JP5765275B2 - 圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 - Google Patents
圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5765275B2 JP5765275B2 JP2012056236A JP2012056236A JP5765275B2 JP 5765275 B2 JP5765275 B2 JP 5765275B2 JP 2012056236 A JP2012056236 A JP 2012056236A JP 2012056236 A JP2012056236 A JP 2012056236A JP 5765275 B2 JP5765275 B2 JP 5765275B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- piezoelectric actuator
- resonance frequency
- pressure chamber
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
第3の発明に係る液体吐出装置は、ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室と別に設けられた検査用空間と、を有する流路ユニットと、前記圧力室と前記検査用空間とを覆う第1の層と、圧電材料からなり、前記第1の層の前記圧力室と反対側の面に配置されており、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって連続的に延びた第2の層と、 前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、前記第2の層の前記検査用空間と重なる部分に形成されているとともに、前記駆動用電極と導通した検査用電極と、を有する圧電アクチュエータと、を備えており、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記圧力室のサイズと前記検査用空間のサイズとが互いに異なっていることにより、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と重なる部分である駆動部の共振周波数と、前記圧電アクチュエータの前記検査用空間と重なる部分である検査部の共振周波数とが異なっており、前記検査部の1次振動モードにおける共振周波数が、前記駆動部の1次振動モードにおける共振周波数と2次振動モードにおける共振周波数との中間の周波数となることを特徴とする。
10 圧力室
15 ノズル
17 検査用空間
21 流路ユニット
22 圧電アクチュエータ
22a 駆動部
22b 検査部
41 インク分離層
42 セラミックス層
43 圧電層
45 個別電極
46 検査用電極
47 導通部
48 バンプ
50 FPC
Claims (16)
- ノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室と別に設けられた検査用空間と、を有する流路ユニットと、
前記圧力室と前記検査用空間とを覆う第1の層と、
圧電材料からなり、前記第1の層の前記圧力室と反対側の面に配置されており、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって連続的に延びた第2の層と、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記検査用空間と重なる部分に形成されているとともに、前記駆動用電極と導通した検査用電極と、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記駆動用電極と前記検査用電極との間に配置されており、前記駆動用電極と前記検査用電極とを導通させる導通部と、を有する圧電アクチュエータと、を備えており、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面において前記駆動用電極と前記検査用電極とを結ぶ方向と直交する方向に関して、前記導通部の長さは前記検査用電極の長さよりも短いことを特徴とする液体吐出装置。 - 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記圧力室のサイズと前記検査用空間のサイズとが互いに異なっていることにより、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と重なる部分である駆動部の共振周波数と、前記圧電アクチュエータの前記検査用空間と重なる部分である検査部の共振周波数とが異なっていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- ノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室と別に設けられた検査用空間と、を有する流路ユニットと、
前記圧力室と前記検査用空間とを覆う第1の層と、
圧電材料からなり、前記第1の層の前記圧力室と反対側の面に配置されており、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって連続的に延びた第2の層と、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、
前記第2の層の前記検査用空間と重なる部分に形成されているとともに、前記駆動用電極と導通した検査用電極と、を有する圧電アクチュエータと、を備えており、
前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記圧力室のサイズと前記検査用空間のサイズとが互いに異なっていることにより、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と重なる部分である駆動部の共振周波数と、前記圧電アクチュエータの前記検査用空間と重なる部分である検査部の共振周波数とが異なっており、
前記検査部の1次振動モードにおける共振周波数が、前記駆動部の1次振動モードにおける共振周波数と2次振動モードにおける共振周波数との中間の周波数となることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記検査用空間が円形であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記検査用空間の形状と、前記検査用電極の形状とが相似になっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置。
- 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記検査用電極は、前記検査用空間よりも小さいことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液体吐出装置。
- 複数の前記圧力室が、一方向に沿って配列されており、
前記検査用空間は、前記一方向と直交する方向に関して、前記圧力室に隣接する位置に設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液体吐出装置。 - ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、を有する流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出装置における圧電アクチュエータの性能検査方法であって、
前記流路ユニットは、
前記圧力室とは別に設けられた検査用空間、をさらに備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室と前記検査用空間とを覆う第1の層と、
圧電材料からなり、前記第1の層の前記圧力室と反対側の面に配置されており、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって連続的に延びた第2の層と、
前記第2の層の前記第1の層と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、
前記第2の層の前記検査用空間と重なる部分に形成されているとともに、前記駆動用電極と導通した検査用電極と、を備え、
前記検査用電極に電圧を印加するとともに、当該電圧の周波数を変化させることによって、前記圧電アクチュエータの前記検査用空間と重なる部分である検査部の共振周波数を検出する共振周波数検出工程と、
前記共振周波数検出工程において検出した共振周波数から、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と重なる部分である駆動部が所定の性能を有するものであるか否かを判定する判定工程と、を備え、
前記共振周波数検出工程において、前記検査用電極に電圧を印加するためのプローブを前記駆動電極に接触させることによって、前記検査用電極に電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの性能検査方法。 - 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記圧力室のサイズと前記検査用空間とのサイズが異なっていることによって、前記駆動部の共振周波数と前記検査部の共振周波数とが異なっていることを特徴とする請求項8に記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。
- 前記共振周波数検出工程において、前記検査部の共振周波数を含み、且つ、前記駆動部の共振周波数を含まない範囲で前記検査用電極に印加する電圧の周波数を変化させることを特徴とする請求項9に記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。
- 前記検査用電極が、前記第2の層の前記第1の層と反対側の面に形成されており、
前記共振周波数検出工程の後、前記検査用電極の前記第1の層と反対側の面に、配線部材との接続を行うためのバンプを形成するバンプ形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。 - 検査用空間が、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て円形であることを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。
- 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記検査用空間の形状と、前記検査用電極の形状とが相似になっていることを特徴とする請求項8〜12のいずれかに記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。
- 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見て、前記検査用電極が、前記検査用空間よりも小さいことを特徴とする請求項8〜13のいずれかに記載の圧電アクチュエータの検査方法。
- 前記検査部の1次振動モードにおける共振周波数が、前記駆動部の1次振動モードにおける共振周波数と2次振動モードにおける共振周波数との間の周波数となるものであって、
前記共振周波数検出工程において、前記検査部の1次振動モードにおける共振周波数を検出することを特徴とする請求項9又は10に記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。 - 前記流路ユニットが、前記圧力室を複数備え、
前記圧電アクチュエータが、複数の前記圧力室に対応する複数の駆動用電極を備えており、
複数の前記圧力室が、一方向に沿って配列されており、
前記検査用空間は、前記一方向と直交する方向に関して、複数の前記圧力室のうち少なくとも1つに隣接する位置に設けられていることを特徴とする請求項8〜15のいずれかに記載の圧電アクチュエータの性能検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012056236A JP5765275B2 (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012056236A JP5765275B2 (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013188929A JP2013188929A (ja) | 2013-09-26 |
JP5765275B2 true JP5765275B2 (ja) | 2015-08-19 |
Family
ID=49389711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012056236A Active JP5765275B2 (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5765275B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4562379B2 (ja) * | 2003-04-24 | 2010-10-13 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法 |
US7424827B2 (en) * | 2004-04-27 | 2008-09-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Inspecting method of elastic body, inspecting apparatus thereof, and dimension predicting program thereof |
JP4887747B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2012-02-29 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置 |
-
2012
- 2012-03-13 JP JP2012056236A patent/JP5765275B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013188929A (ja) | 2013-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3693115B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びにそれらの検査方法 | |
JP5948992B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP5578126B2 (ja) | 液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、及び、アクチュエータ装置の製造方法 | |
JP2010069618A (ja) | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ | |
JP6291744B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP6379939B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP5051261B2 (ja) | 補強接点の接続状態検査方法、及び、圧電アクチュエータ装置 | |
JP2007021854A (ja) | インクジェットヘッド及びその検査方法 | |
JP2007021855A (ja) | インクジェットヘッド及びその検査方法 | |
JP6217448B2 (ja) | 液体吐出装置及び圧電アクチュエータ | |
JP5765275B2 (ja) | 圧電アクチュエータの性能検査方法及び液体吐出装置 | |
JP4240125B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェット記録装置 | |
JP4240124B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP5012843B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6428310B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法及び液体吐出装置 | |
JP2014151584A (ja) | 液体吐出装置の製造方法、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5974555B2 (ja) | 圧電アクチュエータの駆動信号決定方法、及び、液体吐出装置 | |
JP4265981B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2012245770A (ja) | アクチュエータ用駆動装置、液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP2010155407A (ja) | 液滴吐出ヘッド | |
JP6398844B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2016168812A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP4692662B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法 | |
JP5083251B2 (ja) | 給電系統の検査方法 | |
JP5381516B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150130 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150130 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150519 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150601 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5765275 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |