配線片６２の接続部６６ａと６６ｂにまたがるように塗布することにより、配線片６１と配線片６２、及び、配線片６２同士を電気的に接続することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、アクチュエータを駆動するためのアクチュエータ用駆動装置、アクチュエータ用駆動装置によって駆動されるアクチュエータを備えた液体吐出装置、及び、このような液体吐出装置の製造方法に関する。

アクチュエータを備えた装置として、特許文献１には、圧電アクチュエータによりインクに圧力を付与して、ノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドが記載されている。特許文献１に記載のインクジェットプリンタにおいては、圧電アクチュエータの複数の圧力室と対向する部分に、複数の第２電極が設けられているとともに、複数の圧力室の外側に位置する部分に第１、第３電極が設けられている。複数の第２電極には、フレキシブル配線基板に設けられているとともに一方向に配列された複数の駆動配線を介して駆動回路が接続されており、駆動回路から複数の第２電極に駆動電位が付与される。第１、第３電極には、フレキシブル配線基板の外縁部に、駆動配線に沿って設けられた定電位配線が接続されており、第１、第３電極は、例えば接地されているなど、一定の電位に保持されている。

特開２００８−１９５０４７号公報

ここで、特許文献１に記載されているような、一方向に配列された複数の駆動配線においては、隣接する駆動配線など周囲の配線との間に浮遊容量が生じ、この浮遊容量が、圧電アクチュエータの駆動信号に影響を与え、ノズルからのインクの吐出特性が変動する。

一方、複数の駆動配線のうち一方向に関して最も外側に位置する駆動配線（最外駆動配線）においては、一方向に関する片側にのみ他の駆動配線が配置されているのに対して、それ以外の駆動配線においては、一方向に関する両側に他の駆動配線が配置されている。そのため、最外駆動配線と、それ以外の駆動配線とでは、周囲の配線との間による浮遊容量が駆動信号に与える影響に違いが生じる。さらに、最外駆動配線の一方向に関する外側には、一定電位に保持された定電位配線が配置されており、最外駆動配線と定電位配線との間に浮遊容量が生じるため、最外駆動配線とそれ以外の駆動配線との間の浮遊容量が駆動信号に与える影響の違いはさらに大きなものとなる。

そして、最外駆動配線とそれ以外の駆動配線とで、上記浮遊容量が駆動信号に与える影響の違いが大きくなると、最外駆動配線に対応する駆動素子と、それ以外の駆動配線に対応する駆動素子とで、浮遊容量による駆動特性の変動にばらつきが生じ、その結果、複数のノズルからのインクの吐出特性にばらつきが生じる。

本発明の目的は、複数の駆動配線において周囲の配線との浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にすることが可能なアクチュエータ用駆動装置、アクチュエータ用駆動装置によって駆動されるアクチュエータを備えた液体吐出装置、及び、このような液体吐出装置の製造方法を提供することである。

第１の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、アクチュエータの複数の駆動素子に駆動信号を付与する駆動ＩＣと、前記駆動ＩＣと前記複数の駆動素子とを接続するための配線基板と、を備え、前記配線基板は、基材と、前記基材に所定の一方向に配列されており、前記駆動ＩＣと前記複数の駆動素子とをそれぞれ接続する、前記駆動信号が伝送される複数の駆動配線と、前記基材に設けられ、前記所定の一方向に関して、前記複数の駆動配線のうち最も外側に位置する最外駆動配線よりも外側の領域に位置し、一定電位に保持された定電位配線と、前記基材に設けられ、前記最外駆動配線と前記定電位配線との間に位置するとともに、電位が付与される、前記最外駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響を調整するための調整用配線とを有することを特徴とする。

最外駆動配線以外の駆動配線には、その両側に他の駆動配線が配置されているのに対して、最外駆動配線には、その片側にのみ他の駆動配線が配置されているため、最外駆動配線とそれ以外の駆動配線とで、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響に違いが生じる。また、最外駆動配線の外側に定電位配線が配置されているため、上記浮遊容量が駆動信号に与える影響の違いはさらに大きなものとなる。

しかしながら、本発明によると、最外駆動配線と定電位配線との間に電位が付与される調整用配線が設けられているため、調整用配線の最外駆動配線と並行する部分の長さや、調整用配線に付与される電位を調整することにより、複数の駆動配線における周囲の配線間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にすることができる。

第２の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第１の発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記調整用配線は、前記配線基板に、前記最外駆動配線と前記定電位配線との間に配置されているとともに、前記最外駆動配線に沿って配列された、前記調整用配線を形成するための複数の配線片と、前記配線片に接続し、隣接する前記配線片との電気的接続を行うための接続部とを有しているとともに、１つの前記配線片、又は、前記接続部において互いに接続された複数の前記配線片に前記電位が付与され、互いに接続される前記配線片の数を変更することによって、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さが調整可能となっていることを特徴とする。

本発明によると、調整用配線の最外駆動配線と並行し、且つ、電位が付与される部分の長さを調整することによって、複数の駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にすることができる。

第３の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第２の発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記配線基板が、前記アクチュエータと対向するように配置されており、前記配線片の一部分が、前記基材の前記アクチュエータと対向する対向面に配置されているとともに、前記配線片の他の一部分が、前記基材の前記対向面と反対側の面に引き出されて前記接続部となっていることを特徴とする。

本発明によると、調整用配線同士の接続を行うための接続部が、配線基板のアクチュエータとの対向面と反対側の面に設けられているため、配線基板をアクチュエータに取り付けた後でも、容易に、接続部同士を接続させて、調整用配線の最外駆動配線と並行し、且つ、電位が付与される部分の長さを調整することができる。

第４の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第１〜第３のいずれかの発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記調整用配線は、前記一定電位に保持されていることを特徴とする。

本発明によると、定電位配線よりも最外駆動配線に近い位置に、定電位配線と同じ一定電位に保持された調整用配線が配置されているため、最外駆動配線と調整用配線との間に生じる浮遊容量が大きくなり、これにより、最外駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を調整することができる。

第５の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第１〜第４のいずれかの発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記調整用配線は、前記駆動ＩＣに接続されており、前記駆動ＩＣから前記調整用配線に、前記駆動信号が伝送されることを特徴とする。

本発明によると、調整用配線に、駆動配線を伝送されるのと同じ駆動信号を伝送することにより、最外駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を調整することができる。

第６の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第５の発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記駆動ＩＣから前記調整用配線に、前記最外駆動配線と同じタイミングで前記駆動信号が伝送されることを特徴とする。

本発明によると、調整用配線に最外駆動配線と同じタイミングで駆動信号が伝送されるため、最外駆動配線と調整用配線とが同電位となり、最外駆動配線における、調整用配線との間に生じる静電容量の影響を小さくすることができ、これにより、最外駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を調整することができる。

第７の発明に係るアクチュエータ用駆動装置は、第１〜第６のいずれかの発明に係るアクチュエータ用駆動装置において、前記定電位配線の幅が、前記最外駆動配線の幅よりも大きく、前記調整用配線の幅が、前記最外駆動配線の幅と等しくなっていることを特徴とする。

本発明によると、最外駆動配線に隣接して配置される調整用配線の幅が最外駆動配線の幅と等しくなっているため、複数の駆動配線における周囲の配線間に生じる浮遊容量の影響を均一にしやすい。

第８の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第７のいずれかの発明に係るアクチュエータ用駆動装置と、ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する前記複数の駆動素子を有する前記アクチュエータとを備えていることを特徴とする。

本発明によると、複数のノズルからの液体の吐出特性を均一にすることができる。

第９の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第２又は第３の発明に係るアクチュエータ用駆動装置と、ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する前記複数の駆動素子を有する前記アクチュエータとを備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記最外駆動配線に対応する前記ノズルにおける液体の吐出特性を検査する検査工程と、前記検査工程における検査結果に基づいて、互いに接続される前記配線片の数を調整することによって、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さを調整する調整工程と、を備えていることを特徴とする。

本発明によると、最外駆動配線に対応するノズルからの液体の吐出特性に応じて、調整用配線の最外駆動配線と並行し、且つ電位が付与される部分の長さを調整することにより、複数の駆動配線における、周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響を均一にすることができる。

第１０の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第９の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルから記録媒体に向けてインクを吐出するものであって、前記検査工程において、前記複数のノズルから記録媒体にインクを吐出させることによって、前記吐出特性として、前記記録媒体におけるインクの着弾位置を検査し、前記調整工程において、前記着弾位置の検査結果に応じて、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さを調整することを特徴とする。

記録媒体にインクを吐出する液体吐出装置においては、上記浮遊容量の影響により、記録媒体におけるインクの着弾位置が変動する。そこで、本発明では、検査工程において上記着弾位置を検査し、着弾位置の検査結果に応じて、調整用配線の最外駆動配線と並行し、且つ電位が付与される部分の長さを調整することにより、複数の駆動配線における、周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響を均一にすることができる。

本発明によれば、調整用配線の最外駆動配線と並行する部分の長さや、調整用配線に付与される電位を調整することにより、複数の駆動配線における周囲の配線間に生じる浮遊容量の影響を均一にすることができる。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２のIII−III線断面図である。 下方から見たＣＯＦの平面図である。 図４の一点鎖線で囲んだ部分の部分拡大図であり、（ａ）が下面に形成された配線などの位置、（ｂ）が上面に形成された配線などの位置をそれぞれ示している。 （ａ）が図５（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）が図５（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図である。 （ａ）が最外駆動配線を伝送される駆動信号を示す図であり、（ｂ）が調整用配線を伝送される信号を示す図である。 駆動配線における浮遊容量による電位の立ち上がり及び立ち下がりの遅れを示す図である。 プリンタの製造工程を示すフローチャートである。 変形例１の図４相当の図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１（液体吐出装置）は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、ガイド部材５に沿って走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル１５（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを走査方向と直交する紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。

そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。インクジェットヘッド３は、圧力室１０、ノズル１５などのインク流路が形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力（吐出エネルギー）を付与するための圧電アクチュエータ２２とを備えている。

流路ユニット２１は、キャビティプレート３１、ベースプレート３２、マニホールドプレート３３及びノズルプレート３４の４枚のプレートが互いに積層されることによって形成されている。４枚のプレート３１〜３４のうち、ノズルプレート３４を除く３枚のプレート３１〜３４は、ステンレスなどの金属材料からなり、ノズルプレート３４は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、ノズルプレート３４も他のプレート３１〜３３と同様、金属材料によって構成されていてもよい。

キャビティプレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、紙送り方向に沿って配列されることによって圧力室列８を形成している。また、キャビティプレート３１には、このような圧力室列８が、走査方向に沿って４列形成されている。ベースプレート３２には、複数の圧力室１０の長手方向に関する両端部と対向する部分に、それぞれ、略円形の貫通孔１２、１３が形成されている。

マニホールドプレート３３には、上記４つの圧力室列８に対応して４つのマニホールド流路１１が形成されている。各マニホールド流路１１は、紙送り方向に延びており、対応する圧力室列８の図２における略右半分と対向している。マニホールド流路１１には、その下端部に設けられたインク供給口９からインクが供給される。また、マニホールドプレート３３には、複数の貫通孔１３と対向する部分に、略円形の複数の貫通孔１４が形成されている。ノズルプレート３４には、複数の貫通孔１４と対向する部分に複数のノズル１５が形成されている。

そして、流路ユニット２１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して圧力室１０と連通しており、圧力室１０が貫通孔１３、１４を介してノズル１５に連通している。これにより、流路ユニット２１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路１６（個別液体流路）が形成されている。

圧電アクチュエータ２２は、振動板４１、圧電層４２、共通電極４３、表面電極４４、及び、複数の個別電極４５などを備えている。振動板４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット２１（キャビティプレート３１）の上面に接合されている。なお、振動板４１は、以下に説明する圧電層４２とは異なり、金属材料など圧電材料とは異なる材料によって構成されていてもよい。圧電層４２は、振動板４１と同様の圧電材料からなり、振動板４１の上面に、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びている。

共通電極４３は、振動板４１と圧電層４２との間に、その全域にわたって形成されている。表面電極４４は、圧電層４２の上面の、図２の最も右側の圧力室列８よりも右側、及び、最も左側の圧力室列８よりも左側の部分に配置されており、それぞれ、紙送り方向に延びている。共通電極４３と表面電極４４とは、圧電層４２の共通電極４３と表面電極４４とに挟まれた部分に形成されたスルーホール４７を介して互いに導通している。表面電極４４の上面には、バンプ４８が設けられており、表面電極４４は、バンプ４８、及び、後述のＣＯＦ５０に形成されたグランド配線５４を介して、図示しない電源のグランド端子に接続されており、常にグランド電位に保持されている。そして、表面電極４４と導通した共通電極４３も常にグランド電位に保持されている。

複数の個別電極４５は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、圧電層４２の上面の、複数の圧力室１０の略中央部と対向する部分にそれぞれ配置されている。また、個別電極４５の長手方向に関するノズル１５と反対側（図２の右側）の端部は、圧力室１０と対向しない部分まで延びており、その先端部が接続端子４５ａとなっている。

接続端子４５ａには、バンプ４９が形成されており、複数の個別電極４５は、バンプ４９、及び、後述のＣＯＦ５０に形成された駆動配線５３を介して、ドライバＩＣ５２に接続されている。そして、複数の個別電極４５には、ドライバＩＣ５２により、グランド電位及び駆動電位（例えば、２０Ｖ程度）のいずれかが選択的に付与される。

また、上述したように共通電極４３と複数の個別電極４５とが配置されていることにより、圧電層４２の複数の圧力室１０の略中央部と対向する部分が、それぞれ、共通電極４３と個別電極４５とに挟まれており、圧電層４２のこれらの部分は、それぞれ、その厚み方向に分極されている。

ここで、インクジェットヘッド３において、圧電アクチュエータ２２を駆動して、ノズル１５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２２においては、共通電極４３及び全ての個別電極４５が、予めグランド電位に保持されている。そして、あるノズル１５からインクを吐出させるためには、ドライバＩＣ５２により当該ノズル１５に対応する個別電極４５に駆動電位を付与する。

すると、圧電層４２の当該個別電極４５と共通電極４３とに挟まれた部分には、共通電極４３と個別電極４５との電位差により、その厚み方向の電界が生じる。この電界の向きは圧電層４２の分極方向と平行であるので、圧電層４２のこの部分は、電界の方向と直交する面方向に収縮する。これにより、振動板４１及び圧電層４２の圧力室１０と対向する部分が、全体として圧力室１０側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が減少する。この圧力室１０の容積の減少により、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、この圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

なお、本実施の形態では、振動板４１及び圧電層４２の各圧力室１０に対向する部分、当該圧力室１０に対応する個別電極４５、及び、共通電極４３のうち当該個別電極４５に対向する部分を合わせたものが、それぞれ、本発明に係る駆動素子に相当する。

次に、ＣＯＦ（Chip On Film）５０（アクチュエータ用駆動装置）について、図４〜図６を用いて説明する。ただし、図５においては、配線の位置関係をわかりやすくするため、下方から見たときの配線の位置を示している。

ＣＯＦ５０は、基材５１、２つのドライバＩＣ５２、複数の駆動配線５３、グランド配線５４、調整用配線５５などを備えている。なお、本実施の形態では、ＣＯＦ５０からドライバＩＣ５２を除いた、基材５１、複数の駆動配線５３、グランド配線５４及び調整用配線５５を合わせたものが、本発明に係る配線基板に相当する。

基材５１は、紙送り方向に長尺のフィルムなどであり、圧電アクチュエータ２２（圧電層４２）の上方に配置されている。なお、基材５１は、インクジェットヘッド３に取り付けられキャリッジ２に組み付けられた状態では、途中部分において図４の紙面手前側に折り曲げられているが、図４では基材５１を延ばした状態で図示している。２つのドライバＩＣ５２（駆動ＩＣ）は、基材５１の長手方向に関する両端部近傍の下面にそれぞれ実装されている。また、ドライバＩＣ５２は、基材５１に形成された複数の配線６０を介して、基材５１の長手方向に関する両端部に設けられた接続端子７０ａに接続されている。接続端子７０ａは、ドライバＩＣ５２を制御するための図示しない制御基板に接続されている。

複数の駆動配線５３は、基材５１の下面に、複数のノズル１５に対応して形成されており、その一端部が、それぞれ、対応するバンプ４９と対向している。バンプ４９と対向する駆動配線５３の一端部の表面にはランド５６が形成されており、バンプ４９とランド５６とが接合されることによって、個別電極４５と駆動配線５３とが接続されている。

また、図２のインクジェットヘッド３の略上半分に配置されたノズル１５に対応する駆動配線５３は、ランド５６が形成された部分から、基材５１の長手方向に沿って図４の上方に延びており、ランド５６と反対側の端部（図４における上端部）が、図４の上側のドライバＩＣ５２に接続されている。

一方、図２のインクジェットヘッド３の略下半分に位置するノズル１５に対応する駆動配線５３は、ランド５６が形成された部分から、基材５１の長手方向に沿って図４の下方に延びており、ランド５６反対側の端部（図４における下端部）が、図４の下側のドライバＩＣ５２に接続されている。

また、図４の上側のドライバＩＣ５２に接続された複数の駆動配線５３、及び、図４の下側のドライバＩＣ５２に接続された複数の駆動配線は、それぞれ、基材５１の長手方向と直交する幅方向（所定の一方向）に配列されている。そして、図４の上側のドライバＩＣ５２に接続された複数の駆動配線５３のうち、基材５１の幅方向に関して最も外側に配置された２つの駆動配線５３、及び、図４の下側のドライバＩＣ５２に接続された複数の駆動配線５３のうち、基材５１の幅方向に関して最も外側に配置された２つの駆動配線５３が、それぞれ、最外駆動配線５３ａとなっている。また、複数の駆動配線５３の幅は、全て同じＷａとなっている。

グランド配線５４（定電位配線）は、基材５１の、幅方向に関して、最外駆動配線５３ａよりも外側の部分に、表面電極４４と対向するように配置されている。グランド配線５４の下面には、複数のバンプ４８と対向する部分にランド５７が形成されており、バンプ４８とランド５７とが接合されることによって、表面電極４４とグランド配線５４とが接続されている。また、グランド配線５４は、基材５１の長手方向に沿って、基材５１の全長にわたって延びており、その両端部が、基材５１の長手方向に関する両端部に設けられた接続端子７０ｂに接続されている。接続端子７０ｂは、図示しない電源のグランド端子に接続されている。また、グランド配線５４の幅Ｗｂは駆動配線５３の幅Ｗａよりも大きくなっている。

また、基材５１の、グランド配線５４と対向する部分には、基材５１の長手方向に沿って配列された４つのスルーホール５８が形成されており、グランド配線５４は、スルーホール５８を介して基材５１の上面に引き出されている。そして、グランド配線５４の基材５１の上面に引き出された部分が、接続部５９となっている。

調整用配線５５は、基材５１の下面の、最外駆動配線５３ａとグランド配線５４との間に位置する部分に設けられており、それぞれ、配線片６１と３つの配線片６２とによって構成されている。なお、配線片６２の数は３つであることには限られず、１つ、２つあるいは４つ以上であってもよい。

配線片６１は、最外駆動配線５３ａと並行して延びており、その一端部がドライバＩＣ５２に接続されているとともに、他端部が、グランド配線５４に向かって約９０°折れ曲がっている。また、配線片６１の幅Ｗｃは、駆動配線５３の幅Ｗａと等しくなっている。

また、基材５１の、配線片６１の折れ曲がりの角の部分、及び、折れ曲がった部分の先端部と対向する部分には、それぞれ、スルーホール６３が形成されており、配線片６１のこれらの部分は、スルーホール６３を介して、基材５１の上面に引き出されている。そして、これら引き出された部分が、それぞれ、接続部６４ａ、６４ｂとなっている。

３つの配線片６２は、配線片６１とともに、最外駆動配線５３ａに沿って配列されており、それぞれが、最外駆動配線５３ａと並行して延びているとともに、基材５１の長手方向に関する、ドライバＩＣ５２と反対側の端部において、グランド配線５４に向かって約９０°折れ曲がっている。また、配線片６２の幅は配線片６１と同じＷｃであり、駆動配線５３（最外駆動配線５３ａ）の幅Ｗａと等しくなっている。

また、基材５１の各配線片６２のドライバＩＣ５２側の端部、各配線片６２の折れ曲がりの角の部分、及び、折れ曲がった部分の先端部と対向する部分には、それぞれ、スルーホール６５が形成されており、配線片６２のこれらの部分は、スルーホール６５を介して、基材５１の上面に引き出されている。そして、これら引き出された部分が、それぞれ、接続部６６ａ〜６６ｃとなっている。

ここで、配線片６１の接続部６４ａと、配線片６１に隣接する配線片６２の接続部６６ａ、及び、互いに隣接する配線片６２の接続部６６ａと接続部６６ｂは、それぞれ、互いに近接して基材５１の長手方向に並んでいる。また、配線片６１の接続部６４ｂ、及び、配線片６２の接続部６６ｃと、グランド配線５４の接続部５９とは、互いに近接して基材５１の幅方向に並んでいる。

そして、ＣＯＦ５０においては、基材５１の上面に、接続部６４ａと接続部６６ａとの間、接続部６６ａと接続部６６ｂとの間、接続部６４ｂと接続部５９との間、及び、接続部６６ｃと接続部５９との間にそれぞれまたがるように導電性接着剤６９を塗布することにより、配線片６１と配線片６２、配線片６２同士、配線片６１とグランド配線５４、及び、配線片６２とグランド配線５４を、それぞれ電気的に接続することができるようになっている。図５、図６では、これらのうち、配線片６１とこれに隣接する配線片６２、及び、当該配線片６２とグランド配線５４とをそれぞれ接続した場合を示している。

図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ドライバＩＣ５２から最外駆動配線５３ａへの出力電位Ｖｏの変化、及び、ドライバＩＣ５２から調整用配線５５への出力電位Ｖａの変化を示す図である。本実施の形態においては、図７（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５２から最外駆動配線５３ａに電位がＶ１、幅がＷ１のパルス状の駆動信号Ａ１が出力されるとともに、図７（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ５２から調整用配線５５（配線片６１と１つの配線片６２）に、上記駆動信号Ａ１が、最外駆動配線５３ａに付与されるのと同じタイミングで付与される。これにより、調整用配線５５には、駆動信号Ａ１が、最外駆動配線５３ａと同じタイミングで伝送される。

なお、本実施の形態では、互いに接続された配線片６１と１つの配線片６２とによって構成される配線が、駆動信号と同じ信号を出力するドライバＩＣ５２とグランド配線５４とに接続されているが、ドライバＩＣ５２の内部には、当該配線が接続された部分に抵抗が設けられているので、ドライバＩＣ５２とグランド配線５４とがショートすることはない。

ここで、最外駆動配線５３ａにおいては、その片側にのみ他の駆動配線５３が配置されているのに対して、最外駆動配線５３ａ以外の駆動配線５３においては、その両側に他の駆動配線５３が配置されている。そのため、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とでは、周囲の配線との間により生じる浮遊容量が、駆動信号に与える影響に違いが生じる。

さらに、基材５１の最外駆動配線５３ａよりも外側には、常にグランド電位に保持されたグランド配線５４が配置されており、最外駆動配線５３ａとグランド配線５４との間にも浮遊容量が生じるため、浮遊容量が駆動信号に与える影響の違いは、さらに大きなものとなる。

具体的に説明すると、ドライバＩＣ５２から駆動配線５３に図８（ａ）に示すようなパルス状の駆動信号Ａ１が出力された場合、駆動配線５３の電位Ｖｗは、周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響により、図８（ｂ）に示すように、駆動信号Ａ１が立ち上がるタイミングＴ１からΔＴだけ遅れて立ち上がり、駆動信号Ａ１が立ち下がるタイミングＴ２からΔＴだけ遅れて立ち下がる。そして、この電位Ｖｗの電位が立ち上がるタイミング及び立ち下がるタイミングの遅れによって、ノズル１５からインクが吐出されるタイミングがずれる。このとき、上記ΔＴは、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動配線５３を伝送される信号に与える影響の大きさ、具体的には、浮遊容量の大きさや、周囲の配線との電位差などによって変わってくる。

そのため、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３との間に、周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響に大きな違いがあると、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とで、対応するノズル１５からインクが吐出されるタイミングのずれが大きく異なる。その結果、記録用紙Ｐにおけるインクの着弾位置がずれて、印刷品質の低下につながる。

そこで、本実施の形態では、最外駆動配線５３ａとグランド配線５４との間に、最外駆動配線５３ａと並行する調整用配線５５を設けることにより、最外駆動配線５３ａにおける、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を調整し、これにより、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とで、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が、駆動信号に与える影響を均一となるようにしている。

具体的に説明すると、最外駆動配線５３ａと並行する調整用配線５５に最外駆動配線５３ａを伝送されるのと同じ駆動信号Ａ１が、最外駆動配線５３ａと同じタイミングで伝送されるため、最外駆動配線５３ａと、調整用配線５５の駆動信号Ａ１が伝送される部分の電位が等しくなり、最外駆動配線５３ａと、調整用配線５５の最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、駆動信号Ａ１が伝送される部分との間に生じる浮遊容量が、最外駆動配線５３ａを伝送される駆動信号Ａ１に与える影響、すなわち、上記ΔＴが小さくなる。

さらに、配線片６１の接続部６４ａと、これに隣接する配線片６２接続部６６ａとを接続するか否か、及び、互いに隣接する配線片６２の接続部６６ａと接続部６６ｂとを接続するか否かを変えることによって、互いに接続する配線片６１、６２の数を調整することができる。そして、これにより、調整用配線５５の、最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、駆動信号Ａ１が伝送される部分の長さを調整し、最外駆動配線５３ａを伝送される信号に与える影響、つまり、上記ΔＴをどの程度小さくするかを調整することができる。このとき、調整用配線５５の、最外駆動配線５３ａと並行する部分の長さを長くするほど、上記ΔＴを小さくすることができる。

また、このとき、調整用配線５５の幅Ｗｃが、駆動配線５３（最外駆動配線５３ａ）の幅Ｗａと等しくなっているため、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とで、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にしやすい。

次に、プリンタ１の製造方法について、図８のフローチャートを用いて説明する。プリンタ１を製造するためには、まず、インクジェットヘッド３を作製し（ステップＳ１０１、以下、単にＳ１０１などとする）、インクジェットヘッド３にＣＯＦ５０を取り付け（Ｓ１０２）、ＣＯＦ５０を取り付けたインクジェットヘッド３を、キャリッジ２に組み付けるとともに、プリンタ１に取り付ける（Ｓ１０３）。なお、上記Ｓ１０１〜Ｓ１０３の工程は、従来と同様であるので、ここでは、詳細な説明を省略する。

次に、インクジェットヘッド３にインクを充填し、プリンタ１において、上述したように、キャリッジ２を走査方向に往復移動させつつ、ノズル１５からインクを吐出させることにより、記録用紙Ｐに所定の検査パターンを印刷し、印刷された検査パターンを用いてインクの着弾位置のずれ量（吐出特性）を検査する（Ｓ１０４、検査工程）。

次に、上記検査の結果に応じて、導電性接着剤６９により、配線片６１の接続部６４ａと、配線片６２の接続部６６ａ、互いに隣接する配線片６２の接続部６６ａと接続部６６ｂのいずれかを接続することによって、配線片６１、６２を互いに接続して、調整用配線５５の最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、ドライバＩＣ５２から信号が伝送される部分の長さを調整する（Ｓ１０５、調整工程）。なお、検査結果によっては、導電性接着剤６９により、接続部６４ａと接続部６６ａ、及び、接続部６６ａと接続部６６ｂのいずれをも接続しないこともある。

さらに、配線片６１と配線片６２とを接続しなかった場合には、配線片６１の接続部６４ｂとグランド配線の接続部５９とを、導電性接着剤６９により接続し、配線片６１と配線片６２を接続した場合、さらには配線片６２同士を接続した場合には、互いに接続された配線片６１、６２のうち、ドライバＩＣ５２から最も遠い配線片６２の接続部６６ｃと、グランド配線５４の接続部５９とを導電性接着剤６９により接続する。あるいは、互いに接続した配線片６１の接続部６４ｂ及び配線片６２の接続部６６ｃと、対応する接続部５９とを接続してもよい。

そして、このＳ１０５において、調整用配線５５のうち、最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、駆動信号Ａ１が伝送される部分の長さを調整することにより、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とで、対応するノズル１５から吐出されるインクの着弾位置のずれを均一にすることができる。

このとき、ＣＯＦ５０はインクジェットヘッド３に取り付けられているが、接続部５９、６４ａ、６４ｂ、６６ａ〜６６ｃが、基材５１の上面（圧電アクチュエータ２２との対向面と反対側の面）に設けられているため、導電性接着剤６９を塗布する際に、インクジェットヘッド３が邪魔にならず、導電性接着剤６９による、上述した接続部６４ａと接続部６６ａ、接続部６６ａと接続部６６ｂ、接続部６４ｂ、６６ｃと接続部５９の接続を容易に行うことができる。

なお、上記Ｓ１０５における導電性接着剤６９の塗布は、ＣＯＦ５０が取り付けられたインクジェットヘッド３をキャリッジ２から取り外した上で行ってもよいし、ＣＯＦ５０が取り付けられたインクジェットヘッド３をキャリッジ２に組み付けた状態で行ってもよい。

そして、Ｓ１０５の後、プリンタ１の製造のための次の工程に進むが、これ以降の工程は従来と同様であるので、ここでは詳細な説明を省略する。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。

上述の実施の形態では、ドライバＩＣ５２から調整用配線５５に、最外駆動配線５３ａに出力されるのと同じ駆動信号Ａ１が、最外駆動配線５３ａに出力されるのと同じタイミングで出力されていたが、これには限られない。例えば、ランダムなタイミングなど、ドライバＩＣ５２から最外駆動配線５３ａに駆動信号Ａ１が出力されるのと異なるタイミングで、ドライバＩＣ５２から調整用配線５５に駆動信号Ａ１が出力されるようにしていてもよい。

プリンタ１による印刷時には、ドライバＩＣ５２から複数の駆動配線５３に、互いに同じタイミングで駆動信号が出力される場合もあれば、互いに異なるタイミング駆動信号が出力される場合もある。したがって、ドライバＩＣ５２から最外駆動配線５３ａに駆動信号Ａ１が出力されるのと異なるタイミングで、ドライバＩＣ５２から調整用配線５５に駆動信号Ａ１が出力されるようにした場合でも、調整用配線５５の、最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、駆動信号Ａ１が伝送される部分の長さを調整すれば、最外駆動配線５３ａとそれ以外の駆動配線５３とで、周囲の配線との間に生じる浮遊容量が、駆動信号に与える影響を均一にすることができる。

さらには、調整用配線５５に駆動信号Ａ１を伝送することにも限られない。一変形例（変形例１）では、図１０に示すように、調整用配線５５（配線片６１）が、ドライバＩＣ５２とは接続されておらず、グランド配線５４に接続された調整用配線５５（図１０では、配線片６１と１つの配線片６２）が、常にグランド電位に保持されている（電位が付与される）。

この場合には、最外駆動配線５３ａの、グランド配線５４よりも近い位置に、グランド電位に保持された調整用配線５５が配置されており、最外駆動配線５３ａと調整用配線５５との間に浮遊容量が生じるため、調整用配線５５がない場合と比べて、最外駆動配線５３ａと周囲の配線との間に生じる浮遊容量は大きなものとなる。

さらに、互いに接続する配線片６１、６２の数を増やして、調整用配線５５の最外駆動配線５３ａと並行する部分の長さを長くするほど、最外駆動配線５３ａと調整用配線５５との浮遊容量は大きくなる。

したがって、この場合でも、調整用配線５５の、最外駆動配線５３ａと並行し、且つ、グランド電位に保持される部分の長さを調整することにより、上記浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にすることができる。

また、変形例１では、調整用配線５５がグランド配線５４に接続されることによって、グランド電位に保持されていたが、これには限られず、調整用配線５５は、例えば、ドライバＩＣ５２のグランド端子に接続されるなどして、グランド電位に保持されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、グランド電位に保持されたグランド配線５４が設けられていたが、グランド配線５４の代わりに、例えば所定の正の一定電位に保持された配線（定電位配線）が設けられていてもよい。なお、この場合には、変形例１において、調整用配線５５が上記正の一定電位に保持されるようにすればよい。

また、上述の実施の形態では、駆動配線５３、グランド配線５４が基材５１の下面に配置されていたのに合わせて、調整用配線５５（配線片６１、６２）のうち、接続部６４ａ、６４ｂ、６６ａ〜６６ｃを除いた部分が、基材５１の下面に配置され、接続部６４ａ、６４ｂ、６６ａ〜６６ｃが基材５１の上面に引き出されていたが、これには限られない。

例えば、駆動配線５３、グランド配線５４及び調整用配線５５が基材５１の上面に配置されており、ランド５６、５７のみが基材５１の下面に配置されていてもよい。そして、この場合には、配線片６１、６２の折れ曲がりの角の部分、及び、配線片６２の折れ曲がっているのと反対側の端部が、それぞれ、本発明に係る接続部となり、基材５１の上面に形成された接続部に導電性接着剤６９を塗布することによって、接続部同士を電気的に接続することができる。

また、上述の実施の形態では、基材５１の上面に、グランド配線５４及び配線片６１、６２の接続部が設けられていたが、接続部は基材５１の下面に形成されていてもよい。

この場合、インクジェットヘッド３にＣＯＦ５０を取り付け、検査パターンの印刷結果に応じて、基材５１の下面に導電性接着剤６９を塗布して配線片６１、６２の接続を行うことは困難である。しかしながら、この場合でも、例えば、インクジェットヘッド３をノズル１５の位置精度などによりランク付けするような場合には、予め、実験により、各ランクのインクジェットヘッド３において、配線片６１、６２のうち、いずれを互いに接続した場合に、最外駆動配線５３ａに対応するノズル１５と、それ以外の駆動配線５３に対応するノズル１５とで、インクの着弾位置のずれ量が最も均一になるかを調べておき、各ランクのインクジェットヘッド３にＣＯＦ５０を取り付ける前に、上記実験結果に応じて、配線片６１、６２の接続を行うなどすれば、上記浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にして、ノズル１５からのインクの着弾位置のずれ量を均一にすることは可能である。

また、上述の実施の形態では、グランド配線５４の幅Ｗｂが、駆動配線５３の幅Ｗａよりも大きく、調整用配線５５（配線片６１、６２）の幅Ｗｃが、駆動配線５３の幅Ｗａと等しくなっていたが、駆動配線５３の幅Ｗａ、グランド配線５４の幅Ｗｂ及び調整用配線５５の幅Ｗｃの大小関係はこれには限られない。

また、上述の実施の形態では、調整用配線５５が、最外駆動配線５３ａに沿って配列され、互いに電気的に接続可能となった複数の配線片６１、６２によって構成されていたがこれには限られない。例えば、調整用配線５５は、最外駆動配線５３ａと並行して延びた１つの配線であってもよい。

この場合でも、例えば、実験により、最外駆動配線５３ａに対応するノズル１５と、それ以外の駆動配線５３に対応するノズル１５とで、吐出されるインクの着弾位置のずれ量が最も均一になるときの調整用配線５５の長さを調べておき、ＣＯＦ５０の製造時に、上記実験により得られた長さの調整用配線５５を形成することにより、上記浮遊容量の影響によるインクの着弾位置のずれ量を均一にすることができる。

また、上記のようにインクジェットヘッド３をランク付けする場合には、各ランクに応じた、調整用配線５５の最外駆動配線５３ａと並行する部分の長さが異なる複数種類のＣＯＦ５０を製造しておき、インクジェットヘッド３に、そのランクに対応したＣＯＦ５０を取り付けることによって、上記浮遊容量の影響によるインクの着弾位置のずれ量を均一にすることも可能である。

また、上述の実施の形態では、検査パターンを印刷することにより、ノズル１５からのインクの吐出特性として、記録用紙Ｐにおけるインクの着弾位置のずれ量を検査し、その結果に応じて、互いに接続する配線片６１、６２の数を調整したが、これには限られず、インクの着弾位置のずれ量以外のインクの吐出特性を検査し、その検査結果に応じて、互いに接続する配線片６１、６２の数を調整するなどしてもよい。

例えば、駆動配線５３を伝送される駆動信号は、周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響を受けてなまり（図８（ｂ）参照）、駆動信号がどの程度なまるかによって、対応するノズル１５からのインクの吐出速度や、吐出されるインクの体積が変動する。したがって、ノズル１５からのインクの吐出特性として、ノズル１５からのインクの吐出速度、あるいは、ノズル１５から単位時間当たりに吐出されるインクの体積を検査し、その検査結果に応じて、互いに接続する配線片６１、６２の数を調整するなどしてもよい。なお、単位時間当たりのインクの吐出体積は、例えば、ガーゼにインクを吐出させ、ガーゼに染み込んだインクの量を測定するなどすれば、測定が可能である。

さらには、インクの吐出特性を検査することにも限られず、テスターによってＣＯＦ５０の配線間の静電容量を計測し、その結果に応じて、互いに接続する配線片６１、６２の数を調整するなどしてもよい。なお、この場合、ＣＯＦ５０を圧電アクチュエータ２２に取り付けてから静電容量の計測を行ってもよいし、アクチュエータ２２に取り付ける前に静電容量の計測を行ってもよい。

また、以上では、ノズルからインクを吐出することによって印刷を行うプリンタに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。インク以外の液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。さらに、アクチュエータによって駆動される液体吐出装置以外の装置に本発明を適用することも可能である。また、圧電アクチュエータ以外のアクチュエータと駆動ＩＣとを接続するため配線基板に本発明を適用することも可能である。

１ プリンタ
１５ ノズル
２２ 圧電アクチュエータ
５０ ＣＯＦ
５１ 基材
５２ ドライバＩＣ
５３ 駆動配線
５３ａ 最外駆動配線
５４ グランド配線
５５ 調整用配線
６１、６２ 配線片
６４ａ、６４ｂ 接続部
６６ａ〜６６ｃ 接続部

Claims (10)

1. アクチュエータの複数の駆動素子に駆動信号を付与する駆動ＩＣと、
   前記駆動ＩＣと前記複数の駆動素子とを接続するための配線基板と、を備え、
   前記配線基板は、
   基材と、
   前記基材に所定の一方向に配列されており、前記駆動ＩＣと前記複数の駆動素子とをそれぞれ接続する、前記駆動信号が伝送される複数の駆動配線と、
   前記基材に設けられ、前記所定の一方向に関して、前記複数の駆動配線のうち最も外側に位置する最外駆動配線よりも外側の領域に位置し、一定電位に保持された定電位配線と、
   前記基材に設けられ、前記最外駆動配線と前記定電位配線との間に位置するとともに、電位が付与される、前記最外駆動配線における周囲の配線との間に生じる浮遊容量の影響を調整するための調整用配線とを有することを特徴とするアクチュエータ用駆動装置。
2. 前記調整用配線は、
   前記配線基板に、前記最外駆動配線と前記定電位配線との間に配置されているとともに、前記最外駆動配線に沿って配列された、前記調整用配線を形成するための複数の配線片と、
   前記配線片に接続し、隣接する前記配線片との電気的接続を行うための接続部とを有しているとともに、
   １つの前記配線片、又は、前記接続部において互いに接続された複数の前記配線片に前記電位が付与され、
   互いに接続される前記配線片の数を変更することによって、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さが調整可能となっていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ用駆動装置。
3. 前記配線基板が、前記アクチュエータと対向するように配置されており、
   前記配線片の一部分が、前記基材の前記アクチュエータと対向する対向面に配置されているとともに、前記配線片の他の一部分が、前記基材の前記対向面と反対側の面に引き出されて前記接続部となっていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ用駆動装置。
4. 前記調整用配線は、前記一定電位に保持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のアクチュエータ用駆動装置。
5. 前記調整用配線は、前記駆動ＩＣに接続されており、
   前記駆動ＩＣから前記調整用配線に、前記駆動信号が伝送されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のアクチュエータ用駆動装置。
6. 前記駆動ＩＣから前記調整用配線に、前記最外駆動配線と同じタイミングで前記駆動信号が伝送されることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ用駆動装置。
7. 前記定電位配線の幅が、前記最外駆動配線の幅よりも大きく、
   前記調整用配線の幅が、前記最外駆動配線の幅と等しくなっていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のアクチュエータ用駆動装置。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のアクチュエータ用駆動装置と、
   ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、
   前記複数の個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する前記複数の駆動素子を有する前記アクチュエータとを備えていることを特徴とする液体吐出装置。
9. 請求項２又は３に記載のアクチュエータ用駆動装置と、
   ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、
   前記複数の個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する前記複数の駆動素子を有する前記アクチュエータとを備えた液体吐出装置の製造方法であって、
   前記最外駆動配線に対応する前記ノズルにおける液体の吐出特性を検査する検査工程と、
   前記検査工程における検査結果に基づいて、互いに接続される前記配線片の数を調整することによって、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さを調整する調整工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
10. 前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルから記録媒体に向けてインクを吐出するものであって、
    前記検査工程において、前記複数のノズルから記録媒体にインクを吐出させることによって、前記吐出特性として、前記記録媒体におけるインクの着弾位置を検査し、
    前記調整工程において、前記着弾位置の検査結果に応じて、前記調整用配線の前記最外駆動配線と並行し、且つ、前記電位が付与される部分の長さを調整することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置の製造方法。

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