JP4562379B2 - 圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法 - Google Patents
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Description
3、13・・・振動板
7、17、27、127・・・変位素子
14、24・・・圧電セラミック層
15、25・・・共通電極
16、26、126・・・個別電極
152・・・保持装置
153・・・触診用プローブ
154・・・インピーダンスアナライザー
Claims (8)
- 圧電セラミック層を電極で挟持してなる複数の変位素子を振動板上に具備する圧電アクチュエータの評価方法であって、前記変位素子について厚み縦振動モードを利用した電気機械結合係数kt 、比誘電率ε及び弾性コンプライアンスを測定して、圧電定数d t を求め、予め求めた圧電定数d t と圧電定数d 31 との関係から、前記変位素子の径方向振動モードにおける圧電定数d 31 を評価することを特徴とする圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記圧電アクチュエータが、前記振動板の上に共通電極、前記圧電セラミック層及び複数の個別電極が順次形成され、前記共通電極と前記個別電極とで前記圧電セラミック層を挟持してなる前記変位素子を前記振動板上に複数形成してなることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記圧電アクチュエータの厚みが100μm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記変位素子を非拘束部とし、前記変位素子以外の部位を拘束部となるように保持部材によって前記圧電アクチュエータを固定することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記拘束部が、前記変位素子の外周部であることを特徴とする請求項4記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記圧電アクチュエータを、真空チャックを用いて固定することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の圧電アクチュエータの評価方法によって圧電定数d 31 を評価して不良品を排除し、しかる後に良品である前記圧電アクチュエータを流路部材に固定することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
- 前記液滴吐出装置が印刷ヘッドであることを特徴とする請求項7記載の液滴吐出装置の製造方法。
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