CN103608182B - 液体喷出头以及使用该液体喷出头的记录装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供能够减少串扰、且减小短边方向上的大小的液体喷出头以及使用该液体喷出头的记录装置。一种液体喷出头(2)，其具备：具有多个喷出孔(8)、多个加压室(10)以及歧管(5)的一方方向上较长的流路构件(4)以及多个加压部(30)，歧管(5)从流路构件(4)的一端部侧延伸至另一端部侧，并且在流路构件(4)的两端部向外部开口，且被所述一方方向上较长的隔壁(15)分隔成多个副歧管(5b)，与一个副歧管(5b)相连的加压室(10)构成沿着该副歧管(5b)排列的两个加压室列(11)，从属加压室列(11)的加压室(10)与从属同该加压室列(11)相邻的加压室列(11)的加压室(10)在所述一方方向上没有重叠。

Description

液体喷出头以及使用该液体喷出头的记录装置

技术领域

本发明涉及喷出液滴的液体喷出头以及使用该液体喷出头的记录装置。

背景技术

近年来，喷墨打印机、喷墨绘图仪等利用了喷墨记录方式的印刷装置不仅应用于面向普通消费者的打印机，还广泛利用于例如电子电路的形成、液晶显示器用的滤光器的制造、有机EL显示器的制造这样的工业用途。

在这样的喷墨方式的印刷装置中，作为印刷头搭载有用于喷出液体的液体喷出头。在这种印刷头中，通常知晓有热敏方式和压电方式，该热敏方式在填充有墨的墨流路内具备作为加压机构的加热器，利用加热器来加热墨，使其沸腾，利用在墨流路内产生的气泡对墨进行加压，使墨从墨喷出孔作为液滴喷出，该压电方式是利用位移元件使填充墨的墨流路的一部分的壁弯曲位移，机械性地对墨流路内的墨进行加压，使墨从墨喷出孔作为液滴喷出。

另外，在这样的液体喷出头中，具有串行式及线行式，该串行式使液体喷出头沿与记录介质的输送方向(副扫描方向)正交的方向(主扫描方向)移动并进行记录，该线行式在将在主扫描方向上比记录介质长的液体喷出头固定的状态下对沿着副扫描方向输送来的记录介质进行记录。线行式不需要像串行式那样使液体喷出头移动，因此具有能够高速记录这样的优点。

因此，公知有将流路构件与促动器单元层叠而构成的在一方向上较长的液体喷出头，该流路构件将多个板层叠而成，具有作为共用流路的歧管以及从歧管分别经由多个加压室相连的喷出孔，该促动器单元具有以分别覆盖所述加压室的方式设置的多个位移元件(例如，参照专利文献1。)。在该液体喷出头中，通过将分别与多个喷出孔相连的加压室呈矩阵状配置，使以覆盖所述加压室的方式设置的促动器单元的位移元件进行位移，从而使墨从各喷出孔喷出，能够在主扫描方向上以600dpi的析像度进行印刷。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-305852号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，当利用与专利文献1所述的液体喷出头相同的结构欲进一步提高析像度时，位移元件间的串扰的影响增大，有时无法获得足够的印刷精度。对于串扰，考虑通过增大位移元件之间的间隔而能够减少该串扰，但当增大间隔时液体喷出头的宽度(短边方向的大小)增大，在其影响下有可能使印刷精度变差。

因而，本发明的目的在于，提供能够减少串扰、且减小短边方向的大小的液体喷出头以及使用该液体喷出头的记录装置。

用于解决课题的手段

本发明的液体喷出头的特征在于，具备：一方方向上较长的流路构件，该流路构件具有多个喷出孔、与该多个喷出孔各自相连的多个加压室、以及向所述多个的加压室供给液体的歧管；以及多个加压部，其与该流路构件接合，使所述多个加压室的体积各自变化，在俯视所述流路构件时，所述歧管从所述流路构件的一端部侧延伸到另一端部侧，被所述一方方向较长的隔壁分隔成多个副歧管，并且在所述流路构件的两端部向外部开口，与一个所述副歧管相连的所述加压室构成沿着该副歧管排列的两个加压室列，从属所述加压室列的加压室与从属同该加压室列相邻的所述加压室列的加压室在所述一方方向上没有重叠。

另外，本发明的记录装置的特征在于，具备所述液体喷出头、相对于所述液体喷出头而搬运记录介质的搬运部以及控制所述多个加压部的控制部。

发明效果

根据本发明，能够减小串扰的影响、且减小液体喷出头的短边方向上的大小，因此能够提高印刷精度。

附图说明

图1是作为包含本发明的一实施方式所涉及的液体喷出头的记录装置的彩色喷墨打印机的概略结构图。

图2是构成图1的液体喷出头的流路构件以及压电促动器的俯视图。

图3是图2的单点划线所包围的区域的放大图，是为了说明而省略一部分流路的图。

图4是图2的单点划线所包围的区域的放大图，是为了说明而省略一部分流路的图。

图5是沿着图3的V-V线的纵剖视图。

图6是图2的单点划线所包围的区域的放大图，是为了说明而省略一部分流路的图。

图7的(a)是沿着图6的液体喷出头的X-X线的歧管的纵剖视图，(b)～(f)是其他液体喷出头的相同部位的歧管的纵剖视图。

图8是本发明的另一实施方式的液体喷出头所使用的歧管板的俯视图。

具体实施方式

图1是作为包含本发明的一实施方式所涉及的液体喷出头的记录装置的彩色喷墨打印机的概略结构图。该彩色喷墨打印机1(以下为打印机1)具有四个液体喷出头2。这些液体喷出头2沿着印刷用纸P的输送方向排列，固定于打印机1的液体喷出头2在从图1的跟前朝向进深的方向上具有细长的长条形状。有时将该较长的方向称作长边方向。

在打印机1上，沿着印刷用纸P的输送路径依次设有供纸单元114、输送单元120以及承纸部116。另外，在打印机1上设有用于控制液体喷出头2、供纸单元114等打印机1的各部的动作的控制部100。

供纸单元114具有能够收容多张印刷用纸P的用纸收容盒115与供纸辊145。供纸辊145能够将层叠且收容于用纸收容盒115的印刷用纸P中的、位于最上部的印刷用纸P一张张地送出。

在供纸单元114与输送单元120之间，沿着印刷用纸P的输送路径，配置有两对进给辊118a、118b以及119a、119b。从供纸单元114送出的印刷用纸P被这些进给辊引导，进一步向输送单元120输送。

输送单元120具有环形的输送带111与两个输送带托辊106以及107。输送带111卷绕在输送带托辊106以及107上。输送带111在卷绕于两个输送带托辊上时被调整为以规定的张力张紧那样的长度。由此，输送带111沿着分别包含两个输送带托辊的共用切线在内的彼此平行的两个平面，无松弛地张紧。上述两个平面中的、靠近液体喷出头2一方的平面是输送印刷用纸P的输送面127。

如图1所示，在输送带托辊106上连结有输送马达174。输送马达174能够使输送带托辊106向箭头A的方向旋转。另外，输送带托辊107能够与输送带111连动而旋转。因而，通过驱动输送马达174而使输送带托辊106旋转，从而输送带111沿着箭头A的方向进行移动。

在输送带托辊107的附近，夹紧辊138与受夹棍139以夹持输送带111的方式配置。夹紧辊138被未图示的弹簧向下方施力。夹紧辊138下方的受夹棍139隔着输送带111支承被向下方施力的夹紧辊138。两个夹紧辊被设置为能够旋转，与输送带111连动而旋转。

从供纸单元114向输送单元120送出的印刷用纸P被夹入夹紧辊138与输送带111之间。由此，印刷用纸P被按压于输送带111的输送面127，并固定在输送面127上。然后，印刷用纸P随着输送带111的旋转而被向设置有液体喷出头2的方向输送。需要说明的是，也可以对输送带111的外周面113实施基于粘着性的硅树脂的处理。由此，能够使印刷用纸P可靠地固定在输送面127上。

液体喷出头2在下端具有头主体2a。头主体2a的下表面成为设有喷出液体的多个喷出孔的喷出孔面4-1。

从设于一个液体喷出头2的液体喷出孔8喷出相同颜色的液滴(墨)。从未图示的外部液体罐向各液体喷出头2供给液体。各液体喷出头2的液体喷出孔8在液体喷出孔面开口，沿一方向(与印刷用纸P平行且与印刷用纸P的输送方向正交的方向，液体喷出头2的长边方向)等间隔地配置，因此能够沿一方向无间隙地进行印刷。从各液体喷出头2喷出的液体的颜色例如分别是品红色(M)、黄色(Y)、青色(C)以及黑色(K)。各液体喷出头2以液体喷出头主体13的下表面与输送带111的输送面127之间隔着微小间隙的方式配置。

利用输送带111输送来的印刷用纸P通过液体喷出头2与输送带111之间的间隙。此时，从构成液体喷出头2的头主体2a朝向印刷用纸P的上表面喷出液滴。由此，在印刷用纸P的上表面，形成基于被控制部100存储的图像数据的彩色图像。

在输送单元120与承纸部116之间，配置有剥离板140与两对进给辊121a、121b以及122a、122b。被印刷有彩色图像的印刷用纸P被输送带111向剥离板140输送。此时，印刷用纸P被剥离板140的右端从输送面127剥离。然后，印刷用纸P由进给辊121a～122b向承纸部116送出。这样，印刷结束的印刷用纸P依次向承纸部116输送，在承纸部116处重叠。

需要说明的是，在位于印刷用纸P的输送方向上的最上游侧的液体喷出头2与夹紧辊138之间设置有纸面传感器133。纸面传感器133由发光元件以及受光元件构成，能够检测输送路径上的印刷用纸P的前端位置。纸面传感器133的检测结果被传送至控制部100。控制部100能够根据从纸面传感器133传送来的检测结果以使印刷用纸P的输送与图像的印刷同步的方式控制液体喷出头2、输送马达174等。

接下来，对本发明的液体喷出头2进行说明。图2是头主体2a的俯视图。图3是图2的由单点划线所包围的区域的放大图，是为了说明而省略一部分流路的俯视图。图4以及图6是图2的由单点划线所包围的区域的放大图，是为了说明而省略与图3不同的一部分流路的图。需要说明的是，在图3、图4以及图6中，为了方便理解附图，将位于压电促动器基板21的下方应利用虚线来描绘的节流孔6、喷出孔8、加压室10等利用实线来描绘。图5是沿着图3的V-V线的纵剖视图。另外，对于图4的喷出孔8，为了容易理解其位置，描绘得大于实际直径。

液体喷出头2除了头主体2a以外还包含贮存器、金属制的壳体。另外，头主体2a包含流路构件4以及组入有位移元件(加压部)30的压电促动器基板21。

构成头主体2a的流路构件4具备作为共用流路的歧管5、与歧管5相连的多个加压室10以及分别与多个加压室10相连的多个喷出孔8，加压室10在流路构件4的上表面开口，流路构件4的上表面成为加压室面4-2。另外，在流路构件4的上表面具有与歧管5相连的开口5a，从该开口5a供给液体。

另外，在流路构件4的上表面接合有包含位移元件30的压电促动器基板21，以各位移元件30位于加压室10上的方式设置。另外，在压电促动器基板21上连接有用于向各位移元件30供给信号的FPC(FlexiblePrintedCircuit)等信号传递部92。在图2中，为了理解两个信号传递部92与压电促动器基板21相连的状态，将信号传递部92的与压电促动器21连接的附近的外形通过虚线来表示。与压电促动器21电连接的、形成于信号传递部92的电极呈矩形状配置在信号传递部92的端部。两个信号传递部92以各自的端到达压电促动器基板21的短边方向上的中央部的方式进行连接。两个信号传递部92从中央部朝向压电促动器基板21的长边延伸。

另外，在信号传递部92安装有驱动器IC。驱动器IC以按压于金属制的壳体的方式安装，驱动器IC的热量传递至金属制的壳体，向外部扩散。驱动压电促动器基板21上的位移元件30的驱动信号在驱动器IC内生成。控制驱动信号的生成的信号由控制部100生成，从信号传递部92的同与压电促动器基板21连接的一侧相反的一侧的端输入。在控制部100与信号传递部92之间，根据需要在液体喷出头2内设置电路基板等。

头主体2a具有一个平板状的流路构件4以及一个包含连接于流路构件4上的位移元件30的压电促动器基板21。压电促动器基板21的平面形状是长方形，以该长方形的长边沿着流路构件4的长边方向的方式将该压电促动器基板21配置在流路构件4的上表面。

在流路构件4的内部形成有两个歧管5。歧管5具有从流路构件4的长边方向的一端部侧向另一端部侧延伸的细长形状，在歧管5的两端部形成有在流路构件4的上表面开口的歧管的开口5a。通过从歧管5的两端部向流路构件4供给液体，能够不易产生液体的供给不足。另外，与从歧管5的一端供给的情况相比较，液体在歧管5中流动时产生的压力损失之差能够变为大约一半，因此能够减少液体喷出特性的差异。另外，为了减少压力损失之差，也考虑在歧管5的中央附近进行供给或者从歧管5的中途的多个位置进行供给，但若采用这样的结构则液体喷出头2的宽度变大，配置有喷出孔8的液体喷出头2的向宽度方向的展宽也变大。这样的配置导致将液体喷出头2安装于打印机1的角度的偏差给印刷结果带来的影响变大，因此是不优选的。在使用多个液体喷出头2进行印刷的情况下，由于多个液体喷出头2整体的配置有喷出孔8的面积扩展，因此多个液体喷出头2的相对位置的精度给印刷结果带来的影响也变大，因此是不优选的。因此，为了减小液体喷出头2的宽度、且减少压力损失之差，优选从歧管5的两端进行供给。

另外，歧管5的至少与加压室10相连的区域、即长度方向上的中央部分由在宽度方向上空出间隔地设置的隔壁15分隔。隔壁15在与加压室10相连的区域、即长度方向上的中央部分具有与歧管5相同的高度，将歧管5彻底地分隔成多个副歧管5b。通过这样设置，能够以在俯视观察时与隔壁15重叠的方式设置喷出孔8以及从喷出孔8与加压室10相连的下倾路(descender)。

在图2中，歧管5的除了两端部的整体由隔壁15分隔。除这样以外，也可以除两端部中的任一端部以外由隔壁15分隔。另外，也可以仅不对在流路构件4的上表面开口的开口5a附近进行分隔，在从开口5a朝向流路构件4的深度方向之间设置隔壁。无论如何，通过具有未分隔的部分，能够降低流路阻力，增大液体的供给量，因此，优选不将歧管5的两端部用隔壁15分隔。对于这样的实施方式，之后进一步详述。

有时将分成多个的部分的歧管5称作副歧管5b。在本实施例中，歧管5独立地设置两根，在各自的两端部设有开口5a。另外，在一个歧管5中设有七个隔壁15，分成八个副歧管5b。副歧管5b的宽度大于隔壁15的宽度，由此能够向副歧管5b流入较多液体。另外，七个隔壁15越靠近宽度方向的中央长度越长，在歧管5的两端，越是靠近宽度方向中央的隔壁15，隔壁15的端越接近歧管5的端。由此，取得由歧管5的外侧的壁产生的流路阻力与由隔壁15产生的流路阻力之间的平衡，能够减少各副歧管5b中的、与加压室10相连的部分即形成有独立供给流路14的区域的端的液体的压力差。该独立供给流路14的压力差与向加压室10内的液体施加的压力差相关，因此，若减少独立供给流路14的压力差，则能够降低喷出差异。

在副歧管5b之中，以沿宽度方向横切的方式设置支承体17。支承体17将相邻的隔壁15彼此相连，将最端的隔壁15与歧管5的壁相连。详细内容见后述，流路构件4做成层叠平板状的板4a～41而成的结构，在制造工序中，支承体17支承成为隔壁15的分隔部。通过做成这样的结构，仅将板4a～41层叠就能够制作组入有各流路的流路构件4。在本实施方式中，若没有支承体17，则分隔部会从板脱落。另外，虽然若形成分隔部的长度方向上的端部与板相连的结构则分隔部不会脱落，但若没有支承体17，则在一方向上较长的成为分隔出副歧管5b的隔壁15的分隔部在副歧管5b的宽度方向上容易产生层叠偏差。因此，通过以沿着宽度方向横切副歧管5b的方式设置支承体17，能够提高流路的制造精度。

流路构件4在二维上扩展形成有多个加压室10。加压室10是具有角部被实施了倒角的大致菱形的平面形状的中空区域。

加压室10经由独立供给流路14与一个副歧管5b相连。以沿着一个副歧管5b的方式设置的、与该副歧管5b相连的加压室10的列、即加压室列11在副歧管5b的两侧各设置一列，合计设置两列。因而，相对于一个歧管5，设置16列的加压室列11，在头主体2a上整体设有32列的加压室列11。各加压室列11中的加压室10的长边方向上的间隔相同，例如成为37.5dpi的间隔。

在各加压室列11的端设置虚拟加压室16。该虚拟加压室16与歧管5相连，但不与喷出孔8相连。另外，在32列的加压室列11的外侧设有虚拟加压室16呈直线状排列而成的虚拟加压室列。该虚拟加压室16与歧管5以及喷出孔8中的任一者均不相连。利用这些虚拟加压室，使自端起的内侧的一个加压室10的周围的结构(刚性)与其他加压室10的结构(刚性)接近，从而能够减少液体喷出特性的差异。需要说明的是，由于周围的结构差异的影响对距离较近、在长度方向上相邻的加压室10的影响较大，因此在长度方向上的两端设置虚拟加压室。关于宽度方向，由于影响比较小，因此仅在靠近头主体2a的端设置。由此，能够减小头主体2a的宽度。

与一个歧管5相连的加压室10配置在构成沿着矩形状的压电促动器基板21的各外边的行及列的格子上。由此，从压电促动器基板21的外边等距离地配置形成在加压室10之上的独立电极25，因此在形成独立电极25时，压电促动器基板21不易产生变形。在接合压电促动器基板21与流路构件4时，若该变形较大则对靠近外边的位移元件30施加有应力，有可能使位移特性产生差异，但通过减少变形，能够降低该差异。另外，由于在最靠近外边的加压室列11的外侧设置虚拟加压室16的虚拟加压室列，能够更加不易受到变形的影响。属于加压室列11的加压室10等间隔地配置，与加压室列11对应的独立电极25也等间隔地配置。加压室列11在短边方向上等间隔地配置，与加压室列11对应的独立电极25的列也在短边方向上等间隔地配置。由此，特别能够消除串扰的影响变大的部位。

在本实施例中，加压室10呈格子状配置，但也可以以使角部位于属于相邻的加压室列11的加压室10之间的方式配置为锯齿状。这样的话，属于相邻加压室列11的加压室10之间的距离进一步变长，因此能够进一步抑制串扰。

无论将加压室列11如何排列，在俯视流路构件4时，属于一个加压室列11的加压室10以与属于相邻的加压室列11的加压室10在液体喷出头2的长边方向上不重叠的方式配置，从而能够抑制串扰。另一方面，当加压室列11之间的距离变大时，液体喷出头2的宽度变大，因此液体喷出头2相对于打印机1的设置角度的精度、使用多个液体喷出头2时的液体喷出头2的相对位置的精度给印刷结果带来的影响增大。因此，通过使隔壁15的宽度小于副歧管5b，能够减少上述精度给印刷结果带来的影响。

与一个副歧管5b相连的加压室10形成两列的加压室列11，与属于一个加压室列11的加压室10相连的喷出孔8形成一个喷出孔列9。与属于两列的加压室列11的加压室10相连的喷出孔8分别在副歧管5b的不同侧开口。在图4中，在隔壁15设有两列的喷出孔列9，属于各个喷出孔列9的喷出孔8经由加压室10与靠近喷出孔8一侧的副歧管5b相连。若配置为与经由加压室列11与相邻的副歧管5b相连的喷出孔8在液体喷出头2的长边方向上不重叠，则能够抑制将加压室10与喷出孔8相连的流路间的串扰，因此能够进一步减少串扰。若将加压室10与喷出孔8相连的流路整体配置为在液体喷出头2的长边方向上不重叠，则能够进一步减少串扰。

另外，通过配置为在俯视下加压室10与副歧管5b重叠，能够减小液体喷出头2的宽度。通过使重叠的面积相对于加压室10的面积的比例为80％以上、进一步为90％以上，能够进一步减小液体喷出头2的宽度。另外，加压室10与副歧管5b重叠的部分的加压室10的底面与没有与副歧管5b重叠的情况相比较，刚性变低，由于这两者之差有可能使喷出特性存在差异。通过使与副歧管5b重叠的加压室10的面积相对于加压室10整体的面积的比例在各加压室10大致相同，能够减少构成加压室10的底面的刚性改变所带来的喷出特性的差异。在此，大致相同是指面积的比例之差为10％以下，特别是5％以下。

利用与一个歧管5相连的多个加压室10来构成加压室组，由于歧管5具有两个，因此加压室组具有两个。各加压室组内的与喷出相关的加压室10的配置相同，成为在短边方向上平行移动的配置。这些加压室10虽然在流路构件4的上表面的与压电促动器基板21对置的区域具有加压室组之间等的间隔稍微变宽的部分，但这些加压室10排列在流路构件4的上表面的大致整面上。也就是说，由这些加压室10形成的加压室组占有与压电促动器基板21大致相同的大小以及形状的区域。另外，各加压室10的开口通过在流路构件4的上表面接合压电促动器基板21而被堵塞。

从加压室10的与连结独立供给流路14的角部对置的角部伸出有与在流路构件4的下表面的喷出孔面4-1开口的喷出孔8相连的下倾路。下倾路在俯视下向远离加压室10的方向延伸。更具体来说，以相对于沿着加压室10的较长对角线的方向远离且相对于该方向向左右偏移的方式延伸。由此，加压室10能够形成各加压室列11内的间隔成为37.5dpi的格子状的配置，且喷出孔8能够整体以1200dpi的间隔进行配置。

换言之，当以相对于与流路构件4的长边方向平行的假想直线正交的方式投影喷出孔8时，在图4所示的假想直线的R的范围内，与各歧管5相连的16个喷出孔8、全部32个的喷出孔8形成1200dpi的等间隔。由此，通过向所有的歧管5供给相同颜色的墨，作为整体而言在长边方向上能以1200dpi的析像度形成图像。另外，与一个歧管5相连的一个喷出孔8在假想直线的R的范围内形成600dpi的等间隔。由此，通过向各歧管5供给不同颜色的墨，作为整体而言能够在长边方向上以600dpi的析像度形成双色图像。在这种情况下，若使用两个液体喷出头2，则能够以600dpi的析像度来形成四色图像，与使用能够以600dpi印刷的液体喷出头相比，印刷精度升高，印刷的调整也能变简单。

此外，在液体喷出头2，为了使来自歧管的开口5a的液体的供给稳定，也可以在流路构件4接合贮存器。通过在贮存器设有使从外部供给来的液体分支、与两个开口5a相连的流路，能够向两个开口稳定地供给液体。通过使分支后的流路长度大致相等，从而从外部供给的液体的温度变动、压力变动以较少的时间差向歧管5的两端的开口5a传递，因此能够进一步减少液体喷出头2内的液滴的喷出特性的差异。通过在贮存器中设置缓冲器，能够进一步使液体的供给稳定化。另外，为了抑制液体中的异物等朝向流路构件4的情况，也可以设置过滤器。另外，为了使朝向流路构件4的液体的温度稳定化，也可以设置加热器。

在压电促动器基板21的上表面中的与各加压室10对置的位置分别形成有独立电极25。独立电极25比加压室10小一圈，包含具有与加压室10大致相似形状的独立电极主体25a以及从独立电极主体25a引出的引出电极25b，独立电极25与加压室10相同，构成独立电极列以及独立电极组。另外，在压电促动器基板21的上表面形成有经由通孔与共用电极24电连接的共用电极用表面电极28。共用电极用表面电极28在压电促动器基板21的短边方向的中央部以沿着长边方向的方式形成两列，并且，在长边方向的端附近沿着短边方向形成有一列。图示的共用电极用表面电极28在直线上间断形成，但也可以在直线上连续形成。

优选的是，压电促动器基板21如后所述在将形成有通孔的压电陶瓷层21a、共用电极24、压电陶瓷层21b层叠并烧制之后，在同一工序中形成独立电极25以及共用电极用表面电极28。由于如下原因，独立电极25在烧制后形成，上述原因是指：独立电极25与加压室10间的位置偏差给喷出特性带来较大影响；在形成独立电极25后进行烧制时，有可能在压电促动器基板21上产生翘曲，当将产生了翘曲的压电促动器基板21与流路构件4接合时，成为对压电促动器基板21施加有应力的状态，在该影响下有可能产生位移偏差，因此，独立电极25在烧制后形成。由于下述原因，独立电极25与共用电极用表面电极28在同一工序中形成，上述原因是指：共用电极用表面电极28也同样地可能产生翘曲；在将共用电极用表面电极28与独立电极25同时形成时位置精度变高，也能简化工序，因此，独立电极25与共用电极用表面电极28在同一工序中形成。

在烧制这样的压电促动器基板21时可能产生的、由烧制收缩引起的通孔的位置偏差主要在压电促动器基板21的长边方向上产生，因此，共用电极用表面电极28设置在具有偶数个的歧管5的中央，换言之设置在压电促动器基板21的短边方向的中央，通过将共用电极用表面电极28设为在压电促动器基板21的长边方向上较长的形状，能够抑制通孔与共用电极用表面电极28因位置偏差而无法电连接的情况。

在压电促动器基板21，以从压电促动器基板21的两个长边侧分别朝向中央的方式配置并接合两张信号传递部92。此时，在压电促动器基板21a的引出电极25b以及共用电极用表面电极28之上，分别形成连接电极26以及共用电极用连接电极来进行连接，从而连接变得容易。另外，此时，若共用电极用表面电极28以及共用电极用连接电极的面积大于连接电极26的面积，则信号传递部92的端部(前端以及压电促动器基板21的长边方向的端)处的连接能够被共用电极用表面电极28上的连接加强，因此信号传递部92能不易自端剥离。

另外，喷出孔8配置在避开与配置于流路构件4下表面侧的歧管5对置的区域的位置。此外，喷出孔8配置在流路构件4下表面侧的与压电促动器基板21对置的区域内。这些喷出孔8作为一个组而占有与压电促动器基板21大致相同的大小以及形状的区域，通过使对应的压电促动器基板21的位移元件30位移而能够从喷出孔8喷出液滴。

头主体2a所包含的流路构件4具有层叠多个板而成的层叠结构。这些板从流路构件4的上表面起依次是腔板4a、基板4b、孔眼(节流孔)板4c、供给板4d、歧管板4e～4j、盖板4k以及喷嘴板41。在这些板上形成有多个孔。通过使各板的厚度为10～300μm左右，能够提高形成的孔的形成精度。各板以使这些孔彼此连通而构成独立流路12以及歧管5的方式对位并层叠。头主体2a具有如下结构：加压室10位于流路构件4的上表面，歧管5位于内部的下表面侧，喷出孔8位于下表面，构成独立流路12的各部分在不同位置处彼此接近配置，经由加压室10将歧管5与喷出孔8相连。

对形成于各板的孔进行说明。在这些孔中，具有如下结构。第一是形成于腔板4a的加压室10。第二是构成从加压室10的一端与歧管5相连的独立供给流路14的连通孔。该连通孔形成在从基板4b(详细来说为加压室10的入口)到供给板4c(详细来说为歧管5的出口)的各板上。需要说明的是，该独立供给流路14包含形成于孔眼板4c上的、流路的截面积变小的部位、即节流孔6。

第三是构成从加压室10的另一端与喷出孔8连通的流路的连通孔，该连通孔在以下的记载中被称作下倾路(部分流路)。下倾路形成在从基板4b(详细来说为加压室10的出口)到喷嘴板41(详细来说为喷出孔8)的各板上。喷嘴板41的孔作为喷出孔8而开设在流路构件4的外部开口的直径例如为10～40μm、且朝向内部而直径变大的孔。第四是构成歧管5的连通孔。该连通孔形成于歧管板4e～4j。在歧管板4e～4j上以留下成为隔壁15的分隔部的方式形成有孔，从而构成副歧管5b。各歧管板4e～4j中的分隔部处于通过进行了半蚀刻的支承部17与各歧管板4e～4j相连的状态。关于支承体17的配置等详见后述。第一～第四的连通孔彼此相连，构成从来自歧管5的液体的流入口(歧管5的出口)到喷出孔8的独立流路12。供给到歧管5的液体通过以下的路径从喷出孔8喷出。首先，从歧管5朝向上方，进入独立供给流路14，到达节流孔6的一端部。接下来，沿着节流孔6的延伸方向水平前进，到达节流孔6的另一端部。从该处朝向上方，到达加压室10的一端部。进而，沿着加压室10的延伸方向水平前进，到达加压室10的另一端部。从该处稍微沿水平方向移动，并且主要朝向下方，向在下表面开口的喷出孔8前进。

在图3中，包含成为节流孔6的部位的孔眼板4c的孔(以下有时称作成为节流孔的孔)和与同一副歧管5b相连的其他加压室10稍微重叠。包含成为节流孔6的部位的孔眼板4c的孔若配置为在俯视的情况下包含在副歧管5b内，则能够更密集地配置节流孔6，因此优选。但是，这样的话，成为节流孔的孔整体配置于副歧管5b上的、与其他部位相比厚度较薄的部分，容易受到来自周围的影响。该情况下，若使成为节流孔的孔与该成为节流孔的孔直接相连的加压室10以外的加压室10在俯视时不重叠，则成为节流孔的孔即使配置在副歧管5b上的较薄部位也不易直接受到来自位于正上方的其他加压室10的振动的影响。这样的配置在具有成为节流孔的孔的板(由多个板构成的情况下，该多个板中的最上方的板)与具有成为加压室10的孔的板(由多个板构成的情况下，该多个板中的最下方的板)之间的板是1张、容易传递振动的情况下，特别必要。另外，在具有成为节流孔的孔的板与具有成为加压室10的孔的板之间的距离为200μm以下、进一步为100μm以下的情况下，特别必要。为了配置为不重叠，例如将图3所示的成为节流孔的孔的角度向沿着头主体2a的短边方向的方向靠近或者使成为节流孔的孔的一端稍微变短等即可。

压电促动器基板21具有由作为压电体的两张压电陶瓷层21a、21b构成的层叠结构。这些压电陶瓷层21a、21b分别具有20μm左右的厚度。压电促动器基板21的从压电陶瓷层21a的下表面到压电陶瓷层21b的上表面的厚度为40μm左右。压电陶瓷层21a、21b中的任一层皆以横跨多个加压室10的方式延伸。这些压电陶瓷层21a、21b例如由具有强介电性的钛酸锆酸铅(PZT)系的陶瓷材料构成。

压电促动器基板21具有由Ag-Pd系等金属材料构成的共用电极24以及由Au系等金属材料构成的独立电极25。独立电极25如上所述包含配置于压电促动器基板21的上表面的与加压室10对置的位置的独立电极主体25a以及从该处引出的引出电极25b。在引出电极25b的一端的、引出到与加压室10对置的区域外的部分形成有连接电极26。连接电极26例如由包含玻璃料的银-钯构成，以厚度为15μm左右形成为凸状。另外，连接电极26与设于信号传递部92的电极电接合。详细内容见后述，从控制部100通过信号传递部92向独立电极25供给驱动信号。驱动信号与印刷介质P的输送速度同步地以恒定周期供给。

共用电极24在压电陶瓷层21a与压电陶瓷层21b之间的区域形成在面方向的大致整面内。即，共用电极24以覆盖与压电促动器基板21对置的区域内的全部加压室10的方式延伸。共用电极24的厚度是2μm左右。共用电极24经由形成于压电陶瓷层21b的通孔与在压电陶瓷层21b上形成在避开由独立电极25构成的电极组的位置的共用电极用表面电极28相连并接地，被保持为接地电位。共用电极用表面电极28与多个独立电极25同样地，与信号传递部92上的其它电极连接。

需要说明的是，如后所述，通过向独立电极25选择性供给规定的驱动信号，从而与该独立电极25对应的加压室10的体积改变，对加压室10内的液体施加有压力。由此，通过独立流路12，从对应的液体喷出口8喷出液滴。即，压电促动器基板21上的与各加压室10对置的部分相当于与各加压室10以及液体喷出口8对应的独立的位移元件30。也就是说，在由两张压电陶瓷层21a、21b构成的层叠体中，将图5所示那样的结构作为单位结构的压电促动器的位移元件30通过位于加压室10正上方的振动板21a、共用电极24、压电陶瓷层21b、独立电极25组入各加压室10，在压电促动器基板21中包含多个作为加压部的位移元件30。需要说明的是，在本实施方式中，通过一次喷出动作从液体喷出口8喷出的液体的量为1.5～4.5p1(皮升)左右。

多个独立电极25为了能够独立地控制电位，分别经由信号传递部92以及布线独立地与控制部100电连接。在将独立电极25形成为与共用电极24不同的电位并相对于压电陶瓷层21b向其极化方向施加电场时，被施加该电场的部分作为因压电效果而发生变形的活性部而发挥作用。在该结构中，当以使电场和极化为同方向的方式利用控制部100使独立电极25相对于共用电极24为正或者负的规定电位时，被压电陶瓷层21b的电极夹持的部分(活性部)在面方向上收缩。另一方面，非活性层的压电陶瓷层21a不受电场的影响，因此不产生自发性收缩而限制活性部的变形。其结果是，在压电陶瓷层21b与压电陶瓷层21a之间朝向极化方向的变形产生差异，压电陶瓷层21b以向加压室10侧凸出的方式变形(单层压电变形)。

本实施方式中的实际的驱动顺序是：预先将独立电极25形成为比共用电极24高的电位(以下称为高电位)，每当存在喷出要求时，将独立电极25暂时形成为与共用电极24相同的电位(以下称为低电位)，然后在规定的时机再次形成为高电位。由此，在独立电极25成为低电位的时机，压电陶瓷层21a、21b返回到初始形状，加压室10的容积与初始状态(两电极的电位不同的状态)相比增加。此时，向加压室10内施加负压，液体被从歧管5侧向加压室10内吸入。然后在再次将独立电极25形成为高电位的时机，压电陶瓷层21a、21b以朝向加压室10侧凸出的方式变形，由于加压室10的容积减少而使加压室10内的压力成为正压，对液体的压力上升，喷出液滴。也就是说，为了喷出液滴，向独立电极25供给包含以高电位为基准的脉冲的驱动信号。该脉冲宽度理想的是压力波从节流孔6到喷出孔8传播的时间长度AL(AcousticLength)。于是，加压室10内部从负压状态向正压状态反转时两者的压力加在一起，能够以更强的压力喷出液滴。

另外，在灰度印刷中，利用从喷出孔8连续喷出的液滴的数量、即通过液滴喷出次数调整的液滴量(体积)进行灰度表现。因此，从与指定的点区域对应的喷出孔8连续地进行与指定的灰度表现对应的次数的液滴喷出。通常，在连续进行液体喷出的情况下，优选使为了喷出液滴而供给的脉冲与脉冲的间隔为AL。由此，能够使在先喷出的液滴在喷出时产生的压力的残余压力波与在后喷出的液滴在喷出时产生的压力的压力波的周期一致，能够将这些压力波重叠而增加用于喷出液滴的压力。需要说明的是，考虑到这种情况下在后喷出的液滴的速度变快，但该情况下多个液滴的着落点变近，是优选的。

需要说明的是，在本实施方式中，作为加压部而示出使用了压电变形的位移元件30，但并不限于此，只要是能够使加压室10的体积发生变化的结构、即能够对加压室10中的液体进行加压的结构，也可以是其他结构，例如也可以是对加压室10中的液体进行加热而使其沸腾、从而产生压力的结构或者使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)的结构。

在此，进一步对液体喷出头2中的支承体17的配置进行详述。图7(a)是上述的液体喷出头2的图6的X-X线的副歧管5b的纵剖视图。在图7(a)中，图的左边是歧管的开口5a侧，右边是副歧管5b的中央侧。即，在图7(a)中，基本上液体从左向右流动(有时也会根据印刷的图像而改变，但平均来说，液体朝向副歧管5b的中央流动)。液体喷出头2的流路构件4形成被隔壁15分隔出多个副歧管5b的结构。在层叠板4a～4k来制造流路构件4时，在歧管板4e～4j上形成有成为副歧管5b的孔、成为隔壁15的分隔部。在仅考虑流路的结构的情况下，分隔部处于没有与周围相连的状态，因此在形成成为副歧管5b的孔之后，在该状态下无法保持分隔部。因此，设置将分隔部与歧管板4e～4j相连或者将分隔部彼此相连的支承体17。即便不是像本实施方式这样没有支承体17就无法保持分隔部这样的结构，也难以高精度地制作利用在一方向上较长的隔壁15分隔的副歧管5b，但通过设置这样的支承体17，能够高精度地确定成为隔壁15的分隔部的位置。

支承体17在副歧管5b内会阻碍液体的流动，因此优选进行考虑到液体的流动的配置，减少其影响。具体来说，副歧管5b的长度方向上分开地配置位于比副歧管5b的层叠方向的高度的一半靠上侧的支承体17与位于比一半靠下侧的支承体17。在本实施方式中，分成上侧支承体组19a以及下侧支承体组19b地配置，该上侧支承体组19a从上方起具备第1～第3歧管板4e～4g，从上方起排列有第1～第3支承体17，该下侧支承体组19b从上方起具备第4～第6歧管板4h～4j，从上方起排列有第4～第6支承体17。在本实施方式中，歧管板4e～4g的厚度相同，但在厚度不同的情况下，根据支承体17的层叠方向上的高度，分清属于上侧支承体组19a与下侧支承体组19b中的哪组地将它们分离地设于副歧管5b的长度方向上即可。例如，在从上方起层叠有100μm、100μm、50μm、100μm、150μm的歧管板的情况下，将成为上半部的250μm的从上方起三层的支承体作为上侧支承体组，将成为下半部的250μm的从下方起两层的支承体作为下侧支承体组，将它们分开配置即可。

另外，如后所述，即便在对支承体17进行半蚀刻等而支承体17与具备该支承体17的歧管板4e～4j的高度不同的情况下，通过支承体17在副歧管5b内的高度分清属于上侧支承体组19a与下侧支承体组19b中的哪组地进行配置即可。此外，在存在位于层叠方向中央的支承体17的情况下，此处的支承体17分类到上侧支承体组19a与下侧支承体组19b中的哪组进行配置都可以。更优选的是，认为位于层叠方向中央的支承体17的重心若靠近副歧管5b的上表面则属于上侧支承体组19a、若靠近下表面则属于下侧支承体组19b即可。若最厚的歧管板的厚度比副歧管5b的高度的1/3薄，则能够提高作为液体的流动部分而保留的流路的高度，能够减小流路阻力。

在本实施方式中，分成上侧支承体组19a与下侧支承体组19b进行配置，另外，具备夹着该上侧支承体组19a与下侧支承体组19b的边界而相邻的从左边起第3个与第4个支承体17的歧管板4e、4j彼此不直接层叠，而在它们之间层叠有其他歧管板4f～4i。由此，液体在具有上侧支承体组19a的地方在副歧管5b的下侧半部流动，在具有下侧支承体组19b的地方在副歧管5b的上侧半部流动。另外，在上述边界处，夹着该边界而相邻的支承体17彼此在层叠方向上分离配置，因此，液体通过上述支承体17之间，从上侧向下侧或者从下侧向上侧顺畅地流动，因此能够减小副歧管5b的流路阻力。

当副歧管5b的流路阻力较小时，不易产生液体的供给不足，能够稳定的印刷。另外，当流路阻力较小时，在副歧管5b的长度方向上，对独立供给流路14施加的压力差变小，其结果是，能够减小液体喷出头2的长度方向上的喷出速度、喷出量等喷出特性的差异，能够提高印刷精度。

当歧管板的张数是3张以下时，位于层叠方向中央的歧管板的影响增大，液体的流动变得不顺畅，因此，优选使歧管板的张数为4张以上。就歧管板而言，只要使歧管板的层叠的边界位于副歧管5b的层叠方向上的中央部，则在上侧支承体组19a以及下侧支承体组19b这两方能够确保副歧管5b的高度一半的流路。

在夹着上侧支承体组19a与下侧支承体组19b的边界相邻的两个支承体17彼此之间分离副歧管5b的层叠方向上的高度一半以上的情况下，在支承体组19整体范围内连续地确保副歧管5b的高度的大约一半的、不存在支承体17的流路，因此使液体的流动变得更顺畅，能够进一步减小流路阻力。在此，支承体17彼此的层叠方向上的距离更详细来说是指位于上侧的支承体17的下端与位于下侧的支承体17的上端之间的层叠方向上的距离。

在上侧支承体组19a中，具备在副歧管5b的长度方向上相邻的支承体17的歧管板4e～4g直接层叠，从而使作为主要的液体流路的副歧管5b的下侧流路的高度改变情况变得顺利，因此能够进一步减小流路阻力。该情况对于下侧支承体组19b也是相同的。需要说明的是，在此直接层叠是关于歧管板4e～4j的关系进行描述，并非是说在它们之间没有夹着粘合层等。

从以上观点出发，如图7(a)所示，从副歧管5b的长度方向的一方起依次从上方排列第3、第2、第1、第6、第5、第4支承体17即可。通常来说，在上侧支承体组19a，将支承体17以朝向支承体组19的中央而位置依次增高的方式配置，在下侧支承体组19b，将支承体17以朝向支承体组19的中央而位置依次降低的方式配置即可。

在各歧管板4e～4j，与一个分隔部相连的支承体17连接于不同的位置，从而在制造分隔部的工序等中不易发生弯曲，流路的精度不易降低。为了获得该效果，在相邻的隔壁15中变更设有与相同位置相连的支承体17的歧管板4e～4j。具体来说，例如在一个副歧管5b中的支承体17的配置从上方起依次为第3、第2、第1、第6、第5、第4的情况下，在相邻的副歧管5b相反地从上方起依次为第4、第5、第6、第1、第2、第3即可。

在副歧管5b的长度方向上相邻的支承体17彼此也可以一部分在层叠方向上重叠，但若分离配置，则液体的流动更顺畅。一个副歧管5b中的、支承体17之间的副歧管5b的长度方向上的距离较大的情况下，流动更顺畅，但另一方面，若空出间隔过大，则其结果是在一个歧管板4e～4j中，与一个分隔部相连的支承体17之间的距离也变大，有可能无法充分保持位置。上述那样的支承体17的配置在副歧管5b中的支承体17的距离在一定程度上接近的情况下更有用。具体来说，在距离处于以副歧管5b中的液体的流动速度流动0.01秒以内的位置的情况下是有用的。例如在进行200mPa·s左右以下的液体喷出最多的印刷时的副歧管5b内的液体的流速为0.2m/s的情况下，在配置于以该速度流动0.01秒的距离、即2mm(=0.2[m/s]×0.01[s])左右以内的情况下特别有用。当在此之上进一步远离配置时，在流动的原方向上，支承体17在层叠方向上的位置处于何处的影响逐渐减小。将支承体组19作为一个组进行配置是由于，在像本实施方式那样成为隔壁15的分隔部的端不与歧管板4e～4j相连那样的流路结构中，该端部会发生弯曲或者即便没有弯曲位置精度也容易变差，因此当在各个歧管板4e～4j，在靠近端的位置设置支承体17时，能够提高端部的位置精度。另外，由于在更靠近端的位置设置支承体17，因此也可以使最靠近端的位置的支承体17的副歧管5b的长度方向上的长度小于设置在其他部位的支承体17的宽度。

需要说明的是，支承体组19之间的距离相反地优选空出0.01秒以上的距离。支承体组19彼此接近时的配置见后述。

图7(b)～(d)是本发明的液体喷出头2中的、其他支承体17的配置。在这些结构中，支承体17的配置以外的基本的液体喷出头2的结构与图2～6所示的结构相同。在各个图中，液体基本上从左向右流动。

在图7(b)中，沿着液体的流动，从上方起按照第1、第2、第3、第6、第5、第4的顺序配置有支承体17。通常来说，属于上侧支承部组219a的支承部17配置为随着向液体的流动方向前进而与成为副歧管5b的上表面的板4d之间的距离增大，属于下侧支承部组219b的支承部17配置为与成为副歧管5b的下表面的板4k之间的距离增大。若为这样的配置，则能够减少混入液体中的气泡在支承体17与上表面或者下表面之间的距离逐渐变小的部位受阻停留而阻碍液体的流动的可能性。

在图7(c)中，上侧支承部组319a与下侧支承部组319b交替地接近配置。在此，接近是指，液体流动0.01秒左右以内。在这样的接近配置中，在上侧支承部组319a与下侧支承部组319b的整个边界，夹着该边界相邻的两个支承部17彼此在层叠方向上分离配置。通过这样设置，在边界处，液体通过上述支承体17之间，从上侧向下侧或者从下侧向上侧顺畅流动，因此能够减小副歧管5b的流路阻力。在图7(c)中，在上侧支承部组319a，沿着液体的流动方向，从上方起依次配置第1、第3、第2支承体17，在下侧支承部组319a，沿着液体的流动方向，从上方起依次配置第6、第4、第5支承体17。通过这样配置，将夹着上侧支承部组319a与下侧支承部组319b之间的边界配置的两个支承体17之间的距离确保为副歧管5b的高度的一半，因此能够使液体的流动顺畅。

在图7(d)中，支承体17的配置与图7(a)所示的配置相同，但各支承体17的厚度比具备各支承体17的歧管板404e～404j薄。由此，能够进一步减小流路阻力。无需将全部的支承体17减薄，但通过将全部减薄，能够进一步减小流路阻力。为了将支承体17减薄，例如在对成为副歧管5b的孔进行蚀刻加工时，进行半蚀刻即可。

在将支承体17减薄时，在歧管板404e～404j的厚度方向上保留哪部分如下所述地考虑。首先，若使属于上侧支承部组519a的支承体17保留上侧(即，使支承体17的下端位于比歧管板404e～404g的下表面靠上方的位置)，使属于下侧支承部组519b的支承体17保留下侧(即，使支承体17的上端位于比歧管板404h～404j的上表面靠下方的位置)，则能够进一步提高液体主要通过的部分的高度，能够进一步减小流路阻力。

根据该情况，进一步优选考虑以下点。在副歧管5b的上表面设有与喷出孔8相连的流路。因此，为了使该部分的流动在上表面附近的流动稳定，歧管板404e～404j中的层叠在最上方的歧管板404e的支承体17优选保留下侧。另外，副歧管5b的下表面可以是能够以改变副歧管5b的体积的方式变形的缓冲器，在该情况下，为了不抑制缓冲器的变形，歧管板404e～404j中的层叠在最下方的歧管板404j的支承体17优选保留上侧。

在此，进一步说明本发明的另一实施方式的液体喷出头。该液体喷出头的基本结构与图2～5所示的液体喷出头2相同，但由隔壁15进行的歧管5的分隔方法不同。在本实施方式中，与歧管板4e～4j不同，歧管5一直到歧管板的端由隔壁15分隔。

图8是本实施方式中液体喷出头所使用的歧管板704e的俯视图。在歧管板704e上开口有成为副歧管5b的多个孔705b-1。多个孔705b-1形成为在一方向上较长、完全独立的孔，多个孔705b-1之间由歧管板704e的、成为隔壁的部位715-1完全分隔。需要说明的是，在歧管板704e上也开口有形成下倾路等的、成为副歧管的孔705b-1以外的小孔，但在图中省略该孔。

歧管板704e替代图2～5所示的液体喷出头2的歧管板4e使用。通过设置这样的结构，歧管板704e的成为隔壁的部位715-1处于与歧管板704e的外周部相连的状态，因此无需为了保持隔壁15而设置支承部。当在副歧管5b内设置支承部时，副歧管5b的流路阻力增大，液体的流量减少。另外，副歧管5b的具有支承部的部分的形状由于支承部而与其他部位不同，因此与副歧管5b的具有支承部的部分相连的液体喷出元件与其他液体喷出元件的喷出特性可能产生差异。因此，通过消除支承部，能够改善该点。

从上述的观点出发，优选支承部的数量较少，因此也可以仅一部分歧管板由成为隔壁的部位完全分隔。但是，将所有的歧管板由成为隔壁的部位完全分隔、不设置支承部的结构更加优选。通过这样设置，在层叠歧管板的范围内的该歧管板中，歧管5从一端到另一端完全由隔壁15分隔，或者歧管板为1张的该歧管板中，歧管5从一端到另一端完全由隔壁15分隔。

但是，由于成为隔壁的部位为细长形状，因此在层叠板时可能向左右产生挠曲等而使副歧管5b的宽度变化，从而导致喷出特性产生差异。因此，为了保持成为隔壁的部位的位置，也可以设置支承部。在该情况下，由于成为隔壁的部位的两端与板相连，因此能够减少支承部的数量或者扩宽支承部的间隔，因此能获得上述的效果。

在层叠歧管板而构成的范围内的副歧管5b中，或者歧管板为1张的情况下，该歧管板的从副歧管5b的端到朝向外部的开口5a可以在原样保持多个副歧管5b由隔壁15分隔的状态下直接相连。另外，可以在最上方的歧管板之上的一个板进行相连，也可以从到达加压室面4-2之间的任何一个板进行相连。这样的话，相连的部分的流路阻力变小，流量能够增多，因此是优选的。在能够增多流量方面，优选的是在最上方的歧管板上的一个板进行相连。另外，若减少加压室面4-2上的开口5a的个数，则难以产生与外部的连接不良，因而是优选的。

为了以板的状态保持成为隔壁的部位715-1，将成为隔壁的部位715-1与周围的板相连时，除了如上述那样之外，也可以将成为隔壁的部位715-1的两端中的任一端相连。此时，可以使相连的端全部在一方侧一致，也可以使相连的端交替，也可以为其他配置。另外，即便将两端相连而对端部进行半蚀刻等，也可以在厚度方向上使一部分相连、在其余部位与其他成为副歧管的孔705b-1相连。这样的话，在副歧管5b的高度的位置处液体能够在副歧管之间往来，因此，相对于在朝向外部的开口5a的中途进行连接的情况，在副歧管5b之间存在喷出量的差异、流量存在差异的情况下等，能更有效地消除该差异。为了减少层叠时的成为隔壁的部位715-1的位置偏移，优选在成为隔壁的部位715-1的两端与歧管板的外周部相连。

另外，在流路构件4连接贮存器并供给液体时，在贮存器从流路构件4的中央附近经由流路与流路构件4的开口5a相连的情况下，优选该流路的长度较短，因此，当从流路构件4的中央侧与开口5a相连时，开口5a的靠近流路构件4的中央一侧、即靠近短边方向的中央一侧的液体供给与短边方向的外侧相比较稍微增多。这样的情况下，若越是靠近短边方向的中央的副歧管5b，流路阻力越增大，则能将它们相互抵消而使供给平均化。为了实现该效果，例如，如图8所示，在副歧管5b的、从开口5a到连接加压室10的部分之间，使副歧管5b在平面方向上弯曲，越是靠近短边方向中央的副歧管5b，弯曲的程度越增大即可。

液体喷出头2例如通过以下方式制作。利用滚涂法、狭缝涂布法等通常的带成形法，进行由压电性陶瓷粉末与有机组成物构成的带的成形，在烧制后制作成为压电陶瓷层21a、21b的多个生片。在生片的一部分，在其表面利用印刷法形成作为共用电极24的电极膏剂。另外，根据需要在生片的一部分上形成通孔，在其内部填充通路导体。

接着，层叠各生片而制作层叠体，进行加压密接。将加压密接后的层叠体在高浓度氧环境下烧制，之后使用有机金膏剂而对烧制体表面印刷独立电极25，进行烧制之后，使用Ag膏剂印刷连接电极26并进行烧制，从而制作压电促动器基板21。

接下来，将利用轧制法等获得的板4a～41借助粘合层层叠而制作流路构件4。在板4a～41上利用蚀刻将成为歧管5、独立供给流路14、加压室10以及下倾路等的孔加工成规定的形状。

这些板4a～41优选由从Fe-Cr系、Fe-Ni系、WC-TiC系的组中选择的至少1种金属形成，特别是在作为液体而使用墨的情况下，优选由相对于墨的耐腐蚀性优异的材质构成，因此更优选Fe-Cr系。

压电促动器基板21与流路构件4例如能够借助粘合层层叠粘合在一起。作为粘合层，能够使用公知的材料，但为了不对压电促动器基板21、流路构件4造成影响，最好使用从热固化温度为100～150℃的环氧树脂、酚醛树脂、聚苯醚树脂的组中选择的至少1种热固化性树脂系的粘合剂。通过使用这样的粘合层而加热至热固化温度，能够对压电促动器基板21与流路构件4进行加热接合。接合之后，对共用电极24与独立电极25之间施加电压，使压电陶瓷层21b在厚度方向上极化。

接着，为了对压电促动器基板21与控制电路100进行电连接，向连接电极26供给银膏剂，预先载置安装有驱动器IC的作为信号传递部92的FPC，加热而使银膏剂固化进行电连接。需要说明的是，驱动器IC的安装是在利用焊锡与FPC进行电气倒装连接之后，向焊锡周围供给保护树脂而使其固化。

接着，根据需要，以能够从开口5a供给液体的方式粘合贮存器，将金属的壳体螺纹固定之后，利用密封剂来密封接合部，从而能够制作液体喷出头2。

附图标记说明

1···打印机

2···液体喷出头

2a···头主体

4···流路构件

4a～4m、704e···(流路构件的)板

4-1···喷出孔面

4-2···加压室面

5···歧管

5a···(歧管的)开口

5b···副歧管

705b-1···成为副歧管的孔

6···节流孔

8···喷出孔

9···喷出孔列

10···加压室

11···加压室列

12···独立流路

14···独立供给流路

15···隔壁

715-1··成为隔壁的部位

16···虚拟加压室

21···压电促动器基板

21a···压电陶瓷层(振动板)

21b···压电陶瓷层

24···共用电极

25···独立电极

25a···独立电极主体

25b···引出电极

26···连接电极

28···共用电极用表面电极

30···位移元件(加压部)

Claims (17)

1.一种液体喷出头，其特征在于，

该液体喷出头具备：

在一方向上较长的流路构件，该流路构件具有多个喷出孔、分别与该多个喷出孔相连的多个加压室以及向所述多个加压室供给液体的歧管；

多个加压部，其与该流路构件接合，分别使所述多个加压室的体积变化，

在俯视所述流路构件时，所述歧管从所述流路构件的一端部侧延伸到另一端部侧，并且在所述流路构件的两端部向外部开口，且所述歧管由在所述一方向上较长的隔壁分隔成多个副歧管，与一个所述副歧管相连的所述加压室构成沿着该副歧管排列的两个加压室列，属于所述加压室列的加压室与属于同该加压室列相邻的所述加压室列的加压室在所述一方向上不重叠，

所述流路构件是平板状，所述多个加压室在所述流路构件的一方的主表面开口，与属于所述两个加压室列的加压室相连的所述喷出孔分别沿着该副歧管配置，在所述流路构件的另一方的主表面开口，所述多个加压室和所述多个喷出孔经由配置于所述隔壁的多个下倾路分别相连。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述流路构件通过多个板层叠而构成，在开口有成为所述多个副歧管的孔的一个或者多个所述板中，相邻的副歧管由所述一个或者多个板的成为所述隔壁的部分完全分隔。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

在俯视所述流路构件时，经由所述加压室与一个所述副歧管相连的所述喷出孔，与经由所述加压室列与同该副歧管相邻的其他所述副歧管相连的喷出孔相比，在该副歧管的附近开口。

4.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

在俯视所述流路构件时，在所述多个加压室中，加压室的与所述副歧管重叠的区域的面积相对于该加压室的面积的比例在各所述加压室大致相同。

5.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述隔壁的宽度小于所述副歧管的宽度。

6.一种液体喷出头，其特征在于，

该液体喷出头具备：

流路构件，该流路构件具有多个喷出孔、分别与该多个喷出孔相连的多个加压室以及向所述多个加压室供给液体的歧管；

多个加压部，其与该流路构件接合，分别使所述多个加压室的体积变化，

所述歧管由在一方向上较长的隔壁分隔成多个副歧管，所述隔壁由连续层叠的4张以上的歧管板构成，

所述4张以上的歧管板各自具备成为所述多个副歧管的孔、成为所述隔壁的分隔部以及以在宽度方向上横切成为所述多个副歧管的孔的方式设置的支承部，

在一个所述副歧管内配置有沿所述一方向排列配置多个所述支承部而成的支承部组，

该支承部组在所述一方向上分为位于比所述歧管板的层叠方向上的所述副歧管的高度一半靠上侧的位置的上侧支承部组以及位于比所述副歧管的层叠方向的高度一半靠下侧的位置的下侧支承部组而配置，并且具备夹着所述上侧支承部组与所述下侧支承部组的所述一方向的边界相邻的两个所述支承部的所述歧管板彼此之间隔着其他所述歧管板层叠。

7.根据权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，

具备属于所述上侧支承部组、且在所述一方向上相邻的两个所述支承部的所述歧管板彼此直接层叠，具备属于所述下侧支承部组、且在所述一方向上相邻的两个所述支承部的所述歧管板彼此直接层叠。

8.根据权利要求7所述的液体喷出头，其特征在于，

相对于在所述副歧管内液体沿着所述一方向流动的方向而言，属于所述上侧支承部组的支承部配置为距离所述副歧管的上表面的距离增大，属于所述下侧支承部组的支承部配置为距离所述副歧管的下表面的距离增大。

9.根据权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述副歧管内，所述上侧支承部组与所述下侧支承部组在所述一方向上交替配置，全部的具备夹着所述上侧支承部组与所述下侧支承部组的边界的相邻的两个所述支承部的所述歧管板彼此之间隔着其他所述歧管板层叠。

10.根据权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，

夹着所述上侧支承部组与所述下侧支承部组的边界相邻的两个所述支承部之间的层叠方向的距离是所述副歧管的层叠方向的高度的一半以上。

11.根据权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述副歧管的上表面设有与所述多个喷出孔相连的流路，

除了位于层叠方向最上方的所述支承部之外的属于所述上侧支承部组的支承部比具备该支承部的所述歧管板薄，并且下端位于比该歧管板的下表面靠上方的位置，

属于所述下侧支承部组的支承部以及位于层叠方向最上方的所述支承部比具备该支承部的所述歧管板薄，并且上端位于比该歧管板的上表面靠下方的位置。

12.根据权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述副歧管的上表面设有与所述多个喷出孔相连的流路，并且所述副歧管的下表面成为能够以改变该歧管的体积的方式变形的缓冲器，

除了位于层叠方向最上方的所述支承部之外的属于所述上侧支承部组的支承部以及位于层叠方向最下方的所述支承部比具备该支承部的所述歧管板薄，并且下端位于比该歧管板的下表面靠上方的位置，

除了位于层叠方向最下方的所述支承部之外的属于所述下侧支承部组的支承部以及位于层叠方向最上方的所述支承部比具备该支承部的所述歧管板薄，并且上端位于比该歧管板的上表面靠下方的位置。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的液体喷出头，其特征在于，

所述加压部是设于按顺序依次层叠共用电极、压电陶瓷层与独立电极而成的在所述一方向上较长的压电促动器基板上的、包含所述共用电极、所述独立电极以及被所述共用电极与所述独立电极夹着的所述压电陶瓷层的位移元件，所述加压室以及所述独立电极是具有沿着所述一方向的对角线的菱形形状，所述独立电极配置在构成沿着所述一方向以及与该一方向正交的方向的行及列的格子上。

14.根据权利要求13所述的液体喷出头，其特征在于，

所述压电促动器基板在所述流路构件上设置一个。

15.根据权利要求13所述的液体喷出头，其特征在于，

所述压电促动器基板还具备设在所述压电陶瓷层上的共用电极用表面电极以及设在所述压电陶瓷层内、将所述共用电极用表面电极与所述共用电极连接的通路导体，所述流路构件以在俯视所述流路构件时与所述压电促动器基板重叠的方式具备偶数个所述歧管，所述共用电极用表面电极以及所述通路导体设于具有偶数个的所述歧管的与所述一方向正交的方向上的中央部。

16.一种记录装置，其特征在于，

该记录装置具备权利要求1～12中任一项所述的液体喷出头、相对于所述液体喷出头输送记录介质的输送部以及控制所述多个加压部的控制部。

17.一种记录装置，其特征在于，

该记录装置具备权利要求13所述的液体喷出头、相对于所述液体喷出头输送记录介质的输送部以及控制所述多个加压部的控制部。