JP6905786B2 - 流路部材、液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、流路部材、液体吐出ヘッドおよび記録装置に関するものである。

液体を記録媒体上に吐出することによって各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる流路部材として、吐出口、加圧室、個別流路および共通流路を有するものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。

特開２００３−３０５８５２号公報

本開示の１つの流路部材は、共通流路と、個別流路と、を有している。前記個別流路は前記共通流路に繋がっている。前記個別流路は、接続口と、吐出口と、加圧室と、を有している。前記接続口は前記共通流路内へ開口している。前記吐出口は外部へ開口している。前記共通流路は支持部を有している。該支持部は、前記共通流路の内部を横断するように前記共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる。前記支持部は、平面視において前記接続口と重なる部分に貫通孔または切り欠きを有している。

本開示の他の１つの流路部材は、共通流路と、個別流路と、を有している。前記個別流路は前記共通流路に繋がっている。前記個別流路は、接続口と、吐出口と、加圧室と、を有している。前記接続口は前記共通流路内へ開口している。前記吐出口は外部へ開口している。前記共通流路は支持部を有している。該支持部は、前記共通流路の内部を横断するように前記共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる。前記支持部は、平面視において前記接続口と重ならないように配置されている。

本開示の液体吐出ヘッドは、前記流路部材と、前記加圧室に圧力を加える加圧部と、を有している。

本開示の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを制御する制御部と、記録媒体を搬送する搬送部と、を有している。

本開示の液体吐出ヘッドを含む記録装置の一例を模式的に示す図である。 図１の液体吐出ヘッドにおける流路部材および圧電アクチュエータを示す平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図３のVI−VI線に沿った縦断面図である。 図５の液体吐出ヘッドのVII−VII線に沿ったマニホールドの縦断面図である。 図１の液体吐出ヘッドにおける支持部の形状の一例を模式的に示す平面図である。 支持部の形状の他の例を模式的に示す平面図である。 変形例に係るプリンタの液体吐出ヘッドおよびその周辺を示す上面図である。 図１０の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図１１に示す構成の一部の分解斜視図である。 図１２の液体吐出ヘッドの内部を模式的に示す平面図である。 図１３とは異なる変形例に係る液体吐出ヘッドの内部を模式的に示す平面図である。

液体吐出ヘッドに用いられる流路部材において、共通流路の内部を横断する支持部を設けることがある。支持部により流路部材の剛性を高めることができる。また、環状の流路を有する流路部材を、複数のプレートを積層して構成するときには、環状流路で囲まれた部分を支持部で支えることにより、環状流路で囲まれた部分がプレートから脱落するのを防止することができる。

しかしながら、吐出口および加圧室を有する個別流路と、共通流路と、を繋ぐ接続口が、共通流路の内壁面に開口しているとき、接続口と対向する部分（すなわち平面視において接続口と重なる部分）に支持部があると、意図していない現象が生じる場合があることを発明者が見いだした。生じる場合がある現象の１つは、吐出口からの吐出量の減少であり、他の１つは、意図した吐出の後に、意図しない吐出が発生することである。１つ目の現象の原因は、支持部による局所的な流体抵抗の増加と推測され、２つ目の現象の原因は、支持部の残留振動と推測される。

本開示の流路部材は、これらの現象の発生を低減できる。以下、本開示の流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置の具体例について説明する。

図１は、本開示の液体吐出ヘッドを含む記録装置の一例を模式的に示す図である。この記録装置は、カラーインクジェットプリンタであり、以下、プリンタ１と称する。プリンタ１は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。

給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。

給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。

搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。

ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。

ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。ニップローラ１３８およびニップ受けローラ１３９は回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。

液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体２ａを有している。ヘッド本体２ａの下面は、液体を吐出する多数の吐出口８が設けられている吐出口面４−１となっている（図６参照）。

１つの液体吐出ヘッド２に設けられた吐出口８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド２の吐出口８は、吐出口面４−１に開口しており、一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐの搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、例えば、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａの下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。

搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体２ａから印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。

搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。

なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。

上述したように、本開示の記録装置は、液体吐出ヘッド２と、液体吐出ヘッド２を制御する制御部１００と、記録媒体（印刷用紙Ｐ）を搬送する搬送部（搬送ユニット１２０）と、を有している。この構成が本開示の記録装置の基本構成であり、これ以外の構成は適宜変更および省略が可能である。なお、制御部１００および搬送部（搬送ユニット１２０）の構成は、上述した構成に限定されるものではなく、適宜変更および省略が可能である。

次に、本開示の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、ヘッド本体２ａの平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した平面図である。図４および図５は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため図３とは異なる一部の流路を省略した図である。図６は図３のVI−VI線に沿った縦断面図である。図７は、図５のVII−VII線における分岐流路５ｂの縦断面図である。なお、図３〜５において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべきしぼり６、吐出口８、加圧室１０などを実線で描いている。また、図４の吐出口８は、位置を分かりやすくするため、実際の径よりも大きく描いてある。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外にリザーバや、金属製の筐体を含んでいる。また。ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子（加圧部）３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。なお、本開示の液体吐出ヘッドは、流路部材４と、加圧室１０に圧力を加える加圧部（変位素子３０）と、を有していれば良く、それ以外の構成は適宜変更および省略が可能である。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の個別流路１２を有している。個別流路１２は、共通流路内へ開口している接続口１２ａと、外部へ開口している吐出口８とを有している。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面にはマニホールド５と繋がる開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給される。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように設けられている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部９２が接続されている。図２には、２つの信号伝達部９２が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ２１に電気的に接続されている、信号伝達部９２に形成されている電極は、信号伝達部９２の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部９２は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。２つの信号伝達部９２は、中央部から圧電アクチュエータ基板２１の長辺に向かって伸びている。

また、信号伝達部９２にはドライバＩＣが実装されている。ドライバＩＣは金属製の筐体に押し付けられるように実装されている。圧電アクチュエータ基板２１上の変位素子３０を駆動する駆動信号は、ドライバＩＣ内で生成される。駆動信号の生成を制御する信号は、制御部１００で生成され、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ基板２１と接続された側と反対側の端から入力される。制御部１００と信号伝達部９２との間には、必要に応じて、液体吐出ヘッド２内に設けられた、配線基板などが設けられる。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接続された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つのマニホールド５（共通流路）が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有している。マニホールド５は、その両端に、流路部材４の上面に開口している開口５ａを有している。

また、マニホールド５は、少なくとも長さ方向の中央部分が、幅方向に間隔を開けて設けられた隔壁（仕切り部）１５で仕切られている。上記長さ方向の中央部分は、別の観点では、マニホールド５のうち、加圧室１０からの流路が繋がっている領域である。隔壁１５は、上記長さ方向の中央部分では、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の分岐流路５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出口８および吐出口８から加圧室１０に繋がっているディセンダを設けることができる。なお、本開示において、平面視する際には、流路部材４の厚み方向（すなわち、流路部材４を構成する複数のプレート（４ａ〜４ｎ）の積層方向）から平面視する。

図２では、マニホールド５の両端部を除く全体が隔壁１５で仕切られている。このようにする以外に、両端部のうちのどちらか一端部以外が隔壁１５で仕切られているようにしてもよい。また、流路部材４の上面に開口している開口５ａ付近のみが仕切られておらず、開口５ａから流路部材４の深さ方向に向かう間に隔壁が設けられるようにしてもよい。

分岐流路５ｂは、マニホールド５における複数に分けられた部分である。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの分岐流路５ｂに分けられている。また、７つの隔壁１５は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド５の両端において、幅方向の中央に近い隔壁１５ほど、隔壁１５の端がマニホールド５の端に近くなっている。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、２つの鋭角部１０ａと２つの鈍角部１０ｂを有するほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。これらの角部はアールが施されていてよい。

加圧室１０は、個別流路１２を介して１つの分岐流路５ｂと繋がっている。個別流路１２における、分岐流路５ｂと加圧室１０とを繋ぐ部分を個別供給流路１４と呼ぶ。１つの分岐流路５ｂに沿うようにして、この分岐流路５ｂに繋がっている加圧室１０の列である加圧室行１１が、分岐流路５ｂの両側に１列ずつ、合計２列設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６列の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２列の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出口８とは繋がっていない。また、３２列の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出口８のいずれとも繋がっていない。

１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、液体吐出ヘッド２の長手方向である行方向と短手方向である列方向とに沿って、行上および列上で、それぞれ略等間隔で配置されている。行方向は、菱形形状の加圧室１０の鈍角部１０ｂ同士を結ぶ対角線と同じ方向であり、列方向は、菱形形状の加圧室１０の鋭角部１０ａ同士を結ぶ対角線と同じ方向である。つまり、加圧室１０の菱形形状の対角線が行および列と角度がついていない状態になっている。行上および列上での加圧室１０の間隔は、等間隔にすれば、間隔が他より狭いところがなくなりクロストークを小さくできるが、間隔は±２０％程度異なるようにしてもよい。

加圧室１０を格子状の配置にして、圧電アクチュエータ２１を、行および列に沿った外辺を有する矩形状にしてよい。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の列も短手方向に等間隔で配置されている。

図示の例とは異なり、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置してもよい。この場合、クロストークを抑制できる。加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を分岐流路５ｂの幅よりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの分岐流路５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１をなしており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出口８は、１つの吐出口行９をなしている。したがって、１つの分岐流路５ｂに２列の吐出口行９が繋がっている。この２列の吐出口行９は、これらが繋がっている分岐流路５ｂに対してその幅方向の互いに異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２列の吐出口行９が設けられているが、それぞれの吐出口行９に属する吐出口８は、吐出口８に近い側の分岐流路５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。同一の分岐流路５ｂに繋がっている２列の吐出口行９同士において吐出口８が液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出口８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを小さくすることができる。同一の分岐流路５ｂに繋がっている２列の吐出口行９同士に関して、加圧室１０と吐出口８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを小さくすることができる。

また、平面視において、加圧室１０と分岐流路５ｂとが重なるように配置することにより、液体吐出ヘッド２の幅を小さくできる。加圧室１０の面積に対する、重なっている面積の割合が８０％以上、さらに９０％以上にすることで、液体吐出ヘッド２の幅をより小さくできる。また、加圧室１０と分岐流路５ｂとが重なっている部分の加圧室１０の底面は、分岐流路５ｂと重なっていない場合と比較して剛性が低くなっており、その差により吐出特性がばらつくおそれがある。加圧室１０全体の面積に対する、分岐流路５ｂと重なっている加圧室１０の面積の割合を、加圧室１０同士で略同じにすることで、加圧室１０を構成する底面の剛性が変わることによる吐出特性のばらつきを少なくすることができる。ここで略同じとは、面積の割合の差が、１０％以下、特に５％以下であることを言う。

１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は加圧室群同士で同じで、短手方向に平行移動させた配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出口面４−１に開口している吐出口８に繋がるディセンダが伸びている。ディセンダは、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出口８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出口８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出口８、全部で３２個の吐出口８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、全てのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出口８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、２つのマニホールド５に互いに異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。

さらに、液体吐出ヘッド２には、マニホールドの開口５ａからの液体の供給を安定させるように流路部材４に、リザーバを接合してもよい。リザーバには、外部から供給された液体を分岐させて、２つの開口５ａに繋がる流路が設けられることにより、２つの開口に液体を安定して供給できる。分岐してからの流路長をほぼ等しくすることで、外部から供給される液体の温度変動や圧力変動が、マニホールド５の両端の開口５ａに、少ない時間差で伝わるため、液体吐出ヘッド２内の液滴の吐出特性のばらつきをより少なくできる。リザーバにダンパを設けることで、さらに液体の供給が安定化できる。さらに、液体中の異物などが流路部材４に向かうのを抑制するように、フィルタを設けてもよい。またさらに、流路部材４に向かう液体の温度を安定化させるようにヒータを設けてもよい。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。引出電極２５ｂは、一端部が個別電極本体２５ａに接続されており、他端部が加圧室１０の鋭角部１０ａを通り、加圧室１０の外側で、加圧室１０の２つの鋭角部１０ａを結ぶ対角線を延長した列と重ならない領域に引き出されている。これによりクロストークが低減できる。引出電極２５ｂの形状については、後で詳述する。

また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように２列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って１列形成されている。図示した、共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、後述のようにビアホールを形成した圧電セラミック層２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂを積層し、焼成した後、個別電極２５および共通電極用表面電極２８を同一工程で形成することによって作製されてよい。個別電極２５と加圧室１０との位置ばらつきは吐出特性に大きく影響を与える。また、個別電極２５を形成した後、焼成すると圧電アクチュエータ基板２１に反りが生じるおそれがあり、反りが生じた圧電アクチュエータ基板２１を流路部材４に接合すると、圧電アクチュエータ基板２１に応力が加わった状態になり、その影響で変位がばらつくおそれがある。このことから、個別電極２５は、焼成後に形成されてよい。共通電極用表面電極２８も同様に反りを生じさせるおそれがある。また、共通電極用表面電極２８を個別電極２５と同時に形成すると、共通電極用表面電極２８の位置精度が高くなり、工程も簡略化できる。そこで、個別電極２５と共通電極用表面電極２８は同一工程で形成されてよい。

このような圧電アクチュエータ基板２１を焼成する際に生じるおそれのある、焼成収縮によるビアホールの位置ばらつきは、主に圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に生じるので、偶数個あるマニホールド５の中央、別の言い方をすれば、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央に共通電極用表面電極２８が設けられており、共通電極用表面電極２８が圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に長い形状をしていることにより、ビアホールと共通電極用表面電極２８とが位置ずれにより電気的に接続されなくなることを抑制できる。

圧電アクチュエータ基板２１には、２枚の信号伝達部９２が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板２１の引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極２８の上に、それぞれ、接続電極２６および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極２８および共通電極用接続電極の面積を接続電極２６の面積よりも大きくすれば、信号伝達部９２の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の長手方向の端）における接続を、共通電極用表面電極２８上の接続により強くできるので、信号伝達部９２を端からはがれ難くできる。

また、吐出口８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出口８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出口８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出口８から液滴が吐出できる。

ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート（４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ）、カバープレート４ｋ、カバーＳＰプレート４ｍおよびノズルプレート４ｎの順に積層されている。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出口８は下面に配置されており、流路を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設されている。そして、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出口８とが繋がっている。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１の孔は、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２の孔は、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ、アパーチャプレート４ｃおよびサプライプレート４ｄに形成されている。個別供給流路１４は、流路の断面積が小さくなっている部位であるしぼり６を含んでいる。しぼり６はアパーチャプレート４ｃに形成されている。個別供給流路１４は、共通流路（マニホールド５）の内壁面に開口する接続口１２ａを有しており、接続口１２ａを介して共通流路（マニホールド５）と個別流路１２（個別供給流路１４）とが接続されている。

第３の孔は、加圧室１０の他端から吐出口８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダと呼称される。ディセンダは、ベースプレート４ｂからノズルプレート４ｎまでの各プレートに形成されている。ノズルプレート４ｎの孔は、内部に向かって径が大きくなっており、孔の径は、例えば１０〜４０μｍである。ノズルプレート４ｎの孔は、吐出口８として、流路部材４の外部に開口している。

第４の孔は、マニホールド５を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）に形成されている。マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）には、分岐流路５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）における仕切り部は、ハーフエッチングした支持部１７で各マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）と繋がった状態にされる。

支持部１７は、隣接する隔壁１５同士を繋ぐか、最も端の隔壁１５とマニホールド５の壁とを繋いでおり、マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）において、隔壁１５となる仕切り部を支えている。このような構造をしていることにより、マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）において、隔壁１５となる仕切り部が脱落するのを防止することができる。また、支持部１７により、流路部材４の強度を向上させることができるとともに、製造工程において、隔壁１５となる仕切り部の積層ずれを低減することができる。

第５に、カバーＳＰプレート４ｍに形成され、マニホールド５の下に形成されるダンパ室１８となる孔である。ダンパ室１８は、上述の第１〜４の孔とは繋がっておらず、液体は入るようにはなっていない。ダンパ室１８とマニホールド５との間のカバープレート４ｋは、ダンパとなり、マニホールド５の体積の変化を許容する。これにより、マニホールド５の液体の供給の過不足が吐出に影響を与えにくくなる。また、マニホールド５を通じて複数の加圧室１０の間で伝わる圧力が小さくなる。すなわち、吐出特性に影響を与えるクロストークが小さくなる。ダンパ室１８は密閉された空間とされてよい。この場合、空気が体積変化することで、ダンパ室１８とマニホールド５との間のプレートがダンパとして働く。また、上述した孔と別な孔によって、ダンパ室１８を流路部材４の外部と繋がるようにしてもよい。この場合、上記プレートが、ダンパとして、より良く働く。

第１〜第３の孔が相互に繋がることにより、マニホールド５から吐出口８に至る個別流路１２が構成されている。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出口８から吐出される。まず、液体は、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出口８へと進む。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出され部分には接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部９２に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部１００から信号伝達部９２を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷用紙Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂに形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、信号伝達部９２上の別の電極と接続されている。

なお、後述のように、個別電極２５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極２５に対応する加圧室１０の体積が変わり、加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路１２を通じて、対応する吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および吐出口８に対応する個別の変位素子３０に相当する。つまり、変位素子３０は、圧電アクチュエータ乃至は加圧部であり、圧電アクチュエータ基板２１に複数含まれている。より詳細には、変位素子３０は、図６に示されているような構造を単位構造として加圧室１０毎に設けられている。変位素子３０は、加圧室１０の直上に、圧電セラミック層（振動板）２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極２５が順に積層されることにより、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層体中に作り込まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって吐出口８から吐出される液体の量は１．５〜４．５ｐｌ（ピコリットル）程度である。

多数の個別電極２５は、それぞれが信号伝達部９２および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されており、個別に電位が制御される。個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

本実施の形態における実際の駆動手順では、制御部１００は、あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極２５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極２５に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり６から吐出口８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）とされてよい。これによると、加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに、個別電極２５を低電位にしたことによる圧力と、個別電極２５を高電位にしたことによる圧力とが合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

また、階調印刷においては、吐出口８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出口８から連続して行なう。液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとしてよい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期を一致させ、前記２つの圧力波を重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。また、後から吐出される液滴の速度を速くして、複数の液滴の着弾点を近くすることができる。

以上のような液体吐出ヘッド２における支持部１７の形状について、図６および図８を用いて説明する。図８は、図１の液体吐出ヘッドにおける、マニホールドプレート４ｅに設けられた１つの支持部１７の形状を模式的に示す平面図である。なお、図８では、サプライプレート４ｄに設けられた接続口１２ａと平面視で重なる部分を点線で示している。

図８に示す支持部１７は、支持部１７の厚さ方向に貫通する２つの貫通孔１７ａを有している。貫通孔１７ａは、平面視において接続口１２ａと重なる部分に設けられている。図８に示す例では、貫通孔１７ａは、平面視において接続口１２ａと重なる部分よりも大きい形状を有し、接続口１２ａと重なる部分を含むように設けられている。貫通孔１７ａは、平面視において円形状の形状を有している。なお、平面視における貫通孔１７ａの形状は円形状に限定されるものではなく、例えば楕円形状でも良く、例えば多角形状でも良い。

このような構成を有することにより、例えば、加圧室１０の振動による圧力波が支持部１７に伝搬することによって生じる支持部１７の振動が低減される。ひいては、支持部１７の振動によって生じ、吐出口８に伝搬する圧力波が小さくなる。また、例えば、加圧室１０の振動によって生じ、支持部１７で反射して吐出口８に達する圧力波が小さくなる。その結果、例えば、吐出口８から意図せぬ液滴の吐出が生じる現象の発生を低減することができる。また、例えば、共通流路（マニホールド５）から個別流路１２への液体の流入が支持部１７によって妨げられる程度を低減できる。これにより、例えば、液体吐出ヘッド２が液滴を吐出する周波数を増加したときに、吐出口８から単位時間に吐出される液体の量の増加が妨げられる現象の発生を低減することができる。このように、支持部１７が貫通孔１７ａを有する構成とすることにより、支持部１７に起因する液滴の吐出に関する現象の発生を低減することができる。

なお、支持部１７による個別流路１２への液体の流入の妨げは、吐出口８から単位時間に吐出される液体の量の増加に伴って大きくなり、例えば、１つの吐出口８から１秒間に吐出される液体の量が１．８×１０^−７Ｌ（リットル）以上である場合に顕著になる。このため、１つの吐出口８から１秒間に吐出される液体の量が１．８×１０^−７Ｌ以上である場合に特に大きな効果を奏することができる。また、接続口１２ａから伝搬する圧力波は接続口１２ａから遠ざかるにつれて広がるように伝播する。また、支持部１７による、個別流路１２への液体の流入の妨げは、支持部１７が接続口１２ａに近づくにつれて大きくなる。よって、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響は、支持部１７が接続口１２ａに近づくにつれて増加する。このため、接続口１２ａの近くに位置する支持部１７に貫通孔１７ａを設けると、得られる効果が大きくなる。例えば、接続口１２ａから支持部１７迄の距離が３００μｍ以下である場合に得られる効果が大きくなる。よって、支持部１７を複数有する場合において、貫通孔１７ａを有していない支持部１７があっても構わない。

図８に示すように、平面視において接続口１２ａと支持部１７とが重ならないように貫通孔１７ａが設けられているようにすると良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を高めることができる。なお、平面視において接続口１２ａと支持部１７とが全く重ならないことが効果を高める上で良いが、重なる部分が存在したとしても、それなりの効果を得ることができる。

また、図６に示すように、支持部１７は貫通孔１７ａを有しており、貫通孔１７ａは、断面視において接続口１２ａから遠ざかるにつれて開口が大きくなる形状を有していても良い。前述したように、接続口１２ａから伝搬する圧力波は接続口１２ａから遠ざかるにつれて広がるように伝播するため、このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を高めることができる。

図９は、マニホールドプレート４ｅに設けられた１つの支持部１７の形状の他の例を模式的に示す平面図である。図９に示す例では、支持部１７は、貫通孔１７ａに代えて、４つの切り欠き１７ｂを有している。切り欠き１７ｂは、平面視において接続口１２ａと重なる部分に設けられている。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を得ることができる。

図９に示す例のように、平面視において接続口１２ａと支持部１７とが重ならないようにすると良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を高めることができる。

上述のように、本開示の１つの流路部材は、共通流路（マニホールド５）と、個別流路１２と、を有している。個別流路１２は共通流路に繋がっている。個別流路１２は、接続口１２ａと、吐出口８と、加圧室１０と、を有している。接続口１２ａは共通流路内へ開口している。吐出口８は外部へ開口している。共通流路は支持部１７を有している。支持部１７は、共通流路の内部を横断するように共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる。支持部１７は、平面視において接続口１２ａと重なる部分に貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂを有している。これが本開示の１つの流路部材の基本構成であり、これ以外の構成は適宜変更または省略が可能である。この基本構成により、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を得ることができる。

また、本開示の１つの流路部材は、積み重なった複数のプレートで構成されており、複数のプレートは、接続口１２ａを有する第１プレート（サプライプレート４ｄ）と、共通流路（マニホールド５）の側壁を構成する複数のマニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）と、を含んでおり、複数のマニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）は、第１プレート（サプライプレート４ｄ）に隣り合う第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）を含んでおり、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に設けられた支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重なる部分に貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂを有していても良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を高めることができる。

また、本開示の１つの流路部材において、共通流路（マニホールド５）内へ開口した接続口１２ａを複数有するとともに、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に複数の支持部１７が設けられており、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に設けられた平面視において接続口１２ａと重なる部分を有する全ての支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重なる部分に貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂを有しているようにしても良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を更に高めることができる。

また、前述したプリンタ１において、搬送ユニット１２０は、印刷用紙Ｐを、流路部材４の短手方向に搬送する。そして、図８、図９に示すように、複数の貫通孔１７ａおよび切り欠き１７ｂは、流路部材４の短手方向に対して斜めに配列されている。すなわち、複数の貫通孔１７ａおよび切り欠き１７ｂは、流路部材４の短手方向に対して傾斜した方向に沿って並ぶように配置されている。

このように、本開示の記録装置において、支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重なる部分に設けられた貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂを複数有している場合に、複数の貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂが、搬送部（搬送ユニット１２０）が記録媒体（印刷用紙Ｐ）を搬送する方向に対して斜めに配列される態様としてもよい。

搬送ユニット１２０が印刷用紙Ｐを搬送するときに、印刷用紙Ｐが流路部材４に衝突する場合がある。このとき、流路部材４に対して、印刷用紙Ｐの搬送方向に瞬間的な力が加わる。複数の貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂが、印刷用紙Ｐの搬送方向に対して傾けて配列されていることにより、瞬間的に加わる力が分散されて、支持部１７が変形する蓋然性を低減することができる。

また、本開示の他の１つの流路部材は、共通流路（マニホールド５）と、個別流路１２と、を有している。個別流路１２は共通流路に繋がっている。個別流路１２は、接続口１２ａと、吐出口８と、加圧室１０と、を有している。接続口１２ａは共通流路内へ開口している。吐出口８は外部へ開口している。共通流路は支持部１７を有している。支持部１７は、共通流路の内部を横断するように共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる。支持部１７は、平面視において接続口１２ａと重ならないように配置されている。これが本開示の他の１つの流路部材の基本構成であり、これ以外の構成は適宜変更または省略が可能である。この基本構成により、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を得ることができる。本開示の他の１つの流路部材は、貫通孔１７ａおよび切り欠き１７ｂを有していなくても構わない。

また、本開示の他の１つの流路部材は、積み重なった複数のプレートで構成されており、複数のプレートは、接続口１２ａを有する第１プレート（サプライプレート４ｄ）と、共通流路（マニホールド５）の側壁を構成する複数のマニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）と、を含んでおり、複数のマニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）は、第１プレート（サプライプレート４ｄ）に隣り合う第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）を含んでおり、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に設けられた支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重ならないように配置されていても良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を高めることができる。

また、本開示の他の１つの流路部材において、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に複数の支持部１７が設けられており、第２プレート（マニホールドプレート４ｅ）に設けられた全ての支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重ならないように配置されている構成を有していても良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を更に高めることができる。

また、本開示の他の１つの流路部材は、複数の支持部１７を有しており、全ての支持部１７が、平面視において接続口１２ａと重ならないように配置されていても良い。このような構成を有しているときには、支持部１７が液滴の吐出に及ぼす影響を低減する効果を更に高めることができる。

図１０は、変形例に係るプリンタ２０１の液体吐出ヘッド２及びその周辺を示す上面図である。印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２に対して図１０の紙面奥手側を矢印ｙ１が示す方向（またはその反対方向）へ搬送される。なお、変形例（後述するプリンタ２０３を含む）に関して特に言及しない点については、前述した実施形態のプリンタ１と同様とされてよい。変形例の説明では、支持部１７に貫通孔１７ａが設けられている態様を例に取るが、貫通孔１７ａに代えて切り欠き１７ｂが設けられてもよい。

変形例に係るプリンタ２０１は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って複数（図示の例では４つ）のヘッド群７２を有している。各ヘッド群７２は、複数（図示の例では５つ）の液体吐出ヘッド２を有している。

１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｋ）である。

１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ位置するように並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

なお、ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

プリンタ２０１は、ヘッド群７２毎に、複数の液体吐出ヘッド２を保持する取付け部材７０を有している。なお、取付け部材７０は、図示の例とは異なり、複数のヘッド群７２に共通して一つ設けられてもよい。また、取付け部材７０は、図示の例とは異なり、一つの液体吐出ヘッド２のみを保持していてもよく、ヘッド群７２が構成されないプリンタに適用されてもよい。

図１１は、図１０の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図１２は、１つの液体吐出ヘッド２およびその周辺を示す分解斜視図である。

液体吐出ヘッド２は、例えば、その長手方向の両端部において取付け部材７０に対して固定されている。具体的には、例えば、以下のとおりである。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、ヘッド本体２ａ上に位置している上部部材２ｂ（リザーバ）とを有している。上部部材２ｂは、例えば、特に図示しないが、インクが供給される開口、当該開口から流路部材４の開口５ａに続く流路、信号伝達部９２を挿通させて上部部材２ｂ上に引き出すためのスリット等を有している。上部部材２ｂは、一体的に構成されていてもよいし、複数の部材から構成されていてもよい。上部部材２ｂの材料は、例えば、金属、樹脂および／またはセラミックとされてよい。

上部部材２ｂは、例えば、圧電アクチュエータ基板２１上に空間（不図示）を構成するようにして流路部材４の外縁部上に当接している。別の観点では、上部部材２ｂは、例えば、複数の分岐流路５ｂおよび複数の加圧室１０の配置領域の外側にて流路部材４の上面に当接している。上部部材２ｂおよび流路部材４は、例えば、外縁部の全周に亘って互いに当接しており、また、各開口５ａの周囲においても互いに当接している。上部部材２ｂおよび流路部材４の互いに当接する面は、例えば、接着剤によって固定されている。なお、両者は、ねじ等の他の手段によって互いに固定されていてもよい。

上部部材２ｂは、平面視においてヘッド本体２ａ（流路部材４）と同等の形状および大きさを有している下部２ｂｃを有している。また、上部部材２ｂは、上面側に、平面視においてヘッド本体２ａよりも外側に広がるフランジ２ｂａを有している。フランジ２ｂａは、例えば、ヘッド本体２ａ（流路部材４）の長手方向の両側に設けられており、ヘッド本体２ａの短辺と概ね同等の長さを有している。なお、フランジ２ｂａは、図示の例とは異なり、上部部材２ｂの概略全周に亘って設けられていてもよい。

取付け部材７０は、印刷用紙Ｐに対向する概略板状の部材であり、その対向方向に貫通しているヘッド用開口７０ａを有している。液体吐出ヘッド２のうち、フランジ２ｂａよりも下方側の部分（下部２ｂｃ及びヘッド本体２ａ）は、ヘッド用開口７０ａに嵌合する。フランジ２ｂａは、取付け部材７０の上面のうちのヘッド用開口７０ａの周囲の部分に係合する。これにより、液体吐出ヘッド２は、吐出口面４−１を印刷用紙Ｐに対向させた状態で取付け部材７０に対して位置決めされる。

上部部材２ｂの上面には、長手方向の両側に雌ねじ２ｂｂが設けられている。また、取付け部材７０のうち、上部部材２ｂの長手方向の外側に位置する部分には、上方へ高くなった台座７０ｂが設けられている。台座７０ｂの上面には、雌ねじ７０ｂａが設けられている。そして、押え部材７４の孔（符号省略）に挿通された雄ねじ７５が雌ねじ７０ｂａに螺合されるとともに、押え部材７４の他の孔（符号省略）に挿通された雄ねじ７６が雌ねじ２ｂｂに螺合される。これにより、液体吐出ヘッド２は、押え部材７４によって上方への移動が規制され、取付け部材７０に対して固定される。

台座７０ｂの高さは、例えば、フランジ２ｂａの高さと同等である。押え部材７４は、例えば、平板状の板金である。ただし、台座部７０ｂの高さとフランジ２ｂａの厚さとを異ならせたり、押え部材７４の形状を上下に起伏のある形状としたりしてもよい。図示の例では、長手方向に並んでいる液体吐出ヘッド２の間に位置する押え部材７４は、液体吐出ヘッド２同士の連結にも寄与している。換言すれば、押え部材７４は、２つの液体吐出ヘッド２に兼用されている。ただし、そのような兼用がなされなくてもよい。押え部材７４の下方又は上方には、特に図示しないが、ワッシャ等が設けられてもよい。雄ねじ７５は、例えば、取付け部材７０の下面から突出しない。雄ねじ７６は、上部部材２ｂのみに螺合し、ヘッド本体２ａ（流路部材４）に螺合しない。ただし、螺合してもよい。

図１３は、図１０の液体吐出ヘッド２の内部を模式的に示す平面図である。別の観点では、この図は、マニホールドプレート４ｆ〜４ｊのいずれかの平面図となっている。図１３では、図解の都合上、図２〜図５に比較して、分岐流路５ｂおよび支持部１７の数が少なくされ、また、分岐流路５ｂおよび隔壁１５等の幅が広くされている。

点線で押え部材７４および雄ねじ７６を示しているように、液体吐出ヘッド２は、流路部材４の長手方向の両端部で取付け部材７０に固定されている。ここでいう両端部は、例えば、複数の分岐流路５ｂおよび複数の加圧室１０が配置されている領域よりも外側である。雄ねじ７６は、上記両端部において、例えば、液体吐出ヘッド２（流路部材４）の短手方向の中央に１つのみ設けられている。

したがって、支持部１７がマニホールド５の内壁面を繋ぐ方向（流路部材４の短手方向）と、液体吐出ヘッド２をその両端で固定する雄ねじ７６を繋ぐ方向とは互いに異なっている（例えば直交している）。また、雄ねじ７６（例えばその図心）同士を繋ぐ仮想線Ｌ１を仮定したときに、支持部１７は仮想線Ｌ１上に位置していない。上記の仮想線Ｌ１上には、例えば、２つのマニホールド５を仕切る隔壁７７が位置している。隔壁７７は、例えば、１つのマニホールド５を複数の分岐流路５ｂに仕切る隔壁１５に比較して厚く（すなわち平面視で幅が広く）、上記仮想線Ｌ１を概ね中心線として直線状に延びている。

図１３では、開口５ａにインクを供給する供給部の例も模式的に示されている。供給部は、例えば、タンク７８と、タンク７８に貯留されているインクを開口５ａに送出する供給ポンプ７９とを有している。なお、タンク７８および供給ポンプ７９のうち一方のみが供給部と捉えられてもよい。また、供給ポンプ７９は設けられなくてもよい。供給部からのインクは、例えば、上部部材２ｂに設けられた分岐流路によって複数の開口５ａに流れ込む。

図１３では、貫通孔１７ａの変形例も示している。この例では、複数の貫通孔１７ａは、開口５ａから遠ざかるほど、その開口面積が小さくなっている。すなわち、複数の貫通孔１７ａは、第１貫通孔と、平面視して、第１貫通孔よりも開口５ａから遠く、第１貫通孔よりも大きい形状を有している第２貫通孔とを含んでいる。また、図示の例では、開口５ａは、流路部材４の長手方向の両端部（分岐流路５ｂよりも外側）にそれぞれ設けられているから、平面視して、流路部材４の長手方向の中央側に位置する貫通孔１７ａは、長手方向の端部側に位置する貫通孔１７ａよりも大きい形状を有している。

なお、ここでいう開口５ａから遠いという意味は、インクの流れ方向に沿って（別の観点では分岐流路５ｂに沿って）の距離が長いという意味である。したがって、例えば、開口５ａから分岐流路５ｂまでの流路が屈曲していれば、当該流路に沿って屈曲した経路の長さを含む距離が比較される。

また、中央側の貫通孔１７ａが端部側の貫通孔１７ａよりも大きいという場合の中央側および端部側は、複数の貫通孔１７ａの相対位置を示しており、中央側の貫通孔１７ａは、中央部に位置している必要は無いし、端部側の貫通孔１７ａは、端部に位置している必要は無い。中央側の貫通孔１７ａよりも端部側の貫通孔１７ａが流路部材４の長手方向の端部に近ければよい。もちろん、中央側の貫通孔１７ａは、中央部（例えば流路部材４を長手方向に３等分または５等分した場合にその中央の領域）に位置していてもよいし、端部側の貫通孔１７ａは、端部（例えば流路部材４を３等分または５等分した場合にその端の領域）に位置していてもよい。

貫通孔１７ａ同士の開口面積の差の具体的な大きさは、適宜に設定されてよい。また、開口５ａから貫通孔１７ａまでの距離の変化に対する貫通孔１７ａの開口面積の変化は、変化率が一定のものであってもよいし、距離が長くなるほど変化率が大きくなってもよいし、距離が長くなるほど変化率が小さくなってもよいし、一部において変化率が０になってもよい（開口５ａからの距離が違っても互いに同一の開口面積を有する貫通孔１７ａが存在してもよい。）。また、互いに開口面積が異なる貫通孔１７ａは、面積だけでなく、形状が互いに異なっていてもよい。

図１１に戻る。この図では、吐出口面４−１をワイピングするワイパー８０も図示されている。ワイパー８０は、例えば、弾性材料からなる板状部材（ブレード）によって構成されており、その縁部（１辺）を矢印ｙ２で示す方向、および／またはその反対方向へ摺動させる。これにより、吐出口面４−１に付着したインクおよび異物が除去される。ワイパー８０の摺動方向は、例えば、流路部材４の長手方向である。

以上のとおり、プリンタ２０１は、液体吐出ヘッド２が取り付けられた取付け部材７０を備えている。平面視して、液体吐出ヘッド２は、流路部材４の長手方向の両端部で取付け部材７０に固定されている。支持部１７は、流路部材４の短手方向で共通流路（マニホールド５）の内壁面における２つの部分を繋いでいる。なお、ここでいう両端部での固定は、フランジ２ｂａによる支持、押え部材７４による押圧、及び／又は雄ねじ７６の螺合を指す。

流路部材４の長手方向の両端部で固定を行う場合においては、流路部材４の長手方向に対して力がかかりやすい。一方、支持部１７は、貫通孔１７ａ（または切り欠き１７ｂ）が設けられることによって強度が低下している。したがって、支持部１７が流路部材４の短手方向で共通流路の内壁面における２つの部分を繋ぐように構成されていることにより、支持部１７に加えられる力が大きくなる蓋然性が低減される。ひいては、支持部１７が変形する蓋然性が低減される。

特に、支持部１７が固定部材（雄ねじ７６）同士を結ぶ仮想線Ｌ１上に位置していない場合においては、上記の効果が向上する。なお、支持部１７が仮想線Ｌ１上に位置しない態様としては、例えば、仮想線Ｌ１上に、マニホールド５内を仕切る第１隔壁（隔壁１５）が位置する態様、マニホールド５同士を仕切る第２隔壁（隔壁７７）が位置する態様（図示の例）、および／または流路部材の短手方向の両端部（全てのマニホールド５よりも外側の部分）が位置する態様が挙げられる。仮想線Ｌ１上に隔壁７７が位置する場合、隔壁７７と、隔壁７７の隣の隔壁１５とを、支持部１７が繋いでいる態様としてもよい。

隔壁１５よりも厚い隔壁７７は、隔壁１５よりも変形し難い。したがって、隔壁７７が仮想線Ｌ１上に位置する態様においては、隔壁１５が仮想線Ｌ１上に位置する態様に比較して、支持部１７が変形する蓋然性が低減される。また、仮想線Ｌ１を流路部材４の短手方向の中央側に位置させることが容易であり、流路部材４の固定の信頼性を向上させることができる。

また、プリンタ２０１は、流路部材４の吐出口８が開口している吐出口面４−１を流路部材４の長手方向に摺動するワイパー８０をさらに備えている。支持部１７は、流路部材４の短手方向で共通流路（マニホールド５）の内壁面における２つの部分を繋いでいる。

この場合、ワイパー８０の摺動によって、流路部材４には長手方向の力が加えられる。したがって、上記の固定部材同士の方向と支持部１７が掛け渡される方向とが異なることによって支持部１７が変形する蓋然性を低減できたのと同様に、支持部１７が変形する蓋然性を低減することができる。

また、プリンタ２０１は、供給口（開口５ａ）にインクを供給する供給部を備えている。複数の貫通孔１７ａは、第１貫通孔と、平面視して、第１貫通孔よりも開口５ａから遠く、第１貫通孔よりも大きい形状を有している第２貫通孔とを含んでいる。

ここで、供給口（開口５ａ）から遠ざかるほど、供給口から接続口１２ａまでの流体抵抗が大きくなり、加圧室１０にインクを供給し難くなる。一方、供給口から遠ざかるにつれて貫通孔１７ａの開口が大きくなることにより、各支持部１７に起因する流路抵抗は供給口から遠ざかるほど小さくなる。したがって、供給口に近い接続口１２ａまでの流路抵抗と、供給口から遠い接続口１２ａまでの流路抵抗との乖離を低減することができる。その結果、インクの挙動を複数の加圧室同士で近づけることができる。

図１４は、他の変形例に係るプリンタ３０１を示す図１３と同様の図である。この変形例では、各マニホールド５に繋がっている２つの開口５ａのうち一方（紙面右側の開口５ａ）は、インクが供給される供給口として利用され、他方（紙面左側の開口５ａ）は、インクを回収する回収口として利用される。例えば、プリンタ３０１は、タンク７８のインクを一方の開口５ａに供給する供給部（供給ポンプ７９）と、他方の開口５ａからインクを回収してタンク７８へ戻す回収部（回収ポンプ８１）とを備えている。

なお、供給部と回収部とは必ずしも明瞭に区別可能でなくてよい。例えば、タンク７８は、供給部の一部と捉えられてもよいし、回収部の一部と捉えられてもよい。また、供給ポンプ７９および回収ポンプ８１の一方は省略可能である。

特に図示しないが、プリンタ３０１の流路部材３０４は、例えば、各吐出口８毎に、マニホールド５から加圧室１０を経由して吐出口８に至る個別流路１２に加えて、吐出口８から加圧室１０を経由せずにマニホールド５へ至る回収用個別流路を有している。より詳細には、回収用個別流路は、例えば、一端が個別流路１２のディセンダに開口し、他端が分岐流路５ｂに開口している。回収用個別流路の、分岐流路５ｂに開口する接続口は、例えば、接続口１２ａと同様のピッチで配列されている。

マニホールド５から個別流路１２へインクが供給されると、供給されたインクの一部は吐出口８から吐出される。供給されたインクのうち吐出されずに残った少なくとも一部のインクは、回収用個別流路からマニホールド５へ回収される。これにより、例えば、インクのディセンダ内における滞留が低減され、ひいては、顔料の沈殿および固着が低減される。

このようなインクが循環される態様においても、図示されているように、貫通孔１７ａは、供給口から遠ざかるほど（回収口に近づくほど）開口面積が大きくされてよい。換言すれば、複数の貫通孔１７ａは、第１貫通孔と、平面視して、第１貫通孔よりも供給口から遠く、第１貫通孔よりも回収口に近く、第１貫通孔よりも大きい形状を有している第２貫通孔とを含んでいてよい。

なお、上記のように、流路部材３０４においては、個別流路１２の接続口１２ａに加えて、回収用個別流路の接続口（不図示）がマニホールド５に開口している。支持部１７がこの回収用の接続口に対向している場合においては、接続口１２ａに対向している場合と同様に、貫通孔１７ａまたは切り欠き１７ｂが設けられてよい。また、別の観点では、貫通孔１７ａ（または切り欠き１７ｂ）の位置及び数は、図１３におけるものとは異なっていてもよい。

また、例えば、マニホールド５を回収口と非接続とするとともに、回収口に接続された回収用マニホールドをマニホールド５に沿って設ける態様としてもよい。この場合には、各々の吐出孔８に対して、吐出口８と回収用マニホールドとを接続する回収用個別流路をそれぞれ設けるとよい。このような場合においても、供給口から遠くに位置する貫通孔１７ａ（または切り欠き１７ｂ）ほど、回収口の近くに位置することになり、上述した構成と同様の構成で同様の効果を得ることができる。

１，２０１，３０１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４，３０４・・・流路部材
４ａ〜４ｎ・・・（流路部材の）プレート
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・開口（供給口，回収口）
５ｂ・・・分岐流路
６・・・しぼり
８・・・吐出口
９・・・吐出口行
１０・・・加圧室
１０ａ・・・鋭角部
１０ｂ・・・鈍角部
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１２ａ・・・接続口
１４・・・個別供給流路
１５・・・隔壁（仕切り部，第１隔壁）
１７・・・支持部
１７ａ・・・貫通孔
１７ｂ・・・切り欠き
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子（加圧部）
７０・・・取付け部材
７２・・・ヘッド群
７６・・・雄ねじ（固定部材）
７７・・・隔壁（第２隔壁）
７９・・・供給ポンプ（供給部）
８０・・・ワイパー

Claims (22)

1. 共通流路と、該共通流路に繋がっている複数の個別流路と、を有しており、
   前記複数の個別流路それぞれは、前記共通流路内へ開口した接続口と、外部へ開口した吐出口と、前記接続口から前記吐出口へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、を有しており、
   複数の前記接続口が、前記共通流路の流路方向の互いに異なる位置にて前記共通流路の上面に開口しており、
   前記共通流路は、該共通流路の上面から離れた位置にて該共通流路の内部を横断するように該共通流路の内壁面における２つの部分を繋ぐ支持部を有しており、
   該支持部の前記流路方向の長さは、平面視において複数の前記接続口のうち一部の前記接続口にのみ該支持部が重なることが可能な長さであり、
   該支持部は、平面視において前記接続口と重なる部分に貫通孔または切り欠きを有していることを特徴とする流路部材。
2. 前記流路方向に互いに離間している複数の前記支持部を有しており、
   複数の前記支持部のうち平面視で前記接続口に重なる位置を横断する前記支持部が前記貫通孔または前記切り欠きを有していることを特徴とする請求項１に記載の流路部材。
3. 前記共通流路の高さ方向に互いに離間している複数の前記支持部を有しており、
   複数の前記支持部のうち最も前記共通流路の上面側に位置する前記支持部が前記貫通孔または前記切り欠きを有していることを特徴とする請求項１または２に記載の流路部材。
4. 前記貫通孔または前記切り欠きは、平面視において前記接続口と前記支持部とが重ならないように設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の流路部材。
5. 前記流路部材は、積み重なった複数のプレートで構成されており、
   前記複数のプレートは、前記接続口を有する第１プレートと、前記共通流路の側壁を構成する複数のマニホールドプレートと、を含んでおり、
   該複数のマニホールドプレートは、前記第１プレートに隣り合う第２プレートを含んでおり、
   該第２プレートに設けられた前記支持部が、前記貫通孔または前記切り欠きを有していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の流路部材。
6. 前記第２プレートに複数の前記支持部が設けられており、前記第２プレートに設けられた平面視において前記接続口と重なる位置を横断する全ての前記支持部が、前記貫通孔または前記切り欠きを有していることを特徴とする請求項５に記載の流路部材。
7. 前記支持部は前記貫通孔を有しており、該貫通孔は、断面視において前記接続口から遠ざかるにつれて開口が大きくなる形状を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の流路部材。
8. 共通流路と、該共通流路に繋がっている個別流路と、を有しており、
   前記個別流路は、前記共通流路内へ開口した接続口と、外部へ開口した吐出口と、前記接続口から前記吐出口へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、を有しており、
   前記接続口は、前記共通流路の上面に開口しており、
   前記共通流路は、該共通流路の上面から離れた位置にて該共通流路の内部を横断するように該共通流路の内壁面における２つの部分を繋ぐ支持部を有しており、
   該支持部は、平面視において前記接続口と重ならないように配置されていることを特徴とする流路部材。
9. 前記流路部材は、積み重なった複数のプレートで構成されており、
   前記複数のプレートは、前記接続口を有する第１プレートと、前記共通流路の側壁を構成する複数のマニホールドプレートと、を含んでおり、
   該複数のマニホールドプレートは、前記第１プレートに隣り合う第２プレートを含んでおり、
   該第２プレートに設けられた前記支持部が、平面視において前記接続口と重ならないように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の流路部材。
10. 前記第２プレートに複数の前記支持部が設けられており、前記第２プレートに設けられた全ての前記支持部が、平面視において前記接続口と重ならないように配置されていることを特徴とする請求項９に記載の流路部材。
11. 複数の前記支持部を有しており、全ての前記支持部が、平面視において前記接続口と重ならないように配置されていることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載の流路部材。
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載の流路部材と、前記加圧室に圧力を加える加圧部と、を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. １つの前記吐出口から１秒間に吐出される液体の量が１．８×１０^−７Ｌ以上であることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 請求項１２または請求項１３に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを制御する制御部と、記録媒体を搬送する搬送部と、を有していることを特徴とする記録装置。
15. 前記液体吐出ヘッドが取り付けられた取付け部材をさらに備え、
    平面視して、
    前記液体吐出ヘッドは、前記流路部材の長手方向の両端部で前記取付け部材に固定されており、
    前記支持部は、前記流路部材の短手方向で前記共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる、請求項１４に記載の記録装置。
16. 前記液体吐出ヘッドが取り付けられた取付け部材をさらに備え、
    平面視して、
    前記液体吐出ヘッドは、前記流路部材の長手方向の両端部で固定部材を用いて前記取付け部材に固定されており、
    前記支持部は、前記両端部に位置する前記固定部材同士を結ぶ仮想線上に位置していない、請求項１４または１５に記載の記録装置。
17. 前記液体吐出ヘッドは、前記共通流路に繋がっており、かつ外部へ開口した供給口を有しており、
    前記供給口へ液体を供給する供給部をさらに備え、
    前記支持部は平面視において前記接続口と重なる部分に貫通孔を有しており、複数の前記貫通孔が、第１貫通孔と、平面視して、前記第１貫通孔よりも前記供給口から遠く、前記第１貫通孔よりも大きい形状を有している第２貫通孔とを含んでいる、請求項１４乃至請求項１６のいずれかに記載の記録装置。
18. 前記供給口は、前記流路部材の長手方向の両端部にそれぞれ設けられており、
    前記供給部は、前記両端部に設けられた前記供給口それぞれに液体を供給し、
    平面視して、前記長手方向の中央側に位置する前記貫通孔は、前記長手方向の端部側に位置する前記貫通孔よりも大きい形状を有している、請求項１７に記載の記録装置。
19. 前記液体吐出ヘッドは、前記共通流路に繋がっており、かつ外部へ開口した供給口および回収口を有しており、
    前記供給口へ液体を供給する供給部と、前記回収口から液体を回収する回収部と、をさらに備え、
    前記供給口は前記流路部材の長手方向の一端部に設けられており、前記回収口は前記流路部材の長手方向の他端部に設けられており、
    前記支持部は平面視において前記接続口と重なる部分に貫通孔を有しており、複数の前記貫通孔が、第１貫通孔と、平面視して、前記第１貫通孔よりも前記供給口から遠く、前記第１貫通孔よりも前記回収口に近く、前記第１貫通孔よりも大きい形状を有している第２貫通孔とを含んでいる、請求項１４乃至請求項１６に記載の記録装置。
20. 前記液体吐出ヘッドが取り付けられた取付け部材をさらに備え、
    平面視して、
    前記液体吐出ヘッドは、前記流路部材の長手方向の両端部で固定部材を用いて前記取付け部材に固定されており、
    前記共通流路は、前記長手方向に延びる１つ以上の第１隔壁によって仕切られて複数の分岐流路を有しており、
    複数の前記共通流路が、前記長手方向に延びる、前記第１隔壁よりも厚い１つ以上の第２隔壁によって仕切られており、
    前記第２隔壁は、前記両端部に位置する前記固定部材同士を結ぶ仮想線上に位置しており、
    前記支持部は、前記第２隔壁と、当該第２隔壁の隣の前記第１隔壁とを繋いでいる、請求項１４乃至請求項１９のいずれかに記載の記録装置。
21. 前記流路部材の前記吐出口が開口している面を前記流路部材の長手方向に摺動するワイパーをさらに備えており、
    前記支持部は、前記流路部材の短手方向で前記共通流路の内壁面における２つの部分を繋いでいる、請求項１４乃至請求項２０のいずれかに記載の記録装置。
22. 前記支持部は、平面視において前記接続口と重なる部分に設けられた貫通孔または切り欠きを複数有しており、
    複数の前記貫通孔または前記切り欠きは、前記搬送部が前記記録媒体を搬送する方向に対して斜めに配列されている、請求項１４乃至請求項２１のいずれかに記載の記録装置。

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