JP2010155407A - 液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエータを大型化することなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設ける。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、複数のノズル１６ａが、ノズル列が平行に延びる２つのノズル列群として形成され、この２つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられている。二列のノズル列からなる一方のノズル列群に対応する領域Ｓ１と、この領域Ｓ１のノズル列と平行に配列された六列のノズル列からなる他方のノズル列群に対応する領域Ｓ２との間に、圧電アクチュエータ１２の駆動に関与しない領域として、前記ノズル列が延在するノズル列方向Ｘに長い領域Ｓ３を有する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、インクジェットヘッドなどの液滴吐出ヘッドに関するものである。

液滴吐出ヘッド 例えばインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとしては、複数のノズルと各ノズルに対応する圧力室とを備えたキャビティユニットに、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータを接合して固定した構造のものが知られている。

前記キャビティユニットは、レーザ加工等により微細なノズルが形成されたノズルプレートに、インク流路を形成するその他の複数のプレートが積層されている。そして、キャビティユニットにおける圧力室の背面に圧電アクチュエータを接合している。

そして、全てのインクジェットヘッドにおいてインクの吐出速度がほぼ一定になるように、圧電アクチュエータに印加する駆動電圧を各ヘッド毎に調整していた。具体的には、ヘッド内にインクを注入し、前記駆動電圧を変えながら、インク吐出状況や記録結果を観察して、各ヘッド毎に適正な駆動電圧を決定していた。

しかしながら、この従来の方法では、ヘッド毎にインクを実際に注入して行う作業であるため、調整作業が煩雑となり、また、肉眼による観察によって検査するため、検査結果に個人差を生じる。

そこで、本出願人は、実際に吐出特性を測定して、調整すると、ライン内での時間を要し、製造効率が低下するので、インクを充填する前の状態で、吐出特性を測定し、駆動電圧を決定したいという要求を満たすために、キャビティユニットのノズル径と圧電アクチュエータの静電容量値との組み合せに基づいて、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則をあらかじめ定める工程と、キャビティユニット毎のノズル径と圧電アクチュエータ毎の静電容量値とを、それぞれ測定する工程と、前記組み合せ規則に基づいて、対応するノズル径と静電容量値とをそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとを選択し組み合わせる工程とを備えるインクジェットヘッドの製造方法を先に提案している（例えば特許文献１参照）。
特開２００５−３２９６２８号公報

そのような吐出特性を測定し、駆動電圧を決定するために、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を前記圧電アクチュエータ自体に設けたいという要求がある。しかし、このような検査手段を圧電アクチュエータに設けると、圧電アクチュエータが大型化し、それに応じて吐出ヘッドが大型化してしまうという新たな問題が生じる。

この発明は、圧電アクチュエータを大型化することなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。

請求項１の発明は、複数のノズルおよび各ノズルにそれぞれ対応する複数の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記複数の圧力室内の液体に対して選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、これらが積層されて構成される液滴吐出ヘッドであって、前記複数のノズルは、ノズル列が平行に延びる２つのノズル列群として形成され、この２つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられており、前記２つのノズル列群は、それぞれ、特性が異なる前記液体の液滴を吐出するものであり、前記圧電アクチュエータには、当該圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段が設けられ、前記検査手段が設けられている部分は、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なっていることを特徴とする。

２つのノズル列群は互いに特性が異なる液滴を吐出するものであるため、一方の群のノズルから吐出される液が他方の群のノズルに侵入することは避けなければならず、これらの群はある程度離間するように間隔をおいて設けられる。すると、圧電アクチュエータにおいても、その間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、重なっている部分は、ノズルからの液滴の吐出には貢献しない機能的には無駄ナスペースとなっている。本発明は、圧電アクチュエータの無駄なスペースに検査手段が設けられているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる。

また、特性の異なる液体の液滴を吐出する２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て重なっている部分に、検査手段が設けられるので、異なる特性のそれぞれによる影響を検査する上で有利である。

この場合、請求項２に記載のように、請求項１の液滴吐出ヘッドにおいて、前記２つのノズル列群のうち一方のノズル列群が、第１のキャップ部で覆われ、他方のノズル列群が第２のキャップ部で覆われるものであり、前記第１および第２のキャップ部が前記２つのノズル列群を覆った状態で、前記第１のキャップ部の内部空間と前記第２のキャップ部の内部空間とを仕切る部分が、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なることが望ましい。ここで、キャップ部には、吸引パージに使用する吸引キャップや電源ＯＦＦ時に使用する封止キャップの一部を構成するもので、第１および第２のキャップ部は一体に形成されていてもよいし、別体に形成されていてもよい。

このようにすれば、第１および第２のキャップ部で覆われる部分の間のデッドスペースに対応して生じる前記重なる部分（デッドスペース）を有効利用するので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、検査手段を設けることができる。

請求項３に記載のように、請求項２の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴はインク滴であり、前記一方のノズル列群は、顔料インクの液滴を吐出するものであり、前記他方のノズル列群は、染料インクの液滴を吐出するものとすることができる。

このようにすれば、顔料インクの液滴を吐出するノズル列群と染料インクを吐出するノズル列群との間に部分に、検査手段が設けられるので、異なる特性のそれぞれによる影響を検査する上で有利である。

請求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記２つのノズル列群の間に対応する部分は、前記ノズル列が延在するノズル列方向に長いもの
であり、前記検査手段は、前記ノズル列方向に長いものであることが望ましい。

このようにすれば、ノズル列群の間の、ノズル列方向に長い部分を利用して、ノズル列方向に長い検査手段が無理なく配置される。

請求項５に記載のように、請求項１〜４のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、活性層となる第１の圧電層と、この第１の圧電層に積層された拘束層となる第２の圧電層とを有し、前記第１の圧電層の一方の面には、前記複数の圧力室にそれぞれ個別に対向する複数の個別電極が設けられ、他方の面には、前記複数の圧力室に共通に対向する共通電極がそれぞれ設けられてなり、前記検査手段は、前記第１の圧電層の静電容量を、第１の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第１の圧電層を挟むように設けられた第１の検査用駆動電極パターンと、前記第２の圧電層の静電容量を、第２の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第２の圧電層を挟むように設けられた第２の検査用駆動電極パターンと、前記第１および第２の圧電層の両層についての、面内方向の静電容量を、第３の静電容量として検出するために前記第１の圧電層の上下面および前記第２の圧電層の下面に検査用定電位電極パターンとともに設けられた第３の検査用駆動電極パターンとを備える構成とすることができる。

このようにすれば、圧電アクチュエータ１２の第１および第２の圧電層についての静電容量を検査するための検査手段が無理なく配置される。

本発明は、上記のように、２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、重なっている部分（デッドスペース）に検査手段が設けられているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。

図１（ａ）は本発明の実施の形態にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータおよびフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。

本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットヘッド３（液滴吐出ヘッド）が設けられている。キャリッジ２は、プリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂにおいて往復移動する。図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とインクジェットヘッド３との間に導入されて、インクジェットヘッド３から記録用紙Ｐに向けて吐出されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ６にて排紙される。

また、図１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３は、キャビティユニット１１と、圧電アクチュエータ１２とを下側から順に備え、圧電アクチュエータ１２の上面に駆動信号を供給するフレキシブル配線板１３（信号線）が設けられている。

キャビティユニット１１は、図２に示すように、複数枚のプレート部材からなる積層体
１４を含む。その積層体１４の上側には、振動板としての圧電層１５（トッププレート）が設けられる一方、下側には、複数のノズル列を平行に形成する複数のノズル１６ａ（ノズル穴）を有するノズルプレート１６、およびノズル１６ａに対応して貫通穴１７ａを有するスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。そして、圧電層１５の上側に、各圧力室１４Ａａ内のインク（液体）を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ１２が接合（固着）されている。また、キャビティユニット１１の開孔１１ａには、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられている。ノズルプレート１６は、（積層体１４を構成する）キャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル１６ａがそれぞれ設けられた合成樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）のプレートである。なお、ノズルプレート１６は金属プレートとしてもよい。

積層体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ、べースプレート１４Ｂ、アパチャープレート１４Ｃ，２枚のマニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅおよびダンパープレート１４Ｆがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｆは、各ノズル１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。ここで、キャビティプレート１４Ａは、複数の圧力室１４Ａａとして機能する開口が、ノズル列が延在するノズル列方向Ｘ（図４（ａ）参照）に対応して規則的に形成された金属プレートである。べースプレート１４Ｂは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｂａおよび各圧力室１４Ａａから各ノズル１６ａへの連通穴１４Ｂｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。アパチャープレート１４Ｃには、それの上面に、各圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａとを連通する連通路２１が凹部通路として形成されるとともに、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｃａおよび各圧力室１４Ａａからノズル１６ａへの連通穴１４Ｃｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａに加えて、各圧力室１４Ａａから各ノズル１６ａへの連通穴１４Ｄｂ，１４Ｅｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート１４Ｆは、下面に凹部として形成されるダンパー室１４Ｆａのほか、各圧力室１４Ａａを各ノズル１６ａに連通する連通穴１４Ｆｂが設けられた金属プレートである。

このように、キャビティユニット１１は、複数のノズル１６ａ、および複数のノズル１６ａのそれぞれ対応する複数の圧力室１４Ａａを備え、複数の圧力室１４Ａａが複数のノズル１６ａとそれぞれ連通している。圧力室１４Ａａには、インクを一時的に貯留するマニホールド（図示せず）からインクが供給される。なお、ノズル列方向Ｘには、図４（ａ）（ｂ）に記載されるように、２つのノズル列の両側に配置されるように、圧力室１４Ａａの列が形成されている。

圧電アクチュエータ１２は、複数の圧力室１４Ａａ内のインクに対して選択的に圧力を付与するもので、図４（ｃ）に示すように、活性層となる第１の圧電層１２ａと、拘束層となる第２の圧電層１２ｂとを上側から順に有する。つまり、圧電アクチュエータ１２は第１および第２の圧電層１２ａ，１２ｂを積層して形成されている。

第１の圧電層１２ａの一方の面（図４（ｃ）において上面）には、図４（ａ）（ｃ）に示すように、複数の圧力室１４Ａａにそれぞれ個別に対向する複数の個別電極２１が設けられ、この個別電極２１が形成する列が、ノズル列方向Ｘ（圧力室１４Ａａが延在する圧力室１４Ａａの列方向でもある）に延びている。また、第１の圧電層１２ａの他方の面（図４（ｃ）において下面）には、複数の圧力室１４Ａａに共通に対向する共通電極２２（定電位電極）がほぼ全面に亘って設けられている。

両圧電層１２ａ，１２ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなり、圧電層１２ａは、個別電極２１が設けられている部位において、厚さ方向において分極されている。なお、この実施の形態では、圧電層１５（トッププレート）も、圧電層１２ａ，１２ｂと同じ材料、つまり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなる。

圧電アクチュエータ１２は、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される積層方向Ｚ（図４（ｂ）参照）から見て、複数のノズル１６ａが、ノズル列が平行に延びる２つのノズル列群として形成され、この２つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられている。二列のノズル列からなる一方のノズル列群に対応する領域Ｓ１と、この領域Ｓ１のノズル列と平行に配列された六列のノズル列からなる他方のノズル列群に対応する領域Ｓ２との間に、圧電アクチュエータ１２の駆動に関与しない領域として、前記ノズル列が延在するノズル列方向Ｘに長い領域Ｓ３を有する。

つまり、図４（ａ）に示すように、一方のノズル列群に対応する領域Ｓ１には、二列のノズル列に対応して個別電極２１の列が二列形成され、他方のノズル列群に対応する領域Ｓ２には、六列のノズル列に対応して個別電極２１の列が六列形成されている。これらの領域Ｓ１，Ｓ２の間の、ノズル列方向Ｘに長い領域Ｓ３には、個別電極２１、圧力室１４Ａａやノズル１６ａが設けられておらず、圧電アクチュエータ１２の駆動に関与しない領域となっている。なお、前記一方のノズル列群は、ブラックインク（顔料インク）の液滴を吐出するものであり、前記別の特定のノズル列群は、カラーインク（染料インク）の液滴を吐出するものである。

また、キャビティユニット１１のノズル面側には、図４（ｂ）に示すように、吐出機能を回復する回復時には、吐出機能を回復する周知の回復装置の吸引キャップ３１にて覆われるようになっており、この吸引キャップ３１が、前記一方のノズル列群を覆う第１のキャップ部３１ａと、前記他方のノズル列群を覆う第２のキャップ部３１ｂとを備える。そして、第１および第２のキャップ部３１ａ，３１ｂが前記２つのノズル列群を覆った状態で、第１のキャップ部３１ａの内部空間と第２のキャップ部３１ｂの内部空間とを仕切る仕切り壁部３１ｃが、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なるようになっている。そして、前記２つのノズル列群の間の部分に、積層方向Ｚから見て、領域Ｓ３（圧電アクチュエータ１２の駆動に関与しない領域）が対向している。

この圧電アクチュエータ１２の駆動に関与しない領域Ｓ３には、図４（ａ）に示すように、(i)圧電層１２ａの厚さ方向の静電容量（第１の静電容量Ｃ１）、(ii)圧電層１２ｂ
の厚さ方向の静電容量（第２の静電容量Ｃ２）、(iii)第１および第２の圧電層１２ａ，
１２ｂの両層についての、面内方向の静電容量（第３の静電容量Ｃ３）、を測定し、圧電アクチュエータ１２の機能あるいは特性を検査するための検査手段４１として、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２，４３，４４と検査用定電位電極パターンとしての検査用グランド電極パターン４５とが設けられている。第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２，４３，４４と検査用定電位電極パターンとして検査用グランド電極パターン４５とに挟まれる部分が静電容量を形成することになる。

第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４の、領域Ｓ３に対する配置は、図４（ａ）および図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される積層方向Ｚから見て、ノズル列方向Ｘの一側に第１および第２の検査用駆動電極パターン４２，４３が設けられ、他側に第３の検査用駆動電極パターン４４が設けられている。

このように、圧電アクチュエータ１２に対し、個別電極２１や共通電極２２が設けられ
駆動に関与する領域Ｓ１，Ｓ２とは別の領域Ｓ３に対し、検査手段４１としての検査のために、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３を測定する検査用駆動電極パターン４２〜４４および検査用グランド電極パターン４５が組み込まれている。この検査手段４１は、ノズル列方向Ｘに長いもので、積層方向Ｚから見て、検査手段４１が設けられている部分は、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と対向しかつ重なっているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、検査手段４１を設けることができる。

具体的には、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４と検査用グランド電極パターン４５は、領域Ｓ３において、図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、圧電アクチュエータ１２の圧電層１２ａ，１２ｂに対し設けられている。

第１の圧電層１２ａの上面側においては、図５（ａ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に第１の検査用駆動電極パターン４２の矩形状電極部４２Ａが設けられ、他側に第３の検査用駆動電極パターン４４の櫛状電極部４４Ａおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン４５の櫛状電極部４５Ａが設けられている。この第３の検査用駆動電極パターン４４の櫛状電極部４４Ａは、ノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙ（図４（ａ）参照）に延びる複数の検査電極部４４Ａａと、ノズル列方向Ｘに延び検査電極部４４Ａａが接続される接続電極部４４Ａｂとを有する。この櫛状電極部４４Ａの検査電極部４４Ａａと間隔を存在させて、検査用グランド電極パターン４５の櫛状電極部４５Ａの検査電極部４５Ａａが配置され、これらの検査電極部４５Ａａが、検査用駆動電極パターン４４の接続電極部４５Ａｂと反対側において、ノズル列方向Ｘに延びる接続電極部４５Ａｂに接続されている。櫛状電極部４４Ａ，４５Ａ（第３の検査用駆動電極パターン４４および検査用グランド電極パターン４５）の接続電極部４４Ａｂ，４５Ａｂの、第１の検査用駆動電極パターン４２の矩形状電極部４２Ａ側の端部には、接続端子部４４Ａｃ，４５Ａｃがそれぞれ設けられている。そして、櫛状電極部４５Ａ（検査用グランド電極パターン４５）の接続端子部４５Ａｃに隣接して第１の検査用駆動電極パターン４２の接続端子部４２Ａｃが配置され、この接続端子部４２Ａｃと第３の検査用駆動電極パターン４４の接続端子部４４Ａｃとの間に、第２の検査用駆動電極パターン４３の接続端子部４３Ａｃが配置されている。このように接続端子部４２Ａｃ，４３Ａｃ，４４Ａｃ，４５Ａｃが、積層方向Ｚから見て、矩形状電極部４２Ａ（第１の検査用駆動電極パターン４２）が設けられている部分と、櫛状電極部４４Ａ（第３の検査用駆動電極パターン４４）およびそれに対応する櫛状電極部４５Ａ（検査用グランド電極パターン４５）が設けられている部分との間に配置されている。なお、キャビティユニット１１には、検査用駆動電極パターン４２〜４４に電圧が印加され、検査用グランド電極パターン４５との間に電位差が生じたときの、圧電層１２ａ，１２ｂの変形を拘束しないように空所１１ａ，１１ｂが形成されている。

第１の圧電層１２ａの下面側（第２の圧電層１２ｂの上面側）においては、図５（ｂ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に、検査用グランド電極パターン４５の矩形状電極部４５ＢＢが設けられ、他側に第３の検査用駆動電極パターン４４の櫛状電極部４４Ｂおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン４５の櫛状電極部４５Ｂが設けられている。検査用グランド電極パターン４５の矩形状電極部４５ＢＢは、第１の検査用駆動電極パターン４２の矩形状電極部４２Ａに積層方向Ｚにおいて対向して設けられている。矩形状電極部４５ＢＢおよび櫛状電極部４４Ｂ，４５Ｂは、第１の圧電層１２ａの上面側の矩形状電極部４２Ａおよび櫛状電極部４４Ａ，４５Ａに積層方向Ｚにおいて対向して設けられている。そして、櫛状電極部４４Ｂ，４５Ｂは、検査電極部４４Ａａ，４５Ａａ、接続電極部４４Ａｂ，４５Ａｂおよび接続端子部４４Ａｃ，４５Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する検査電極部４４Ｂａ，４５Ｂａ、接続電極部４４Ｂｂ，４５Ｂｂおよび中間電極部４４Ｂｃ，４５Ｂｃを有する。また、第３の検査用駆動電極パターン４４の中間電極部４４Ｂｃに隣接して、第２の検査用駆動電極パターン４３の接続端子部４３Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する中間電極部４２Ｂｃが設けられている。

第２の圧電層１２ｂの上面側においては、図５（ｃ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に、第２の検査用駆動電極パターン４３の矩形状電極部４３Ｃが設けられ、他側に、第１の圧電層１２ａの上面側と同様に、第３の検査用駆動電極パターン４４の櫛状電極部４４Ｃおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン４５の櫛状電極部４５Ｃが設けられている。矩形状電極部４３Ｃは、第１の検査用駆動電極パターン４２の矩形状電極部４２Ａや検査用グランド電極パターン４５の矩形状電極部４５ＢＢに積層方向Ｚにおいて対向して設けられている。櫛状電極部４４Ｃ，４５Ｃは、櫛状電極部４４Ａ，４５Ａに積層方向Ｚにおいて対向して設けられ、検査電極部４４Ａａ，４５Ａａ、接続電極部４４Ａｂ，４５Ａｂおよび接続端子部４４Ａｃ，４５Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する検査電極部４４Ｃａ，４５Ｃａ、接続電極部４４Ｃｂ，４５Ｃｂおよび下側電極部４４Ｃｃ，４５Ｃｃを有する。また、第３の検査用駆動電極パターン４４の下側電極部４４Ｃｃに隣接して、第２の検査用駆動電極パターン４３の接続端子部４３Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する下側電極部４３Ｃｃが設けられている。

そして、第３の検査用駆動電極パターン４４および検査用グランド電極パターン４５の検査電極部４４Ａａ，４４Ｂａ，４４Ｃａ，４５Ａａ，４５Ｂａ，４５Ｃａは、複数箇所において、内部電極が設けられた導電性スルーホール４４ｄ，４５ｄにて電気的に接続されている。第２および第３の検査用駆動電極パターン４３，４４および検査用グランド電極パターン４５の接続端子部４３Ａｃ，４４Ａｃ，４５Ａｃ、中間電極部４３Ｂｃ，４４Ｂｃ，４５Ｂｃおよび下側電極部４３Ｃｃ，４４Ｃｃ，４５Ｃｃも、内部電極が設けられた導電性スルーホール４３ｅ，４４ｅ，４５ｅにて電気的に接続されている。

以上のように、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４および検査用グランド電極パターン４５を設けたことにより、図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、第１の検査用駆動電極パターン４２は、検査用グランド電極パターン４５との間に第１の圧電層１２ａを挟むように設けられ、第１の圧電層１２ａの厚さ方向の静電容量を、第１の静電容量Ｃ１として、検査のために測定できるようになっている。第２の検査用駆動電極パターン４３は、検査用グランド電極パターン４５との間に第２の圧電層１２ｂを挟むように設けられ、第２の圧電層１２ｂの厚さ方向の静電容量を、第２の静電容量Ｃ２として、検査のために測定できるようになっている。第３の検査用駆動電極パターン４４は、第１の圧電層１２ａの上下面および第２の圧電層１２ｂの下面に検査用グランド電極パターン４５とともに設けられ、第１および第２の圧電層１２ａ，１２ｂの両層についての、面内方向の静電容量を、第３の静電容量Ｃ３として、検査のために測定できるようになっている。なお、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４と検査用グランド電極パターン４５との間の部分は、分極されている。つまり、第１および第２の検査用駆動電極パターン４２，４３の矩形状電極部４２Ａ，４３Ｃと検査用グランド電極パターン４５の矩形状電極部４５ＢＢとの間は圧電層１２ａ，１２ｂの厚さ方向において分極され、第３の検査用駆動電極パターン４４の櫛状電極部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃと検査用グランド電極パターン４５の櫛状電極部４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃとの間は、面内方向において分極されている。

そして、第１および第２の検査用駆動電極パターン４２，４３が設けられている部分と第３の検査用駆動電極パターン４４が設けられている部分との間に、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４および検査用グランド電極パターン４５の接続端子部４２ｃ，４３ｃ，４４ｃ，４５ｃが配置されている。

このように、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４と検査用グランド電極パターン４４とが配置されたものにおいては、前述したように誘電率εおよび圧電層１２ａ，１２ｂの厚さｔ１，ｔ２と相関がある第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３は、次の式で表
せる。ここで、第１〜第３の検査用駆動電極パターン４２〜４４の専有面積は、それぞれ駆動電極２１の専有面積よりも大きいので、個別電極２１と共通電極２２を用いて静電容量Ｃ１〜Ｃ３を測定する場合よりも精度よく検出できる。

Ｃ１＝ε・Ａ１／ｔ１
Ｃ２＝ε・Ａ２／ｔ２
Ｃ３＝ε・（ｔ１＋ｔ２）・Ｌ／Ｇ

ε ：誘電率
ｔ１：第１の圧電層１２ａ（活性層）の厚さ（図５（ｄ）参照）
ｔ２：第２の圧電層１２ｂ（拘束層）の厚さ（図５（ｄ）参照）
Ａ１：第１の検査用駆動電極パターン４２の電極面積
Ａ２：第２の検査用駆動電極パターン４３の電極面積
Ｌ ：第３の検査用駆動電極パターン４４と検査用グランド電極パターン４５との間に
形成される間隔の長さ（図５（ａ）での線分Ｌの長さ）
Ｇ ：第３の検査用駆動電極パターン４４と検査用グランド電極パターン４５との距離（図５（ａ）参照）

よって、第１〜第３の静電容量は、誘電率εと第１および第２の圧電層１２ａ，１２ｂの厚さｔ１，ｔ２との間に相関があり、それらよりも測定が容易であるので、第１〜第３の静電容量を測定すれば、ノズル１６ａからの液滴を設定吐出速度で吐出させるために個別電極２１に印加する必要がある駆動電圧Ｖ１０（設定吐出速度１０ｍ／ｓでノズル１６ａから液滴を吐出させるのに必要な駆動電圧）を簡単に予測することができ、圧電アクチュエータ１２の機能あるいは特性の検査に利用することができる。

続いて、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３に基づき、設定吐出速度（例えば吐出速度１０ｍ／ｓ）で吐出できる駆動電圧Ｖ１０の予測方法について説明する。ここで、第１〜第３の工程は、第４の工程に先立って行えばよく、第１〜第３の工程の順番は前後してもよいのはもちろんである。なお、静電容量は、インピーダンスアナライザーを用いて、駆動電圧パターン４２〜４４の接続端子部４２ｃ，４３ｃ，４４ｃと検査用グランド電極パターン４５の接続端子部４５ｃとの間に一定周期の電圧を加えたときの電流値から求める方法などにより測定される。
（準備工程）
まず、前記駆動電圧Ｖ１０を予測するための準備段階として、複数のインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）に対して、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３を測定するとともに実際に液滴を、設定吐出速度（例えば吐出速度１０ｍ／ｓ）で吐出できる駆動電圧Ｖ１０を測定し、これらの測定値に基づいて、前記第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３と設定吐出速度で吐出できる駆動電圧Ｖ１０との関係を、例えば表１に例示するように表（テーブル）で表すか、あるいは測定値に基づき前述したように実験式を作成する。このように実際の測定値を用いて作成した表や実験式を用いるので、製造誤差（圧電層１２ａ，１２ｂの厚さｔ１，ｔ２のバラツキなど）があることの影響が打ち消される。

第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３を測定し、それから前記表１を参照すれば、測定した第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３に基づき、設定吐出速度となるために圧電アクチュエータ１２に印加すべき駆動電圧Ｖ１０を予測することができる。この場合、静電容量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の測定値に対応する近似値が、選択した表に存在しない場合があることを考慮して、前記表１を作成するために用いるヘッドの数を増やすことも可能である。

また、前記表１にしめすような準備工程での測定データから、静電容量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を変数として、駆動電圧Ｖ１０を表す実験式（関係式）を求めると、次の式となるので、この式を用いて駆動電圧Ｖ１０を予測することもできる。

この実験式を用いて予測する場合には、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３をまず測定し、その測定値を前記実験式に代入することで、必要とする駆動電圧Ｖ１０を予測（決定）することができる。

また、前述した表１のほか、次の表２〜表４に示すように、１つの静電容量例えば第３の静電容量Ｃ３をパラメータとして、複数種類の表を作成することも可能である。この場合には、測定値の１つである第３の静電容量Ｃ３に基づき、使用すべき表を、表２〜４の中から選択し、その選択した表により、第２および第３の静電容量Ｃ１，Ｃ２に基づき、駆動電圧Ｖ１０を予測することもできる。この表２〜表４を用いる場合も、表の数をもっと増やすことも可能であるし、前記実験式を併用することも可能である。

これにより、駆動電圧Ｖ１０を予測するための準備が終了する。
（第１の工程）
インク（液体）を吐出する前に、第１の圧電層１２ａについての、厚さ方向の静電容量である第１の静電容量Ｃ１を測定する。
（第２の工程）
インク（液体）を吐出する前に、第２の圧電層１２ａについての、厚さ方向の静電容量である第２の静電容量Ｃ２を測定する。
（第３の工程）
インク（液体）を吐出する前に、第１および第２の圧電層１２ａ，１２ｂの両層についての、面内方向の静電容量である第３の静電容量Ｃ３を測定する。
（第４の工程）
測定された第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３に基づき、各圧力室１４Ａａに対応するノズル１６ａからインクを設定吐出速度で吐出させる駆動電圧Ｖ１０を予測する。

つまり、前記第１〜第３の工程で順不同で測定された第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３と、前記準備工程で作成された表１、表２〜表４（テーブル）あるいは前記実験式とを用いて、ノズル１６ａからの設定吐出速度でインクを吐出させる駆動電圧Ｖ１０を予測する。

この点についてさらに詳述すると、前記表１を用いて予測する場合には、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３の測定値の近似値が、前記表１に存在しない場合があり、前記表２〜表４を用いて予測する場合には、第１および第２の静電容量Ｃ２，Ｃ３の測定値の近似値が、選択した表に存在しない場合があるので、そのような場合には前記実験式を併用して駆動電圧Ｖ１０を予測するようにしてもよい。つまり、表１や表２〜４のみから駆動電圧Ｖ１０を予測できない場合には、前記実験式を用いて駆動電圧Ｖ１０を求めるようにすることができる。

このようにして、予測された駆動電圧Ｖ１０を利用して、圧電アクチュエータが設定吐出速度で液滴を吐出する機能あるいは特性を発揮するかどうかをチェックし、圧電アクチュエータ１２の合否を判定する検査を行うことができる。

前記実施の形態では、圧電アクチュエータ１２の機能あるいは特性を検査する検査手段４１として、第３の検査用駆動電極パターン４４および検査用グランド電極パターン４５の検査電極部４４Ａａ，４４Ｂａ，４４Ｃａ，４５Ａａ，４５Ｂａ，４５Ｃａがノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙに延びるように設けているが、図６および図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、第１〜第３の静電容量Ｃ１〜Ｃ３を測定し、圧電アクチュエータ１２の合否を判定する検査手段５１として、第１〜第３の検査用駆動電極パターン５２〜５４および検査用グランド電極パターン５５を設け、第３の検査用駆動電極パターン５４および検査用グランド電極パターン５５の検査電極部５４Ａａ，５４Ｂａ，５４Ｃａ，５５Ａａ，５５Ｂａ，５５Ｃａがノズル列方向Ｘに平行に延びるように設けることも可能である。なお
、キャビティユニット１１には、駆動電極パターン５２と駆動電極パターン５３Ｃの矩形状電極部５３Ｃとに電圧が印加され、グランド電極パターン５５の矩形状電極部５５ＢＢとの間に電位差が生じたときの変形を拘束しないように空所１１ｃが形成されている。

この場合は、第１の圧電層１２ａの上面側においては、図７（ａ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に矩形状の第１の検査用駆動電極パターン５２が設けられ、他側に第３の検査用駆動電極パターン５４のコ字状電極部５４Ａおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン５５のコ字状電極部５５Ａが設けられている。この第３の検査用駆動電極パターン５４のコ字状電極部５４Ａは、ノズル列方向Ｘに延びる複数の検査電極部５４Ａａと、ノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙに延び検査電極部５４Ａａが接続される接続電極部５４Ａｂとを有する。このコ字状電極部５４Ａの検査電極部５４Ａａと間隔を存在させて、検査用グランド電極パターン５５のコ字状電極部５５Ａの検査電極部５５Ａａが配置され、これらの検査電極部５５Ａａが、検査用駆動電極パターン５４の電極本体部５５Ａと反対側においてノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙに延びる接続電極部５５Ａｂに接続されている。コ字状電極部５４Ａ，５５Ａ（第３の検査用駆動電極パターン５４および検査用グランド電極パターン５５）の接続電極部５４Ａｂ、５５Ａｂの、第１の検査用駆動電極パターン５２側の端部には、接続端子部５４Ａｃ，５５Ａｃが設けられている。これら両接続端子部５４Ａｃ，５５Ａｃの間に、第２の検査用駆動電極パターン５３の接続端子部５３Ａｃが配置されている。このように接続端子部５３Ａｃ，５４Ａｃ，５５Ａｃが、第１の検査用駆動電極パターン５２が設けられている部分と第３の検査用駆動電極パターン５４およびそれに対応する検査用グランド電極パターン５５が設けられている部分との間に、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、第１〜第３の検査用駆動電極パターン５２〜５４および検査用グランド電極パターン５５の接続端子部５３Ａｃ〜５５Ａｃが配置されている。

第１の圧電層１２ａの下面側（第２の圧電層１２ｂの上面側）においては、図７（ｂ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に、第１の検査用駆動電極パターン５２に対応して検査用グランド電極パターン５５の矩形状電極部５５Ｂが設けられ、他側に第３の検査用駆動電極パターン５４のコ字状電極部５４Ｂおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン５５のコ字状電極部５５Ｂが設けられている。矩形状電極部５５ＢＢは、圧電層１２ａの上面側に設けられる第１の検査用駆動電極パターン５２に積層方向Ｚにおいて対向して設けられ、コ字状電極部５４Ｂ，５５Ｂは、圧電層１２ａの上面側に設けられるコ字状電極部５４Ａ，５５Ｂに積層方向Ｚにおいて対向して設けられ、検査電極部５４Ａａ，５５Ａａ、接続電極部５４Ａｂ，５５Ａｂおよび接続端子部５４Ａｃ，５５Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する検査電極部５４Ｂａ，５５Ｂａ、接続電極部５４Ｂｂ，５５Ｂｂおよび中間電極部５４Ｂｃ，５５Ｂｃを有する。また、中間電極部５４Ｂｃ，５５Ｂｃの間に、第２の検査用駆動電極パターン５３の接続端子部５３Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する中間電極部５３Ｂｃが設けられている。

第２の圧電層１２ｂの上面側においては、図５（ｃ）に示すように、ノズル列方向Ｘの一側に、第２の検査用駆動電極パターン５３の矩形状電極部５３Ｃが設けられ、他側に、第１の圧電層１２ａの上面側と同様に、第３の検査用駆動電極パターン５４のコ字状電極部５４Ｃおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン５５のコ字状電極部５５Ｃが設けられている。第２の検査用駆動電極パターン５３の矩形状電極部５３Ｃは、第１の検査用駆動電極パターン５２や検査用グランド電極パターン５５の矩形状電極部５５ＢＢに積層方向Ｚにおいて対向して設けられている。また、コ字状電極部５４Ｃ，５５Ｃは、第１の圧電層１２ａの上面側に設けられるコ字状電極部５４Ａ，５５Ａに積層方向Ｚにおいて対向して設けられ、検査電極部５４Ａａ，５５Ａａ、接続電極部５４Ａｂ，５５Ａｂおよび接続端子部５４Ａｃ，５５Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する下側電極部５４Ｃｃ，５５Ｃｃを有する。また、下側電極部５４Ｃｃ，５５Ｃｃの間に、第２の検査用駆動電極
パターン５３の接続端子部５３Ａｃに積層方向Ｚにおいて対向する下側電極部５３Ｃｃが設けられている。

そして、第３の検査用駆動電極パターン５４および検査用グランド電極パターン５５の検査電極部５４Ａａ，５４Ｂａ，５４Ｃａ，５５Ａａ，５５Ｂａ，５５Ｃａは、複数箇所において、内部電極が設けられた導電性スルーホール５４ｄ，５５ｄにて電気的に接続されている。第２および第３の検査用駆動電極パターン５３，５４および検査用グランド電極パターン５５の接続端子部５３Ａｃ，５４Ａｃ，５５Ａｃ、中間電極部５３Ｂｃ，５４Ｂｃ，５５Ｂｃおよび下側電極部５３Ｃｃ，５４Ｃｃ，５５Ｃｃも、内部電極が設けられた導電性スルーホール５３ｅ，５４ｅ，５５ｅにて電気的に接続されている。

そして接続端子部５３ｃ，５４ｃ，５５ｃが、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、第１の検査用駆動電極パターン５２が設けられている部分と第３の検査用駆動電極パターン５４およびそれに対応する検査用グランド電極パターン５５が設けられている部分との間に配置されている。

この実施の形態の場合も、前述した実施の形態と同様に、第１〜第３の検査用駆動電極パターンおよび検査用グランド電極パターン５５を設けたことにより、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、第１の検査用駆動電極パターン５２は、検査用グランド電極パターン５５との間に第１の圧電層１２ａを挟むように設けられ、第１の圧電層１２ａの厚さ方向の静電容量を、第１の静電容量Ｃ１として、検査のために測定できるようになっている。第２の検査用駆動電極パターン５３は、検査用グランド電極パターン５５との間に第２の圧電層１２ｂを挟むように設けられ、第２の圧電層１２ｂの厚さ方向の静電容量を、第２の静電容量Ｃ２として、検査のために測定できるようになっている。第３の検査用駆動電極パターン５４は、第１の圧電層１２ａの上下面および第２の圧電層の下面に検査用グランド電極パターンとともに設けられ、第１および第２の圧電層１２ａ，１２ｂの両層についての、面内方向の静電容量を、第３の静電容量Ｃ３として、検査のために測定できるようになっている。

よって、第１〜第３の静電容量を、検査のために測定した後は、前述した実施の形態と同様に、準備工程で作成された表１〜表４（テーブル）あるいは前記実験式とを用いて、ノズル１６ａからの設定吐出速度でインクを吐出させる駆動電圧Ｖ１０を予測し、圧電アクチュエータが設定吐出速度で液滴を吐出する機能あるいは特性を発揮するかどうかをチェックし、圧電アクチュエータ１２の合否を判定する検査を行うことができる。

前述したほか、本発明は、次のように変更して実施することもできる。

(i)前記実施の形態では、検査手段として静電容量を測定して検査するものであるが、
本発明はそれに限定されるものではなく、他の特性を検査するものであってもよく、例えば共振周波数を測定して、圧電アクチュエータの合否を判定する検査を行うものであってもよい。

(ii)前記実施の形態の吸引キャップ３１は第１および第２のキャップ部３１ａ，３１ｂが一体に形成されているが、両キャップ部が別体として形成されていてもよい。また、吐出機能を回復する回復装置に使用する吸引キャップに限られず、第１および２のキャップ部を有し電源ＯＦＦ時に使用する封止キャップであってもよい。

(iii)本発明は、液体吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合に限定されるもの
ではなく、着色液を微小液滴として塗布、あるいは導電液を吐出して配線パターンを形成するなどの他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。

(iv)本発明は、記録用紙に代えて、樹脂、布などの各種の記録媒体を用いることができ、また吐出する液体としてはインクだけでなく、着色液、機能液などの各種のものを用いることができる。

図１（ａ）は本発明の実施の形態にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータおよびフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。 キャビティユニットの上側に圧電アクチュエータを貼り付けた状態を示す斜視図である。 キャビティユニットを、構成要素である各プレートに分解し、それらを振動板と共に示す図である。 本発明に係る圧電アクチュエータを、キャビティユニット上に接合した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は図４（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図である。 検査用駆動電極パターンと検査用グランド電極パターンとの位置関係を示し、（ａ）は第１の圧電層の上面を示す図、（ｂ）は第１の圧電層の下面を示す図、（ｃ）は第２の圧電層の上面を示す図、（ｄ）は図５（ａ）のＤ−Ｄ線における断面図である。 他の実施の形態についての図４（ａ）と同様の図である。 他の実施の形態についての検査用駆動電極パターンと検査用グランド電極パターンとの位置関係を示し、（ａ）は第１の圧電層の上面を示す図、（ｂ）は第１の圧電層の下面を示す図、（ｃ）は第２の圧電層の上面を示す図、（ｄ）は図７（ａ）のＥ−Ｅ線における断面図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ
３ インクジェットヘッド
１２ 圧電アクチュエータ
１２ａ 第１の圧電層
１２ｂ 第２の圧電層
１４Ａａ 圧力室
１６ａ ノズル
２１ 個別電極
２２ 共通電極
４１，５１ 検査手段
４２ 第１の検査用駆動電極パターン
４２ｃ，４３ｃ，４４ｃ，４５ｃ 接続端子部
４３ 第２の検査用駆動電極パターン
４４ 第３の検査用駆動電極パターン
４４Ａａ，４４Ｂａ，４４Ｃａ，４５Ａａ，４５Ｂａ，４５Ｃａ 検査電極部
４５ 検査用グランド電極パターン
５２ 第１の検査用駆動電極パターン
５３ｃ，５４ｃ，５５ｃ 接続端子部
５３ 第２の検査用駆動電極パターン
５４ 第３の検査用駆動電極パターン
５４Ａａ，５４Ｂａ，５４Ｃａ，５５Ａａ，５５Ｂａ，５５Ｃａ 検査電極部
５５ 検査用グランド電極パターン
Ｓ１〜Ｓ３ 領域

Claims (5)

1. 複数のノズルおよび各ノズルにそれぞれ対応する複数の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記複数の圧力室内の液体に対して選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、これらが積層されて構成される液滴吐出ヘッドであって、
   前記複数のノズルは、ノズル列が平行に延びる２つのノズル列群として形成され、この２つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられており、
   前記２つのノズル列群は、それぞれ、特性が異なる前記液体の液滴を吐出するものであり、
   前記圧電アクチュエータには、当該圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段が設けられ、
   前記検査手段が設けられている部分は、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
   
2. 前記２つのノズル列群のうち一方のノズル列群が、第１のキャップ部で覆われ、他方のノズル列群が第２のキャップ部で覆われるものであり、
   前記第１および第２のキャップ部が前記２つのノズル列群を覆った状態で、前記第１のキャップ部の内部空間と前記第２のキャップ部の内部空間とを仕切る部分が、前記２つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
   
3. 前記液滴はインク滴であり、
   前記一方のノズル列群は、顔料インクの液滴を吐出するものであり、前記他方のノズル列群は、染料インクの液滴を吐出するものであることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
   
4. 前記２つのノズル列群の間に対応する部分は、前記ノズル列が延在するノズル列方向に長いものであり、
   前記検査手段は、前記ノズル列方向に長いものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
   
5. 前記圧電アクチュエータは、活性層となる第１の圧電層と、この第１の圧電層に積層された拘束層となる第２の圧電層とを有し、前記第１の圧電層の一方の面には、前記複数の圧力室にそれぞれ個別に対向する複数の個別電極が設けられ、他方の面には、前記複数の圧力室に共通に対向する共通電極がそれぞれ設けられてなり、
   前記検査手段は、前記第１の圧電層の静電容量を、第１の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第１の圧電層を挟むように設けられた第１の検査用駆動電極パターンと、前記第２の圧電層の静電容量を、第２の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第２の圧電層を挟むように設けられた第２の検査用駆動電極パターンと、前記第１および第２の圧電層の両層についての、面内方向の静電容量を、第３の静電容量として検出するために前記第１の圧電層の上下面および前記第２の圧電層の下面に検査用定電位電極パターンとともに設けられた第３の検査用駆動電極パターンとを備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。

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