JP6027282B2 - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる、吐出孔、加圧室および共通流路を備えている流路部材としては、流路となる孔あるいは溝が形成された金属プレートを複数積層したものが知られている。これらの金属プレートは、接着剤で接合される。金属プレートには、接合の際に接着剤が孔あるいは溝に流れ込むのを抑制するために、接着剤の逃がし溝が、孔あるいは溝の周囲を囲んで環状に形成されている。そして、それら環状の逃がし溝が互いに接続されている（例えば、特許文献１を参照。）。

流路の配置によっては、その周囲に特許文献１に記載されているような逃がし溝を配置しようとしても、近くに配置されている他の流路のための逃がし溝との間の距離が近くなって、接着代が狭くなったり、そもそも逃がし溝を配置する余地がないことがあった。特に、加圧室と共通流路とを繋ぐ流路であるしぼりは、密集して配置される。このため、周囲を囲むように逃がし溝が配置できないことで、接着剤の流れ込みによって流路の形状が変った際のしぼりの流路特性のばらつきが大きくなり、吐出特性のばらつきが大きくなるという問題があった。

特開２００６−１８７９６７号公報

液体吐出ヘッドにおける一態様は、複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、前記第２流入孔は、前記第１流出孔よりも外側に配置されており、前記第２流入孔の開口の幅は、前記第１流出孔の開口の幅よりも大きい。

液体吐出ヘッドにおける一態様は、複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、および該複数の加圧室に液体を供給している共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記流路部材は、流路となる孔あるいは溝が配置されている複数のプレートを積層して構成されており、前記流路部材を平面視したとき、前記共通流路は、一方方向に長く、前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行が、前記共通流路の両側に１行ずつ、合計２行、前記一方方向に配置されており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して繋がっており、該第１しぼりは、積層方向と直交する方向に伸びている第１しぼり本体と、該第１しぼり本体の前記共通流路側で、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを積層方向に繋いでいる第１流入孔と、当該第１しぼり本体の前記加圧室側で、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを積層方向に繋いでいる第１流出孔とを有しており、前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して繋がっており、該第２しぼりは、積層方向と直交する方向に伸びている第２しぼり本体と、該第２しぼり本体の前記共通流路側で、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを積層方向に繋いでいる第２流入孔と、当該第２しぼり本体の前記加圧室側で、当該第２
しぼり本体と前記加圧室とを積層方向に繋いでいる第２流出孔とを有しており、前記第１しぼり本体および前記第２しぼり本体は、前記一方方向と交差する方向に伸びているとともに、前記一方方向に交互に並んでおり、前記一方方向に直交する方向を他方方向とすると、前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも前記他方方向の一方側に配置されており、前記第２流入孔は、前記第１流出孔よりも前記他方方向の他方側に配置されており、前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、前記第２流入孔の開口の幅は、前記第１流出孔の開口の幅よりも大きい。

記録装置における一態様は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えている。

本発明の液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置は、しぼりに接着剤が流れ込む可能性を低減することができる、という効果を奏する。

（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は、平面図である。 図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 図２のヘッド本体の要部の拡大平面図である。 図６と同じ領域のプレートの拡大平面図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の他の実施形態に係るヘッド本体に用いられるプレートの要部の拡大平面図である。

図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図である。図１（ｂ）は、プリンタ１の概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐをガイドローラ８２Ａから搬送ローラ８２Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像あるいは文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１は、いわゆるラインプリンタである。記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、印刷用紙Ｐの搬送方向にほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送と、を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられている。フレーム７０には、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５ｍｍ〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成
しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、印刷用紙Ｐの搬送方向にほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることにより、印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。このようにすることにより、枚葉紙あるいは裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にすることができる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤あるいは化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性、例えば、吐出量あるいは吐出速度などに影響を与えている場合に、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体２ａの一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６は、図２のヘッド本体２ａの要部の拡大平面図である。図７は、図６と同じ領域のプレート４ｂの拡大平面図である。なお、図３および４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０、しぼり６および吐出孔８などを実線で描いている。

液体吐出ヘッド２には、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバあるいは筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、加圧部である変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５と繋がっている開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給されるようになっている。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給する信号伝達部６０が接続されている。図２には、２つの信号伝達部６０が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、信号伝達部６０に形成されている電極は、信号伝達部６０の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４を有している。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４上に接合された、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有している。すなわち、マニホールド５は一方方向に長い。本実施形態では、一方方向は、液体吐出ヘッド２の長手方向と同じ方向である。また、マニホールド５は、その両端部において、流路部材４の上面に開口している開口５ａが形成されている。

また、マニホールド５は、少なくとも加圧室１０に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている
。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。

複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより、副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。

加圧室１０は、しぼり６を介して１つの副マニホールド５ｂと繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１行ずつ、合計２行設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６の列が１列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が１行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方にのみ設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。

１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、もっとも外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。

本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣り合う加圧室列１１の加圧室１
０が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。

加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１を成しており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９を成している。２行の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。

１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０のしぼり６が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の
画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを４つ用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの短手方向に並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでいる。個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極用表面電極２８が配置されている。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置された、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。

吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出される。

流路部材４は、複数のプレートが接着剤により互いに接着して構成されている。すなわち、流路部材４は、複数のプレートが接着積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｂ、サプライプレート４ｃ、マニホールドプレート４ｄ〜ｉ、カバープレート４ｊおよびノズルプレート４ｋである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０μｍ〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がるしぼり６を構成する連通孔である。この連通孔は、アパーチャプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。しぼり６については後で詳述する。

第３に、加圧室１０のしぼり６が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する部分流路であるディセンダ７である。ディセンダ７は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｌ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。

第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート４ｅ〜ｊに形成されている。マニホールドプレート４ｅ〜ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート４ｅ〜ｊにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部（図では省
略してある）で各マニホールドプレート４ｅ〜ｊと繋がった状態にされる。

第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０からディセンダ７に入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ａは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度であり、個別電極２５の厚さは、１μｍ程度である。

個別電極２５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極２５は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が配置されている。接続電極２６は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５μｍ〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極２４は、共通電極用表面電２８を介して接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。

圧電セラミック層２１ｂの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変
位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ａは加圧室１０側へ凸となるように変形する。

続いて、液体の吐出動作について説明する。制御部８８からの制御に基づいて、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。

あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下「高電位」と称する）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下「低電位」と称する）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の平らな形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ７内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板２１の物性、あるいは加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。

なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。

共通流路である副マニホールド５ａと加圧室１０とを繋いでいるしぼり６は、引き打ちにおいては、流路抵抗が高くなっていることで圧力波を反射する働きをするため、吐出速度あるいは吐出量などの吐出特性に直接的な影響を及ぼす。押し打ちや他の方法で吐出を行なう場合であっても、圧力波の反射は起こり、圧力波は、加圧室１０やディセンダ７内で減衰しながら残留振動として残り、次の吐出に影響を及ぼす。いずれにしても、しぼり６の流路特性は、吐出特性に与える影響が大きく、寸法ばらつきが小さい方が良い。

変位素子３０により、加圧室１０に加えられた圧力は、しぼり６とディセンダ７とに向かうことになるが、そのエネルギーを主に吐出に使うように、通常、ディセンダ７よりもしぼり６の流路抵抗が大きくされる。特に、引き打ちで吐出をする場合には、反射が起き
やすいように、しぼり６の流路抵抗は大きくされる。

流路抵抗を大きくするためには、流路の長さを長くすること、あるいは流路の断面積を小さくすることが必要である。流路の長さを長くすると、ヘッド本体２ａの大きさが大きくなってしまう。このため、流路の断面積を小さくする必要がある。

そこで、しぼり６のうち、流路抵抗の高い部分であるしぼり本体６ａを、プレートの平面に沿って伸びている流路、すなわち、プレートの積層方向に直交する方向に伸びている流路とすることで、断面積を小さくするとともに、長さをある程度長くできる。

プレートの平面に沿って伸びているしぼり本体６ａと、プレートの平面方向に広がった形状をしている加圧室１０とを直接繋ぐと、プレートの積層ずれにより、実際に液体が流れる流路長のばらつきが大きくなる。そこで、しぼり本体６ａの加圧室１０側には、プレートの積層方向に伸びる孔である流出孔６ｃを配置して、しぼり本体６ａと加圧室１０とは、流出孔６ｃを介して繋がるようにする。同様に、しぼり本体６ａと副マニホールド５ａとは、プレートの積層方向に伸びる孔である流入孔６ｂを介して繋がるようにする。

しぼり６の配置の詳細について、図６を用いて説明する。なお、図６では、加圧室１０と吐出孔８とを繋いでいるディセンダ７は、形状を省略して、繋がりを線で表している。副マニホールド５ａの両側には、加圧室１０の列である加圧室列１１が、１行ずつ、合計２行、副マニホールド５ａに沿って配置されている。図６において、副マニホールド５ａの左側に配置されている加圧室行１１を第１加圧室行１１Ａとし、右側に配置されている加圧室行１１を第２加圧室行１１Ｂとして説明する。また、副マニホールド５ａが伸びる方向（一方方向）に直交する方向（図６において左右方向）を他方方向とする。また、図６において右側を他方方向の一方側とし、左側を他方方向の他方側とする。

第１加圧室行１１Ａに属している加圧室１０と副マニホールド５ａとは、第１しぼり６Ａを介して繋がっている。第１しぼり６Ａには、副マニホールド５ａ側から順に、第１流入孔６Ａｂ、第１しぼり本体６Ａａ、第１流出孔６Ａｃが配置されている。第２加圧室行１１Ｂに属する加圧室１０と副マニホールド５ａとは、第２しぼり６Ｂを介して繋がっている。第２しぼり６Ｂには、副マニホールド５ａ側から順に、第２流入孔６Ｂｂ、第２しぼり本体６Ｂａ、第２流出孔６Ｂｃが配置されている。

第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａは、液体がプレートの平面方向に流れる流路である。第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａは、プレート４ｂの下面に配置されている溝で構成されており、より詳細には、その溝がプレート４ｃの上面で塞がれて流路となっている。第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａは、直線状で、ほぼ一定幅の流路である。第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａは、一方方向と交差する方向に伸びており、一方方向に交互に並んで配置されている。なお、一方方向と、第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａが伸びる方向との角度は、しぼり６の配置の密度を高くできるように、４５度以上であるのが好ましい。また、この角度は、６０度以上、特に７５度以上であるのがさらに好ましい。

第１流入孔６Ａｂは、液体がプレートの積層方向に流れる流路であり、プレート４ｂに配置されている溝の上面からプレート４ｃの下面までの円柱状の流路である。第１しぼり本体６Ａａの加圧室１０側には第１流出孔６Ａｃが繋がっている。第１流出孔６Ａｃは、液体がプレートの積層方向に流れる流路であり、プレート４ｂの上面からプレート４ｂの下面までの円柱状の流路である。第１しぼり本体６Ａａの副マニホールド５ａ側には第１流入孔６Ａｂが繋がっている。したがって、プレート４ｂには、直線状の第１しぼり本体６Ａａと、その一方の端に配置されている第１しぼり本体６Ａａよりも開口の幅の広い第
１流出孔６Ａｃと、その他方の端に配置されている第１しぼり本体６Ａａよりも開口の幅の広い第１流入孔６Ａｂと、が配置されていることになる。第２しぼり６Ｂにおいても、第２しぼり本体６Ｂａ、第２流入孔６Ｂｂおよび第２流出孔６Ｂｃがこれと同様の関係になっている。

プレート４ｂとプレート４ｃとを接着積層する際、それらの間に供給される接着剤は、第１しぼり６Ａと第２しぼり６Ｂとに接着剤が流れ込むおそれがある。しかし、第１しぼり６Ａと第２しぼり６Ｂとが交互に、ほぼ平行に配置されているために、互いが接着剤の逃がし溝の役目を果たすので、相互に接着剤の流れ込みを抑制できる。具体的には、第１しぼり６Ａの両側には、第２しぼり６Ｂが配置されているため、第１しぼり６Ａには、第２しぼり６Ｂを超えて、接着剤が流れるこむことはほとんどなくなる。また、第１しぼり６Ａと第２しぼり６Ｂとの間に供給された接着剤の量が過剰であったとしても、第１しぼり６Ａと第２しぼり６Ｂとに約半分ずつ流れ込むことになるので、接着剤が流れ込む量を少なくできる。

次に、第１流出孔６Ａｃに流れ込む接着剤について考える。第１流出孔６Ａｃは、隣り合っている２つの第２しぼり６Ｂの間に配置されているので、第１流出孔６Ａｃへの図６の上側および下側からの接着剤の流れ込みは、それらによって抑制できる。また、隣り合っている２つの第２しぼり６Ｂは、他方方向、すなわち図６の左右方向において、第１流出孔６Ａｃの位置から図６の右側に向かって伸びているので、第１流出孔６Ａｃへの図６の右側からの接着剤の流れ込みも、それらによって抑制できる。ここで、第２流入孔６Ｂｂが第１流出孔６Ａｃよりも他方方向の他方側（すなわち、図６の左右方向の左側）に配置されている。そして、第２流入孔６Ｂｂの開口の幅が、第１流出孔６Ａｃの開口の幅よりも広い。このため、図６の左側から第１流出孔６Ａｃへ流れ込もうとする接着剤の一部は、第２流入孔６Ｂｂで止められて、第１流出孔６Ａｃに流れ込み難くできる。

ここで、上記の「開口の幅」とは、プレートを平面視した場合の、孔の直径のことを言う。なお、孔が平面視して円形状でなく例えば長方形状である場合、上記の「開口の幅」とは、互いに対向する短辺を結ぶ、つまり、長辺の長さである、最も径が大きい部分を言う。

また、上記の「第２流入孔６Ｂｂの開口の幅が、第１流出孔６Ａｃの開口の幅よりも広い」とは、製造誤差により開口の幅が広くなってしまっているものも含む意味である。また、「第２流入孔６Ｂｂの開口の幅が、第１流出孔６Ａｃの開口の幅よりも広い」とは、第２流入孔６Ｂｂおよび第１流出孔６Ａｃの全てがこのような関係になっている必要はなく、一部でもこのような関係になっていればよい。換言すれば、１つの第２流入孔６Ｂｂの開口の幅が、隣り合う１つの第１流出孔６Ａｃの開口の幅よりも広くなっていればよい。なお、第２流入孔６Ｂｂおよび第１流出孔６Ａｃの全てが上記の関係となっていることが好ましい。

なお、上記は、第１流入孔６Ａｂと第２流出孔６Ｂｃとの関係においても同様である。

また、第１流出孔６Ａｃは、第２しぼり本体６Ｂａの間に配置されていることが好ましい。この構成によれば、第２流入孔６Ｂｂの位置が、第１流出孔６Ａｃよりも他方方向の他方側に配置されることになり、図６の左側から第１流出孔６Ａｃへの接着剤の流れ込みをより抑制できる。

第２流出孔６Ｂｃについても上記と同様である。具体的には、第１流入孔６Ａｂが第２流出孔６Ｂｃよりも他方方向の一方側（すなわち、図６の左右方向の右側）に配置されている。そして、第１流入孔６Ａｂの開口の幅が、第２流出孔６Ｂｃの開口の幅よりも広い
。このため、図６の右側から第２流出孔６Ｂｃへ流れ込もうとする接着剤の一部は、第１流入孔６Ａｂで止められて、第２流出孔６Ｂｃに流れ込み難くできる。

また、第２流出孔６Ｂｃは、第１しぼり本体６Ａａの間に配置されていることが好ましい。この構成によれば、第１流入孔６Ａｂの位置が、第２流出孔６Ｂｃよりも他方方向の一方側に配置されることになり、図６の右側から第２流出孔６Ｂｃへの接着剤の流れ込みをより抑制できる。

しぼり本体６ａは、しぼり６の中でも流路抵抗が高い部分であり、加圧室１０から伝わって来る圧力波を反射する役目を主に担う。流出孔６ｃは、液体が流れる方向に対する断面積が広くなっており、しぼり本体６ａよりも流路抵抗が低くなっている。そのため、流出孔６ｃの流路抵抗が変動しても、しぼり６全体の流路抵抗に及ぼす影響は相対的に小さくなっている。この観点から言えば、流出孔６ｃの断面積をより大きくすることが望ましいが、流出孔６ｂが、加圧室１０やしぼり本体６ａよりも広がった形状になると、そのような広がった部分に液体が滞留しやすくなる。そのような滞留があると、液体の固形分の固着などが起きやすく、あまり好ましくない。つまり、流出孔６ｃをむやみに大きくすることは好ましくない。

一方、流入孔６ｂは、副マニホールド５ａと繋がっており、流入孔６ｂを大きくしても、そこに繋がる副マニホールド５ａがより大きいため、上述のような滞留は生じ難い。そこで、流入孔６ｂを大きく、すなわち流入孔６ｂの開口の幅を大きくして、接着剤が流出孔６ｃに流れ込む経路となる部分の幅を狭めることで、流出孔６ｃの流路抵抗のばらつきを小さくできる。

第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａを構成している孔は、１枚のプレートに配置されている孔であってもよい。その場合、孔の上側は、上に積層されるプレートの下面で塞がれ、孔の下側は、下に積層されるプレートの上面で塞がれる。プレート間で積層ずれが生じることを考慮すれば、第１しぼり本体６Ａａと第２しぼり本体６Ｂａとが、１枚のプレートに配置された溝、あるいは孔で構成されていれば、複数のプレートに配置された溝、あるいは孔が組み合わされて構成されている場合よりも、積層ずれによる流路特性の変動が生じ難いので好ましい。

また、第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａは、上述のように溝で構成されているのが好ましい。孔で構成されていると、孔が配置されているプレートと、その上のプレートおよびその下のプレートを積層する際に、２層分の接着剤が流れ込むことになるが、溝で構成されていれば、接着剤が流れ込むのは、溝が配置されているプレートと、その溝を塞ぐ１枚のプレートを積層する際の、１層分だけにできる。さらに、接着剤の供給をその溝が配置されている主面に行なうようにすれば、積層する際に、溝の中に接着剤が直接供給される可能性を低減することができ、溝を塞ぐプレートの主面にも接着剤が直接供給される可能性を低減することができるので好ましい。

第１しぼり本体６Ａａの長さの半分以上が、隣り合っている２つの第２しぼり本体６Ｂａの間に挟まれるように構成することが好ましい。この構成によれば、２つの第２しぼり本体６Ｂａの間に供される接着剤の流れ込みが安定するので、流路抵抗のばらつきを低減できる。同様に、第２しぼり本体６Ｂａの長さの半分以上が、隣り合っている２つの第１しぼり本体６Ａａの間に挟まれるように構成することが好ましい。この構成によれば、２つの第１しぼり本体６Ａａの間に供される接着剤の流れ込みが安定するので、流路抵抗のばらつきを低減できる。

より具体的には、第１しぼり本体６Ａａの長さの２／３以上が、隣り合っている２つの
第２しぼり６Ｂの間に挟まれるように構成することが好ましい。この構成によれば、２つの第２しぼり６Ｂの間に供される接着剤の流れ込みがより安定するので、流路抵抗のばらつきをより低減できる。同様に、第２しぼり本体６Ｂａの長さの２／３以上が、隣り合っている２つの第１しぼり６Ａの間に挟まれるように構成することが好ましい。この構成によれば、２つの第１しぼり６Ａの間に供される接着剤の流れ込みがより安定するので、流路抵抗のばらつきをより低減できる。さらに、全体が互いに挟まれているようにするのがより好ましい。

流入孔６ｂの副マニホールド５ａ側の開口は、副マニホールド５ａの上面に配置されているのが好ましく、さらに、それらが開口している副マニホールド５ａの上面は、プレート４ｃの下面に配置されている溝になっていることが好ましい。この構成によれば、プレート４ｃとプレート４ｄとの間に供給された接着剤が、流入孔６ｂに流れ込むことを抑制できる。

また、副マニホールド５ａの上面をプレート４ｃの下面に配置された溝で構成し、しぼり本体６ａをプレート４ｂの下面に配置された溝で構成することが好ましい。この構成によれば、流入孔６ｂおよび流出孔６ｃを含めたしぼり６全体を、プレート４ｂ、４ｃの２枚のプレートを積層することで構成できるので、しぼり６に流れ込むおそれのある接着剤の層数を減らすことができる。

続いて、しぼり６の周囲に配置される接着剤の逃がし溝１７について、図７を用いて説明する。図７は、しぼり本体６ａを構成している溝が配置されているプレート４ｂの、図６と同じ範囲の拡大平面図である。

プレート４ｂには、次のような孔および溝が配置されている。プレート４ｂの下面には、第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａとなる溝が配置されている。プレート４ｂの下面には、第１流入孔６Ａｂの一部となる溝および第２流入孔６Ｂｂの一部となる溝が配置されている。これらの溝は、プレート４ｃに配置されている孔と繋がり、第１流入孔６Ａｂ全体および第２流入孔６Ｂｂ全体となる。プレート４ｂを貫通して、第１流出孔６Ａｃとなる孔および第２流出孔６Ｂｃとなる孔が配置されている。

また、プレート４ｂを貫通して、第１加圧室行１１Ａに属する加圧室１０と吐出孔８とを繋いでいる第１ディセンダ７Ａの一部となる孔（以下で、この孔のことを単に第１ディセンダ７Ａと呼ぶことがある）が配置されている。プレート４ｂを貫通して、第２加圧室行１１Ｂに属する加圧室１０と吐出孔８とを繋いでいる第２ディセンダ７Ｂの一部となる孔（以下で、この孔のことを単に第１ディセンダ７Ｂと呼ぶことがある）が配置されている。

さらに、プレートの下面には、接着剤の逃がし溝１７が配置されている。また、それらの一部は、後述の第１逃がし溝１７Ａおよび第２逃がし溝１７Ｂとなっている。

第１流入孔６Ａｂは、副マニホールド５ａ内の図７の右側（すなわち、他方方向の一方側）の端に、一方方向に沿って配置されている。第２ディセンダ７Ｂは、副マニホールド５ａよりも他方方向の一方側に、一方方向に沿って配置されている。第１流入孔６Ａｂと第２ディセンダ７Ｂとの間には、一方方向に伸びる第１逃がし溝１７Ａが配置されている。第１逃がし溝１７Ａは、接着剤が図７の右側から第１流入孔６Ａｂに流れ込むのを抑制するとともに、接着剤が図７の左側から第２ディセンダ７Ｂに流れ込むのを抑制できる。

第１逃がし溝１７Ａは、副マニホール５ａと重ならない位置、すなわち隔壁１５と重なる位置に配置されている。なお、もっとも端に位置する副マニホール５ａの外側は、いわ
ゆる隔壁ではないが、その部分も含めて、副マニホール５ａが存在しておらず、ディセンダ７や逃がし溝１７のような小さい孔や溝しか配置されていない、実質的に中実の部分を便宜上隔壁１５と呼びことにする。

副マニホールド５ａに重なる領域と、副マニホールド５ａに重ならない領域とでは、接着されるときの状態が異なる。隔壁１５上の領域では、積層の圧力が伝わりやすく、圧力が強くなるので接着が強固になる。それと比べると、副マニホールド５ａ上の領域では、圧力が伝わり難く、接着が弱くなる。また、隔壁１５上の領域の方が、圧力が強く加わるので、接着剤の塗布が均一に行われていた場合でも、接着の際に、隔壁１５上の領域から副マニホールド５ａ上の領域に接着剤が流動する。

第１逃がし溝１７Ａは、このようにして生じた接着剤の流動が、第１流入孔６Ａｂに到達することを抑制できる。しかし、第１流入孔６Ａｂの周囲にある接着代が、副マニホールド５ａ上に配置されているものしかない場合、接着強度が相対的に弱く、液体の漏れなどが生じやすい。特に、第１流入孔６Ａｂの図７の右側は、接着代が狭く、液体の漏れなどが生じやすい。

そのため、第１逃がし溝１７Ａは、副マニホールド５ａと重ならない領域に配置される。そのように配置することで、第１流入孔６Ａｂの周囲にある接着代、特に、図７の右側の接着代の一部が、隔壁１５上に配置されることになり、接着が強固になるので、液体の漏れなどが抑制できる。

同様に、第２流入孔６Ｂｂと第１ディセンダ７Ａとの間に、一方方向に伸びる第２逃がし溝１７Ｂを配置する。第２逃がし溝１７Ｂは、副マニホール５ａと重ならない位置に配置されており、第２流入孔６Ｂｂおよび第１ディセンダ７Ａに接着剤が流れ込むのを抑制できるとともに、第２流入孔６Ｂｂの周囲の接着代の一部が、隔壁１５上に配置されることになり、接着が強固になるので、液体の漏れなどが抑制できる。

図７に描かれている位置は、副マニホールド５ａの長手方向の端部である。副マニホールド５ａの端部では、交互に配置されていた、第１しぼり本体６Ａａおよび第２しぼり本体６Ｂａの配置もそこで終わる。図７では、もっとも端に位置するのは、第２しぼり本体６Ｂａとなっている。図７における、もっとも端の第２しぼり本体６Ｂａの図７の下側には、しぼり６は配置されていないため、他のしぼり本体６ａと比較して、図７の下側から流れ込んでくる接着剤の量が多くなるおそれがある。そこで、もっとも端の第２しぼり本体６Ｂａのさらに外側に、第２しぼり本体６Ｂａが伸びる方向に接着剤の逃がし溝１７を配置する。図７に示す例では、逃がし溝１７は、第２しぼり本体６Ｂａに沿って配置されている。図７の下側から接着剤が多量に流れてきた場合、１本の逃がし溝１７では、逃がし溝１７が接着剤で埋まってしまい、流れ込みを十分抑制できないおそれがあるため、逃がし溝１７は、二本以上、すなわち複数配置するのが好ましい。

続いて、しぼりの他の構成について説明する。図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、上述の実施形態におけるプレート４ｂの代わりに用いることのできる、プレート１０４ｂ、２０４ｂの要部を示した平面図である。上述の実施形態と差異の小さい部位については、同じ符号を付けて説明を省略する。

プレート１０４ｂでは、第１しぼり１０６Ａの開口において、第１しぼり本体１０６Ａａの第１流入孔６Ａｂ側の、第１流入孔６Ａｂに達する前の部分が、開口幅が広くなっている第１拡幅部１０６Ａａａとなっている。第１拡幅部１０６Ａａａは、第１流入孔６Ａｂに向かって徐々に大きくなっている。すなわち、第１拡幅部１０６Ａａａは、第１しぼり本体１０６Ａａの中央部の開口の幅よりも大きい。このように構成することにより、第
２流出孔６Ｂｃへの接着剤の流れ込みをより抑制できる。第２しぼり本体１０６Ｂａもこれと同様に、第２拡幅部１０６Ｂａａが設けられている。第２拡幅部１０６Ｂａａは、第２しぼり本体１０６Ｂａの中央部の開口の幅よりも大きい。これにより、第１流出孔６Ａｃへの接着剤の流れ込みをより抑制できる。

プレート２０４ｂにおいても、上記と同様に、第１しぼり本体２０６Ａａに第１拡幅部２０６Ａａａが設けられており、第２しぼり本体２０６Ｂａに第２拡幅部２０６Ｂａａが設けられている。すなわち、第１拡幅部２０６Ａａａは、第１しぼり本体２０６Ａａの中央部の開口の幅よりも大きく、第２拡幅部２０６Ｂａａは、第２しぼり本体２０６Ｂａの中央部の開口の幅よりも大きい。ここで、第１拡幅部２０６Ａａａは、第１流入孔２０６Ａｂに達する前に第１流入孔２０６Ａｂとほぼ同じ幅になっており、その幅で直線状に伸びている。第２拡幅部２０６Ｂａａは、第２流入孔２０６Ｂｂに達する前に第２流入孔２０６Ｂｂとほぼ同じ幅になっており、その幅で直線状に伸びている。このように構成することにより、プレート４ｃの積層ずれなので、プレート４ｃに配置されている第１流入孔６Ａｂの位置がずれても、第１しぼり２０６Ａの流路抵抗の変化を小さくできる。第２しぼり２０６についてもこれと同様である。

１ カラーインクジェットプリンタ
２ 液体吐出ヘッド
２ａ ヘッド本体
４ 流路部材
４ａ〜ｌ、１０４ｂ、２０４ｂ 流路部材のプレート
４−１ 吐出孔面
４−２ 加圧室面
５ マニホールド
５ａ マニホールドの開口
５ｂ 副マニホールド
６ しぼり
６ａ しぼり本体
６ｂ 流入孔
６ｃ 流出孔
６Ａ、１０６Ａ、２０６Ａ 第１しぼり
６Ａａ、１０６Ａａ、２０６Ａａ 第１しぼり本体
１０６Ａａａ、２０６Ａａａ 第１拡幅部
６Ａｂ 第１流入孔
６Ａｃ 第１流出孔
６Ｂ、１０６Ｂ、２０６Ｂ 第２しぼり
６Ｂａ、１０６Ｂａ、２０６Ｂａ 第２しぼり本体
１０６Ｂａａ、２０６Ｂａａ 第２拡幅部
６Ｂｂ 第２流入孔
６Ｂｃ 第２流出孔
７ ディセンダ
７Ａ 第１ディセンダ
７Ｂ 第２ディセンダ
８ 吐出孔
９ 吐出孔行
１０ 加圧室
１１ 加圧室行
１１Ａ 第１加圧室行
１１Ｂ 第２加圧室行
１２ 個別流路
１５ 隔壁
１６ ダミー加圧室
１７ 逃がし溝
１７Ａ 第１逃がし溝
１７Ｂ 第２逃がし溝
２１ 圧電アクチュエータ基板
２１ａ 圧電セラミック層
２１ｂ 圧電セラミック層
２４ 共通電極
２５ 個別電極
２５ａ 個別電極本体
２５ｂ 引出電極
２６ 接続電極
２８ 共通電極用表面電極
３０ 変位素子
６０ 信号伝達部
７０ ヘッド搭載フレーム
７２ ヘッド群
８０Ａ 給紙ローラ
８０Ｂ 回収ローラ
８２Ａ ガイドローラ
８２Ｂ 搬送ローラ
８８ 制御部
Ｐ 印刷用紙

Claims (12)

1. 複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、
   前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、
   前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、
   前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、
   前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、
   前記第２流入孔は、前記第１流出孔よりも外側に配置されており、
   前記第２流入孔の開口の幅は、前記第１流出孔の開口の幅よりも大きい、液体吐出ヘッド。
2. 前記第１流出孔は、隣り合う２つの前記第２しぼり本体の間に配置されており、前記第２流出孔は、隣り合う２つの前記第１しぼり本体の間に配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記流路部材は、流路となる孔あるいは溝が配置されている複数のプレートを積層して構成されており、
   前記第１しぼり本体および前記第２しぼり本体を構成している孔は、前記複数のプレートのうちの１枚に配置されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記流路部材は、流路となる孔あるいは溝が配置されている複数のプレートを積層して構成されており、
   前記第１しぼり本体および前記第２しぼり本体を構成している溝は、前記複数のプレートのうちの１枚の片方の主面に配置されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路部材を平面視したとき、
   前記第１しぼり本体の前記第１流入孔側の、前記第１流入孔に達する手前の開口の幅は、当該第１しぼり本体の中央部の開口の幅よりも大きく、
   前記第２しぼり本体の前記第２流入孔側の、前記第２流入孔に達する手前の開口の幅は、当該第２しぼり本体の中央部の開口の幅よりも大きい、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記共通流路における、前記第１流入孔の開口および前記第２流入孔の開口は、当該共通流路を構成している孔あるいは溝が配置されている前記プレートの中で、もっとも前記第１しぼり本体および前記第２しぼり本体に近い位置に配置されている前記プレートの一方の主面に配置されている溝に開口している、請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
7. 複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、
   前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、
   前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、
   前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、
   前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、
   前記流路部材を平面視したとき、
   前記第１しぼり本体の長さの半分以上が、隣り合っている２つの前記第２しぼり本体の間に挟まれており、
   前記第２しぼり本体の長さの半分以上が、隣り合っている２つの前記第１しぼり本体の間に挟まれている、液体吐出ヘッド。
8. 前記流路部材を平面視したとき、
   前記第１しぼり本体の長さの２／３以上が、隣り合っている２つの前記第２しぼりの間に挟まれており、
   前記第２しぼり本体の長さの２／３以上が、隣り合っている２つの前記第１しぼりの間に挟まれている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、
   前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、
   前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路と
   を接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、
   前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、
   前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、
   前記流路部材は、流路となる孔あるいは溝が配置されている複数のプレートを積層して構成されており、前記複数のプレートが接着剤により互いに接着して構成されており、
   前記流路部材を平面視したとき、
   前記第２加圧室行に属している前記複数の加圧室と前記複数の吐出孔とをそれぞれ接続している複数の第２部分流路が、前記共通流路の外側に配置されており、
   前記第１しぼり本体を構成している孔あるいは溝が配置されている前記プレートの少なくとも一方の主面において、前記複数の第２部分流路の開口が前記共通流路の外側に配置されており、前記複数の第１流入孔の開口が前記共通流路と重なるように配置されており、当該複数の第２部分流路の開口と当該複数の第１流入孔の開口との間に、流路とならない第１溝が配置されており、
   該第１溝は、前記共通流路と重ならないように配置されている、液体吐出ヘッド。
10. 複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
    前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、
    前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、
    前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、
    前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、
    前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、
    前記流路部材は、流路となる孔あるいは溝が配置されている複数のプレートを積層して構成されており、前記複数のプレートが接着剤により互いに接着して構成されており、
    前記流路部材を平面視したとき、
    前記第１加圧室行に属している前記複数の加圧室と前記複数の吐出孔とをそれぞれ接続している複数の第１部分流路が、前記共通流路の外側に配置されており、
    前記第２しぼり本体を構成している孔あるいは溝が配置されている前記プレートの少なくとも一方の主面において、前記複数の第１部分流路の開口が前記共通流路の外側に配置されており、前記複数の第２流入孔の開口が前記共通流路と重なるように配置されており、当該複数の第１部分流路の開口と当該複数の第２流入孔の開口との間に、流路とならない第２溝が配置されており、
    該第２溝は、前記共通流路と重ならないように配置されている、液体吐出ヘッド。
11. 複数の吐出孔、複数の加圧室、および共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
    前記複数の加圧室が並んで構成されている加圧室行を少なくとも２行有しており、２行の前記加圧室行の一方を第１加圧室行、他方を第２加圧室行とすると、
    前記第１加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第１しぼりを介して接続されており、当該第１しぼりは、第１しぼり本体と、当該第１しぼり本体と前記共通流路とを接続する第１流入孔と、当該第１しぼり本体と前記加圧室とを接続する第１流出孔とを有しており、
    前記第２加圧室行に属する前記加圧室と前記共通流路とは、第２しぼりを介して接続されており、当該第２しぼりは、第２しぼり本体と、当該第２しぼり本体と前記共通流路とを接続する第２流入孔と、当該第２しぼり本体と前記加圧室とを接続する第２流出孔とを有しており、
    前記第１流入孔は、前記第２流出孔よりも外側に配置されており、
    前記第１流入孔の開口の幅は、前記第２流出孔の開口の幅よりも大きく、
    前記流路部材を平面視したとき、
    前記第１しぼり本体および前記第２しぼり本体のうちで、もっとも端に配置されているしぼり本体のさらに外側に、流路とならない第３溝が配置されている、液体吐出ヘッド。
12. 請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備える、記録装置。

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