JP6279975B2 - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関するものである。

インクジェット方式の印刷に用いられる液体吐出ヘッドしては、共通流路であるマニホールドおよびマニホールドから複数の加圧室をそれぞれ介して繋がった複数の吐出孔を有した、複数のプレートを積層してなる流路部材と、加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドの中で液体を吐出するヘッド本体は、複数の吐出孔にそれぞれ繋がった加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられた圧電アクチュエータ基板の変位素子を変位させることで、各吐出孔から液体を吐出することができる。圧電アクチュエータ基板は４個あり、それらに駆動信号を伝達する４個のフレキシブル配線基板は、ヘッド本体の短手方向に一方と他方に２個ずつ交互に引き出されており、ヘッド本体と筐体との間を通り、ヘッド本体の上部に配置されているコネクタに接続されている。また、フレキシブル配線基板にはドライバＩＣが実装されており、ドライバＩＣは、ヘッド本体と筐体とに挟まれており、筺体を通じて排熱されるようになっている。

特開２００７−３０７８０１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、ドライバＩＣからヘッド本体に伝わった熱は、外部に排熱され難いため、ドライバＩＣからの排熱は、主にドライバＩＣの１つの面からしか行なわれず、ドライバＩＣの冷却が充分でなく、過熱のためにドライバＩＣを停止させなければいけないことがあった。

したがって、本発明の目的は、ドライバＩＣの冷却性の高い液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するヘッド本体と、該ヘッド本体を駆動するドライバＩＣと、押さえ部と、前記ヘッド本体の一部を覆っているとともに、前記ドライバＩＣおよび前記押さえ部を収容している筐体とを含む液体吐出ヘッドであって、前記ドライバＩＣは、前記押さえ部と前記筐体との間に挟まれており、前記押さえ部は、前記筐体に接続されていることを特徴とする。

また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するヘッド本体と、該ヘッド本体を駆動するドライバＩＣと、該ドライバＩＣを挟んでいる挟み部と、前記ヘッド本体の一部を覆っているとともに、前記ドライバＩＣおよび前記挟み部を収容している筐体とを含む液体吐出ヘッドであって、前記挟み部は、前記筐体に接続されていることを特徴とする。

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。

本発明の液体吐出ヘッドでは、ドライバＩＣの熱が、ドライバＩＣの両面から筐体に伝わることで、ドライバＩＣの冷却性を高くできる。

（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。 図１（ａ）の液体吐出ヘッドを構成する流路部材および圧電アクチュエータの平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 図１の液体吐出ヘッドの斜視図である。 （ａ）は、図６の液体吐出ヘッドのＸ−Ｘ線縦断面図であり、（ｂ）は、図６の液体吐出ヘッドから一部の部材を取り除いたものの側面図である。 本発明の他の液体吐出ヘッドの部分縦断面図である。

図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

また、引用用紙Ｐは図１（ａ）に示されているように平面上を搬送する以外に、円筒形上のドラムの上を搬送してもよい。

次に、本発明の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、ヘッド本体２ａの平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した平面図である。図４は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明
のため図３とは異なる一部の流路を省略した図である。なお、図３および図４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべきしぼり６、吐出孔８、加圧室１０などを実線で描いている。また、図４の吐出孔８は、位置を分かりやすくするため、実際の径よりも大きく描いてある。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６は、図１に示した液体吐出ヘッド２の斜視図である。図７は、図６の液体吐出ヘッド２のＸ−Ｘ線縦断面図であり、図７（ｂ）は、図６の液体吐出ヘッド２から第１側板９０ｂ、フレキシブル配線基板６０および接続基板６６を除いたものを第１側板９０ｂ側から見た側面図である。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ、筐体９０、および筐体９０内においてヘッド本体２ａを駆動する駆動信号を伝達する回路や、それらを保持する部材が含まれる。液体吐出ヘッド２は、さらにリザーバ４０などを含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子（加圧部）３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備え、加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面にはマニホールド５と繋がる開口５ａを有し、この開口５ａにより液体が供給されるようになっている。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように設けられている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給する信号伝達部であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit、フレキシブル配線基板）６０が接続されている。図２には、２つのＦＰＣ６０が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、ＦＰＣ６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、ＦＰＣ６０に形成されている電極は、ＦＰＣ６０の端部に、矩形状に配置されている。２つのＦＰＣ６０は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。２つのＦＰＣ６０は、中央部から圧電アクチュエータ基板２１の長辺に向かって伸びている。

筐体９０は、金属、例えば、銅、アルミニウムなどの熱伝導性の高い材料で構成されており、ヘッド本体２ａの一部を覆っている。筐体９０は、直方体状の形状を有しており、一つの面が開口しており、その開口が（一部はリザーバ４０を介して）ヘッド本体２ａと接続されている。筺体９０は、その開口を下に向けた場合、開口に繋がっている４個の側板と、開口と対向する天板を有している。４個の側板は、対向した２個の側板からなる側板の組２組からなっている。１組の側板は、ヘッド本体２ａの長手方向に沿っており、第１側板９０ｂと呼ぶ。他の１組の側板は、ヘッド本体２ａの長手方向における両端部にそれぞれ位置しており、第２側板９０ａａと呼ぶ。筐体９０は、天板と第２側版９０ａａを含む筐体本体９０ａに、２個の第１側板９０ｂをネジ止めして構成されている。

筐体９０には、リザーバ４０の一部、（内部）フレーム６２、ＦＰＣ６０、ドライバＩＣ（Integrated Circuit）５５、配線基板６４、接続基板６６、および押さえ部６７などを収容している。筐体９０は、リザーバ４０に固定されている金属製のフレームにねじ止めされて固定されている。必要に応じて、筐体９０と他の部材との間の生じるおそれのある隙間は、樹脂で塞がれて、液体のミストが筐体９０の内部に入り難いようにされる。フレーム６２は、筐体９０内における、ヘッド本体２ａの長手方向の両方の端部に１つずつ配置されており、リザーバ４０から上方に向かって伸びている。フレーム６２には、配線基板６６がねじ止めされて固定されている。

筺体９０の天板には接続基板６６の外部コネクタ６６ａを介して信号が入力できるように孔が開いている。制御部８８から信号ケーブル（不図示）を介して送られてきた駆動信号は、接続基板６６、回路基板６４、ＦＰＣ６０およびＦＰＣ６０に実装されたドライバＩＣ５５を通り、後述の圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を駆動し、流路部材４内部の液体を加圧することにより、液滴を吐出する。接続基板６６は、筐体９０内部を仕切るように、４個の側板付近まで広がっており、天板の孔から侵入するおそれのあるミストが、さらに筐体９０の下側に行き難いようにしている。接続基板６６には、基本的にはコネクタだけが実装されている。外部コネクタ６６ａはスルーホール実装し、内部コネクタを表面実装すれば、接続基板６６の配線は、ほぼ接続基板６６の下側の面だけとなるので、上面にはミストが付着しても、電気的な障害を起こし難い。回路基板６４は、例えば、駆動信号を複数の圧電アクチュエータ基板２１に分ける他に、駆動信号の整流など行なってもよい。ＦＰＣ６０は可撓性を有する帯状のもので、内部に金属の配線を有し、配線の一部は、ＦＰＣ６０の表面に露出しており、露出した配線により、回路基板６４、ドライバＩＣ５５および圧電アクチュエータ基板２１と電気的に接続される。

ドライバＩＣ５５は、駆動信号の処理を行なう際に発熱する。ドライバＩＣ５５は、駆動回路などが構成されている能動面側をＦＰＣ６０に向けて、ＦＰＣ６０にフリップチップ実装されている。ドライバＩＣ５５の能動面と反対側の面である裏面は、筐体９０の第１側板９０ｂに接しており、熱は第１側板９０ｂを介して外部に排熱される。ドライバＩＣ５５の能動面は、ＦＰＣ６０を介して押さえ部６７と接している。ドライバＩＣ５５は、押さえ部６７と第１側板９０ｂとの間に挟まれており、位置が固定されている。第１側板９０ｂは、筐体９０内を、ヘッド本体２ａの長手方向に伸びており、第２側板９０ａａに接続されている。より詳細には、押さえ部６７は、第１側板９０ｂと第２側板９０ａａをねじ止めする際に、間に押さえ部６７の端部が挟み込まれることで固定される。押さえ部６７は、金属のアルミニウムや銅など、熱伝導性の高い材料で構成されており、熱が生じる部分である能動部から熱を、第２側板９０ａａに伝えて、外部に排熱させる。

ドライバＩＣ５５の熱は、能動面で発生する。熱が発生するのは能動面であるが、能動面側は、フリップチップ実装部およびＦＰＣ６０の熱伝導性が低いので、裏面に伝わる熱が最も多くなり、ついで能動面が多くなる。つまり、ドライバＩＣ５５を、裏面と能動面とで挟み、両方の面から排熱することで、ドライバＩＣ５５の冷却を効率よく行なうことができる。裏面の熱は、第１側板９０ｂに広がって排熱され、能動面の熱は、押さえ部６７を伝って第２側板９０ａａ（一部は第１側板９０ｂ）に広がって排熱される。押さえ部６７は、基本的には、フレーム６２や、リザーバ４０と直接繋がっていないので、筐体９０内に熱が籠り難く、熱は速やかに外部に排熱される。

ただし、配線基板６４にレギュレータや、他のＩＣなどの発熱部品が実装されている場合、それらと押さえ部６７を接続して、それらの熱も第２側板９０ａａに排熱するようにしてもよい。

リザーバ４０は、ヘッド本体２ａの長手方向の両端部で、ヘッド本体２ａと接合されている。リザーバ４０には、開口４０ａを通じて外部から供給された液体を分岐させて、２つの開口５ａに送る流路が設けられている。これにより、２つの開口５ａに液体を安定して供給できる。分岐してからの流路長をほぼ等しくすることで、外部から供給される液体の温度変動や圧力変動が、マニホールド５の両端の開口５ａに、少ない時間差で伝わるため、液体吐出ヘッド２内の液滴の吐出特性のばらつきをより少なくできる。リザーバ４０にダンパを設けることで、さらに液体の供給が安定化できる。さらに、液体中の異物などが流路部材４に向かうのを抑制するように、フィルタを設けてもよい。またさらに、流路部材４に向かう液体の温度を安定化させるようにヒータを設けてもよい。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接続された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールドの開口５ａが形成されている。

また、マニホールド５は、長さ方向の中央部分、少なくとも加圧室１０に繋がる流路が配置されている範囲において、幅方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長さ方向の中央部分では、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。

複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。また、７つの隔壁１５は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド５の両端において、幅方向の中央に近い隔壁１５ほど、隔壁１５の端がマニホールド５の端に近くなっている。これにより、マニホールド５の外側の壁により生じる流路抵抗と、隔壁１５により生じる流路抵抗との間のバランスがとれ、各副マニホールド５ｂのうち、加圧室１０に繋がる部分である個別供給流路１４が形成されている領域の端における液体の圧力差を少なくできる。この個別供給流路１４での圧力差は、加圧室１０内の液体に加わる圧力差につながるため、個別供給流路１４での圧力差を少なくすれば、吐出ばらつきを低減できる。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。

加圧室１０は、１つの副マニホールド５ｂと個別供給流路１４を介して繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１列ずつ、合計２列設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくでき
る。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室１６を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。

１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列をなす格子上に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、最も外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。

本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣接する加圧室列１１に属する加圧室１０の間に角部が位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加する圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。

加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１を成しており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９を成している。２列の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では、隔壁１５には、２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。

また、平面視において、加圧室１０と副マニホールド５ｂとが重なるように配置することにより、液体吐出ヘッド２の幅を小さくできる。加圧室１０の面積に対する、重なっている面積の割合が８０％以上、さらに９０％以上にすることで、液体吐出ヘッド２の幅をより小さくできる。また、加圧室１０と副マニホールド５ｂとが重なっている部分の加圧室１０の底面は、副マニホールド５ｂと重なっていない場合と比較して剛性が低くなって
おり、その差により吐出特性がばらつくおそれがある。加圧室１０全体の面積に対する、副マニホールド５ｂと重なっている加圧室１０の面積の割合を、各加圧室１０で略同じにすることで、加圧室１０を構成する底面の剛性が変わることによる吐出特性のばらつきを少なくすることができる。ここで略同じとは、面積の割合の差が、１０％以下、特に５％以下であることを言う。

１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させたに配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの短手方向に並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように２列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って１列形成されている。図示した、共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、後述のようにビアホールを形成した圧電セラミック層２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂを積層し、焼成した後、個別電極２５および共通電極用表面電極２８を同一工程で形成するのが好ましい。個別電極２５と加圧室
１０との位置ばらつきは吐出特性に大きく影響を与えること、個別電極２５を形成した後、焼成すると圧電アクチュエータ基板２１に反りが生じるおそれがあり、反りが生じた圧電アクチュエータ基板２１を流路部材４に接合すると、圧電アクチュエータ基板２１に応力が加わった状態になり、その影響で変位がばらつくおそれがあることから、個別電極２５は、焼成後に形成される。共通電極用表面電極２８も同様に反りを生じされるおそれがあることと、個別電極２５と同時に形成した方が、位置精度が高くなり、工程も簡略化できるので、個別電極２５と共通電極用表面電極２８は同一工程で形成される。

このような圧電アクチュエータ基板２１を焼成する際に生じるおそれのある、焼成収縮によるビアホールの位置ばらつきは、主に圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に生じるので、共通電極用表面電極２８が偶数個あるマニホールド５の中央、別の言い方をすれば、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央に設けられており、共通電極用表面電極２８が圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に長い形状をしていることにより、ビアホールと共通電極用表面電極２８とが位置ずれにより電気的に接続されなくなることを抑制できる。

圧電アクチュエータ基板２１には、２枚のＦＰＣ６０が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板２１の引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極２８の上に、それぞれ、接続電極２６および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極２８および共通電極用接続電極の面積を接続電極２６の面積よりも大きくすれば、ＦＰＣ６０の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の長手方向の端）における接続が、共通電極用表面電極２８上の接続により強くできるので、ＦＰＣ６０が端からはがれ難くできる。

また、吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。

ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｊ、カバープレート４ｋおよびノズルプレート４ｌである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は流路部材４の内部の下面側に、吐出孔８は流路部材４の下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、ヘッド本体２ａには、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路１４には、アパーチャプレート４ｃに形成されている、流路の断面積が小さくな
っている部位であるしぼり６が含まれている。

第３に、加圧室１０の個別供給路１４が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称されることがある。ディセンダは、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｌ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。

第４に、マニホールド５を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート４ｅ〜ｊに形成されている。マニホールドプレート４ｅ〜ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート４ｅ〜ｊにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部１７で各マニホールドプレート４ｅ〜ｊと繋がった状態にされる。

第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０からディセンダに入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。

図３では、しぼり６となる部位を含むアパーチャプレート４ｃの孔（以下でしぼりとなる孔ということがある）は、同じ副マニホールド５ｂから繋がっている他の加圧室１０とわずかに重なるようになっている。しぼり６となる部位を含むアパーチャプレート４ｃの孔は、平面視した場合に、副マニホールド５ｂ内に含まれるように配置すれば、しぼり６をより密集して配置できるので好ましい。しかし、そのようにするとしぼり６となる孔全体が、副マニホールド５ｂ上の、他の部位と比較して厚さの薄い部分に配置されることになり、周囲からの影響を受け易くなってしまう。そのような場合、平面視したときに、しぼり６となる孔が、該孔に直接的に繋がっている加圧室１０以外の加圧室１０と重ならないようにすれば、しぼり６となる孔が副マニホールド５ｂ上の薄い部位に配置されていても直上にある他の加圧室１０からの振動の影響を直接的に受け難くできる。このような配置は、しぼり６となる孔のあるプレート（複数のプレートで構成されている場合は、それらの内で最も上のプレート）と加圧室１０となる孔のあるプレート（複数のプレートで構成されている場合は、それらの内で最も下のプレート）との間のプレートが１枚であって、振動が伝わり易い場合に、特に必要とされる。また、しぼり６となる孔のあるプレートと加圧室１０となる孔のあるプレートとの間の距離が２００μｍ以下、さらには１００μｍ以下である場合に、特に必要とされる。重ならないように配置するには、例えば、図３に示したしぼり６となる孔の角度をヘッド本体２ａの短手方向に沿った方向に近づけるか、しぼり６となる孔の一端を少し短くするなどすればよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極２６は、ＦＰＣ６０に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８からＦＰＣ６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂに形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、ＦＰＣ６０上の別の電極と接続されている。

なお、後述のように、個別電極２５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極２５に対応する加圧室１０の体積が変わり、加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路１２を通じて、対応する吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および吐出口８に対応する個別の変位素子３０に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層体中には、図５（ａ）に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子３０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極２５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には加圧部である変位素子３０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって吐出口８から吐出される液体の量は１．５〜４．５ｐｌ（ピコリットル）程度である。

多数の個別電極２５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ６０および配線を介して、個別に制御部８８に電気的に接続されている。個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下、高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下、低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホール
ド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極２５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極２５に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり６から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、
加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

また、階調印刷においては、吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行なわれる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔８から連続して行なう。一般に、吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり、好ましい。

図８は、本発明の他の液体吐出ヘッド２のドライバＩＣ５５付近の部分縦断面図である。図８に示した液体吐出ヘッド２の基本的な構成は、図２〜７で示した液体吐出ヘッド２と同じであり、差異の少ない部位については、同じ符号を付けて説明を省略する。また。図８の部分縦断面図は、図７（ａ）に示した断面図と同じ部分の断面であり、図７（ａ）に示されているドライバＩＣ５５と同じ部分の付近を示している。

ドライバＩＣ５５は、押さえ部１６７と第１側板９０ｂとに挟まれている。押さえ部１６７はヘッド本体２ａの長手方向に伸びており、両端部で第２側板９０ａａと接続されている。

押さえ部１６７の長手方向に直交する断面はＬ字状になっており、ドライバＩＣ５５を押さえる面が変形し難くなっており、ドライバＩＣ５５をより確実に押さえつけられるようになっている。断面形状は、コの字状、すなわちドライバＩＣ５５を押さえる面の上側と下側の両端からそれぞれ、その面から支える面が立ち上がるようにしてもよい。さらに、断面形状は、中空の長方形状にしてもよい。さらに、断面が環状の押さえ部１６７の中に流体（液体や気体）を流すことで排熱するようにしてもよい。流体は、一方の第２側板９０ａａから入れて、他方の第２側板９０ａａから出すようにすれば、液体吐出ヘッド２の幅を大きくせずに、流体による排熱が可能になる。

押さえ部１６７の表面の、ドライバＩＣ５５と（ＦＰＣ６０を介して）接している部分以外の面の一部は、押さえ部コーティング層１６７ａで覆われている。具体的には、押さえ部１６７の長手方向に沿っている面の中で、ドライバＩＣ５５と接している面以外の面は、押さえ部コーティング層１６７ａで覆われている。押さえ部コーティング層１６７ａは、押さえ部１６７よりも熱伝導率が小さくなっている。これにより、コーティング層１６７ａの表面の温度が押さえ部１６７よりも低くなり、対流や輻射によって筐体９０内の温度が高くなることが抑制できる。コーティング層１６７ａにより、押さえ部１６７の表面から外に熱が出にくいため、熱は、押さえ部１６７を長手方向に伝わり易くなり、押さえ部１６７を伝って、第２側板９０ａａを介して、外部に排熱されやすくなる。コーティング層１６７ａは、例えば、ウレタン、シリコーン、メラニンなどの樹脂であり、両面テープなどで押さえ部１６７に貼り付けてもよいし、一体成型してもよい。

筐体９０の内壁のドライバＩＣ５５が接触している部分以外の一部も、筐体内壁コーティング層９０ｃで覆われている。図８では、第１側板９０ｂの内側部分だけを図示しているが、筐体９０の、ドライバＩＣ５５が接触している部分以外の内壁全体に形成してもよい。筐体内壁コーティング層９０ｃは、筐体９０よりも熱伝導率が小さくなっている。これにより、コーティング層９０ｃの表面の温度が筐体９０よりも低くなり、対流や輻射によって筐体９０内の温度が高くなることが抑制できる。コーティング層９０ｃは、例えば、ウレタン、シリコーン、メラニンなでの樹脂であり、両面テープなどで筐体９０に貼り付けてもよいし、一体成型してもよい。

押さえ部１６７とＦＰＣ６０との間には、第１伝熱材６８が配置されている。第１伝熱材６８は、熱伝導率が高く、弾性があるものを用いる。熱伝導率は、０．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であるのは好ましく、硬度が小さいか、ヤング率が小さいものが好ましい。これにより、ＦＰＣ６０から押さえ部１６７への熱伝導が高くなり、ドライバＩＣ５５からの排熱がより効率よくできる。また、第１伝熱材６８は、金属粉末などを含ませるなどして、導電性のあるものを用いるのが好ましい。配線基板６４などに実装されている電子部品などから発生するノイズの影響をシールド効果により低減することができる。ドライバＩＣ５５の能動面に近い位置に配置されている第１伝熱材６８でシールドすることになるので、ノイズ抑制の効果を高くできる。また、第１伝熱材６８は、６０℃程度までの温度で溶融したり、内容成分が抽出しないものであるのが好ましい。第１伝熱材６８の一部が液状化した場合、ＦＰＣ６０を伝って、圧電アクチュエータ基板２１に到達して不具合を起こすおそれがあるからである。

第１側板９０ｂとドライバＩＣ５５との間には、第２伝熱材６９が配置されている。第２伝熱材６９は、熱伝導率が高く、弾性があるもの用いる。熱伝導率は、０．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であるのは好ましく、硬度が小さいか、ヤング率が小さいものが好ましい。これにより、ドライバＩＣ５５から第１側板９０ｂへの熱伝導が高くなり、ドライバＩＣ５５からの排熱がより効率よくできる。また、第２伝熱材６９があることで、第１側板９０ｂが金属の場合など、ドライバＩＣ５５が直接接触する際にドライバＩＣ５５の保護にもなり、ドライバＩＣ５５の保護可能となる。更にまた、第２伝熱材６９は、金属粉末などを含ませるなどして、導電性のあるものを用いるのが好ましい。配線基板６４などに実装されている電子部品などから発生するノイズの影響をシールド効果により低減することができる。また、第２伝熱材６９は、６０℃程度までの温度で溶融したり、内容成分が抽出しないものであるのが好ましい。第２伝熱材６９の一部が液状化した場合、ＦＰＣ６０を伝って、圧電アクチュエータ基板２１に到達して不具合を起こすおそれがあるからである。

第２伝熱材６９は、熱伝導率の高いものが用いられるが、現実的には、金属製の筐体９０の熱伝導率の方が高く、隙間（熱伝導の低い空気）をできるだけ少なく接触させることによる、熱伝導性の向上の方が大きく影響する。そのため、第２電熱材６９と筐体内壁コーティング層９０ｃは同じ材質にしてもよい。その場合、ドライバＩＣ５５の接触する部分を含めて、その周囲を筐体内壁コーティング層９０ｃで覆ってもよいし、筐体９０の内壁全体を覆ってもよい。

ドライバＩＣ５５から第１側板９０ｂへの排熱効率を高くするためには、第１側板９０ｂのドライバＩＣ５５に接触している部分の平面度が小さいことが好ましく、０．１ｍｍ以下であるのが好ましい。また、第１側板９０ｂのドライバＩＣ５５に接触している部分の表面粗さは小さいことが好ましく、表面粗さＲａは１．６μｍ以下であることが好ましい。

また、他の実施形態として、筐体９０内に、ドライバＩＣ５５を挟んでいる挟み部を設
けて、挟み部を筐体９０に接続して、ドライバＩＣ５５の熱を筐体９０に伝えるようにしてもよい。

挟み部は、ドライバＩＣ５５の能動面と、能動面の反対側の面である裏面とを挟むようにすれば、効率的に排熱することができる。挟み部は、例えばヘッド本体２ａの長手方向に伸びる形状であり、その両端部のそれぞれで第２側面９０ａａと接続し、さらに、両端部の間で第１側板９０ｂと接続するようにすれば、多くの側板に熱を伝えることができて効率的に排熱できる。挟み部と第１側板９０ｂとの接続は、第１側板９０ｂを、ヘッド本体２ａの長手方向にわたって連続的に接続してもよいし、略等間隔に断続的に接続してもよい。このようにすれば、第１側板９０ｂに熱を広く均等化して伝えることができ、外部への排熱効率を高くできる。

挟み部の中に流体を流すことで排熱する場合、挟み部は第１側版９０ｂには接続せずに、一方の第２側板９０ａａと接続している部分から、他方の第２側板９０ａａに接続している部分の間を流体に流せば、筐体９０への熱伝導を少なくして、流体による排熱ができるので好ましい。

挟み部においても、ドライバＩＣ５５と接している部分以外の表面を、挟み部よりも熱伝導性の低い挟み部コーティング層で覆うことで、筐体９０内温度上昇を抑制できる。筐体９０も、筐体内壁コーティング層９０ｃで覆ってもよい。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｌ・・・プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・（マニホールドの）開口
５ｂ・・・副マニホールド
６・・・しぼり
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１４・・・個別供給流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子（加圧部）
４０・・・リザーバ
４０ａ・・・（リザーバの）開口
５５・・・ドライバＩＣ
６０・・・ＦＰＣ（信号伝達部）
６２・・・（内部）フレーム
６４・・・回路基板
６６・・・接続基板
６６ａ・・・（接続基板の）外部コネクタ
６７、１６７・・・押さえ部
１６７ａ・・・押さえ部コーティング層
６８・・・第１伝熱材
６９・・・第２伝熱材
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
９０・・・筐体
９０ａ・・・筐体本体
９０ａａ・・・第２側板
９０ｂ・・・第１側板
９０ｃ・・・筐体内壁コーティング層
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (8)

1. 液体を吐出するヘッド本体と、該ヘッド本体を駆動するドライバＩＣと、押さえ部と、前記ヘッド本体の一部を覆っているとともに、前記ドライバＩＣおよび前記押さえ部を収容している筐体とを含む液体吐出ヘッドであって、
   前記ドライバＩＣは、前記押さえ部と前記筐体との間に挟まれており、
   前記押さえ部は、前記筐体に接続されているとともに、第１接合部材を介して前記ドライバＩＣに接続されており、
   前記押さえ部の、前記筐体に囲まれた空間に面する表面の少なくとも一部が、前記押さえ部および前記第１接合部材よりも熱伝導性の低い第１被覆部材で覆われていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記筐体は、開口と、該開口の縁と繋がっている１つ以上の側板とを有しており、該開口の縁は前記ヘッド本体に当接しており、前記ドライバＩＣは、前記側板と、前記側板に接続されている前記押さえ部との間に挟まれていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記筐体は、一方方向に長く、前記側板には、前記一方方向に沿っている第１側板と、前記一方方向における両端部に配置されている第２側板とが存在し、前記ドライバＩＣは、前記第１側板と、前記第２側板に接続されている前記押さえ部との間に挟まれていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記押さえ部は、前記ドライバＩＣに面する第１表面と、該第１表面と反対側に位置するとともに前記筐体に囲まれた空間に面する第２表面と、を有しており、該第２表面の少なくとも一部が前記第１被覆部材で覆われていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記筐体の内壁の、前記ドライバＩＣに面する部分以外の少なくとも一部が、前記筐体よりも熱伝導性の低い第２被覆部材で覆われていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記筐体は、第２接合部材を介して前記ドライバＩＣに接続されており、前記第２被覆部材は、前記筐体および前記第２接合部材よりも熱伝導性が低いことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記押さえ部は中空の断面形状を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。