JP2019111793A - 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴の吐出に関する問題の発生が低減された液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは流路部材と加圧部を有する。流路部材は、第１個別流路１２、第２個別流路１２ｄ、共通流路５を有する。第１個別流路１２は、第１供給流路、第１加圧室１０、第１吐出流路７、第１吐出口を有する。第２個別流路１２ｄは、第２供給流路、第２加圧室１０ｄ、第２吐出流路７ｄ、第２吐出口に加えて、共通流路５と第２吐出流路７ｄとを繋ぐバイパス流路１６を有する。加圧部は第１加圧部と第２加圧部を含む。第１個別流路１２および第２個別流路１２ｄは列を成すように配置され、第２個別流路１２ｄは列の端に位置する。【選択図】図６

Description

本開示は、液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置に関するものである。

液体を記録媒体上に吐出することによって各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる流路部材として、吐出口、加圧室、個別流路および共通流路を有するものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００３−３０５８５２号公報

本開示の液体吐出ヘッドは、流路部材と、複数の加圧部と、を有している。前記流路部材は、１つ以上の第１個別流路および１つ以上の第２個別流路を含む複数の個別流路と、該複数の個別流路が接続された共通流路と、を有している。前記第１個別流路は、第１吐出口と、第１加圧室と、前記共通流路と前記第１加圧室とを繋いでいる第１供給流路と、前記第１加圧室と前記第１吐出口とを繋いでいる第１吐出流路と、を有している。前記第２個別流路は、第２吐出口と、第２加圧室と、前記共通流路と前記第２加圧室とを繋いでいる第２供給流路と、前記第２加圧室と前記第２吐出口とを繋いでいる第２吐出流路と、前記共通流路と前記第２吐出流路とを繋いでいるバイパス流路と、を有している。前記複数の加圧部は、前記第１加圧室内の液体を加圧する１つ以上の第１加圧部と、前記第２加圧室内の液体を加圧する１つ以上の第２加圧部と、を含んでおり、前記第１個別流路および前記第２個別流路は列を成すように配置されており、前記第２個別流路は前記列の端に位置している。

本開示の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを制御する制御部と、記録媒体を搬送する搬送部と、を有している。

本開示の液体吐出ヘッドを含む記録装置の一例を模式的に示す図である。 図１の液体吐出ヘッドにおける流路部材および圧電アクチュエータを示す平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 図４の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図６のＷ−Ｗ線に沿った縦断面図である。 図６のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。

吐出口およびそれに繋がる加圧室を有する個別流路が列を成すように配置された液体吐出ヘッドでは、１つの吐出口から吐出される液体に、その吐出口に繋がる加圧室以外の加圧室で生じた圧力波が伝達されて吐出量が変化する現象が生じる。この変化は、周囲の加圧室の配置に影響されるため、列の端部に位置する個別流路から吐出される液体の量と、列の中央部に位置する個別流路から吐出される液体の量との間に、明らかな差が生じる。そして、それにより、印刷物に濃度斑が生じるという問題がある。

本開示の液体吐出ヘッドは、この問題の発生を低減できる。以下、本開示の液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置の具体例について説明する。

図１は、本開示の液体吐出ヘッドを含む記録装置の一例を模式的に示す図である。この記録装置は、カラーインクジェットプリンタであり、以下、プリンタ１と称する。プリンタ１は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。

給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。

給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。

搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。

ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。

ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。ニップローラ１３８およびニップ受けローラ１３９は回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。

液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体２ａを有している。ヘッド本体２ａの下面は、液体を吐出する多数の第１吐出口８（以下、単に吐出口８と呼ぶ場合がある）が設けられている吐出口面４−１となっている。

１つの液体吐出ヘッド２に設けられた吐出口８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド２の吐出口８は、吐出口面４−１に開口しており、一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐの搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、例えば、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、液体吐出ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。

搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体２ａから印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。

搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。

なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。

上述したように、本開示の記録装置は、液体吐出ヘッド２と、液体吐出ヘッド２を制御する制御部１００と、記録媒体（印刷用紙Ｐ）を搬送する搬送部（搬送ユニット１２０）と、を有している。この構成が本開示の記録装置の基本構成であり、これ以外の構成は適宜変更および省略が可能である。なお、制御部１００および搬送部（搬送ユニット１２０）の構成は、上述した構成に限定されるものではなく、適宜変更および省略が可能である。

次に、液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、ヘッド本体２ａの平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した平面図である。図４は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため図３とは異なる一部の流路を省略した図である。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６は図４の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図７は図６のＷ−Ｗ線に沿った縦断面図である。図８は図６のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。なお、図２〜４および図６においては、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき第１絞り部６（以下、単に絞り部６と呼ぶ場合がある）、吐出口８、第１加圧室１０（以下、単に加圧室１０と呼ぶ場合がある）などを実線で描いている。また、図４においては、位置を分かりやすくするために、吐出口８を実際よりも大きく描くとともに、一部の吐出口８の図示を省略している。

液体吐出ヘッド２は、平面視において、第１方向（図２の＋ｘ方向）の長さが、第１方向に垂直な第２方向（図２の＋ｙ方向）の長さよりも大きい形状を有している。液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外にリザーバや、金属製の筐体を含んでいる。また。ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子（加圧部）３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。

ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路５と、共通流路５と繋がっている複数の第１個別流路１２（以下、単に個別流路１２と呼ぶ場合がある）を有している。個別流路１２は、共通流路５内へ開口している接続口１２ａと、外部へ開口している吐出口８とを有している。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面には共通流路５と繋がる開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給される。

また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように設けられている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部９２が接続されている。図２には、２つの信号伝達部９２が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ２１に電気的に接続されている、信号伝達部９２に形成されている電極は、信号伝達部９２の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部９２は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。２つの信号伝達部９２は、中央部から圧電アクチュエータ基板２１の長辺に向かって伸びている。

また、信号伝達部９２にはドライバＩＣが実装されている。ドライバＩＣは金属製の筐体に押し付けられるように実装されている。圧電アクチュエータ基板２１上の変位素子３０を駆動する駆動信号は、ドライバＩＣ内で生成される。駆動信号の生成を制御する信号は、制御部１００で生成され、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ基板２１と接続された側と反対側の端から入力される。制御部１００と信号伝達部９２との間には、必要に応じて、液体吐出ヘッド２内に設けられた、配線基板などが設けられる。

ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接続された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。

流路部材４の内部には２つの共通流路５が形成されている。共通流路５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有している。共通流路５は、その両端に、流路部材４の上面に開口している開口５ａを有している。

また、共通流路５は、少なくとも加圧室１０からの流路が繋がっている領域である、長さ方向の中央部分が、幅方向に間隔を開けて設けられた隔壁（仕切り部）１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０からの流路が繋がっている領域である、長さ方向の中央部分では、共通流路５と同じ高さを有し、共通流路５を複数の分岐流路５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出口８および吐出口８から加圧室１０に繋がっている第１吐出流路７（以下、単に吐出流路７という）を設けることができる。なお、本開示において、平面視する際には、流路部材４厚み方向（すなわち、流路部材４を構成する複数のプレート（４ａ〜４ｍ）の積層方向）から平面視する。

図２では、共通流路５の両端部を除く全体が隔壁１５で仕切られている。このようにする以外に、両端部のうちのどちらか一端部以外が隔壁１５で仕切られているようにしてもよい。また、流路部材４の上面に開口している開口５ａ付近のみが仕切られておらず、開口５ａから流路部材４の深さ方向に向かう間に隔壁が設けられるようにしてもよい。

分岐流路５ｂは、共通流路５における複数に分けられた部分である。本実施形態においては、共通流路５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つの共通流路５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの分岐流路５ｂに分けられている。また、７つの隔壁１５は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、共通流路５の両端において、幅方向の中央に近い隔壁１５ほど、隔壁１５の端が共通流路５の端に近くなっている。

流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されている、２つの鋭角部と２つの鋭角部を有するほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。

加圧室１０は、個別流路１２を介して１つの分岐流路５ｂと繋がっている。個別流路１２における、分岐流路５ｂと加圧室１０とを繋ぐ部分を第１供給流路１４と呼ぶ（以下、単に供給流路１４と呼ぶ場合がある）。１つの分岐流路５ｂに沿うようにして、この分岐流路５ｂに繋がっている加圧室１０の列である加圧室行１１が、分岐流路５ｂの両側に１列ずつ、合計２列設けられている。したがって、１つの共通流路５に対して、１６列の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２列の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。

１つの共通流路５に繋がっている加圧室１０は、液体吐出ヘッド２の長手方向である行方向と短手方向である列方向とに沿って、行上および列上で、それぞれ略等間隔で配置されている。行方向は、菱形形状の加圧室１０の鈍角部同士を結ぶ対角線と同じ方向であり、列方向は、菱形形状の加圧室１０の鋭角部同士を結ぶ対角線と同じ方向である。つまり、加圧室１０の菱形形状の対角線が行および列と角度がついていない状態になっている。行上および列上での加圧室１０の間隔は、等間隔にすれば、間隔が他より狭いところがなくなりクロストークを小さくできるが、間隔は±２０％程度異なるようにしてもよい。

加圧室１０を格子状の配置にして、圧電アクチュエータ２１を、行および列に沿った外辺を有する矩形状にするとよい。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の列も短手方向に等間隔で配置されている。

流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を分岐流路５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。

１つの分岐流路５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１をなしており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出口８は、１つの吐出口行９をなしている。２列の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出口８はそれぞ
れ、分岐流路５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２列の吐出口行９が設けられているが、それぞれの吐出口行９に属する吐出口８は、吐出口８に近い側の分岐流路５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する分岐流路５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出口８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出口８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを小さくすることができる。加圧室１０と吐出口８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを小さくすることができる。

また、平面視において、加圧室１０と分岐流路５ｂとが重なるように配置することにより、液体吐出ヘッド２の幅を小さくできる。加圧室１０の面積に対する、重なっている面積の割合が８０％以上、さらに９０％以上にすることで、液体吐出ヘッド２の幅をより小さくできる。また、加圧室１０と分岐流路５ｂとが重なっている部分の加圧室１０の底面は、分岐流路５ｂと重なっていない場合と比較して剛性が低くなっており、その差により吐出特性がばらつくおそれがある。加圧室１０全体の面積に対する、分岐流路５ｂと重なっている加圧室１０の面積の割合を、各加圧室１０で略同じにすることで、加圧室１０を構成する底面の剛性が変わることによる吐出特性のばらつきを少なくすることができる。ここで略同じとは、面積の割合の差が、１０％以下、特に５％以下であることを言う。

１つの共通流路５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、共通流路５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させた配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。

加圧室１０の供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出口面４−１に開口している吐出口８に繋がる吐出流路７が伸びている。吐出流路７は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出口８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。

これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出口８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各共通流路５に繋がっている１６個の吐出口８、全部で３２個の吐出口８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、全ての共通流路５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つの共通流路５に繋がっている１個の吐出口８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各共通流路５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。

さらに、液体吐出ヘッド２には、マニホールドの開口５ａからの液体の供給を安定させるように流路部材４に、リザーバを接合してもよい。リザーバには、外部から供給された液体を分岐させて、２つの開口５ａに繋がる流路が設けられることにより、２つの開口に液体を安定して供給できる。分岐してからの流路長をほぼ等しくすることで、外部から供給される液体の温度変動や圧力変動が、共通流路５の両端の開口５ａに、少ない時間差で
伝わるため、液体吐出ヘッド２内の液滴の吐出特性のばらつきをより少なくできる。リザーバにダンパを設けることで、さらに液体の供給が安定化できる。さらに、液体中の異物などが流路部材４に向かうのを抑制するように、フィルタを設けてもよい。またさらに、流路部材４に向かう液体の温度を安定化させるようにヒータを設けてもよい。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。引出電極２５ｂは、一端部が個別電極本体２５ａに接続されており、他端部が加圧室１０の鋭角部を通り、加圧室１０の外側で、加圧室１０の２つの鋭角部を結ぶ対角線を延長した列と重ならない領域に引き出されている。これによりクロストークが低減できる。引出電極２５ｂの形状については、後で詳述する。

また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように２列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って１列形成されている。図示した、共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、後述のようにビアホールを形成した圧電セラミック層２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂを積層し、焼成した後、個別電極２５および共通電極用表面電極２８を同一工程で形成するのが好ましい。個別電極２５と加圧室１０との位置ばらつきは吐出特性に大きく影響を与えこと、個別電極２５を形成した後、焼成すると圧電アクチュエータ基板２１に反りが生じるおそれがあり、反りが生じた圧電アクチュエータ基板２１を流路部材４に接合すると、圧電アクチュエータ基板２１に応力が加わった状態になり、その影響で変位がばらつくおそれがあることから、個別電極２５は、焼成後に形成される。共通電極用表面電極２８も同様に反りを生じされるおそれがあることと、個別電極２５と同時に形成した方が、位置精度が高くなり、工程も簡略化できるので、個別電極２５と共通電極用表面電極２８は同一工程で形成される。

このような圧電アクチュエータ基板２１を焼成する際に生じるおそれのある、焼成収縮によるビアホールの位置ばらつきは、主に圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に生じるので、共通電極用表面電極２８が偶数個ある共通流路５の中央、別の言い方をすれば、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央に設けられており、共通電極用表面電極２８が圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に長い形状をしていることにより、ビアホールと共通電極用表面電極２８とが位置ずれにより電気的に接続されなくなることを抑制できる。

圧電アクチュエータ基板２１には、２枚の信号伝達部９２が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板２１ａの引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極２８の上に、それぞれ、接続電極２６および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極２８および共通電極用接続電極の面積を接続電極２６の面積よりも大きくすれば、信号伝達部９２の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の長手方向の端）にける接続が、共通電極用表面電極２８上の接続により強くできるので、信号伝達部９２が端からはがれ難くできる。

また、吐出口８は、流路部材４の下面側に配置された共通流路５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出口８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出口８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出口８から液滴が吐出できる。

ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（絞り部）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート（４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ）、カバープレート４ｋおよびノズルプレート４ｍの順に積層されている。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２および共通流路５を構成するように、位置合わせして積層されている。加圧室１０は流路部材４の上面に、共通流路５は内部の下面側に、吐出口８は下面に配置されており、流路を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設されている。そして、加圧室１０を介して共通流路５と吐出口８とが繋がっている。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１の孔は、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２の孔は、加圧室１０の一端から共通流路５へと繋がる供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ、アパーチャプレート４ｃおよびサプライプレート４ｄに形成されている。供給流路１４は、流路の断面積が小さくなっている部位である絞り部６を含んでいる。絞り部６はアパーチャプレート４ｃに形成されている。供給流路１４は、共通流路５の内壁面に開口する接続口１２ａを有しており、接続口１２ａを介して共通流路５と個別流路１２（供給流路１４）とが接続されている。

第３の孔は、加圧室１０の他端から吐出口８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載において吐出流路７と呼称される。吐出流路７は、ベースプレート４ｂからノズルプレート４ｍまでの各プレートに形成されている。ノズルプレート４ｍの孔は、内部に向かって径が大きくなっており、孔の径は、例えば１０〜４０μｍである。ノズルプレート４ｍの孔は、吐出口８として、流路部材４の外部に開口している。

第４の孔は、共通流路５を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）に形成されている。マニホールドプレート（４ｅ〜４ｊ）には、分岐流路５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。

第１〜第３の孔が相互に繋がることにより、共通流路５から吐出口８に至る個別流路１２が構成されている。共通流路５に供給された液体は、以下の経路で吐出口８から吐出される。まず、共通流路５から上方向に向かって、供給流路１４に入り、絞り部６の一端部に至る。次に、絞り部６の延在方向に沿って水平に進み、絞り部６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出口８へと進む。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミ
ック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出され部分には接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部９２に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部１００から信号伝達部９２を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂに形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、信号伝達部９２上の別の電極と接続されている。

なお、後述のように、個別電極２５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極２５に対応する加圧室１０の体積が変わり、加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路１２を通じて、対応する吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および吐出口８に対応する個別の変位素子３０に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子３０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極２５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には加圧部である変位素子３０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって吐出口８から吐出される液体の量は１．５〜４．５ｐｌ（ピコリットル）程度である。

多数の個別電極２５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれが信号伝達部９２および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されている。個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極
２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体が共通流路５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極２５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極２５に供給することになる。このパルス幅は、圧力波が絞り部６から吐出口８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、加圧室１
０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

また、階調印刷においては、吐出口８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出口８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり、好ましい。

次に、液体吐出ヘッド２が有する第２個別流路１２ｄについて説明する。図６は図４の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図７は図６のＷ−Ｗ線に沿った縦断面図である。図８は図６のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。なお、図６においては、共通流路５と、第１加圧室１０と、第２加圧室１０ｄと、第１吐出流路７および第２吐出流路７ｄにおけるプレート４ｄに位置する部分と、バイパス流路１６と、のみを図示している。

液体吐出ヘッド２は、前述した複数の第１個別流路１２に加えて複数の第２個別流路１２ｄを有しており、前述した複数の第１加圧部３０に加えて複数の第２加圧部３０ｄを有している。

第１個別流路１２および第２個別流路１２ｄは、図の＋ｘ方向に延びる列を成すように配置されており、第２個別流路１２ｄは列の端に位置している。詳細には、第２個別流路１２ｄは、列における、図の＋ｘ方向の端および−ｘ方向の端に、それぞれ複数配置されている。なお、第１個別流路１２および第２個別流路１２ｄは、図の＋ｘ方向に延びる複数の列を成しており、第２個別流路１２ｄは、それぞれの列の両端に位置している。

また、平面視において、第１加圧部３０は第１加圧室１０に重なるように配置されており、第２加圧部３０ｄは第２加圧室１０ｄに重なるように配置されている。よって、第１加圧部３０は第１加圧部３０および第２加圧部３０ｄは、図の＋ｘ方向に延びる列を成すように配置されており、第２加圧部３０ｄは列の端に位置している。詳細には、第２加圧部３０ｄは、列における、図の＋ｘ方向の端および−ｘ方向の端に、それぞれ複数配置されている。なお、第１加圧部３０および第２加圧部３０ｄは、図の＋ｘ方向に延びる複数の列を成しており、第２加圧部３０ｄは、それぞれの列の両端に位置している。

すなわち、第１個別流路１２、第２個別流路１２ｄ、第１加圧部３０および第２加圧部３０ｄは、図の＋ｘ方向に延びる列を成すように配置されており、第２個別流路１２ｄおよび第２加圧部３０ｄは、列の端に位置している。詳細には、第２個別流路１２ｄおよび
第２加圧部３０ｄは、列における、図の＋ｘ方向の端および−ｘ方向の端に、それぞれ複数配置されている。なお、第１個別流路１２、第２個別流路１２ｄ、第１加圧部３０および第２加圧部３０ｄは、図の＋ｘ方向に延びる複数の列を成しており、第２個別流路１２ｄおよび第２加圧部３０ｄは、それぞれの列の両端に位置している。

各々の第２個別流路１２ｄは、第１個別流路１２と同様の構成を有している。すなわち、第２個別流路１２ｄは、第１供給流路１４に相当する第２供給流路１４ｄと、第１加圧室１０に相当する第２加圧室１０ｄと、第１吐出流路７に相当する第２吐出流路７ｄと、第１吐出口８に相当する第２吐出口８ｄと、を有している。なお、第２供給流路１４ｄは、第１絞り部６に相当する第２絞り部６ｄを有している。

なお、第２加圧部３０ｄ、第２供給流路１４ｄ、第２加圧室１０ｄ、第２吐出流路７ｄ、および第２吐出口８ｄ、第２絞り部６ｄの構成は、それぞれ、第１加圧部３０、第１供給流路１４、第１加圧室１０、第１吐出流路７、第１吐出口８および第１絞り部６と同様であるため説明を省略する。

そして、第２個別流路１２ｄは、共通流路５と第２吐出流路７ｄとを接続するバイパス流路１６を更に有している。バイパス流路１６は第１端部と第２端部とを有しており、第１端部は共通流路５の内面に開口しており、第２端部は第２吐出流路７ｄの内面に開口している。バイパス流路１６の位置および形状は、適宜設定することができる。

第２個別流路１２ｄは共通流路５に接続されており、第２個別流路１２ｄの内部は液体で満たされている。また、第２加圧部３０ｄは、第１加圧部３０と同様に駆動される。しかしながら、第２個別流路１２ｄは、共通流路５と第２吐出流路７ｄとを接続するバイパス流路１６を有しているため、第２吐出流路７ｄ内の液体に加わる圧力波をバイパス流路１６を介して共通流路５へ逃がすことができる。これにより、第２吐出口８ｄからの液体の吐出を防止することができる。すなわち、動作時に、第１加圧部３０および第２加圧部３０ｄの両方が駆動し、第１吐出口８から液体が吐出され、第２吐出口８ｄから液体が吐出されない。このように、第２加圧部３０ｄは液体の吐出に直接寄与しない加圧部であり、第２個別流路１２ｄは液体の吐出に直接寄与しない流路である。

そして、列を成すように配置された第１個別流路１２の外側に第２個別流路１２ｄが配置されていることから、列の中央部に位置する第１個別流路１２に周囲から伝わる圧力波による影響と、列の端部に位置する第１個別流路１２に周囲から伝わる圧力波による影響とを近づけることができる。これにより、列の中央部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量と、列の端部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量との差異を小さくすることができる。

なお、第２個別流路１２ｄが第１個別流路１２と類似の構成を有し、第２個別流路１２ｄが第１個別流路１２と同様に液体で満たされ、第２加圧部３０ｄが第１加圧部３０と同様に駆動されることにより、列の中央部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量と、列の端部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量とを近似させることができる。

上述したように、本開示の液体吐出ヘッドは、流路部材４と、複数の加圧部と、を有している。流路部材４は、１つ以上の第１個別流路１２および１つ以上の第２個別流路１２ｄを含む複数の個別流路と、複数の個別流路が接続された共通流路５と、を有している。第１個別流路１２は、第１吐出口８と、第１加圧室１０と、共通流路５と第１加圧室１０とを繋いでいる第１供給流路１４と、第１加圧室１０と第１吐出口８とを繋いでいる第１吐出流路７と、を有している。第２個別流路１２ｄは、第２吐出口８ｄと、第２加圧室１
０ｄと、共通流路５と第２加圧室１０ｄとを繋いでいる第２供給流路１４ｄと、第２加圧室１０ｄと第２吐出口８ｄとを繋いでいる第２吐出流路７ｄと、共通流路５と第２吐出流路７ｄとを繋いでいるバイパス流路１６と、を有している。複数の加圧部は、第１加圧室１０内の液体を加圧する１つ以上の第１加圧部３０と、第２加圧室１０ｄ内の液体を加圧する１つ以上の第２加圧部３０ｄと、を含んでいる。そして、第１個別流路１２および第２個別流路１２ｄは列を成すように配置されており、第２個別流路１２ｄは列の端に位置している。これが本開示の液体吐出ヘッドの基本構成であり、その他の構成は適宜変更および省略が可能である。この基本構成を有していることにより、列の中央部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量と、列の端部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量との差異を小さくすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドにおいて、バイパス流路１６の横断面の面積が、第２吐出口８ｄの開口面積よりも大きくてもよい。このような構成を有しているときには、第２加圧部３０ｄの駆動により第２個別流路１２ｄ内に発生する圧力波を、バイパス流路１６を介して共通流路５へ逃がしやすくすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドにおいて、バイパス流路１６の流路抵抗が第２供給流路１４ｄの流路抵抗よりも大きくてもよい。このような構成を有しているときには、加圧パージの際に、共通流路５から第２加圧室１０ｄへ液体が流れやすくなるので、第２加圧室１０ｄに気泡が溜まり難くすることができる。これにより、第１加圧室１０から周囲へ伝わる圧力波と、第２加圧室１０ｄから周囲へ伝わる圧力波とを更に近づけることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドでは、平面視（第１吐出口８および第２吐出口８ｄが位置する平面に垂直な方向からの平面視）において、バイパス流路１６、第２加圧室１０ｄおよび共通流路５の３つが全て重なる部分が存在しないように、バイパス流路１６、第２加圧室１０ｄおよび共通流路５が位置してもよい。このような構成を有しているときには、第２加圧室１０ｄに対して第２加圧部３０ｄと反対側に位置する部分の構造および剛性を、第１加圧室１０に対して第１加圧部３０と反対側に位置する部分の構造および剛性に近づけることができる。これにより、第１加圧室１０から周囲へ伝わる圧力波と、第２加圧室１０ｄから周囲へ伝わる圧力波とを更に近似させることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドにおいて、第２吐出流路７ｄの横断面の面積が、第１吐出流路７の横断面の面積よりも大きくてもよい。このような構成を有しているときには、第２加圧部３０ｄの駆動により第２吐出流路７ｄ内の液体に伝わる圧力波を分散させて減衰させることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドは、第１供給流路１４は、横断面の面積が他の部分よりも小さい第１絞り部６を有しており、第２供給流路１４ｄは、横断面の面積が他の部分よりも小さい第２絞り部６ｄを有しており、第２絞り部６ｄの横断面の面積が、第１絞り部６の横断面の面積よりも大きい構成を有していてもよい。このような構成を有しているときには、第２個別流路１２ｄの構造を第１個別流路１２の構造に近似させつつ、第２加圧部３０ｄの駆動により生じた圧力波が第２供給流路１４ｄを介して共通流路５へ逃げやすくすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドは、共通流路５は、第１吐出口８および第２吐出口８ｄの近くに位置する第１内面と、第１内面と反対側に位置する第２内面と、を有しており、第２供給流路１４ｄおよびバイパス流路１６が、第２内面に開口している構成を有していてもよい。このような構成を有しているときには、加圧パージの際に、共通流路５内の気泡が排出されやすくすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドでは、第１加圧部３０の形状と第２加圧部３０ｄの形状とが等しく、第１加圧室１０の形状と第２加圧室１０ｄの形状とが等しくてもよい。このような構成を有しているときには、第１加圧部３０の駆動より周囲へ伝わる圧力波と、第２加圧室１０ｄの駆動により周囲へ伝わる圧力波と近似させることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドでは、１つの第２個別流路１２ｄにおける第２供給流路１４ｄおよびバイパス流路１６が、１つの共通流路５に接続されている。このような構成を有しているときには、他の共通流路５内の液体を介して伝達する圧力波による影響を受け難いようにすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドは、第１個別流路１２および第２個別流路１２ｄが列を成すように配置されており、第２個別流路１２ｄは、列の両端にそれぞれ複数配置されている構成を有している。このような構成を有しているときには、列の中央部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量と、列の端部に位置する第１個別流路１２から吐出される液体の量との差異を更に小さくすることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドは、平面視において、第１方向（図の＋ｘ方向）の長さが、第１方向（図の＋ｘ方向）に垂直な第２方向（図の＋ｙ方向）の長さよりも大きい形状を有しており、列は第１方向（図の＋ｘ方向）に延びており、第２個別流路１２ｄは、前記第１方向（図の＋ｘ方向）の端部および前記第１方向（図の＋ｘ方向）と逆方向である第３方向（図の−ｘ方向）の端部に配置されている。このような構成を有しているときには、顕著な濃度斑の発生が低減できるとともに小型の液体吐出ヘッドを得ることができる。

また、本開示の液体吐出ヘッドでは、平面視において、第１個別流路１２および第１加圧部３０が、第４方向およびそれに交差する第５方向に２次元的に配置されており、第１個別流路１２および第１加圧部３０が配置された領域を囲むように、第２個別流路１２ｄおよび第２加圧部３０ｄが配置されているようにしてもよい。このような構成を有しているときには、濃度斑の発生を更に低減することができる。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜４ｍ・・・（流路部材の）プレート
５・・・共通流路
５ａ・・・開口
５ｂ・・・分岐流路
６・・・第１絞り部
６ｄ・・・第２絞り部
７・・・第１吐出流路
７ｄ・・・第２吐出流路
８・・・第１吐出口
８ｄ・・・第２吐出口
９・・・吐出口行
１０・・・第１加圧室
１０ｄ・・・第２加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・第１個別流路
１２ｄ・・・第２個別流路
１４・・・第１供給流路
１４ｄ・・・第２供給流路
１５・・・隔壁（仕切り部）
１６・・・バイパス流路
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・第１加圧部（変位素子）
３０ｄ・・・第２加圧部３０ｄ（変位素子）

Claims (11)

1. 流路部材と、複数の加圧部と、を有しており、
   前記流路部材は、１つ以上の第１個別流路および１つ以上の第２個別流路を含む複数の個別流路と、該複数の個別流路が接続された共通流路と、を有しており、
   前記第１個別流路は、第１吐出口と、第１加圧室と、前記共通流路と前記第１加圧室とを繋いでいる第１供給流路と、前記第１加圧室と前記第１吐出口とを繋いでいる第１吐出流路と、を有しており、
   前記第２個別流路は、第２吐出口と、第２加圧室と、前記共通流路と前記第２加圧室とを繋いでいる第２供給流路と、前記第２加圧室と前記第２吐出口とを繋いでいる第２吐出流路と、前記共通流路と前記第２吐出流路とを繋いでいるバイパス流路と、を有しており、
   前記複数の加圧部は、前記第１加圧室内の液体を加圧する１つ以上の第１加圧部と、前記第２加圧室内の液体を加圧する１つ以上の第２加圧部と、を含んでおり、
   前記第１個別流路および前記第２個別流路は列を成すように配置されており、前記第２個別流路は前記列の端に位置している、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 動作時に、前記第１加圧部および前記第２加圧部の両方が駆動し、前記第１吐出口から液体が吐出され、前記第２吐出口から液体が吐出されないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記バイパス流路の横断面の面積が、前記第２吐出口の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記バイパス流路の流路抵抗が前記第２供給流路の流路抵抗よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 平面視において、前記バイパス流路、前記第２加圧室および前記共通流路の３つが全て重なる部分が存在しないように、前記バイパス流路、前記第２加圧室および前記共通流路が位置していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２吐出流路の横断面の面積が、前記第１吐出流路の横断面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１供給流路は、横断面の面積が他の部分よりも小さい第１絞り部を有しており、前記第２供給流路は、横断面の面積が他の部分よりも小さい第２絞り部を有しており、該第２絞り部の横断面の面積が、前記第１絞り部の横断面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記共通流路は、前記第１吐出口および前記第２吐出口の近くに位置する第１内面と、該第１内面と反対側に位置する第２内面と、を有しており、前記第２供給流路および前記バイパス流路が、前記第２内面に開口していることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１加圧部の形状と前記第２加圧部の形状とが等しく、前記第１加圧室の形状と前記第２加圧室の形状とが等しいことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
10. 平面視において、第１方向の長さが、前記第１方向に垂直な第２方向の長さよりも大きい形状を有しており、前記列は前記第１方向に延びており、前記第２個別流路は、前記第１方向の端部および前記第１方向と逆方向である第３方向の端部に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
11. 請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを制御する制御部と、記録媒体を搬送する搬送部と、を有していることを特徴とする記録装置。

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