図1(a)は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド2を含む記録装置である(カラーインクジェット)プリンタ1の概略の側面図であり、図1(b)は、概略の平面図である。プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pを搬送ローラ80aから搬送ローラ80bへと搬送することにより、印刷用紙Pを液体吐出ヘッド2に対して相対的に移動させる。制御部88は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド2を制御して、記録媒体Pに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Pに液滴を着弾させて、印刷用紙Pに印刷などの記録を行なう。
本実施形態では、液体吐出ヘッド2はプリンタ1に対して固定されており、プリンタ1はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド2を、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Pの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
プリンタ1には、印刷用紙Pとほぼ平行するように平板状の(ヘッド搭載)フレーム70が固定されている。フレーム70には図示しない20個の孔が設けられており、20個の液体吐出ヘッド2がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド2の、液体を吐出する部位が印刷用紙Pに面するようになっている。液体吐出ヘッド2と印刷用紙Pとの間の距離は、例えば0.5〜20mm程度とされる。5つの液体吐出ヘッド2は、1つのヘッド群72を構成しており、プリンタ1は、4つのヘッド群72を有している。
液体吐出ヘッド2は、図1(a)の手前から奥へ向かう方向、図1(b)の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。1つのヘッド群72内において、3つの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の2つの液体吐出ヘッド2は搬送方向に沿ってずれた位置で、3つ液体吐出ヘッド2の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド2は、各液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲が、印刷用紙Pの幅方向に(印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向に)繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Pの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
4つのヘッド群72は、記録用紙Pの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド2には、図示しない液体タンクから液体(インク)が供給される。1つのヘッド群72に属する液体吐出ヘッド2には、同じ色のインクが供給されるようになっており、4つのヘッド群で4色のインクが印刷できる。各ヘッド群72から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。このようなインクを、制御部88で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
プリンタ1に搭載される液体吐出ヘッド2の個数は、単色で、1つの液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲を印刷するのなら1つでもよい。ヘッドの群72に含まれる液体吐出ヘ
ッド2の個数や、ヘッド群72の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群72の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群72を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度(搬送速度)を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群72を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Pの幅方向の解像度を高くしてもよい。
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Pの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pに印刷を行なう。印刷用紙Pは、給紙ローラ80aに巻き取られた状態になっており、2つのガイドローラ82aの間を通った後、フレーム70に搭載されている液体吐出ヘッド2の下側を通り、その後2つの搬送ローラ82bの間を通り、最終的に回収ローラ80bに回収される。印刷する際には、搬送ローラ82bを回転させることで印刷用紙Pは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド2によって印刷される。回収ローラ80bは、搬送ローラ82bから送り出された印刷用紙Pを巻き取る。搬送速度は、例えば、75m/分とされる。各ローラは、制御部88によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
記録媒体は、印刷用紙P以外に、布などでもよい。また、プリンタ1を、印刷用紙Pの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド2から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド2から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
また、プリンタ1に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部88が、各センサからの情報から分かるプリンタ1各部の状態に応じて、プリンタ1の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド2から吐出される液体の吐出特性(吐出量や吐出速度など)が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド2の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド2に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド2において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
また、引用用紙Pは図1(a)に示されているように平面上を搬送する以外に、円筒形上のドラムの上を搬送してもよい。
次に、本発明の液体吐出ヘッド2について説明する。図2は、ヘッド本体2aの平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した平面図である。図4は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため図3とは異なる一部の流路を省略した図である。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板21の下方にあって破線で描くべきしぼり6、吐出孔8、加圧室10などを実線で描いている。また、図4の吐出孔8は、位置を分かりやすくするため、実際の径よりも大きく描いてある。図5(a)は、図3のV−V線に沿った縦断面図であり、図5(b)は、流路部材4の開口5a付近の縦断面図である。
液体吐出ヘッド2は、ヘッド本体2a以外にリザーバや、金属製の筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体2aは、流路部材4と、変位素子(加圧部)30が作り込まれている圧電アクチュエータ基板21とを含んでいる。
ヘッド本体2aを構成する流路部材4は、共通流路であるマニホールド5と、マニホールド5と繋がっている複数の加圧室10と、複数の加圧室10とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔8とを備え、加圧室10は流路部材4の上面に開口しており、流路部材4の上面が加圧室面4−2となっている。また、流路部材4の上面にはマニホールド5と繋がる開口5aを有し、この開口5aより液体が供給されるようになっている。
また、流路部材4の上面には、変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21が接合されており、各変位素子30が加圧室10上に位置するように設けられている。また、圧電アクチュエータ基板21には、各変位素子30に信号を供給するためのFPC(Flexible Printed Circuit)などの信号伝達部60が接続されている。図2には、2つの信号伝達部60が圧電アクチュエータ基板21に繋がる状態が分かるように、信号伝達部60の圧電アクチュエータ基板21に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板21に電気的に接続されている、信号伝達部60に形成されている電極は、信号伝達部60の端部に、矩形状に配置されている。2つの信号伝達部60は、圧電アクチュエータ基板21の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。2つの信号伝達部60は、中央部から圧電アクチュエータ基板21の長辺に向かって伸びている。
ヘッド本体2aは、平板状の流路部材4と、流路部材4上に接続された変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21を1つ有している。圧電アクチュエータ基板21の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材4の長手方向に沿うように流路部材4の上面に配置されている。
流路部材4の内部には2つのマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材4の上面に開口しているマニホールドの開口5aが形成されている。
また、マニホールド5は、長さ方向の中央部分、少なくとも加圧室10に繋がる流路が配置されている範囲において、幅方向に間隔を開けて設けられた隔壁15で仕切られている。隔壁15は、加圧室10に繋がっている領域である長さ方向の中央部分では、マニホールド5と同じ高さを有し、マニホールド5を複数の副マニホールド5bに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁15と重なるように、吐出孔8および吐出孔8から加圧室10に繋がっている流路を設けることができる。
複数に分けられた部分のマニホールド5を副マニホールド5bと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド5は独立して2本設けられており、それぞれの両端部に開口5aが設けられている。また、1つのマニホールド5には、7つの隔壁15が設けられており、8つの副マニホールド5bに分けられている。副マニホールド5bの幅は、隔壁15の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド5bに多くの液体を流すことができる。また、7つの隔壁15は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド5の両端において、幅方向の中央に近い隔壁15ほど、隔壁15の端がマニホールド5の端に近くなっている。これにより、マニホールド5の外側の壁により生じる流路抵抗と、隔壁15により生じる流路抵抗との間のバランスがとれ、各副マニホールド5bのうち、加圧室10に繋がる部分である個別供給流路14が形成されている領域の端における液体の圧力差を少なくできる。この個別供給流路14での圧力差は、加圧室10内の液体に加わる圧力差につながるため、個別供給流路14での圧力差を少なくすれば、吐出ばらつきを低減できる。
各副マニホールド5bは、長さ方向の中央部分、少なくとも加圧室10に繋がる流路が
配置されている範囲において、仕切り板18で上下に仕切られている。仕切られた上側(加圧室10に繋がっている流路が繋がっている側)の部分を上側マニホールド5b−1、下側(加圧室10に繋がっている流路が繋がっていない側)の部分を下側マニホールド5b−2と呼ぶ。これらについては後で詳述する。
流路部材4は、複数の加圧室10が2次元的に広がって形成されている。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。
加圧室10は、1つの副マニホールド5bと個別供給流路14を介して繋がっている。1つの副マニホールド5bに沿うようにして、この副マニホールド5bに繋がっている加圧室10の行である加圧室行11が、副マニホールド5bの両側に1列ずつ、合計2列設けられている。したがって、1つのマニホールド5に対して、16行の加圧室11が設けられており、ヘッド本体2a全体では32行の加圧室行11が設けられている。各加圧室行11における加圧室10の長手方向の間隔は同じであり、例えば、37.5dpiの間隔となっている。
個別供給流路14の副マニホールド5b側の開口は、個別供給流路開口14aであり、仕切り板18における、個別供給流路開口14aと対向する位置には貫通孔18aが配置されている。
各加圧室行11の端にはダミー加圧室16が設けられている。このダミー加圧室16は、マニホールド5とは繋がっているが、吐出孔8とは繋がっていない。また、32行の加圧室行11の外側には、ダミー加圧室16が直線状に並んだダミー加圧室行が設けられている。このダミー加圧室16は、マニホールド5および吐出孔8のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室16により、端から1つ内側の加圧室10の周囲の構造(剛性)が他の加圧室10の構造(剛性)と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室10の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室16を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体21aの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体21aの幅を小さくできる。
1つのマニホールド5に繋がっている加圧室10は、矩形状の圧電アクチュエータ基板21の各外辺に沿った行および列をなす格子上に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板21の外辺から、加圧室10の上に形成されている個別電極25が等距離に配置されることになるので、個別電極25を形成する際に、圧電アクチュエータ基板21に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板21と流路部材4とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子30に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、最も外辺に近い加圧室行11の外側にダミー加圧室16のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行11に属する加圧室10は等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25も等間隔で配置されている。加圧室行11は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。
本実施形態では、加圧室10は格子状に配置したが、隣接する加圧室列11に属する加圧室10の間に角部が位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加する圧室行11に属する加圧室10の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。
加圧室行11をどのように並べるかによらず、流路部材4を平面視したとき、1つの加圧室行11に属する加圧室10が、隣接する加圧室行11に属する加圧室10と、液体吐出ヘッド2の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行11の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド2の幅が大きくなるので、プリンタ1に対する液体吐出ヘッド2の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド2を使用する際の、液体吐出ヘッド2の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁15の幅を副マニホールド5bよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。
1つの副マニホールド5bに繋がっている加圧室10は、2列の加圧室行11を成しており、1つの加圧室行11に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8は、1つの吐出孔行9を成している。2列の加圧室行11に属する加圧室10に繋がっている吐出孔8はそれぞれ、副マニホールド5bの異なる側に開口している。図4では、隔壁15には、2行の吐出孔行9が設けられているが、それぞれの吐出孔行9に属する吐出孔8は、吐出孔8に近い側の副マニホールド5bに加圧室10を介して繋がっている。隣接する副マニホールド5bに加圧室行11を介して繋がっている吐出孔8と液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。
また、平面視において、加圧室10と副マニホールド5bとが重なるように配置することにより、液体吐出ヘッド2の幅を小さくできる。加圧室10の面積に対する、重なっている面積の割合が80%以上、さらに90%以上にすることで、液体吐出ヘッド2の幅をより小さくできる。また、加圧室10と副マニホールド5bとが重なっている部分の加圧室10の底面は、副マニホールド5bと重なっていない場合と比較して剛性が低くなっており、その差により吐出特性がばらつくおそれがある。加圧室10全体の面積に対する、副マニホールド5bと重なっている加圧室10の面積の割合を、各加圧室10で略同じにすることで、加圧室10を構成する底面の剛性が変わることによる吐出特性のばらつきを少なくすることができる。ここで略同じとは、面積の割合の差が、10%以下、特に5%以下であることを言う。
1つのマニホールド5に繋がっている複数の加圧室10により加圧室群が構成されており、マニホールド5が2つあるため、加圧室群は2つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室10の配置は同じで、短手方向に平行移動させたに配置されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ基板21に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室10によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータ基板21が接合されることで閉塞されている。
加圧室10の個別供給流路14が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材4の下面の吐出孔面4−1に開口している吐出孔8に繋がる流路が伸びている。流路は、平面視において、加圧室10から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室10の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室10は各加圧室行11内での間隔が37.5dpiになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔8は、全体で1200dpiの間隔で配置することができる。
これは別の言い方をすると、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交する
ように吐出孔8を投影すると、図4に示した仮想直線のRの範囲に、各マニホールド5に繋がっている16個の吐出孔8、全部で32個の吐出孔8が、1200dpiの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド5に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に1200dpiの解像度で画像が形成可能となる。また、1つのマニホールド5に繋がっている1個の吐出孔8は、仮想直線のRの範囲で600dpiの等間隔になっている。これにより、各マニホールド5に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に600dpiの解像度で2色の画像が形成可能となる。この場合、2つの液体吐出ヘッド2を用いれば、600dpiの解像度で4色の画像が形成可能となり、600dpiで印刷可能な液体吐出ヘッドを用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体2aの短手方向に並んでいる1列の加圧室列に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8で、仮想直線のRの範囲がカバーされている。
圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に対向する位置には個別電極25がそれぞれ形成されている。個別電極25は、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有している個別電極本体25aと、個別電極本体25aから引き出されている引出電極25bとを含んでおり、個別電極25は、加圧室10と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板21の上面には、共通電極24とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極28が形成されている。共通電極用表面電極28は、圧電アクチュエータ基板21の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように2列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って1列形成されている。図示した、共通電極用表面電極28は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。
圧電アクチュエータ基板21は、後述のようにビアホールを形成した圧電セラミック層21a、共通電極24、圧電セラミック層21bを積層し、焼成した後、個別電極25および共通電極用表面電極28を同一工程で形成するのが好ましい。個別電極25と加圧室10との位置ばらつきは吐出特性に大きく影響を与えること、個別電極25を形成した後、焼成すると圧電アクチュエータ基板21に反りが生じるおそれがあり、反りが生じた圧電アクチュエータ基板21を流路部材4に接合すると、圧電アクチュエータ基板21に応力が加わった状態になり、その影響で変位がばらつくおそれがあることから、個別電極25は、焼成後に形成される。共通電極用表面電極28も同様に反りを生じされるおそれがあることと、個別電極25と同時に形成した方が、位置精度が高くなり、工程も簡略化できるので、個別電極25と共通電極用表面電極28は同一工程で形成される。
このような圧電アクチュエータ基板21を焼成する際に生じるおそれのある、焼成収縮によるビアホールの位置ばらつきは、主に圧電アクチュエータ基板21の長手方向に生じるので、共通電極用表面電極28が偶数個あるマニホールド5の中央、別の言い方をすれば、圧電アクチュエータ基板21の短手方向の中央に設けられており、共通電極用表面電極28が圧電アクチュエータ基板21の長手方向に長い形状をしていることにより、ビアホールと共通電極用表面電極28とが位置ずれにより電気的に接続されなくなることを抑制できる。
圧電アクチュエータ基板21には、2枚の信号伝達部60が、圧電アクチュエータ基板21の2つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板21の引出電極25bおよび共通電極用表面電極28の上に、それぞれ、接続電極26および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極28および共通電極用接続電極の面積を接続電極26の面積よりも大きくすれば、信号伝達部60の端部(先端および圧電アクチュエータ基板21の長手方向の端)における接続が、共通電極用表面電極28上の接続により
強くできるので、信号伝達部60が端からはがれ難くできる。
また、吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置されたマニホールド5と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ基板21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔8は、1つの群として圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板21の変位素子30を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。
ヘッド本体2aに含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート4a、ベースプレート4b、アパーチャ(しぼり)プレート4c、サプライプレート4d、マニホールドプレート4e〜j、カバープレート4kおよびノズルプレート4lである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは10〜300μm程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路12およびマニホールド5を構成するように、位置合わせして積層されている。加圧室10は流路部材4の上面に、マニホールド5は流路部材4の内部の下面側に、吐出孔8は流路部材4の下面にと、個別流路12を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、ヘッド本体2aには、加圧室10を介してマニホールド5と吐出孔8とが繋がる構成を有している。
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート4aに形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端からマニホールド5へと繋がる個別供給流路14を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート4b(詳細には加圧室10の入り口)からサプライプレート4c(詳細にはマニホールド5の出口)までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路14には、アパーチャプレート4cに形成されている、流路の断面積が小さくなっている部位であるしぼり6が含まれている。
第3に、加圧室10の個別供給路14が繋がっている端と反対の他端から吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ(部分流路)と呼称されることがある。ディセンダは、ベースプレート4b(詳細には加圧室10の出口)からノズルプレート4l(詳細には吐出孔8)までの各プレートに形成されている。
第4に、マニホールド5を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート4e〜jに形成されている。マニホールドプレート4e〜jには、副マニホールド5bを構成するように隔壁15となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート4e〜jにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部17で各マニホールドプレート4e〜jと繋がった状態にされる。また、マニホールドプレート4gの一部は、マニホールド5を上下に仕切る仕切り板18となっている。
第1〜4の連通孔が相互に繋がり、マニホールド5からの液体の流入口(マニホールド5の出口)から吐出孔8に至る個別流路12を構成している。マニホールド5に供給された液体は、以下の経路で吐出孔8から吐出される。まず、マニホールド5から上方向に向かって、個別供給流路14に入り、しぼり6の一端部に至る。次に、しぼり6の延在方向に沿って水平に進み、しぼり6の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。加圧室10からディセンダに入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8に至って、外部に吐出される。
図3では、しぼり6となる部位を含むアパーチャプレート4cの孔(以下でしぼりとなる孔ということがある)は、同じ副マニホールド5bから繋がっている他の加圧室10とわずかに重なるようになっている。しぼり6となる部位を含むアパーチャプレート4cの孔は、平面視した場合に、副マニホールド5b内に含まれるように配置すれば、しぼり6をより密集して配置できるので好ましい。しかし、そのようにするとしぼり6となる孔全体が、副マニホールド5b上の、他の部位と比較して厚さの薄い部分に配置されることになり、周囲からの影響を受け易くなってしまう。そのような場合、平面視したときに、しぼり6となる孔が、該孔に直接的に繋がっている加圧室10以外の加圧室10と重ならないようにすれば、しぼり6となる孔が副マニホールド5b上の薄い部位に配置されていても直上にある他の加圧室10からの振動の影響を直接的に受け難くできる。このような配置は、しぼり6となる孔のあるプレート(複数のプレートで構成されている場合は、それらの内で最も上のプレート)と加圧室10となる孔のあるプレート(複数のプレートで構成されている場合は、それらの内で最も下のプレート)との間のプレートが1枚であって、振動が伝わり易い場合に、特に必要とされる。また、しぼり6となる孔のあるプレートと加圧室10となる孔のあるプレートとの間の距離が200μm以下、さらには100μm以下である場合に、特に必要とされる。重ならないように配置するには、例えば、図3に示したしぼり6となる孔の角度をヘッド本体2aの短手方向に沿った方向に近づけるか、しぼり6となる孔の一端を少し短くするなどすればよい。
圧電アクチュエータ基板21は、圧電体である2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板21の圧電セラミック層21aの下面から圧電セラミック層21bの上面までの厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層21a、21bは、例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる。
圧電アクチュエータ基板21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極24およびとAu系などの金属材料からなる個別電極25を有している。個別電極25は上述のように圧電アクチュエータ基板21の上面における加圧室10と対向する位置に配置されている個別電極本体25aと、そこから引き出された引出電極25bとを含んでいる。引出電極25bの一端の、加圧室10と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極26が形成されている。接続電極26は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極26は、信号伝達部60に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極25には、制御部100から信号伝達部60を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
共通電極24は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極24は、圧電アクチュエータ基板21に対向する領域内のすべての加圧室10を覆うように延在している。共通電極24の厚さは2μm程度である。共通電極24は、圧電セラミック層21b上に個別電極25からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極28に、圧電セラミック層21bに形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極28は、多数の個別電極25と同様に、信号伝達部60上の別の電極と接続されている。
なお、後述のように、個別電極25に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極25に対応する加圧室10の体積が変わり、加圧室10内の液体に圧力が
加えられる。これによって、個別流路12を通じて、対応する吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板21における各加圧室10に対向する部分は、各加圧室10および吐出口8に対応する個別の変位素子30に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層体中には、図5(a)に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子30が加圧室10毎に、加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極24、圧電セラミック層21b、個別電極25により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板21には加圧部である変位素子30が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって吐出口8から吐出される液体の量は1.5〜4.5pl(ピコリットル)程度である。
多数の個別電極25は、個別に電位を制御することができるように、それぞれが信号伝達部60および配線を介して、個別に制御部100に電気的に接続されている。個別電極25を共通電極24と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部100により個別電極25を共通電極24に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極25を共通電極24より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極25を共通電極24と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極25が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが元の形状に戻り、加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。このとき、加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極25を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが加圧室10側へ凸となるように変形し、加圧室10の容積減少により加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極25に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり6から吐出孔8まで伝播する時間長さであるAL(Acoustic Length)が理想的である。これによると、加圧
室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
また、階調印刷においては、吐出孔8から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量(体積)で階調表現が行なわれる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔8から連続して行なう。一般に、吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をALとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり、好ましい。
本発明の液体吐出ヘッド2では、副マニホールド5bは、仕切り板18で2つの部分マニホールド(部分共通流路)に仕切られている。部分マニホールドには、加圧室10から繋がっている個別供給流路14が配置されている上側マニホールド(第1部分共通流路)
5b−1と、個別供給流路14が配置されていない下側マニホールド(第2部分共通流路)5b−2とが存在する。仕切り板18には、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とを繋いでいる貫通孔18aが配置されている。そして、個別供給流路14の上側マニホールド5b−1側の開口である個別供給流路開口14aから見たときの貫通孔18aの立体角は、0.26〜3.23ステラジアンとなっている。
なお、より詳細には、立体角を見込む点は、個別供給流路開口14aの面積重心とすればよい。また、立体角の範囲は、貫通孔18aの上側マニホールド5b−1側の開口の範囲とすればよい。
さらに、本実施形態では、副マニホールド5bは、仕切り板18によって2つの部分マニホールドに仕切られているが、それ以上の個数に仕切られていてもよい。その場合でも、部分マニホールドには、個別供給流路14が配置されている部分マニホールドと、個別供給流路14が配置されていない部分マニホールドがあり、仕切り板18には、個別供給流路14が配置されている部分マニホールドと、個別供給流路14が配置されていない部分マニホールドとを繋いでいる貫通孔18aが存在し、個別供給路開口14aから見たときの貫通孔18aの立体角が、上述の範囲内であればよい。
本実施形態では、副マニホールド5b、上側マニホールド5b−1および下側マニホールド5b−2の幅は1.2mmであり、上側マニホールド5b−1の高さH1は200μm、下側マニホールド5b−2の高さH2は300μm、仕切り板18の厚さは100μmである。また、個別供給流路開口14aは、円形状であり、直径180μmであり、貫通孔18aは、円柱形状であり、直径180μmである。ヘッド本体2aを平面視したとき、個別供給流路開口14aの中心と貫通孔18aの中心は、製造精度の範囲内で一致している。
液体を吐出するために、加圧室10に圧力を加えると、それにより生じる圧力振動の一部が、個別供給路14を通じて、副マニホールド5bに伝わる。副マニホールド5bには、多数の加圧室10からの圧力振動が伝わってくるので、副マニホールド5b中の液体は、それにより振動することなる。副マニホールド5b中の液体が振動すると、その圧力振動が個別供給路14を通じて加圧室10に伝わるので、吐出特性を変動させる原因となる。具体的にどのように影響するかは、吐出動作中のどのタイミングでどのような圧力が加わるかによって変わる。基本的には、吐出孔8へ向かう、吐出される液体となる圧力波を強めるような圧力が加われば、吐出量は増え(すなわち画素サイズが大きくなり)、吐出速度は速くなり、吐出孔8へ向かう圧力波を弱めるような圧力が加われば、吐出量は減り(すなわち画素サイズが小さくなり)、吐出速度は遅くなる。
実際に印刷を行なう際には、各変位素子30は印刷されるパターンに応じて駆動され、その振動が、個別供給路14を通じて副マニホールド5bに伝わるため、副マニホールド5b内の液体の振動は、非常に複雑になる。そして、そのような状態での吐出特性のばらつきは、一つの吐出孔8だけから吐出する場合や、全吐出孔8から同じ駆動波形で吐出する場合(ベタ印刷する場合など)と比較して大きなる。すなわち、いくつかの加圧室10から伝わってきた圧力振動が合成され、局所的、瞬間的に圧力変動が大きくなりことがあり得るので、そのような圧力変動が個別供給路14付近に生じると、その影響により吐出特性が大きく変動することがある。
そこで、副マニホールド5b内に仕切り板18を設け、個別供給流路開口14a付近に、仕切り板18を貫通する貫通孔18aを配置する。個別供給流路開口14aから広がる圧力波の一部は、上側マニホールド5b−1内に広がり、他の一部は、貫通孔18aを通った後、下側マニホールド5b−2内に広がっていく。上側マニホールド5b−1内に広
がる圧力波のエネルギーは、下側マニホールド5b−2に向かった圧力波の分、少なくなるので、上側マニホールド5b−1内の圧力変動は小さくなる。下側マニホールド5b−2内にも圧力変動が生じるようになるが、上側マニホールド5b−1の圧力振動と、下側マニホールド5b−2の圧力振動が貫通孔18aを通って伝わってくる圧力振動とが合成されて圧力が高まることは、確率的に起き難くなるため、吐出特性が極端に変わることが起き難くなる。
上述のような複数の加圧室10からの圧力振動が合成されることにより生じる吐出ばらつきは、印刷パターンおよび駆動信号のパターンが複雑であるほど生じ易い。例えば、画素サイズを3段階変えて、諧調表現のある印刷をする場合、副マニホールド8bには、大滴(例えば、幅ALのパルス+幅0.8×ALのパルスで吐出)、中滴(例えば、幅ALのパルスで吐出)、小滴(例えば、幅0.7×ALのパルスで吐出)の駆動信号で生じた圧力波が伝わってくることにより、複雑な圧力振動が生じ、稀に吐出特性が大きくばらつく。このような吐出特性のばらつきが大きくなるかどうかは、単にベタパターンを印刷して、その印刷状態を評価(例えば画素サイズのばらつきを評価)しても分からないことがある。
個別供給流路開口14aから広がる圧力波が、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とに分かれて広がるように、個別供給流路開口14aから見た貫通孔18aの立体角を規定している。貫通孔18aの立体角が0.26ステラジアンより小さいと、個別供給流路開口14aから広がる圧力波のうちで、下側マニホールド5b−2に伝わる圧力波の割合が低くなり、効果が小さくなる。貫通孔18aの立体角が3.23ステラジアンより大きいと、下側マニホールド5b−2に伝わる割合が大きくなり、貫通孔18aと個別供給流路開口14aとの距離も相対的に短くなるので、下側マニホールド5b−2に生じた圧力振動が個別供給流路14に伝わって吐出特性に与える影響が大きくなってしまい、効果が小さくなる。
個別供給流路開口14aから広がる圧力波のうちで貫通孔18aに伝わる割合が、副マニホールド5b内を流れる液体や圧力振動の影響を受け難いように、個別供給流路開口14aと貫通孔18aとは対向して配置されることが好ましい。さらに、個別供給路開口14aが開口している個別供給路開口面4d−1と直交する方向から見たとき、個別供給路開口14aと、貫通孔18aとが重なっているのが好ましい。特に好ましい状態は、個別供給路開口14aの面積重心を通って、個別供給路開口面4d−1に直交する仮想直線を伸ばしたときに、その仮想直線が貫通孔18aを通るようになっている状態である。
また、同様の理由で、個別供給路開口面4d−1と仕切り板18の上側マニホールド5b−1側の面は略平行になっているのが好ましい。ここで略平行とは、基本的に製造精度のばらつきの範囲内で平行という意味であり、例えばそれらの面の成す角度が5度以下ということである。
さらに、上側マニホールド5b−1の個別供給路開口面4d−1に直交する方向の大きさ(すなわち高さ)H1[μm]と、下側マニホールド5b−2の個別供給路開口面4d−1に直交する方向の大きさ(すなわち高さ)H2[μm]とが、0.11≦H1/H2≦1.5の範囲内であれば、圧力振動のエネルギーが、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とに分散されて、平均化されるので好ましい。
上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とが繋がっている部位が貫通孔18aだけであると、液体吐出ヘッド2に最初に液体を供給するときに、下側マニホールド5b−2内に気泡が残らないようにするのが難しかったり、時間がかかってしまう。また、吐出される液体は、主に上側マニホールド5b−1から供給されるので、下側マニホ
ールド5b−2内で液体が滞留し、顔料成分が沈降するなどの問題が生じるおそれがる。
そこで、マニホールド5において、外部から液体が供給される開口5aが配置されている部位では、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とが繋がっているようにする。図5(b)は、マニホールド5の開口5a付近の縦断面である。開口5aが配置されている部位のマニホールド5は、仕切り板18に第2貫通孔18bが開口しており、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2とが繋がっている。これにより、外部から供給された液体は、上側マニホールド5b−1と下側マニホールド5b−2の両方を通って供給されるようになる。これにより、上述した気泡や対流の問題が生じ難くなる。マニホールド5が長い場合は、開口5aをマニホールの5の両端部の少なくとも一方に配置することで、上述した気泡や対流の問題はより生じ難くなる。さらに好ましくは、開口5aをマニホールの5の両端部の両方に配置する。
図2〜5に示した基本的な構造を持つ液体吐出ヘッド2を作製して、印刷精度のばらつきを評価した。ただし、マニホールドプレート4e〜jについては、厚さや、仕切り板18の存在する位置(高さ方向の位置)を変えて、液体吐出ヘッド2を作製した。また、仕切り板18の形成されていない液体吐出ヘッド2を作製した。
各液体吐出ヘッド2に共通する設計は次の通りである。副マニホールド5b、上側マニホールド5b−1および下側マニホールド5b−2の幅は1.2mmであり、副マニホールドのトータル高さ(上側マニホールド5b−1の上端から、下側マニホールド5b−2の下端まで、すなわち仕切り板18の厚さも含む)は、600μm、仕切り板18の厚さは100μmである。また、個別供給流路開口14aは、円形状であり、直径180μmであり、貫通孔18aは、円柱形状であり、直径180μmである。ヘッド本体2aを平面視したとき、個別供給流路開口14aの中心と貫通孔18aの中心は、製造精度の範囲内で一致している。
各液体吐出ヘッド2で変えた設計は、上側マニホールド5b−1の高さH1[μm]および下側マニホールド5b−2の高さH2[μm]である。評価した液体吐出ヘッド2の(H1、H2)の組み合わせは、(50、450)、(100、400)、(200、300)、(300、200)、(400、100)である。なお、仕切り板18の形成されていない液体吐出ヘッド2では、副マニホールド5bの高さは600μmである。
貫通孔18aの立体角は、貫通孔18aの直径をR[μm]とすると、2π(1−H1/(H12+(R/2)2)1/2[ステラジアン]となるので、上述の5組の液体吐出
ヘッド2における立体角は順に、3.23、1.61、0.55、0.26、0.15(単位はすべてステラジアン)である。
ベタパターンや、単純な評価パターンを印刷して印刷精度を評価すると、人の顔などを実際に印刷した場合の印刷精度の感応評価との相関性の低い結果となるため、次のように評価した。
液体吐出ヘッド2の解像度方向(図2の上下方向)の半分の領域で、人の顔などの画像パターンを印刷し、残りの半分で、印刷した画素サイズが測定できる規則的な評価パターンを印刷した。このようにすると、画像パターンを印刷することで副マニホールド5b内の液体に、実際に印刷を行なわれる場合と同様な複雑な圧力振動を生じさせることができる。そして、同じ副マニホールド5bと繋がっている吐出孔8から評価パターンを印刷することで、副マニホールド5b内の液体の圧力振動の影響を受けた際の吐出精度が評価できる。人の顔などの画像パターンは、印刷される濃度の平均が、ベタパターンの約半分程
度になるもので、画素が不規則に分布しているものを使用する。印刷は諧調表現をされて多値画像を印刷する方が吐出ばらつきの影響が分かりやすいため、3段階の諧調で表された画像を印刷した。印刷において、大滴、中滴、小滴の吐出量は、それぞれ約3.0pL、約2.2pL、約1.5pLとした。
各液体吐出ヘッド2において、次のようにして、画素サイズのばらつきを評価した。印刷した評価パターンで小滴の画素サイズを測定し、画素サイズの平均を算出した。測定した画素サイズの中から平均画素サイズ+1μm以上のもの抜き出した。そのような画素サイズのものは、副マニホールド5b内の圧力振動が、吐出孔8に向かう圧力波を強めるように働いて吐出された結果と考えられる。それらを平均して、画素サイズ拡大側の平均画素サイズとした。続いて、測定した画素サイズの中から平均画素サイズ−1μm以下のもの抜き出した。そのような画素サイズのものは、副マニホールド5b内の圧力振動が、吐出孔8に向かう圧力波を弱めるように働いて吐出された結果と考えられる。それらを平均して、画素サイズ縮小側の平均画素サイズとした。そして、画素サイズ拡大側の平均画素サイズから画素サイズ縮小側の平均画素サイズを引いた値を画素サイズのばらつきの値とした。
各液体吐出ヘッド2の測定結果と貫通孔18aの立体角との関係を図6に示した。また、仕切り板18のない各液体吐出ヘッド2では、画素サイズのばらつきは3.13μmであった。本発明の液体吐出ヘッド2である、貫通孔18aの立体角が0.26〜3.23ステラジアンの液体吐出ヘッド2では、画素サイズのばらつきは2.97μm以下となり、印刷精度を高くすることができた。