JP6616146B2 - 液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる、吐出孔、加圧室および共通流路を備えている流路部材としては、流路となる孔や溝が形成された金属プレートを複数積層して接着剤で接合したものが知られている。それら金属プレートは、接着剤で接合される。金属プレートには、接合の際に、接着剤が孔や溝に流れ込むのを抑制するために、接着剤の逃がし溝が形成されている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００２−６７３４５号公報

しかしながら、上述した従来の液体吐出ヘッドにおいては、金属プレートを接着剤で接合する際に、液体の流路となる金属プレートの孔や溝に接着剤が流れ込み、吐出量や吐出速度などの吐出特性を悪化させるという問題があった。

本発明の目的は、流路への接着剤の流入による吐出特性の悪化が低減された液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置を提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッド用の流路部材は、複数のプレートが接着剤層を介して積層されて構成されており、液体を吐出する複数の吐出孔と、該吐出孔の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記吐出孔に繋がっている複数の個別流路と、複数の前記個別流路が繋がっている共通流路と、を有しており、各々の前記個別流路は、該個別流路における前記共通流路から前記吐出孔へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、該加圧室と前記共通流路とを繋いでいるしぼりと、を有しており、該しぼりは、前記プレートに沿った方向に伸びるように形成されているしぼり本体と、前記プレートの積層方向に伸びるように形成されて前記共通流路と前記しぼり本体とを繋いでおり、前記しぼり本体よりも流路抵抗が小さい供給流路と、を有しており、該供給流路は、該供給流路の内壁面に、該供給流路の横断面が変化する段差を有している。

本発明の液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッド用の流路部材と、前記加圧室の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記加圧室に圧力を加える、複数の加圧部と、を有する。

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有する。

本発明の液体吐出ヘッド用の流路部材は、流路への接着剤の流入による吐出特性の悪化を低減できる。

（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材を含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。 図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 図２〜図５に示した流路部材が有するしぼりの構造を模式的に示す平面図である。 図６のしぼりにおける供給流路の構造を模式的に示す平面図である。 図７のＷ−Ｗ線に沿った模式的な縦断面図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す図７と同様の平面図である。 図９のＸ−Ｘ線に沿った模式的な縦断面図である。 本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す図８と同様の縦断面図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す平面図である。 図１３のＹ−Ｙ線に沿った模式的な縦断面図である。

（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材およびそれを含む液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐをガイドローラ８２Ａから搬送ローラ８２Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっているが、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタであってもよい。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は
、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部
８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の、吐出量や吐出速度などの吐出特性に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体２ａの一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。なお、図３および４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０、しぼり６および吐出孔８などを実線で描いている。

液体吐出ヘッド２には、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバや、筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、加圧部である変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５の端部である開口５ａを有し、この開口５ａよりマニホールド５に液体が供給されるようになっている。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給する信号伝達部６０が接続されている。図２には、２つの信号伝達部６０が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、信号伝達部６０に形成されている電極は、信号伝達部６０の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接合された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールド５の開口５ａが形成されている。

また、マニホールド５は、少なくとも加圧室１０に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕
切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。

複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。

加圧室１０は、しぼり６を介して１つの副マニホールド５ｂと繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１行ずつ、合計２行設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６の列が１列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が１行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。

１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、もっとも外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。

本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣り合う加圧室列１１の加圧室１０が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制でき
る。

加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１を成しており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９を成している。２行の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。

１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０のしぼり６が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを４つ用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの短手
方向に並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極用表面電極２８が配置されている。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置されている、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。

吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されているマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。

ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが接着剤層１８を介して積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、プレート４ａ、プレート４ｂ、プレート４ｃ、プレート４ｄ、プレート４ｅ、プレート４ｆ、プレート４ｇ、プレート４ｈ、プレート４ｉ、プレート４ｊ、プレート４ｋ、プレート４ｍの順に積層されている。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａでは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに配置されている孔および溝について説明する。

流路となる孔あるいは溝には、次のようなものがある。第１に、プレート４ａに形成された加圧室１０となる孔である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がるしぼり６を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からプレート４ｅ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。

第３に、加圧室１０のしぼり６が繋がっている端と反対の端から吐出孔８へと連通する流路を構成するディセンダ７である。ディセンダ７は、プレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からプレート４ｍ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。

第４に、マニホールド（共通流路）５を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート４ａ〜プレート４ｊに形成されている。プレート４ｆ〜プレート４ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。プレート４ｆ〜プレート４ｊにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部（図では省略してある）でプレート４ｆ〜プレート４ｊと繋がった状態にされる。

これら第１〜４の孔が相互に繋がり、マニホールド５の開口５ａから吐出孔８に至る流
路を構成している。また、第１〜第３の孔によって、マニホールド５（正確には副マニホールド５ｂ）から吐出孔８に至る個別流路１２が構成されている。マニホールド５の開口５ａに供給された液体は、マニホールド５、しぼり６、加圧室１０、ディセンダ７を通過して吐出孔８から外部に吐出される。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ａは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度であり、個別電極２５の厚さは、１μｍ程度である。

個別電極２５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極２５は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が配置されている。接続電極２６は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極２４は、共通電極用表面電２８を介して接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。

圧電セラミック層２１ｂの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないた
め、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ａは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。

あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ７内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。

なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。

次に、本実施形態の流路部材４が有するしぼり６について、図５〜図８を用いて説明する。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、マニホールド５（副マニホールド５ｂ）から吐出孔８に至る個別流路１２の構造を模式的に示している。図６は、個別流路１２が有するしぼり６の構造を模式的に示す平面図である。図７は、図６のしぼり６が有する供給流路６ｂの構造を模式的に示す部分的な平面図である。図８は、図７のＷ−Ｗ線に沿った模式的な縦断面図である。

しぼり６は、マニホールド５（正確には副マニホールド５ｂ）と加圧室１０とを繋いでいる流路であり、引き打ちでは、加圧室１０に加わった圧力を反射して吐出する圧力を高くする役目を担う部分であり、高く、精度の良い流路抵抗が求められる。また、しぼり６の流路抵抗が低下すると、１つの個別流路１２（正確には加圧室１０）で発生した圧力波が、マニホールド５を介して他の個別流路１２に伝達されて、クロストークによる吐出特性の悪化が生じ、しぼり６の流路抵抗が高すぎると、マニホールド５から個別流路１２への液体の供給量が低下する。このため、しぼり６は、引き打ち以外の吐出方法であっても、比較的高く、精度の良い流路抵抗が求められる。

しぼり６は、しぼり本体６ａと、供給流路６ｂと、排出流路６ｃとによって構成されている。しぼり本体６ａは、プレート４ｃに沿った方向（プレート４ｃの両主面に沿った方向）に伸びている部分である。しぼり本体６ａは、他のプレートよりも厚さが薄いプレート４ｃに配置されているため流路の高さ（プレートの積層方向における寸法）が小さく、流路の幅も狭いため、個別流路１２の他の部分と比較して横断面の面積が小さい。すなわち、しぼり本体６ａは、流路抵抗が高く、しぼり６の流路抵抗を決定づける部分である。また、しぼり本体６ａは、図６に示すように、流路の幅が特に狭い直線状の部分と、その両端に設けられた、供給流路６ｂおよび排出流路６ｃに接続される部分である、比較的幅の広い部分とを有している。

排出流路６ｃは、プレート４ｃに配置されてプレートの積層方向に伸びており、しぼり本体６ａと加圧室１０とを繋いでいる流路である。排出流路６ｃは、横断面の面積がしぼり本体６ａよりも大きく、流路抵抗がしぼり本体６ａよりも小さい。

供給流路６ｂは、プレート４ｄからプレート４ｅに渡って、プレートの積層方向に伸びており、マニホールド５（副マニホールド５ｂ）としぼり本体６ａとを繋いでいる流路である。供給流路６ｂは、横断面の面積がしぼり本体６ａよりも大きく、流路抵抗がしぼり本体６ａよりも小さい。また、供給流路６ｂは、プレート４ｅに配置された第１供給流路６ｂ１と、プレート４ｄに配置された第２供給流路６ｂ２とを有している。すなわち、供給流路６ｂは、マニホールド５側に位置する第１供給流路６ｂ１と、しぼり本体６ａ側に位置する第２供給流路６ｂ２と、によって構成されている。第１供給流路６ｂ１および第２供給流路６ｂ２は、どちらも横断面の形状が円形である。そして、第１供給流路６ｂ１の横断面の面積が、第２供給流路６ｂ２の横断面の面積よりも大きくされており、供給流路６ｂの内壁面における第１供給流路６ｂ１と第２供給流路６ｂ２との境目に、横断面の面積が変化する段差６ｄを有している。プレートの積層方向から平面視したときに、第２供給流路６ｂ２は第１供給流路６ｂ１の中央に位置しており、第２供給流路６ｂ２の周囲を囲むように段差６ｄが形成されている。

このように、本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、複数のプレート４ａ〜４ｍが接着剤層（図示せず）を介して積層されて構成されている。また、本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、液体を吐出する複数の吐出孔８と、吐出孔８の各々に対応して設けられており、各々が対応する吐出孔８に繋がっている複数の個別流路１２と、複数の個別流路１２が繋がっている共通流路（マニホールド５）と、を有している。各々の個別流路１２は、個別流路１２におけるマニホールド５（正確には副マニホールド５ｂ）から吐出孔８へ至る経路の途中に設けられた加圧室１０と、加圧室１０とマニホールド５とを繋いでいるしぼり６と、を有している。しぼり６は、しぼり本体６ａと、供給流路６ｂと、を有している。しぼり本体６ａは、プレートに沿った方向に伸びるように形成されている。供給流路６ｂは、プレートの積層方向に伸びるように形成されてマニホールド５としぼり本体６ａとを繋いでおり、しぼり本体６ａよりも流路抵抗が小さい。また、供給流路６ｂは、供給流路６ｂの内壁面に、供給流路６ｂの横断面が変化する段差６ｄを有している。このような構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、マニホールド５（副マニホールド５ｂ）の内壁面に付着した接着剤がしぼり本体６ａに流入して吐出特性を悪化させることを低減できる。

流路部材４の作製において、プレート４ａ〜４ｍを、接着剤層を介して積層する際に、接着剤が、プレート４ａ〜４ｍの間の全面に行き渡るだけの量がないと、接着されない部分が生じることになる。接着剤が、プレート４ａ〜４ｍの間の全面に行き渡った状態で、接着のために加圧すると、接着剤の一部は、流路の中に流れこむことになる。よって、接着剤の流入を防止するために、流路となる孔や溝の周囲に接着剤の逃がし溝を配置することが行われている。

プレート４ｅの吐出孔面４−１側の表面における供給流路６ｂの周囲は、マニホールド５の内壁面であり他のプレートと接合される部分ではない。しかしならがら、接着剤の塗布にけるパターンニングは、接着不良の原因となると共に、製造工程および工数の大幅な増加をともなうため、現実的ではなく行われない。よって、プレート４ｅの吐出孔面４−１側の表面における供給流路６ｂの周囲も接着剤の塗布領域となる。さらに、プレート４ｅの吐出孔面４−１側の表面における供給流路６ｂの周囲は、マニホールド５の内壁面であり他のプレートと接合される部分ではないため、プレート同士が押し当てられることによる接着剤の移動は生じないが、接着剤を硬化させるために加熱したときに、硬化前に接着剤の粘度が低下して接着剤の流動が生じ、接着剤が供給流路６ｂに流入することがあることが、発明者らの検討により明らかになった。

前述したように、しぼり本体６ａの流路抵抗は吐出特性に大きな影響を与えるため、接着剤のしぼり本体６ａへの流入は吐出特性を大きく悪化させる。また、しぼり本体６ａは、他の部分よりも横断面の面積が小さいため、しぼり本体６ａへの接着剤の流入は、流路の遮断を生じやすく、致命的な不具合につながる恐れがある。

供給流路６ｂへの接着剤の流入を防止する方法の１つとして、プレート４ｅの吐出孔面４−１側の表面における供給流路６ｂの周囲に、接着剤の逃がし溝を設けることが考えられる。しかしながら、この方法では、逃がし溝にエアーがトラップされて、エアーの排出の妨げになるという問題があることが発明者らの検討により明らかになった。また、複数の個別流路１２から漏洩した圧力波が逃がし溝で反射されて吐出特性に悪影響を及ぼすという問題もあった。

上述した構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、マニホールド５から第１供給流路６ｂ１へ流入した接着剤を、段差６ｄ（正確には、段差６ｄにおけるマニホールド５（副マニホールド５ｂ）面した内壁面（吐出孔面４−１と平行な内壁面）であり、特にその端部）でトラップすることができるので、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止し、吐出特性の悪化を防止することができる。このため、プレート４ｅの吐出孔面４−１側の表面における供給流路６ｂの周囲に接着剤の逃がし溝を設ける必要が無く、マニホールド５の内壁面における供給流路６ｂの周囲を逃がし溝の非形成領域とすることができる。これにより、マニホールド５の内壁面における供給流路６ｂの周囲に逃がし溝を形成することによる前述した不具合の発生を防止することが出来る。

また、本実施形態では、第２供給流路６ｂ２の横断面の面積が、第１供給流路６ｂ１の横断面の面積よりも小さく、供給流路６ｂは、マニホールド５（共通流路）側からしぼり本体６ａ側へ向かうときに、段差６ｄを境にして横断面の面積が小さくなる。このため、マニホールド５から供給流路６ｂへの液体の流入をスムーズにできるとともに、段差６ｄによって接着剤を確実にトラップすることが出来る。

なお、プレートの積層方向から平面視したときに、第２供給流路６ｂ２の周囲を囲むように段差６ｄが形成されているのが望ましく、これにより接着剤を確実にトラップすることが出来る。また、段差の高さは、５０μｍ以上であることが望ましく、１００μｍ以上であることが更に望ましい。

また、本実施形態では、第１供給流路６ｂ１はプレート４ｅに設けられており、第２供給流路６ｂ２はプレート４ｄに設けられている。すなわち、供給流路６ｂにおける段差６ｄよりもマニホールド５（共通流路）側は、１つのプレートに設けられた貫通孔によって構成されており、供給流路６ｂにおける段差６ｄよりもしぼり本体６ａ側は、他のプレートに設けられた貫通孔によって構成されている。これにより、供給流路６ｂの内壁面に段
差６ｄを容易に形成することが出来る。但し、この構成に限定されるものではなく、供給流路６ｂを１つのプレート内に設けても構わない。この場合には、例えば、１つのプレートにハーフエッチングによって凹部を形成した後に、この凹部内に貫通孔を形成することにより、供給流路６ｂの横断面を変化させる段差を、供給流路６ｂの内壁面に形成することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図９および図１０を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態の流路部材４と異なる点について説明し、重複する説明を省略する（同様の構成要素には同様の参照符号を付す）。図９は、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材４における供給流路６ｂの構造を模式的に示す図７と同様の平面図である。図１０は、図９のＸ−Ｘ線に沿った模式的な縦断面図である。

本実施形態の流路部材４は、図９および図１０に示すように、凹部６ｆを更に有している。それ以外の構成は第１実施形態の流路部材４と同じである。凹部６ｆは、段差６ｄにおけるマニホールド５（共通流路）に面した内壁面（吐出孔面４−１と平行な内壁面）に設けられている。本実施形態の流路部材４は、凹部６ｆを有していることから、段差６ｄの高さを低く抑えつつ、凹部６ｆによって接着剤を確実にトラップすることができる。

また、本実施形態では、供給流路６ｂをマニホールド５側（吐出孔面４−１側）から見たときに、段差６ｄよりもしぼり本体６ａ側における流路（第２供給流路６ｂ２）の周囲を、間隔を開けて取り囲むように、凹部６ｆが設けられている。これにより、接着剤が、どの方向から第２供給流路６ｂ２へ向けて流れてきても、凹部６ｆによって確実に接着剤をトラップすることが出来る。なお、凹部６ｆの幅は、５０μｍ以上であることが望ましい。また、凹部６ｆの深さは、プレート４ｅの深さの４０％以上６０％以下とするのが望ましい。

（第３実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図１１を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態の流路部材４と異なる点について説明し、重複する説明を省略する（同様の構成要素には同様の参照符号を付す）。図１１は、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材６における供給流路６ｂの構造を模式的に示す図８と同様の縦断面図である。

本実施形態では、図１１に示すように、第２供給流路６ｂ２の横断面の面積が第１供給流路６ｂ１の横断面の面積よりも大きい。すなわち、供給流路６ｂは、マニホールド５（共通流路）側からしぼり本体６ａ側へ向かうときに、段差６ｄを境にして横断面の面積が大きくなる。このような構成を有する流路部材４においても、段差６ｄ（正確には、段差６ｄにおけるしぼり本体６ａに面した内壁面（加圧室面４−２と平行な内壁面）であり、特にその端部）に接着剤がトラップされるため、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止することが出来る。

また、供給流路６ｂのマニホールド５側（第１供給流路６ｂ１）の横断面の面積が小さいため、他の個別流路１２で発生してマニホールド５内へ伝達された圧力波を第１供給流路６ｂ１との境界部で反射することが出来るので、クロストークによる吐出特性の悪化を低減することが出来る。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図１２を用
いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態の流路部材４と異なる点について説明し、重複する説明を省略する（同様の構成要素には同様の参照符号を付す）。図１２は、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材６における供給流路６ｂの構造を模式的に示す平面図であり、プレート４ａ〜４ｍの積層方向から平面視した状態を示している。

本実施形態では、図１２に示すように、第１供給流路６ｂ１の横断面の面積と、第２供給流路６ｂ２の横断面の面積とが等しいが、第１供給流路６ｂ１の横断面は、７つの角を有する星形のような形状を有しており、第２供給流路６ｂ２の横断面は、円形状の形状を有している。それにより、供給流路６ｂの内壁面における第１供給流路６ｂ１と第２供給流路６ｂ２との境界に段差が形成されている。すなわち、供給流路６ｂは、マニホールド５（共通流路）側からしぼり本体６ａ側へ向かうときに、段差６ｄを境にして横断面の形状が変化する。このような構成を有する流路部材４においても、段差（正確には、図１２の第１供給流路６ｂ１が第２供給流路６ｂ２からはみ出した部分におけるマニホールド５側の表面と、図１２の第２供給流路６ｂ２が第１供給流路６ｂ１からはみ出した部分におけるしぼり本体６ａ側の表面であり、特にそれらの表面の端部）に接着剤がトラップされるので、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止することが出来る。

また、本実施形態では、第１供給流路６ｂ１の横断面が多くの角を有する形状であるため、第１供給流路６ｂ１の横断面の角にもある程度の接着剤がトラップされるため、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止する効果を高めることが出来る。

なお、図１２においては、第１供給流路６ｂ１の横断面の断面積と、第２供給流路６ｂ２の横断面の断面積と、が等しい場合を示したがこれに限定されるものではない。第１供給流路６ｂ１の横断面の面積と第２供給流路６ｂ２の横断面の面積とを異ならせ、それにより段差の高さを高くすることにより、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止する効果を更に高めることが出来る。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図１３および図１４を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態の流路部材４と異なる点について説明し、重複する説明を省略する（同様の構成要素には同様の参照符号を付す）。図１３は、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材４における供給流路６ｂの構造を模式的に示す平面図であり、プレート４ａ〜４ｍの積層方向から平面視した状態を示している。図１４は、図１３のＹ−Ｙ線に沿った模式的な縦断面図である。

本実施形態では、図１３および図１４に示すように、第１供給流路６ｂ１の横断面および第２供給流路６ｂ２の横断面は、ともに円形状であり、横断面の面積も等しいが、プレート４ａ〜４ｍの積層方向から平面視したときに、第１供給流路６ｂ１の横断面の面積重心ｃ１の位置と、第２供給流路６ｂ２の横断面の面積重心ｃ２の位置と、が異なっている。そして、これにより、供給流路６ｂの内壁面における第１供給流路６ｂ１と第２供給流路６ｂ２との境界に段差６ｄが形成されている。すなわち、供給流路６ｂは、マニホールド５（共通流路）側からしぼり本体６ａ側へ向かうときに、段差６ｄを境にして横断面の面積重心の位置が変化する。このような構成を有する流路部材４においても、段差（正確には、図１３の第１供給流路６ｂ１が第２供給流路６ｂ２からはみ出した部分におけるマニホールド５側の表面と、図１３の第２供給流路６ｂ２が第１供給流路６ｂ１からはみ出した部分におけるしぼり本体６ａ側の表面であり、特にそれらの表面の端部）に接着剤がトラップされるので、しぼり本体６ａへの接着剤の流入を防止することが出来る。

なお、実際に作製された流路部材４において、段差６ｄを境にして横断面の面積重心の位置が変化することを、確認するのは困難である。そこで、実際の流路部材４において確認する場合には、図１４に示すような１つの縦断面を観察し、その断面において、段差６ｄを境にして流路の中央の位置が変化することを確認すれば良い。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜４ｍ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・（マニホールドの）開口
５ｂ・・・副マニホールド
６・・・しぼり
６ａ・・しぼり本体
６ｂ・・供給流路
６ｃ・・排出流路
６ｄ・・段差
６ｆ・・凹部
７・・・ディセンダ
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子
６０・・・信号伝達部
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
８０Ａ・・・給紙ローラ
８０Ｂ・・・回収ローラ
８２Ａ・・・ガイドローラ
８２Ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (8)

1. 複数のプレートが接着剤層を介して積層されて構成されており、
   液体を吐出する複数の吐出孔と、
   該吐出孔の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記吐出孔に繋がっている複数の個別流路と、
   複数の前記個別流路が繋がっている共通流路と、
   を有しており、
   各々の前記個別流路は、該個別流路における前記共通流路から前記吐出孔へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、該加圧室と前記共通流路とを繋いでいるしぼりと、を有しており、
   該しぼりは、前記プレートに沿った方向に伸びるように形成されているしぼり本体と、前記プレートの積層方向に伸びるように形成されて前記共通流路と前記しぼり本体とを繋いでおり、前記しぼり本体よりも流路抵抗が小さい供給流路と、を有しており、
   該供給流路は、該供給流路の内壁面に、該供給流路の横断面が変化する段差を有しており、
   前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の面積が小さくなり、
   前記段差における前記共通流路に面した前記内壁面に、凹部が設けられている
   ことを特徴とする、液体吐出ヘッド用の流路部材。
2. 前記供給流路を前記共通流路側から見たときに、前記段差よりも前記しぼり本体側における流路の周囲を、間隔を開けて取り囲むように、前記凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。
3. 前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の形状が変化することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。
4. 前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の面積重心の位置が変化することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。
5. 複数のプレートが接着剤層を介して積層されて構成されており、
   液体を吐出する複数の吐出孔と、
   該吐出孔の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記吐出孔に繋がっている複数の個別流路と、
   複数の前記個別流路が繋がっている共通流路と、
   を有しており、
   各々の前記個別流路は、該個別流路における前記共通流路から前記吐出孔へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、該加圧室と前記共通流路とを繋いでいるしぼりと、を有しており、
   該しぼりは、前記プレートに沿った方向に伸びるように形成されているしぼり本体と、前記プレートの積層方向に伸びるように形成されて前記共通流路と前記しぼり本体とを繋いでおり、前記しぼり本体よりも流路抵抗が小さい供給流路と、を有しており、
   該供給流路は、該供給流路の内壁面に、該供給流路の横断面が変化する段差を有しており、
   前記供給流路は、前記段差の前後において、横断面の形状および面積が互いに等しく、横断面の重心の位置が互いに異なっている
   ことを特徴とする、液体吐出ヘッド用の流路部材。
6. 前記供給流路における前記段差よりも前記共通流路側は、１つの前記プレートに設けられた貫通孔によって構成されており、前記供給流路における前記段差よりも前記しぼり本体側は、他の前記プレートに設けられた貫通孔によって構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材と、
   前記加圧室の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記加圧室に圧力を加える、複数の加圧部と、
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有することを特徴とする記録装置。

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