JP6298929B2 - 液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の加圧室にそれぞれ接続され、複数の加圧室に液体を供給する複数の第１流路、および、複数の加圧室にそれぞれ接続され、複数の加圧室の液体を回収する複数の第２流路を備える流路部材と、複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えるものが知られている。

第１流路、第２流路、および、加圧室の内部の液体が、滞留することにより流路のつまり等が生じにくいように、吐出を行なわないときにも外部も含めて液体を循環させる液体吐出ヘッドが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００９−１４３１６８号公報

本開示の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１流路、および複数の前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室の前記液体を回収する複数の第２流路、前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第３流路を備える流路部材と、複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備える。

本開示のさらに他の実施形態は、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第１流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第２流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第３流路、および複数の前記第１流路および複数の前記第３流路が共通して接続された第５流路、を備える、流路部材と、複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備える。また、断面視して、前記加圧部は、前記加圧室上に設けられているとともに、前記第３流路は、前記第１流路よりも下方に配置されている。また、前記第３流路の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗よりも低い。

本発明の記録装置における一実施形態は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 （ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。 （ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。 （ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図である。 液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図である。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図である。 （ａ）は第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの断面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する吐出ユニットの平面図である。

＜第１の実施形態＞
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、図２〜１０を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

液体吐出ヘッド２においては、第１流路を第１個別流路１２、第２流路を第３個別流路１６、第３流路を第２個別流路１４、第４流路を第２共通流路２４、第５流路を第１共通流路２０を用いて説明する。

図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられており、第１開口５０ａに放熱板５２が配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４−１となっており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄに液体を供給する。

以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

図５〜８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４−１と、下側に設けられた吐出孔面４−２とを有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の個別ユニット１５と、複数のダミー個別ユニット１７とが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。

第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。

第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第１ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。

第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。

端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。

図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）１４と、第３個別流路（第２流路）１６とを有している。なお、液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。

吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａは、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列９ａと、吐出孔行９ｂとを有している。吐出孔列９ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行９ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列９ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列９ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列９ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定するために設けられている。

加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａの中心から下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。

加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐形状あるいは台形円錐形状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。

以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

図８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に共通電極用表面電極（不図示）を有しており、共通電極用表面電極が、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して共通電極４２と繋がっており、接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

図９，１０を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。

吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）１４と、第３個別流路（第２流路）１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（第５流路（図８参照））に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（第４流路（図８参照））に接続されている。

第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。

これに対して、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、加圧室１０に接続され、加圧室１０に液体を供給する第３個別流路１６を備えている。

そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。

すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。

また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

なお、第３個別流路１６は、加圧室本体１０ａに接続されていてもよい。その場合においても、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から供給された液体の流れを衝突させることができる。その結果、加圧室本体１０ａ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。

また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、個別ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。

また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に排出しやすい。

また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とが面一であることが好ましい。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに外部に排出しやすい。

また、第２個別流路１４は、第３個別流路１６よりも部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８の近傍にて第２個別流路１４から液体が供給されることとなる。それゆえ、吐出孔８の近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降し、吐出孔８につまりが生じにくくなる。

また、図７（ｂ）に示すように、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。

それにより、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じにくい。

また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。

すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が生じにくい。

また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

ここで、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２（第１流路）および第２個別流路１４（第３流路）を介して第１共通流路２０（第５流路）と接続されている。そのため、加圧室本体１０ａに加えられた圧力の一部は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して第１共通流路２０に伝幡することとなる。

第１共通流路２０には、第１個別流路１２および第２個別流路１４から圧力波が伝幡して、第１共通流路２０の内部に圧力差が生じると、第１共通流路２０の液体の挙動が不安定になるおそれがある。そのため、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさは均一であることが好ましい。

液体吐出ヘッド２は、断面視して、第２個別流路１４が第１個別流路１２よりも下方に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａからの距離が、第２個別流路１４のほうが第１個別流路１２よりも長くなり、第２個別流路１４まで伝幡する際に、圧力減衰が生じることとなる。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗が第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっていることから、第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰を、第１個別流路１２を流れる際の圧力減衰よりも小さくすることができる。その結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

つまり、加圧室本体１０ａから第１個別流路１２または第２個別流路１４までの圧力減衰と、第１個別流路１２または第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰との合計を、第１個別流路１２と第２個別流路１４とで均一に近づけることができ、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

また、断面視して、第３個別流路１６が、第２個別流路１４よりも高く配置されており、かつ第１個別流路１２よりも低く配置されている。言い換えると、第３個別流路１６は、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａに加圧された圧力は、第３個別流路１６に伝幡する際に、一部が第３個別流路１６に伝幡する。

これに対して、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。そのため、第２個別流路１４に到達する圧力波が減少していても、第２個別流路１４での圧力減衰が小さくなるため、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

第１個別流路１２の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

なお、第３個別流路１６の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも大きくしてもよい。その場合、第１共通流路２０から第３個別流路１６を介した圧力伝幡を生じにくくすることができる。その結果、第３個別流路１６から圧力伝幡して、吐出孔８に不要な圧力が伝幡する可能性を低減することができる。

第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

なお、加圧室１０が、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂを備えた例を示したが、必ずしも備えていなくてもよい。例えば、加圧室１０が、部分流路１０ｂを備えず、加圧室本体１０ａのみ備えていてもよい。その場合、第１個別流路１２、第２個別流路１４、および第３個別流路１６は、加圧室本体１０ａにそれぞれ接続されることになる。

＜第２の実施形態＞
図１０を用いて第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１０２について説明する。液体吐出ヘッド１０２は、吐出ユニット１１５の構成が液体吐出ヘッド２と異なっており、その他の構成は同一である。そのため、同一である構成については詳細な説明は省略する。なお、同一の部材には同一の符号を付しており、以下同様とする。なお、図９と同様に、実際の液体の流れを実線で示し、第３個別流路１１６から供給された液体の流れを破線で示している。

吐出ユニット１１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１１４と、第３個別流路（第３流路）１１６とを備えている。第１個別流路１２および第３個別流路１１６は、第１共通流路２０（第５流路）に接続されており、第２個別流路１１４は、第２共通流路２４（第４流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット１１５は、第１個別流路１２および第３個別流路１１６から液体が供給され、第２個別流路１１４から液体が回収されている。

液体吐出ヘッド１０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されおり、第２個別流路１１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されており、第３個別流路１１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

そのため、平面視したときに、個別ユニット１１５は、第１方向Ｄ１から液体が供給され、第４方向Ｄ４から液体が回収されることとなる。それにより、部分流路１０ｂの内部の液体を第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に効率よく流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

つまり、第３個別流路１１６が、加圧室本体１０ａよりも下方に位置する部分流路１０ｂに接続されていることにより、破線で示すように、液体が領域８０の近傍を流れることとなる。その結果、第２個別流路１１４の接続された部位とは反対側に位置する領域８０に、液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

＜第３の実施形態＞
図１１を用いて第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２について説明する。

吐出ユニット２１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）２１４と、第３個別流路（第３流路）２１６とを備えている。第１個別流路１２および第３個別流路２１６は、第１共通流路２０（第５流路）に接続されており、第２個別流路２１４は、第２共通流路２４（第４流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット２１５は、第１個別流路１２および第３個別流路２１６から液体が供給され、第２個別流路２１４から液体が回収されている。

液体吐出ヘッド２０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第３個別流路２１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、個別ユニット２１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第２個別流路２１４が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、第３個別流路２１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。そのため、第３個別流路２１６から供給された液体は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に、部分流路１０ｂの内部を横断するように流れることとなる。その結果、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、部分流路１０ｂの下端にて吐出孔８が接続されており、第２個別流路２１４は、部分流路１０ｂの下端よりも高い位置に接続されている。そのため、第２個別流路２１４と部分流路１０ｂとが離間することとなる。その結果、第２共通流路２４の内部に生じた圧力波が、第２個別流路２１４を通じて部分流路１０ｂの内部に伝幡しても、第２個別流路２１４と吐出孔８との間に距離があるため、圧力波が吐出孔８まで伝幡しにくくなる。それゆえ、第２共通流路２４の内部に生じた圧力波が、第２個別流路２１４を通じて吐出孔８に伝幡しにくい構成とすることができる。

なお、部分流路１０ｂの下端とは、部分流路１０ｂのうち吐出孔８と接続されている部位であり、部分流路１０ｂのうち、吐出孔８が形成されたプレート４ｍに隣り合うプレート４ｌに形成された部位である。

＜第４の実施形態＞
図１２，１３を用いて第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド３０２について説明する。液体吐出ヘッド３０２は、吐出ユニット３１５が液体吐出ヘッド２と異なっている。なお、図１３では、実際の液体の流れを実線で示し、第２個別流路３１４から供給された液体の流れを破線で示している。

吐出ユニット３１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）３１４と、第３個別流路（第２流路）３１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路３１４は、第１共通流路２０（第５流路）に接続されており、第３個別流路３１６は、第２共通流路２４（第４流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット３１５は、第１個別流路１２および第２個別流路３１４から液体が供給され、第３個別流路３１６から液体が回収されている。

第１個別流路１２は、加圧室本体１０ａから下方へ向けて延び、第１方向Ｄ１に引き出された後、第２方向Ｄ２に引き出され、第１共通流路２０の側面に接続されている。第２個別流路３１４は、部分流路１０ｂから第１方向Ｄ１に引き出された後、第２方向Ｄ２に引き出され、第１共通流路２０の側面に接続されている。第３個別流路３１６は、部分流路１０ｂから第４方向Ｄ４に引き出された後、第５方向Ｄ５に引き出され、第２共通流路２４の側面に接続されている。

液体吐出ヘッド３０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路３１４が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、第３個別流路３１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、吐出ユニット３１５には、第１方向Ｄ１から液体が供給され、第４方向Ｄ４から液体が回収されることとなる。それにより、部分流路１０ｂの内部の液体を第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に効率よく流すことができ、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

＜第５の実施形態＞
図１４を用いて第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド４０２について説明する。液体吐出ヘッド４０２は、吐出ユニット４１５が液体吐出ヘッド２と異なっている。

吐出ユニット４１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）４１４と、第３個別流路（第２流路）４１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路４１４は、第１共通流路２０（第５流路）に接続されており、第３個別流路４１６は、第２共通流路２４（第４流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット４１５は、第１個別流路１２および第２個別流路４１４から液体が供給され、第３個別流路４１６から液体が回収されている。

第２個別流路４１４は、部分流路１０ｂの側面に接続されており、部分流路１０ｂの側面から第４方向Ｄ４に引き出された後、第２方向Ｄ２に引き出され、第１共通流路２０の側面に接続されている。第２個別流路４１４は、部分流路１０ｂの側面のうち、平面視して、部分流路１０ｂの中心よりも第５方向Ｄ５側に接続されている。

第３個別流路４１６は、部分流路１０ｂの側面に接続されており、部分流路１０ｂの側面から第１方向Ｄ１に引き出された後、第５方向Ｄ５に引き出され、第２共通流路２４の側面に接続されている。第３個別流路４１６は、部分流路１０ｂの側面のうち、平面視して、部分流路１０ｂの中心よりも第２方向Ｄ２側に接続されている。

そのため、吐出ユニット４１５を平面視すると、部分流路１０ｂの側面に接続された第２個別流路４１４および第３個別流路４１６が、同一直線上に引き出されない構成となる。言い換えると、第２個別流路４１４および第３個別流路４１６は、異なる直線上において、部分流路１０ｂの側面から、互いに逆方向に引き出されている。

それにより、第１方向Ｄ１から流入する液体の流れと、第４方向Ｄ４から流入する液体の流れにより、平面視して、部分流路１０ｂの内部では時計回りの流れが生じることとなる。その結果、吐出孔８の内部に位置する液体を撹拌することができ、吐出孔８の表面が乾燥しにくくなる。

なお、第２個別流路４１４を部分流路１０ｂの側面のうち、平面視して、部分流路１０ｂの中心よりも第２方向Ｄ２側に接続し、第３個別流路４１６を部分流路１０ｂの側面のうち、平面視して、部分流路１０ｂの中心よりも第５方向Ｄ５側に接続してもよい。その場合においても同様の効果を得ることができる。

以上、第１〜５の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

例えば、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形によりを加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。

また、第２個別流路１４および第３個別流路１６から液体を加圧室１０に供給し、第１個別流路１２により液体を回収する構成としてもよい。この場合、第１流路は第１個別流路１２、第２流路は第２個別流路１４、第３流路は第３個別流路１６となる。

すなわち、液体吐出ヘッド２は、第２個別流路１４から液体を部分流路１０ｂに供給し、供給された液体は、部分流路１０ｂを上方に向けて流れて加圧室本体１０ａに供給され、加圧室本体１０ａに供給された液体は、第１個別流路１２により回収される構成でもよい。そして、第３個別流路１６が、部分流路１０ｂに接続されるとともに、部分流路１０ｂに液体を供給するように構成すればよい。

この場合においても、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給される液体の流れに対して、第３個別流路１６から供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、吐出孔８から加圧室１０へ共有される液体の流れが、一様に略直線状に流れることを抑制することができ、加圧室１０内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

なお、上記の場合は、液体吐出ヘッド２を流れる液体の流れが逆となるため、第１流路部材４においては、第２共通流路２４が吐出ユニット１５に液体を供給し、第１共通流路２０が吐出ユニット１５から液体を回収することとなる。また、第２流路部材６においては、第２統合流路２６が第２共通流路２４に液体を供給し、第１統合流路２２が第１共通流路２０から液体を回収することとなる。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２，１０２，２０２，３０２，４０２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１２・・・第１個別流路（第１流路）
１４，１１４，２１４，３１４，４１４・・・第２個別流路（第２流路）
１５，１１５，２１５，３１５，４１５・・・吐出ユニット
１６，１１６，２１６，３１６，４１６・・・第３個別流路（第３流路）
２０・・・第１共通流路（第５流路）
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路（第４流路）
２６・・・第２統合流路
２８・・・端部流路
３０・・・ダンパ
３２・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４８・・・変位素子（加圧部）
５０・・・筐体
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
７６・・・制御部
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向

Claims (17)

1. 複数の吐出孔、
   複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１流路、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室の前記液体を回収する複数の第２流路、および
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第３流路、および
   複数の前記第１流路および複数の前記第３流路が共通して接続された第５流路を備える流路部材と、
   複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備える液体吐出ヘッド。
2. 前記加圧室は、加圧室本体と、前記加圧室本体および前記吐出孔を接続する部分流路とを備え、
   前記第１流路が前記加圧室本体に接続されており、
   前記第３流路が前記部分流路に接続されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記部分流路の下端が前記吐出孔に接続されており、
   断面視して、前記第３流路は前記部分流路の前記下端よりも高い位置に接続されている、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２流路が、前記部分流路に接続されている、請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２流路が、前記第３流路よりも前記加圧室本体側に接続されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２流路が、前記第３流路よりも前記吐出孔側に接続されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記流路部材は、平面視したときに、第１方向と、前記第１方向と反対側の第２方向とを有しており、
   前記第１流路が、前記加圧室本体の前記第１方向側に接続されており、
   前記第３流路が、前記部分流路の前記第２方向側に接続されている、請求項２〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記流路部材は、平面視したときに、第１方向と、前記第１方向と反対側の第２方向とを有しており、
   前記第１流路が、前記加圧室本体の前記第１方向側に接続されており、
   前記第２流路が、前記部分流路の前記第２方向側に接続されており、
   前記第３流路が、前記部分流路の前記第１方向側に接続されている、請求項２〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記流路部材が、複数の前記第２流路が共通して接続された第４流路、をさらに備え、
   前記第２流路が、前記第４流路の前記加圧室本体側に接続されている、請求項２〜８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記流路部材は、平面視したときに、第１方向と、前記第１方向と反対側の第２方向とを有しており、
    前記第１流路が、前記加圧室本体の前記第１方向側に接続されており、
    前記部分流路の面積重心が、前記加圧室本体の面積重心よりも前記第２方向側に位置する、請求項２〜９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 平面視したときに、
    前記第２流路と前記第３流路との間に前記吐出孔が配置されている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１流路および前記第３流路が接続された共通の第５流路を有しており、
    断面視して、前記加圧部は、前記加圧室上に設けられているとともに、前記第３流路は、前記第１流路よりも下方に配置されており、
    前記第３流路の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗よりも低い、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 断面視して、前記第２流路が、前記第３流路よりも高い位置に配置されており、前記第１流路よりも低い位置に配置されている、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 断面視して、前記第３流路は、前記第１流路よりも前記吐出孔側に設けられており、
    前記第３流路の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗よりも高い、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 複数の吐出孔、
    複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、
    複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第１流路、
    複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第２流路、および
    複数の前記加圧室にそれぞれ接続された複数の第３流路、および
    複数の前記第１流路および複数の前記第３流路が共通して接続された第５流路、を備える、流路部材と、
    複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、
    断面視して、前記加圧部は、前記加圧室上に設けられているとともに、前記第３流路は、前記第１流路よりも下方に配置されており、
    前記第３流路の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗よりも低い、液体吐出ヘッド。
16. 断面視して、前記第２流路が、前記第１流路よりも低い位置に設けられており、かつ前記第３流路よりも高い位置に設けられている、請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
17. 請求項１〜１６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。

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