JP2006343222A - 圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能な圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Qを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Qを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電変位素子及び圧電アクチュエータに関し、より詳しくは例えば加速度センサ、ノッキングセンサ、AEセンサ等の圧電センサ、燃料噴射用インクジェクター、インクジェットプリンタ用印刷ヘッド、圧電共振子、発振器、超音波モーター、超音波振動子、フィルタ等に適し、特に広がり振動、伸び振動、厚み立て振動を利用した印刷ヘッドとして好適に用いられる圧電体アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法に関する。
従来から、圧電セラミックスを利用した製品としては、例えば圧電アクチュエータ、フィルタ、圧電共振子(発信子を含む)、超音波振動子、超音波モーター、圧電センサ等がある。
これらの中で、圧電アクチュエータは、電気信号に対する応答速度が10−6秒台と非常に高速であるため、半導体製造装置のXYステージの位置決め用圧電アクチュエータやインクジェットプリンタの印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータ等に応用されている。
インクジェット方式を利用した印刷ヘッドは、例えば図8(a)に示したように、圧電アクチュエータ51が、流路部材53の上に設けられた構造を有する(例えば、特許文献1参照)。流路部材53は、複数のインク加圧室53aが隔壁53bによって仕切られ、インク加圧室53aは圧電アクチュエータ51に当接するように並設されている。
圧電アクチュエータ51は、共通電極の役割を兼ねた導電性の振動板55上に圧電セラミック層54が設けられ、圧電セラミック層54の上に表面電極56を設けられている。表面電極56は、図8(b)に示したように、圧電セラミック層54の表面に複数配列されることにより、複数の圧電変位部57が形成されたものである。この圧電アクチュエータ51は、インク加圧室53aの直上に表面電極56が位置するようにして流路部材53上に配置している。
上記のような印刷ヘッドは、共通電極55と所定の表面電極56との間に電圧を印加して該表面電極56直下の圧電セラミック層54を変位させることにより、インク加圧室53a内のインクを加圧して、流路部材53の底面に開口したインク吐出口58よりインク滴を吐出する。
このような印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータは、複数の変位素子を支持基板に接着し、積層圧電体素子の電極部と支持基板の配線パターンとを導電性接着剤等で電気的に接続する。その後、個々の圧電素子に一定の電圧を印加し、各変位素子の変位量を測定することが行われている(例えば、特許文献2参照)。
特開平11−34321号公報
特開2003−39657号公報
しかしながら、特許文献2に記載の評価方法では、圧電アクチュエータを支持部材に接合してから圧電アクチュエータの不良の判別を行うため、製造工数が増えると共に、不良が発生した時には支持部材と、支持部材に接合する工程が無駄になり、コスト上昇の大きな要因となっていた。
ところが、径方向振動モードd31を利用した変位素子が基板表面に複数並んだ圧電アクチュエータの場合には、支持部材を接合しないで変位量を評価すると、隣接する変位素子が振動の干渉を起こして、電圧を印加していないのに変位してしまって、正確な変位量の測定が困難であるという問題があった。
従って、本発明は、支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能な圧電体アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の圧電アクチュエータの評価方法は、同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Qを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とするものである。
特に、前記圧電アクチュエータが、振動板の上に共通電極、圧電セラミック層がこの順に形成され、前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極が形成され、前記共通電極と、前記個別電極と、これらの電極で挟持された圧電セラミック層とで変位素子が形成されていることが好ましい。
また、前記変位素子を非拘束部とし、前記変位素子以外の部位を拘束部とするように保持部材によって前記圧電アクチュエータを固定することが好ましい。
さらに、前記圧電アクチュエータを、真空チャックを用いて前記保持部材に固定することが好ましい。
本発明の液滴吐出装置の製造方法は、上記の圧電アクチュエータの評価方法によって圧電定数を推定して不良品を排除し、しかる後に良品である前記圧電アクチュエータを流路部材に固定することを特徴とするものである。
特に、前記液滴吐出装置が印刷ヘッドであることが好ましい。
本発明は、圧電素子に蓄積される電荷量Qと、圧電定数又は変位量と、に相関関係があることを知見し、電荷量Qを測定することによって、その値から圧電特性を算出又は予測して圧電アクチュエータの圧電特性及びその分布情報を得るものであり、これにより、支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能とすることができる。
即ち、本発明の圧電アクチュエータの測定装置は、圧電アクチュエータ等の圧電体を支持部材に接合することなく、また、圧電体を切断することなく、簡便な方法によって、個々の圧電素子の電荷量Qを測定することによって、変位や圧電定数d31を精度よく評価することが可能となり、また、本発明の印刷ヘッドの製造方法を用いると、圧電アクチュエータの不良の判別後に流路部材と圧電アクチュエータを接着するので、不良を低減し、コストを低減することができる。
従来は支持部材を接合してから変位を測定もしくは圧電定数を測定していたのに対し、個々の変位素子について所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積される電荷量Qを測定することにより、接合無しで、かつ圧電素子を切断することなく個々の圧電素子の圧電特性を精度良く簡便に測定することが可能となり、その結果、電荷量Qの値から圧電アクチュエータとしての変位量を推定でき、また、この方法を用いて圧電アクチュエータの不良判別を迅速に且つ正確に行い、そのプロセスを簡略化し、低コスト化に寄与することが可能となる。
本発明は、複数の変位素子を具備する圧電アクチュエータの評価方法に関するものである。例えば、図1に示したように、振動板3の上に複数の変位素子7が形成されている圧電アクチュエータを評価するものである。
本発明において評価対象となる圧電アクチュエータは、振動板上に複数の変位素子が設けられたものである。このような圧電アクチュエータの構造の一例を図2に示した。
圧電アクチュエータ11は、振動板13と、振動板13上に順次形成された内部電極15、圧電セラミック層14、及び複数の表面電極16とを具備し、変位素子17が表面電極16と内部電極15とで挟持された圧電セラミック層14とで構成され、振動板13上には複数の変位素子17が形成されている。
このような変位素子の大きさは、例えば縦10mm、横10mmの振動板の上に、2個以上、特に50個以上、更には100個以上、より好適には200個以上集積されており、これらの変位特性とそのばらつきを精度良く、しかも簡便な方法によって評価することが必要となっている。
本発明によれば、圧電アクチュエータ11の厚みが100以下、特に80μm以下、更には60μm以下であることが好ましい。このような薄層の圧電アクチュエータ11であっても、容易に評価することができ、しかも迅速に評価することができる。さらに、破壊や欠損もなく、正確な測定評価を行うことができる。
なお、共通電極と個別電極が複数ずつ繰り返し積層された積層体からなっていても、本発明を好適に適応することが可能である。例えば、図3に示したように、圧電アクチュエータ21は、圧電セラミック層24の内部又は表面に複数の電極が設けられ、共通電極25と個別電極26とが交互に設けられている。また、厚み方向に対して同じ位置に配置された個別電極26は、お互いに電気的に接続され、共通電極25と個別電極26とこれらの電極に挟持された圧電セラミック層24とで変位素子が形成されている。
従って、厚み方向に対して同じ位置に配置された個別電極26はすべて同電位となり、また、共通電極25も全てが電気的に連結されて同電位となるとともに、共通電極25と個別電極26との間で変位が生じ、複数の層が変位するため、変位量が助長され、大きな変位を発生することができる。このような圧電アクチュエータでも、本発明の評価方法を好適に適応することが可能である。
圧電アクチュエータの保持方法については、基板や治具の上に載置しても良いし、或いは、クランプ等により機械的に保持しても良いが、特に、真空チャックを用いて圧電アクチュエータを固定することが好ましい。真空チャックを用いれば、圧電アクチュエータの脱着が容易で、しかも吸着力を制御すれば、薄い圧電アクチュエータであっても破壊することが少なく、歩留りを高め、その結果コスト削減に寄与することが容易となる。
なお、真空チャックとは、圧電アクチュエータの一方の主面を減圧にしてその際の吸引力によって圧電アクチュエータを保持するものである。
また、圧電アクチュエータは、測定に先立って固定される際に、保持部材を用いて固定されるのが好ましい。例えば、図4に示したように、減圧容器123の試料固定部124と真空ポンプに連結された排気管(図示せず)に接続された真空排気口125を通して減圧容器123の内部が減圧状態になる。
従って、圧電アクチュエータ121、保持部材122を減圧容器123の試料固定部124の上に載置すると、保持部材122に設けられた吸引孔128を介して圧電アクチュエータ121の一部が吸引され、その吸引力で圧電アクチュエータ121が保持される。
保持部材122に設けられた吸引孔128は、表面電極126又は変位素子127よりも僅かに大きい程度の大きさにして変位素子127の外周部を固定するものであり、保持部材122に設けられた振動溝129によって変位素子127が自由に変位することができるようになっている。
このように、圧電アクチュエータ121の保持には、圧電アクチュエータを拘束し、且つ圧電アクチュエータ121に設けられた変位素子の変位を可能にすることが好ましく、複数の変位素子のうち、一部の変位素子の外周部を個々に拘束することができる手段を備えることが望ましい。
また、本発明における保持方法は、上述したように、変位素子を非拘束部とし、変位素子以外の部位を拘束部となるように前記圧電アクチュエータ121を保持部材に固定することが好ましい。これにより、実際に流路部材に接着剤等で固定した時と同じ状態を再現することができ、さらに液体吐出装置に近い特性を得ることができるため、より正確な測定を迅速に行うことが期待できる。例えば、100μm以下の薄い圧電アクチュエータ121は、割れを防止するために、特定の保持具に固定するのが良い。
また、保持部材として、複数の吸引孔及び/又は溝を備えた保持板を用い、その上に圧電アクチュエータを載置した状態で保持するのが良い。このような保持部材は、印刷ヘッドに用いる流路部材と類似の材質や類似の形状及び大きさを有していることが、印刷ヘッドとして使用する状態を再現することによって、より正確な評価を行う上で好ましい。
そして、上述したように、隣接点との干渉を抑制するために、個々の変位素子の外周部を固定することが好ましい。全ての変位素子を測定しない場合であっても、測定する変位素子の外周部を固定させ、振動させることが、より正確な評価のために必要であり、更に全ての変位素子を外周部で固定させることが望ましい。
例えば、変位素子の外周部に保持部材の複数の吸引孔が配置するように、圧電アクチュエータを保持部材に載置し、減圧して保持することができる。これは、いわゆる真空チャックであり、多数の変位素子をその外周部で同時に保持すること及びそれを離脱させることが容易であり、また、薄い圧電アクチュエータであってもより安全に測定することができる。その結果、隣接する変位素子との干渉を抑制でき、変位特性をより精度良く評価することが可能となる。
このような多数の変位素子が設けられた構造に対しては、本発明の評価方法を用いることによって短時間で、圧電アクチュエータの保持部材への脱着が容易で、正確な評価を行うことが可能となり、特に測定する変位素子の数が多いほどその効果が大きい。
本発明の圧電アクチュエータの評価方法は、複数の変位素子の所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積される電荷量Qを測定し、その値から圧電特性を見積もり評価するものである。
具体的には、測定する変位素子の分極特性として、ソーヤタワーの回路を用いて所定電圧時の電荷量Qを測定することができる。
本発明によれば、駆動に利用している圧電アクチュエータの振動モードは径方向振動であるので本来、圧電定数としてはd31で評価すべきであるが上述したように同一基板内に複数の変位素子を有する場合、隣接する素子の振動干渉でd31を正確に評価することが困難であるため、種々の評価手法に関して検討した結果、変位素子に蓄積される電荷量Qと径方向振動モードにおける圧電定数は密接な関連があることを見出した。
図5はソーヤタワーの回路を用いた電荷量Q測定例を示したものである。さらに図6は所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積された電荷量Qと変位の関係を示したものであり、電荷量Qと変位は相関関係がある。従って、あらかじめ、これらを比較して校正曲線を作成しておけば、電荷量Qを測定することによって、製品としての圧電アクチュエータを、簡便に、且つ正確に評価することができる。
測定方法に関しては図7に示すように、圧電アクチュエータ151を保持装置152に固定し、圧電アクチュエータ151の個々の変位素子に正極、負極を設け、ソーヤタワーの回路を用いてアクチュエータの両極にそれぞれ触診用プローブ153のプローブ端子を接続する。また、所望により、端子の接続を確認するため、CCDカメラ155による映像をモニタ156で確認しながら作業を行うことができる。
この操作は、単独の変位素子についての測定であっても良いし、複数の変位素子についての測定であっても良い。例えば、複数の変位素子に対して、それぞれ電気的に接続し、同時に、或いは順次これらの変位素子について電荷量Qを測定すれば良い。
このように、平面上に複数の変位素子が形成されている場合、特に、支持部材に接合しなくても、電荷量Qを測定することによって圧電特性を評価することが容易にできる。
本発明の液滴吐出装置の製造方法は、上記の圧電アクチュエータの評価方法によって評価した圧電定数に基づいて不良品を排除し、しかる後に良品である圧電アクチュエータのみを流路部材に接着し、固定することが重要である。これにより、簡便でしかも短時間に正確な測定・評価を行えるので、工程を簡略化し、製造コストを低減し、歩留まりを向上することができる。
この製造方法は、特にインクジェット方式のプリンタ等に使用される印刷ヘッドの製造方法として好適である。即ち、圧電アクチュエータを流路部材に接着する前に、圧電アクチュエータの個々の変位素子の圧電特性のバラツキ、異常素子を検査確認できるため、アクチュエータ単体での性能を保証することが可能となるとともに部材コストの低減を図ることができる。
1、11、21、121・・・圧電アクチュエータ
3、13・・・振動板
7、17、27、127・・・変位素子
14、24・・・圧電セラミック層
15、25・・・共通電極
16、26、126・・・個別電極
3、13・・・振動板
7、17、27、127・・・変位素子
14、24・・・圧電セラミック層
15、25・・・共通電極
16、26、126・・・個別電極
Claims (6)
- 同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Qを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とする圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記圧電アクチュエータが、振動板の上に共通電極、圧電セラミック層がこの順に形成され、前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極が形成され、前記共通電極と、前記個別電極と、これらの電極で挟持された圧電セラミック層とで変位素子が形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記変位素子を非拘束部とし、前記変位素子以外の部位を拘束部とするように保持部材によって前記圧電アクチュエータを固定することを特徴とする請求項1または2記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 前記圧電アクチュエータを、真空チャックを用いて前記保持部材に固定することを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータの評価方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータの評価方法によって圧電定数を推定して不良品を排除し、しかる後に良品である前記圧電アクチュエータを流路部材に固定することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
- 前記液滴吐出装置が印刷ヘッドであることを特徴とする請求項5記載の液滴吐出装置の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2005169295A JP2006343222A (ja) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | 圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2010131887A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Konica Minolta Holdings Inc | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2010143169A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの評価方法及びアクチュエーター装置の評価方法 |
-
2005
- 2005-06-09 JP JP2005169295A patent/JP2006343222A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010143169A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの評価方法及びアクチュエーター装置の評価方法 |
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