JP6131333B2 - 圧電基板、およびそれを用いたアセンブリ、液体吐出ヘッド、ならびに記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、圧電基板、およびそれを用いたアセンブリ、液体吐出ヘッド、ならびに記録装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔と複数の加圧室を含む流路部材と、圧電アクチュエータ基板とが接着剤で接合されている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００６−１２３５１９号公報

特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータ基板と流路部材とを接合する接着剤の一部が、圧電アクチュエータ基板の外辺から変位素子に到達する可能性があった。このため、接着剤の影響で、変位素子の変位特性が変わり、液体の吐出特性（吐出速度や吐出量など）が変動したり、時には液体が吐出されないという問題があった。

したがって、本発明の目的は、接合された際に、接着剤の影響を受けにくい圧電基板、およびそれを用いたアセンブリ、液体吐出ヘッド、ならびに記録装置を提供することにある。

本発明の圧電基板は、圧電セラミック層と、該圧電セラミック層の一方の主面に配置されている、複数の第１の電極および第２の電極と、前記圧電セラミック層の他方の主面に、前記複数の第１の電極と対向するように配置されている第３の電極とを含んでいる平板状の圧電基板であって、該圧電基板を平面視したとき、前記第２の電極は、前記複数の第１の電極全体を囲むように配置されている外周部と、該外周部から当該外周部の内側に伸びている突出部とを含んでおり、前記第２の電極と前記第３の電極とは、前記突出部において電気的に接続されており、前記外周部は、外部との電気的接続に用いられるものであることを特徴とする。

本発明のアセンブリは、前記圧電基板と、該圧電基板と対向するように配置されており、前記複数の第１電極および前記第２の電極と電気的に接続されている複数の配線を含む配線基板とを含むアセンブリであって、前記配線基板は、一方方向に長いとともに、前記配線は、前記一方方向に沿って延在しており、前記外周部は、矩形の辺に沿った形状を有しているとともに、前記外周部の対向する２辺は、前記一方方向に沿って配置されており、前記第２の電極と前記配線とは、当該第２の電極の前記２辺において電気的に接続されていることを特徴とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を含む流路部材と、前記圧電基板とが接着剤で接合されている液体吐出ヘッドであって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を加えることで、前記圧電セラミック層が変形し、前記加圧室内の液体を加圧することを特徴とする。

また、本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を含む流路部材と、請求項３に記載のアセンブリとを含んでおり、前記流路部材と前記圧電基板とが接着剤で接合されている液体吐出ヘッドであって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を加えることで、前記圧電セラミック層が変形し、前記加圧室内の液体を加圧することを特徴とする。

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。

本発明の圧電基板によれば、第２の電極の外周部により、接着剤が第１の電極にまで到達し難くできる。また、第２の電極と第３の電極との電気的接続部が突出部で行なわれるため、圧電セラミック層の収縮による寸法ばらつきの影響を受けにくくなるので、圧電基板を小型化できる。

（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。 図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。 図２（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図２（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 （ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施形態の圧電基板の突出部周辺の拡大平面図である。 （ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施形態の圧電基板の突出部周辺の拡大平面図である。

図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インク、が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体２ａの一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０、しぼり６および吐出孔８などを実線で描いている。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバや、金属製の筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子３０が作り込まれている圧電基板である圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５と繋がっている開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給されるようになっている。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接着剤により接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部６０が接続されている。圧電アクチュエータ基板２１と信号伝達部６０とを合わせてアセンブリと呼ぶ。図２には、信号伝達部６０が圧電アクチュエータ基板２１に接続されている状態が分かるように、信号伝達部６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続されている付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、信号伝達部６０に形成されている配線６０ｃの電極は、信号伝達部６０の端部に、矩形状に配置されている。信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板２１に面して配置されているとともに、圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に沿って配置されており、図２の下方にさらに伸びて（必要に応じて他の回路基板などを介して）制御部８８と電気的に接続される。信号伝達部６０に含まれる配線６０ｃは、信号伝達部６０の長手方向に交差する方向に多数並んでいるともに、長手方向に沿って延在している。図２の配線６０ｃは、並んでいる方向および延在方向が分かるように模式的に示した。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接着された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールド５の開口５ａが形成されている。

また、マニホールド５は、少なくとも加圧室１０に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。

図２では、マニホールド５の両端部を除く全体が隔壁１５で仕切られている。このようにする以外に、両端部のうちのどちらか一端部以外が隔壁１５で仕切られているようにしてもよい。また、流路部材４の上面に開口している開口５ａ付近のみが仕切られておらず、開口５ａから流路部材４の深さ方向に向かう間に隔壁１５が設けられるようにしてもよい。いずれにしても、仕切られていない部分があることにより、流路抵抗が小さくなり、液体の供給量を多くできるので、マニホールド５の両端部が隔壁１５で仕切られていない方が好ましい。

複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。また、７つの隔壁１５は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド５の両端において、幅方向の中央に近い隔壁１５ほど、隔壁１５の端がマニホールド５の端に近くなっている。これにより、マニホールド５の外側の壁により生じる流路抵抗と、隔壁１５により生じる流路抵抗との間のバランスがとれ、各副マニホールド５ｂのうち、加圧室１０に繋がる部分である個別供給流路１４が形成されている領域の端における液体の圧力差を少なくできる。この個別供給流路１４での圧力差は、加圧室１０内の液体に加わる圧力差につながるため、個別供給流路１４での圧力差を少なくすれば、吐出ばらつきを低減できる。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。

加圧室１０は１つの副マニホールド５ｂと個別供給流路１４を介して繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１行ずつ、合計２行設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６の列が１列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が１行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。

１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている第１の電極である個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接着剤により接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、最も外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。

本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣り合う圧室列１１の加圧室１０が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。

加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１を成しており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９を成している。２行の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。

１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群（変位素子群３１と同じ範囲である）が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの短手方向に並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には第１の電極である個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、第３の電極である共通電極２４とビアホール３４を介して電気的に接続されている第２電極である共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の外周に沿って存在し、その内側に個別電極２５が配置されている外周部２８ａと、外周部２８ａの内側で、個別電極２５間に、個別電極２５が並んでいる行方向に沿って伸びている突出部２８ｂとを含んでいる。共通電極用表面電極２８の形状の詳細については後述する。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置された、ビアホール３４内の導体を通じて、電気的に接続される。

吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。

ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｊ、カバープレート４ｋおよびノズルプレート４ｌである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路１４には、アパーチャプレート４ｃに形成されている、流路の断面積が小さくなっている部位であるしぼり６が含まれている。

第３に、加圧室１０の個別供給路１４が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称されることがある。ディセンダは、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｌ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。

第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート４ｅ〜ｊに形成されている。マニホールドプレート４ｅ〜ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート４ｅ〜ｊにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部（図では省略してある）で各マニホールドプレート４ｅ〜ｊと繋がった状態にされる。

第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０からディセンダに入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続バンプ２６が形成されている。また、共通電極２８上には、共通電極用接続バンプ３２が形成されている。接続バンプ２６および共通電極用接続バンプ３２は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続バンプ２６および共通電極用接続バンプ３２は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ａを貫通して形成されたビアホール３４を介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。

圧電セラミック層２１ａの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。

あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、圧力室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度および吐出量を最大にできる。圧力室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、圧力室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。

なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。

圧電アクチュエータ基板２１では、高解像度化するため多数の個別電極２５が配置されている。液体吐出ヘッド２の大きさが大きくなると、設置する際に要求される位置合わせ精度を高くする必要があるなどの問題があるため、個別電極２５はできるだけ狭い範囲に配置し、共通電極用表面電極２８が配置される面積も少なくした方がよい。

一方、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とは接着剤により接着接合するので、圧電アクチュエータ基板２１上に、接着剤や圧電アクチュエータ基板２１の端面保護用の樹脂などが流れ込んでくるおそれがある。それら接着剤等が変位素子３０にまで到達すると変位素子３０の変位を阻害するので、吐出特性が変わってしまったり、吐出されなくなってしまう。接着剤が変位素子３０に到達しないようにするには、共通電極用表面電極２８の一部として、個別電極２５全体を囲むように配置した外周部２８ａを設ければよい。共通電極用表面電極２８は、圧電セラミック層２１ｂの表面よりも盛り上がっているため、共通電極用表面電極２８の外周部２８ａは、接着剤をせき止めたり、接着剤の一部をせき止めることで、個別電極２５に向かう接着剤の量を少なくすることができる。外周部２８ａは圧電アクチュエータ基板２１の外周に沿って配置すれば、圧電アクチュエータ基板２１の外側から流れ込んでくる接着剤を、圧電アクチュエータ基板２１の端部近くで止めることができる。

共通電極用表面電極２８は、共通電極２４とビアホール３４中の導体を介して電気的に接続する必要がある。ビアホール３４は、焼成前の圧電セラミック層２１ｂに形成されるため、圧電セラミック層２１ｂの焼成ばらつきにより、焼成後のビアホール３４の平面上の位置はばらついてしまう。共通電極用表面電極２８の外周部２８ａは、個別電極２５全体を囲み、圧電アクチュエータ基板２１の外周に沿った全長の長い領域なので、外周部２８ａにビアホール３４を配置して電気的接続を行なおうとすると、ビアホール３４の収縮ばらつきに対応できるように外周部２８ａの幅を広くする必要が生じる。しかし、そのようにすると共通電極用表面電極２８の面積が増えるので好ましくない。

そこで、共通電極用表面電極２８の一部として、外周部２８ａの内側に伸びる突出部２８ｂを設けて、そこにビアホール３４を配置する。これにより、ビアホール３４を介した電気的接続の信頼性が高くなる。個別電極２５の列と列の間に突出部２８ｂを設けると、解像度方向に画像が印刷できない領域ができてしまうが、個別電極２５の行と行の間突出部２８ｂを設ければ、そのようなことがなく、好ましい。また、その際、突出部２８ｂを行方向に沿って伸ばせば、ビアホール３４と位置ずれが生じ難くなるので好ましい。また、液体吐出ヘッド２が、異なるインクを同時に印刷する場合（多色印刷など）、異なるインクを吐出する吐出孔８は、分けて配置した方がワインピング時のインクの混合などが起こり難くできるので好ましい。吐出孔８を異なる領域に分けて配置すれば、個別電極２５も同様に分けて配置されるので、そのようにしてできた個別電極２５の行と行の間の領域に突出部２８ｂを設けるのが好ましい。多色印刷をする場合、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）およびシアン（Ｃ）と、ブラック（Ｋ）との間で混色が起こると目立つため、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）およびシアン（Ｃ）の各色間の間隔よりも、ブラック（Ｋ）と他の色との間隔を広くして、その空けた領域に対応する部位に突出部２８ｂを設けるのが好ましい。

また、個別電極２５や、共通電極用表面電極２８は、圧電セラミック層２１ｂの焼成後に焼き付けられるので、ビアホール３４と比較して高い位置精度で形成できる。そのため、信号伝達部６０と共通電極用表面電極２８との電気的接合は、外周部２８ａで行なうことができる。この接続を突出部２８ｂ以外で行なうことで、突出部２８ｂの面積が大きくならず、圧電アクチュエータ基板２１を小型化できる。

突出部２８ｂは、列方向（行方向に交差する方向）に関して、複数カ所に設けてもよいが、１カ所にすれば圧電アクチュエータ基板２１を小さくできる。その場合、上述のようにブラック（Ｋ）と他の色との間に設けるが好ましい。突出部２８ｂは、行方向において、外周部２８ａを横断するように連続的に設けてもよいが、突出部２８ｂは、行方向の一方の端部と他方の端とに設けるのが好ましい。そのような配置にすることで電極焼成時の圧電アクチュエータ基板２１が反りや歪を小さくできる。突出部２８ｂは、行方向のどちらか一方の端部のみに設けてもよいが、両方の端部に設け、両方にビアホール３４を設けることで共通電極２４との電気的接続の確実性を高くできる。

また、２つ設けた突出部２８ｂの間には、第５の電極であるダミー電極３６を断続的に設けることが好ましい。これにより、その部分の電極の密度が、個別電極２５として配置されている電極の密度に近くになり、圧電アクチュエータ基板２１の反りや歪みを小さくできる。断続的に配置するのは、連続的に配置すると、密度が高くなりすぎるためである。ダミー電極３６は、特に電気的な機能を持たないものでかまわないが、圧電アクチュエータ基板２１や、液体吐出ヘッド２の特性を評価できるように、圧電セラミック層２１ｂの誘電率（容量）を測定したり、ダミー電極３６の下の流路部材４にダミーの加圧室を設けて、その部分が変位できるようにして、変位量や共振周波数などを測定できるようにしてもよい。

信号伝達部６０には、多数の配線６０ｃを配置するので、信号伝達部６０は一方方向に長く、配線６０ｃはその一方方向に伸び、その一方方向に交差する方向（幅方向）に並ぶように配置するのが好ましい。共通電極用表面電極２８はいわゆるグランドになるので、これに接続される配線６０ｃは、他の配線線６０ｃよりも太くするのが好ましく、信号伝達部６０の幅方向の端部に設けるのが好ましい。そのため、信号伝達部６０と共通電極用表面電極２８との電気的接続は、共通電極用表面電極２８の外周部２８ａの、前記幅方向の端部に位置している、対向する２辺において行なわれるのが好ましい。

以上、液体吐出ヘッド２を用いて説明したが、圧電基板は、液体吐出ヘッド以外に用いられるアクチュエータ、例えばスピーカやブザー、センサ、電気的な回路を構成するフィルタなどとして用いることができる。それら圧電基板を、他の部材に接着剤で接着したり、周囲を樹脂などで被覆する際に、それらの流れ込みを抑制する効果がある。特に、圧電基板と配線基板とを電気的に接合したアセンブリは、多数のセンサ素子を含んだセンサなどに有用である。

図６（ａ）、（ｂ）および図７（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施形態の圧電基板２１の共通電極用表面電極（第２の電極）１２８、２２８、３２８、４２８の突出部１２８ｂ、２２８ｂ、３２８ｂ、４２８ｂ周辺の拡大平面図である。それぞれ圧電基板２１の基本的な構成は図３に示したものと同じである。図６（ａ）では、個別電極２５の行間の１つに位置し、対向して、それぞれ圧電基板２１の端部付近に配置されている２つの突出部１２８ｂをそれぞれ拡大して示している。図６（ｂ）および図７（ａ）、（ｂ）では、２つある突出部２２８ｂ、３２８ｂ、４２８ｂのうち一方を拡大して示している。

図３で示した共通電極用表面電極２８は、全体が繋がっているので、１つのビアホール３４と共通電極用表面電極２８との間で導通がなくても、単に導通を確認する試験では検出できない。他方、導通がないビアホール３４があると、その周囲の電位が充分グランドに落ちないことなどにより、変位素子３９の駆動状態が変動してしまうことがある。このようなことが起き難いように、共通電極用表面電極２８を、いくつかの部位に分けて、各部位で導通しているか確認できるのが好ましい。

図６（ａ）の圧電基板の図の左側の共通電極用表面電極１２８では、図のビアホール３４の下側に離間部１２９が配置されており、図の右側の共通電極用表面電極１２８では、図におけるビアホール３４の上側に離間部１２９が配置されている。離間部１２９は、接着剤が外周部１２８ａの内側に入り込み難いように、幅が長さよりも小さい、線形状（スリット形状）であるのが好ましい。長さに対する幅の比は、１／２以下、さらに１／５以下、特に１／１０以下であることが好ましい。これにより、共通電極用表面電極１２８では、圧電基板２１の上側に位置する外周部１２８ａおよび左側の突出部１２８ｂを含む部位と、圧電基板２１の下側に位置する外周部１２８ａおよび右側の突出部１２８ｂを含む部位とが導通（より詳細には直流もしくは低周波数の交流による導通）しないように、２つの部位に分離される。これにより、この２つの部位におけるビアホール３４の導通を、それぞれ試験できる。なお、この実施形態では、１つの突出部１２８ｂにビアホール３４が２つ配置されているが、これらは近接して配置されているため、それぞれの導通を試験する必要性は低い。

突出部１２８ｂが３つ以上ある場合でも、離間部１２９を設けることで、突出部１２８ｂが少なくとも１つ含まれるように２つ以上の部位に分ければ、各部位で試験ができるので好ましい。さらに、離間部１２９を、各部位に突出部１２８ｂが１個ずつ含まれるように設ければ、各突出部１２８ｂで試験ができるので、より好ましい。

また、離間部１２９は、突出部１２８ｂに配置されているので、個別電極２５から距離が離れており、離間部１２９を通って接着剤が個別電極２５に到達し難い。特に離間部１２９は、突出部１２８ｂを個別電極２５の行方向に貫いているので、長さが長くなり、接着剤が、離間部１２９を通って、共通電極用表面電極１２８の内側に侵入し難い。また侵入したとしても、離間部１２９の端が、突出部１２８ｂにおける個別電極２５の行方向の端に開いているので、個別電極２５から距離が離れており、離間部１２９を通って接着剤が個別電極２５に到達し難い。

図６（ｂ）では、離間部２２９は突出部２２８ｂ内で、一方向から他の方向に伸びて、曲がっていることで離間部２２９の長さが長くなるので接着剤が個別電極２５に到達し難い。さらに屈曲して角部のある形状にすれば、角部に接着剤が留まり易いので、接着剤が個別電極２５に到達し難くできる。なお、図６（ａ）に示した突出部２２８ｂと同様に、図６（ｂ）に示した突出部２２８ｂには、対応する突出部２２８ｂが点対称な形状で存在し、離間部２２９で共通電極用表面電極２２８が２つの部位に分かれるようになっている。なお、これは次述の突出部３２８ｂ、４２８ｂについても同様である。

図７（ａ）では、離間部３２９は、突出部３２８ｂと突出部３２８ｂに最も近い個別電極２５の行との間に配置されている。これにより、個別電極２５に対して行方向の位置に離間部３２９を設けるよりも、接着剤が個別電極２５に到達し難くなるので好ましい。

また、図７（ａ）では、離間部３２９の位置における、外周部３２８ａの内側に第４の電極３２８ｃが配置されているため、離間部３２９を通ってきた接着剤は、第４の電極３２８ｃが存在することで、個別電極２５に到達し難くできる。なお、第４の電極３２８ｃは、共通電極用表面電極３２８を印刷、焼成して形成する際に同時に形成すればよい。

図７（ｂ）では、離間部４２９は、突出部４２８ｂと突出部４２８ｂに最も近い個別電極２５の行との間に配置されており、さらに、外周部４２８ａの個別電極２５側で、突出部４２８ｂに向かって曲がっている。これにより、曲がっていることで接着剤が離間部４２９を通過し難くなる上、離間部４２９の端が個別電極２５から、より離れた位置に配置されることになるため、接着剤が個別電極２５に到達し難くできる。

なお、第４のダミー電極３２８ｄ、４２８ｄは、電極配置を対称に近くし、圧電基板２１の反りや変形を小さくするために配置されている。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｌ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド
５ａ・・・（マニホールドの）開口
５ｂ・・・副マニホールド
６・・・しぼり
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１４・・・個別供給流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
２１・・・圧電アクチュエータ基板（圧電基板）
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極（第３電極）
２５・・・個別電極（第１の電極）
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続バンプ
２８、１２８、２２８、３２８、４２８・・・共通電極用表面電極（第２の電極）
２８ａ、１２８ａ、２２８ａ、３２８ａ、４２８ａ・・・外周部
２８ｂ、１２８ｂ、２２８ｂ、３２８ｂ、４２８ｂ・・・突出部 ３０・・・変位素子
３２・・・共通電極用接続バンプ
３４・・・ビアホール
３６・・・ダミー電極（第５の電極）
６０・・・信号伝達部（配線基板）
６０ｃ・・・配線
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
３２８ｃ・・・第４の電極
３２８ｄ、４２８ｄ・・・第４のダミー電極
１２９、２２９、３２９、４２９・・・離間部
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (13)

1. 圧電セラミック層と、該圧電セラミック層の一方の主面に配置されている、複数の第１の電極および第２の電極と、前記圧電セラミック層の他方の主面に、前記複数の第１の電極と対向するように配置されている第３の電極とを含んでいる平板状の圧電基板であって、
   該圧電基板を平面視したとき、 前記第２の電極は、前記複数の第１の電極全体を囲むように配置されている外周部と、該外周部から当該外周部の内側に伸びている突出部とを含んでおり、
   前記第２の電極と前記第３の電極とは、前記突出部において電気的に接続されており、
   前記外周部は、外部との電気的接続に用いられるものであることを特徴とする圧電基板。
2. 前記突出部が２つ以上存在し、前記突出部同士が導通しないよう前記第２の電極を複数の部位に分けている離間部が存在することを特徴とする請求項１に記載の圧電基板。
3. 前記離間部は、前記突出部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電基板。
4. 前記複数の第１の電極は、複数の行を成すように配置されており、前記突出部は、前記複数の第１の電極の間に前記行方向に沿って配置されており、前記離間部は、前記突出部の前記行方向の端まで繋がっていることを特徴とする請求項３に記載の圧電基板。
5. 前記離間部は、線形状をしているとともに、前記突出部内で曲がっていることを特徴とする請求項３または４に記載の圧電基板。
6. 前記複数の第１の電極は、複数の行を成すように配置されており、前記離間部は、前記突出部と、該突出部に最も近い前記第１の電極の行との間に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電基板。
7. 前記離間部の位置における、前記外周部の内側に第４の電極が配置されていることを特徴とする請求項６に記載の圧電基板。
8. 前記離間部は、線形状をしているとともに、前記外周部の前記第１の電極側で、前記突出部に向かって曲がっていることを特徴とする請求項６または７に記載の圧電基板
9. 前記複数の第１の電極は、複数の行を成すように配置されており、前記一方の主面に、前記突出部から、当該突出部を前記行方向に延長する方向に沿って、複数の第５の電極が断続的に配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の圧電基板。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の圧電基板と、該圧電基板に面して配置されており、前記複数の第１電極および前記第２の電極と電気的に接続されている複数の配線を含む配線基板とを含むアセンブリであって、
    前記配線基板は、一方方向に長いとともに、前記配線は、前記一方方向に沿って延在しており、
    前記外周部は、矩形の辺に沿った形状を有しているとともに、前記外周部の対向する２辺は、前記一方方向に沿って配置されており、前記第２の電極と前記配線とは、当該第２の電極の前記２辺において電気的に接続されていることを特徴とするアセンブリ。
11. 複数の吐出孔、および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を含む流路部材と、請求項１〜９のいずれかに記載の圧電基板とが接着剤で接合されている液体吐出ヘッドであって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を加えることで、前記圧電セラミック層が変形し、前記加圧室内の液体を加圧することを特徴とする液体吐出ヘッド。
12. 複数の吐出孔、および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を含む流路部材と、請求項１０に記載のアセンブリとを含んでおり、前記流路部材と前記圧電基板とが接着剤で接合されている液体吐出ヘッドであって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を加えることで、前記圧電セラミック層が変形し、前記加圧室内の液体を加圧することを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 請求項１１または１２に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。

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