JP5495385B2 - 液滴吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は液滴吐出ヘッドに係り、特に液体を循環させて圧力室に供給する液滴吐出ヘッドに関する。

インクジェット記録装置で使用される液滴吐出ヘッドは、インク中の溶媒が揮発しやすいインク（たとえば、水を溶媒として用いたインク等）や、インク中に分散された不溶性成分や高分子化合物を多く含有するインク（たとえば、顔料や樹脂微粒子分散物を用いたインク等）を使用すると、印刷待機中だけでなく印刷中もノズルからインク中の溶媒が揮発し、ノズル近傍のインク粘度が上昇するという現象が起きる。ノズル近傍のインク粘度が高くなると、ノズル内部での流体抵抗が大きくなり、吐出するインク滴の飛翔体積や飛翔方向にバラツキが生じたり、不吐出が生じたりするなどの吐出不良が発生する。この結果、印刷媒体上に打滴されるドットの位置ズレや大きさの誤差、更にはドットの欠けを生じさせることとなる。

このような問題に対して、インクを印刷中も常時循環させることにより、ノズル近傍のインク粘度が上昇するのを防止する技術が提案されている（たとえば、特許文献１）。この技術は、各圧力室にインクを供給する共通の供給流路（共通供給流路）の他に各圧力室からインクを回収する共通の回収流路（共通回収流路）を設け、共通供給流路から共通回収流路に向かうインクの流れを形成して、インクを循環させて供給するものである。

ところで、このように循環型の液滴吐出ヘッドでは、各圧力室は、個別の供給流路（個別供給流路）を介して共通供給流路に連通され、個別の回収流路（個別回収流路）を介して共通回収流路に連通される。この個別供給流路と個別回収流路は、イナータンスが大きくなるように設計されており、吐出時にインクが共通供給流路、共通回収流路に流れないようにされている。

しかしながら、このような循環型の液滴吐出ヘッドでは、並列関係に流路が並ぶため、吐出時やメンテナンス時に意図した方向とは逆の方向にインクの流れが発生してしまう場合がある。このような逆方向へのインクの流れが発生してしまうと、インクのリフレッシュが行われないだけではなく、気泡混入時の気泡排出流れも滞るため、気泡の除去ができずに不吐出化してしまうという問題がある。また、非対称な流れが発生することで、周辺の正常に循環が行われていたノズルにも影響を与えるという問題がある。

そこで、このような循環型の液滴吐出ヘッドにおける逆流を防ぐため、流路に逆止弁を設ける技術が提案されている（たとえば、特許文献２）。

特開２００９−２４１３１６号公報 特開２００９−２４８４１２号公報

しかし、逆止弁は、可動構造を備えているため、ヘッドの耐久性が低下するという欠点がある。また、メンテナンス時に逆向きに循環動作を行うことができなくなるという欠点がある。また、ノズルを高密度に配置したヘッドでは、流路構造が高精密になるため、逆止弁を採用することが技術的に困難という欠点もある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。

請求項１に係る発明は、前記目的を達成するために、並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路から前記圧力室に向かって断面積が漸次減少するように形成され、前記各個別回収流路は、前記圧力室から前記共通回収流路に向かって断面積が漸次減少するように形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各圧力室と共通供給流路とを連通する各個別供給流路の流路抵抗が共通供給流路から圧力室に向かって増大するように形成される。また、各圧力室と共通回収流路とを連通する各個別回収流路の流路抵抗が圧力室から共通回収流路に向かって増大するように形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。なお、断面積を変化させる態様は特に限定されず、たとえば、連続的、段階的に変化させることができる。

請求項２に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記共通供給流路から前記圧力室に向かって漸次減少するように形成され、前記各個別回収流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記圧力室から前記共通回収流路に向かって漸次減少するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が共通供給流路から圧力室に向かって漸次減少するように形成される。また、各個別回収流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が圧力室から共通回収流路に向かって漸次減少するように形成される。これにより、単純な流路構造で所望の流路抵抗の各個別供給流路及び各個別回収流路を形成することができる。

請求項３に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の断面積と、前記圧力室に連通する連通口の断面積との比率が１１０％以上になるように形成され、前記各個別回収流路は、前記圧力室に連通する連通口の断面積と、前記共通回収流路に連通する連通口の断面積との比率が１１０％以上になるように形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路に連通する連通口（入口）の断面積と、圧力室に連通する連通口（出口）の断面積との比率が１１０％以上になるように形成される。同様に、各個別回収流路は、圧力室に連通する連通口（入口）の断面積と、共通回収流路に連通する連通口（出口）の断面積との比率が１１０％以上になるように形成される。すなわち、各個別供給流路と各個別回収流路について、入口と出口の断面積の比率（入口／出口）が１１０％以上になるように形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。

請求項４に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路の共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされる。また、各個別回収流路の共通回収流路に連通する連通口の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体を流れ込みやすくすることができるとともに、個別回収流路から共通回収流路に液体を流れ込みやすくすることができる。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。

請求項５に係る発明は、前記目的を達成するために、並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路の共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされる。また、各個別回収流路の共通回収流路に連通する連通口の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体を流れ込みやすくすることができるとともに、個別回収流路から共通回収流路に液体を流れ込みやすくすることができる。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。

請求項６に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされることを特徴とする請求項４又は５に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされる。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。

請求項７に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。

請求項８に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成されることを特徴とする請求項４〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成される。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。

請求項９に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部に形成される面取りが、前記共通供給流路の幅に対して５％以上の面取り長さで形成されるとともに、２０°〜７０°の面取り角度で形成されることを特徴とする請求項４〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路の幅に対して５％以上の面取り長さ、２０°〜７０°の面取り角度で面取りが形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。

請求項１０に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が、前記共通回収流路の幅に対して５％以上の突出量で前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項４〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路に連通する連通口の縁部が、各個別供給流路の幅に対して５％以上の突出量で共通回収流路内に突出して形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。

請求項１１に係る発明は、前記目的を達成するために、前記共通供給流路は、前記各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、共通供給流路は、各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部が形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体をより流れ込みやすくすることができる。

請求項１２に係る発明は、前記目的を達成するために、前記突起部は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成されることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。

本発明によれば、突起部は、共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成される。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。

本発明によれば、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。

液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態のノズル面の平面透視図 液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図 図２の３−３断面図 図２の４−４断面図 液滴吐出ヘッドに供給する液体の供給システムの概略構成図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（１）を示す断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（２）を示す断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（３）を示す断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（４）を示す断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（５）を示す断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図 液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図 図１２の１３−１３断面図 図１２の１４−１４断面図 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図 液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図 図１６の１７−１７断面図 図１６の１８−１８断面図 個別供給流路の他の実施の形態を示す断面図 個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について説明する。

≪第１の実施の形態≫
〈ヘッドの構成〉
図１は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態のノズル面の平面透視図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、ノズル１２が二次元マトリックス状に配置されたマトリックスヘッドである。

ノズル１２は、ヘッドの長手方向に対して所定角度（θ）傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列を１単位とし、このノズル１２の列がヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで多数並列して配置される。

このようなマトリックスヘッドでは、ヘッドの長手方向（メディアの搬送方向と直交する方向）に投影される実質的なノズル１２の間隔を狭めることができ、ノズル１２の高密度化を図ることができる。

また、本実施の形態の液滴吐出ヘッドは１０は、各ノズル１２の圧力室１４に液体を循環させて供給する循環型の液滴吐出ヘッド１０であり、液体を圧力室１４に供給する供給流路２０と、液体を圧力室１４から回収する回収流路３０を備えている。

供給流路２０は、供給流路本流２２と、その供給流路本流２２から分岐して形成される複数の供給流路支流（共通供給流路）２４と、供給流路支流２４から更に分岐して形成される複数の個別供給流路２６とで構成される。

供給流路本流２２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この供給流路本流２２には、液体供給口２８が連通されており、この液体供給口２８から内部に液体が供給される。

供給流路支流２４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。

個別供給流路２６は、供給流路支流２４に沿って並ぶ圧力室１４と供給流路支流２４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。

回収流路３０は、回収流路本流３２と、その回収流路本流３２から分岐して形成される複数の回収流路支流（共通回収流路）３４と、回収流路支流３４から更に分岐して形成される複数の個別回収流路３６とで構成される。

回収流路本流３２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この回収流路本流３２には、液体回収口３８が連通されており、この液体回収口３８から内部の液体が回収される。

回収流路支流３４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。

個別回収流路３６は、回収流路支流３４に沿って並ぶ圧力室１４と回収流路支流３４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。

図２は、液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図３、図４は、それぞれ図２の３−３断面図、４−４断面図である。

同図に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、主として、ノズルプレート４０と、圧力室プレート４２と、振動板４４と、圧力室上部プレート４６とで構成される。

ノズルプレート４０は、所定の厚さを有する矩形状の基板で構成され、最下層に配置される。このノズルプレート４０には、ノズル１２が形成される。本例では、テーパ状のノズルが形成されているが、ノズルの形状は、これに限定されるものではない。

圧力室プレート４２は、所定の厚さを有する矩形状の基板で構成され、ノズルプレート４０の上に配置される。この圧力室プレート４２には、ノズルプレート４０に成された各ノズル１２に対応して圧力室１４が形成されるとともに、各圧力室１４に連通する個別供給流路２６及び個別回収流路３６が形成される。また、この圧力室プレート４２には、各個別供給流路２６が連通される供給流路支流２４と、その供給流路支流２４が連通される供給流路本流２２（図示せず）、及び、各個別回収流路３６が連通される回収流路支流３４と、その回収流路支流３４が連通される回収流路本流３２（図示せず）が形成される。

圧力室１４は、断面矩形状に形成され、その中央にノズル１２が配置される。なお、圧力室１４の形状は、これに限定されるものではなく、たとえば、断面円形状に形成することもできる。また、ノズル１２の配置も必ずしも中央である必要はなく、たとえば、コーナー等に配置する構成とすることもできる。

圧力室１４は、圧力室プレート４２に貫通して形成され、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０によって覆われる。また、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられることにより、開口した上面部分が振動板４４によって覆われる。

供給流路支流２４は、一定ピッチで配置される圧力室１４の配列（単位ごとの配列）に沿って配置される。この供給流路支流２４は、圧力室プレート４２の上面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられると、その振動板４４によって開口した上面部分が覆われる。

回収流路支流３４も一定ピッチで配置される圧力室１４の配列（単位ごとの配列）に沿って配置される。この回収流路支流３４は、圧力室プレート４２の下面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０によって覆われる。

供給流路支流２４と回収流路支流３４は、同じ形状で形成され、圧力室１４を挟んで対称に配置される。

個別供給流路２６は、圧力室１４から供給流路支流２４に向かって水平に延びるように形成され、圧力室１４と供給流路支流２４とを連通する。この個別供給流路２６は、イナータンスが大きくなるように設計され、圧力室プレート４２の上面に所定幅を有する溝として形成される。特に、本実施の形態の個別供給流路２６は、図２に示すように、底部２６Ａが傾斜して形成され、その断面積が供給流路支流２４から圧力室１４に向かって漸次減少するように形成される（いわゆるテーパ状の流路とする。）。このように、断面積が供給流路支流２４から圧力室１４に向かって漸次減少するように形成することにより、個別供給流路２６は、その流路抵抗が供給流路支流２４から圧力室１４に向かって増大するように形成され、逆流が効果的に抑止される。

このように形成された個別供給流路２６は、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられることにより、その開口した上面部分が振動板４４に覆われる。

個別回収流路３６は、圧力室１４から回収流路支流３４に向かって水平に延びるように形成され、圧力室１４と回収流路支流３４とを連通する。この個別回収流路３６もイナータンスが大きくなるように設計され、圧力室プレート４２の上面に所定幅を有する溝として形成される。特に、本実施の形態の個別回収流路３６は、図２に示すように、天面部３６Ａが傾斜して形成され、断面積が圧力室１４から回収流路支流３４に向かって漸次減少するように形成される（いわゆるテーパ状の流路とする）。このように、断面積が圧力室１４から回収流路支流３４に向かって漸次減少するように形成することにより、個別回収流路３６は、その流路抵抗が圧力室１４から回収流路支流３４に向かって増大するように形成され、逆流が効果的に抑止される。

このように形成された個別回収流路３６は、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０に覆われる。

振動板４４は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、圧力室プレート４２の上に配置される。上記のように、圧力室１４は、この振動板４４が配置されることにより、天井部が閉塞される。すなわち、この振動板４４は圧力室１４の天井面を構成する。

振動板４４の上には、各圧力室１４の位置に対応して圧電素子４８が配置される。各圧力室１４は、この圧電素子４８を駆動することにより、天井面が変位し、容積が膨張・収縮される。そして、これにより、圧力室１４内の液体がノズル１２から液滴として吐出される。

圧力室上部プレート４６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板４４の上に配置される。この圧力室上部プレート４６には、振動板４４の上に設けられた圧電素子４８に対応して、矩形状の空間５０が形成されている。振動板４４の上に設けられた各圧電素子４８は、振動板４４に圧力室上部プレート４６が取り付けられると、この圧力室上部プレート４６に形成された空間５０に収容される。これにより、圧電素子４８が変位可能に取り付けられる。

〈液体の供給システム〉
−システム構成−
まず、システムの全体構成について概説する。

図５は、液滴吐出ヘッドに供給する液体の供給システムの概略構成図である。

メインタンク１００は、メインタンク接続配管１０２を介してバッファータンク１０４と連結されている。このメインタンク接続配管１０２には、メインポンプ１０６とメインバルブ１０８が設けられている。

メインポンプ１０６は、制御装置（図示せず）からの指令に応じて作動し、メインタンク１００に貯留された液体をバッファータンク１０４に送液する。

メインバルブ１０８は、制御装置からの指令に応じて作動し、メインタンク接続配管１０２を開閉する。

バッファータンク１０４は、天面に形成された大気開放穴１０４Ａを介して内部が大気開放されている。このバッファータンク１０４の内部には、メインタンク１００から供給される液体によって、その内部に所定量の液体が貯留される。

バッファータンク１０４は、第１供給流路１１０を介して供給タンク１１２に連通されており、供給タンク１１２は、第２供給流路１１４を介して液滴吐出ヘッド１０の液体供給口２８に連通されている。

また、バッファータンク１０４は、第１回収流路１１８を介して回収タンク１２０に連通されており、回収タンク１２０は、第２回収流路１２２を介して、液滴吐出ヘッド１０の液体回収口３８に連通されている。

第１供給流路１１０には、供給ポンプ１２６とフィルタ１２８とが設けられている。供給ポンプ１２６は、制御装置からの指令に応じて作動し、バッファータンク１０４から供給タンク１１２に液体を送液する。フィルタ１２８は、供給ポンプ１２６とバッファータンク１０４との間に設けられており、供給タンク１１２に供給する液体から不純物を除去する。

第２供給流路１１４には、供給バルブ１３０が設けられている。供給バルブ１３０は、制御装置からの指令に応じて作動し、第２供給流路１１４を開閉する。

第１回収流路１１８には、回収ポンプ１３２が設けられている。回収ポンプ１３２は、制御装置からの指令に応じて作動し、回収タンク１２０からバッファータンク１０４に液体を送液する。

第２回収流路１２２には、回収バルブ１３４が設けられている。回収バルブ１３４は、制御装置からの指令に応じて作動し、第２供給流路１１４を開閉する。

供給タンク１１２は、その内部が弾性膜１３６によって供給液体室１１２Ａと供給気体室１１２Ｂとに区画されている。供給液体室１１２Ａには、第１供給流路１１０と第２供給流路１１４が連通されている。第１供給流路１１０を介してバッファータンク１０４から供給される液体は、一旦、この供給液体室１１２Ａに貯留される。そして、この供給液体室１１２Ａから第２供給流路１１４を介して液滴吐出ヘッド１０に供給される。この供給液体室１１２Ａは、その内部圧力が供給圧力検出器１３８によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。

一方、供給気体室１１２Ｂには、気体が充填されている。この供給気体室１１２Ｂには、供給気体室１１２Ｂを大気に開放するための大気開放管１４０が連通されている。大気開放管１４０には、大気開放バルブ１４２が設けられている。大気開放バルブ１４２は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管１４０を開閉する。

回収タンク１２０の構成も同様である。すなわち、その内部が弾性膜１４４によって回収液体室１２０Ａと回収気体室１２０Ｂとに区画されている。

回収液体室１２０Ａには、第１回収流路１１８と第２回収流路１２２とが連通されている。液滴吐出ヘッド１０から第２回収流路１２２を介して回収される液体は、一旦、この回収液体室１２０Ａに貯留される。そして、回収液体室１２０Ａから第１回収流路１１８を介してバッファータンク１０４に回収される。この回収液体室１２０Ａは、その内部圧力が回収圧力検出器１４６によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。

一方、回収気体室１２０Ｂには、気体が充填されている。この回収気体室１２０Ｂには、回収気体室１２０Ｂを大気に開放するための大気開放管１４８が連通されている。大気開放管１４８には、大気開放バルブ１５０が設けられている。大気開放バルブ１５０は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管１４８を開閉する。

−液体の供給動作−
次に、液体の循環供給の動作について説明する。

循環供給時、供給タンク１１２の供給気体室１１２Ｂを大気開放する大気開放バルブ１４２と、回収タンク１２０の回収気体室１２０Ｂを大気開放する大気開放バルブ１５０は、それぞれ閉じられる。一方、液体を供給タンク１１２の供給液体室１１２Ａから液滴吐出ヘッド１０に供給する第２供給流路１１４の供給バルブ１３０と、液滴吐出ヘッド１０から回収タンク１２０の回収液体室１２０Ａに回収する第２回収流路１２２の回収バルブ１３４は、それぞれ開かれる。

本例の供給システムでは、供給側の圧力を回収側の圧力よりも所定量だけ高く設定することにより、供給タンク１１２側から液滴吐出ヘッド１０を経て回収タンク１２０側に液体が送液される。具体的には、供給液体室１１２Ａの内部圧力をＰin、回収液体室１２０Ａの内部圧力をＰout、ノズルの背圧（負圧）をＰn、液体吐出面と供給圧力検出器１３８との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨin、液体吐出面と回収圧力検出器１４６との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨoutとすると、Ｐin＋Ｈin＞Ｐn＞Ｐout＋Ｈout（mmH2O）として、ノズルに所定の背圧を付与する。

制御装置は、供給圧力検出器１３８により検出される供給液体室１１２Ａの内部圧力と、回収圧力検出器１４６により検出された回収液体室１２０Ａの内部圧力とに基づいて、供給ポンプ１２６及び回収ポンプ１３２の駆動を制御し、供給液体室１１２Ａの内部圧力と回収液体室１２０Ａの内部圧力を、それぞれ所定の圧力Ｐin、Ｐoutに制御する。これにより、液滴吐出ヘッド１０に対して液体が循環して供給される。

なお、供給ポンプ１２６と回収ポンプ１３２の動作による圧力変動が生じた場合であっても、供給タンク１１２に設けられた弾性膜１３６と、回収タンク１２０に設けられた弾性膜１４４とにより吸収することができ、ノズル１２における圧力変動を抑えることができる。これにより、常にノズル１２の背圧を一定に維持することができる。

液体の循環供給動作は、液滴吐出ヘッド１０の動作中（印刷中）も常に行われ、これにより、ノズル１２から吐出する液体の増粘を抑制することができる。

〈液滴吐出ヘッドの作用〉
上記のように、液滴吐出ヘッド１０には、ノズル１２から吐出させる液体（たとえば、インク）が循環して供給される。

供給タンク１１２から液体供給口２８に液体は、まず、供給流路本流を２２を流れる。そして、供給流路本流２２から供給流路支流（共通供給流路）２４へと流れ、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。

圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出される。

また、この圧電素子４８の動作とは別に供給流路２０と回収流路３０との圧力差により、圧力室１４内の液体は、個別回収流路３６を介して回収流路支流（共通回収流路）３４へと流れる。回収流路支流３４へと流れた液体は、回収流路本流３２へ流れ、液体回収口３８を介して回収タンク１２０に回収される。

このように、圧力室１４に対して、ノズル１２から吐出させる液体が循環して供給される。

ところで、このような循環型の液滴吐出ヘッド１０において、吐出時等に意図した方向と逆の方向に液体が流れると、液体のリフレッシュが行われないだけではなく、気泡混入時の気泡排出流れも滞るため気泡の除去ができず、不吐出化してしまうという問題がある。また、非対称な流れが発生することにより、周辺の正常に循環が行われていたノズルにも影響を与えるという問題がある。

しかしながら、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、圧力室１４に連通された個別供給流路２６が、圧力室１４に向かって断面積が漸次減少するように形成されるとともに、個別回収流路３６が、回収流路支流３４に向かって断面積が漸次減少するように形成されていることから、逆流を有効に防止することができる。すなわち、個別供給流路２６の断面積を共通流路支流２４から圧力室１４に向かって漸次減少するように形成することにより、共通流路支流２４から圧力室１４に向かって流路抵抗が増大するように形成でき、逆流（圧力室１４から共通流路支流２４に向かう流れ）を有効に防止することができる。また、個別回収流路３６の断面積を圧力室１４から回収流路支流３４に向かって漸次減少するように形成することにより、圧力室１４から回収流路支流３４に向かって流路抵抗が増大するように形成でき、逆流（回収流路支流３４から圧力室１４に向かう流れ）を有効に防止することができる。

一方、メンテナンス時などには、意図的に液体を逆方向に循環させることがあるが、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、まったく逆方向の流れを許容しない構成ではないので、必要に応じて通常動作時（印刷時）とは逆方向に液体を流すこともできる。

このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０によれば、平常時の循環では、逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。これにより、意図しないリフィルや、それに伴うクロストークの発生等を抑止できる。また、液体の流れ方向が一方向になるため、局所的なループが発生せず、スムーズに気泡や異物、劣化した液体を排出することができる。

さらに、逆止弁などの特別な機構を必要としないので、構成もシンプルかつコンパクトにすることができる。したがって、ミクロな流路（１００μｍ以下）で構成されるインクジェットヘッドに特に有効である。

また、可動構造を伴わないので、耐久性が高く、長期間安定した液滴の吐出を行うことができる。

〈個別供給流路と個別回収流路の他の形態〉
上記実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、個別供給流路２６の底部２６Ａを入口部から出口部に向けて直線的に傾斜させて形成することにより、個別供給流路２６をテーパ状に形成し、その断面積が共通流路支流２４から圧力室１４に向かって漸次減少するように形成しているが、個別供給流路２６の断面積を変化させる態様は、これに限定されるものではない。個別回収流路３６についても同様である。

図６は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（１）を示す断面図である。

同図に示すように、本例において、個別供給流路２６は、その底部２６Ａが、入口部から出口部かけて階段状に形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている（いわゆる段付きテーパ状の流路とされている。）。

また、同図に示すように、個別回収流路３６は、その天面部３６Ａが、入口部から出口部にかけて階段状に形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている（いわゆる段付きテーパ状の流路とされている。）。

このように、断面積を変化させる態様は、必ずしも連続的である必要はなく、段階的に変化させるようにしてもよい。また、必ずしも直線的に変化させる必要はなく、曲線的に変化させるようにしてもよい。

図７は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（２）を示す断面図である。

同図に示すように、本例において、個別供給流路２６は、その底部２６Ａの一部が途中で傾斜して形成されることにより、断面積が途中で漸次減少するように形成されている（同図に示す例では、入口部と出口部は一定の大きさで形成され、途中で漸次減少するように形成されている。）。

また、同図に示すように、個別回収流路３６は、その天面部３６Ａの一部が途中で傾斜して形成されることにより、断面積が途中で漸次減少するように形成されている（同図に示す例では、入口部と出口部は一定の大きさで形成され、途中で漸次減少するように形成されている。）。

このように、断面積を変化させる部位は、必ずしも流路の全体である必要はなく、一部分のみ減少させるようにしてもよい。

図８は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（３）を示す断面図である。

同図に示すように、本例において、個別供給流路２６は、その両サイドの側壁面２６Ｂが傾斜して形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。

また、同図（ｂ）に示すように、個別回収流路３６も、その両サイドの側壁面３６Ｂが傾斜して形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。

このように、断面積を減少させるために傾斜（階段状を含む）させる壁面は、底部又は天面部に限らず、側壁面部を傾斜させるようにしてもよい。また、傾斜させる壁面は、必ずしも一つの面である必要はなく、４面全てを傾斜させるようにしてもよい。

なお、加工容易性を考慮すると、流路が基板（本例の場合、圧力室プレート４２）の上面に溝として形成される場合（本例の個別供給流路２６が該当）は、その底部又は側壁面部を傾斜させることが好ましい。一方、流路が基板の下面に溝として形成される場合（本例の個別回収流路３６が該当）は、その天面部又は側壁面部を傾斜させることが好ましい。この場合において、基板がシリコンの場合は、エッチング等で容易に形成することができる。また、基板がＳＵＳ材料の場合は、積層数を増やすことで容易に形成することができる。なお、加工は、この他レーザ等で後から行うこともできる。

また、個別供給流路２６及び個別回収流路３６の断面形状は、必ずしも四角形状である必要はなく、多角形形状の他、円形状に形成することもできる。

また、上記実施の形態では、個別供給流路２６を圧力室１４の天面側に連通し、個別回収流路３６を圧力室１４の底面側に連通する構成としているが、双方ともに底面側に連通する構成とすることもできる。

図９は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（４）を示す断面図である。

同図に示すように、本例において、個別供給流路２６は、湾曲して形成され、その底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。

また、同図（ｂ）に示すように、個別回収流路３６も、湾曲して形成され、その底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。

このように、個別供給流路２６と個別回収流路３６は、必ずしも直線的に形成する必要はなく、湾曲して形成させることもできる。このように、個別供給流路２６と個別回収流路３６を湾曲させることにより、幅方向のコンパクト化を図りつつ、流路長を所望の長さに確保することができる。

なお、本例では流路の底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するようにしているが、両側壁面の間隔を漸次減少させて、断面積が漸次減少するようにしてもよい。

図１０は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態（５）を示す断面図である。

同図に示すように、本例では、供給流路支流２４と回収流路支流３４が圧力室上部プレート４６に形成されている。

個別供給流路２６は、垂直部２６Ｖと水平部２６ＨとからなるＬ字状に形成され、水平部２６Ｈの断面積が漸次減少するように形成されている（水平部２６Ｈの天面部２６ＨＡを傾斜させることにより、水平部２６Ｈの断面積が漸次減少するように形成している。）。

個別回収流路３６も垂直部３６Ｖと水平部３６ＨとからなるＬ字状に形成され、水平部３６Ｈの断面積が漸次減少するように形成されている（水平部３６Ｈの天面部３６ＨＡを傾斜させることにより、水平部３６Ｈの断面積が漸次減少するように形成している。）。

このように、個別供給流路２６と個別回収流路３６は、屈曲して形成されていてもよい。この場合、本例のように、流路の一部の断面積のみを漸次減少させるようにしてもよい。

また、流路の一部の断面積を減少させる場合は、本例のように、水平部の断面積を漸次減少させるようにしてもよいし、また、図１１に示すように、垂直部の断面積を漸次減少させるようにしてもよい。また、全体として、断面積が漸次減少するように形成してもよい。

以上このように、個別供給流路２６と個別回収流路３６の断面積を変化させる態様は種々の形態を採用することができる。

なお、十分な効果を得るため、個別供給流路２６は、その入口部（供給流路支流２４との連通部）の断面積Ｓinと、出口部（圧力室１４との連通部）の断面積Ｓoutとの比（Ｓin／Ｓout）が、１１０％以上になるように設定することが好ましい。個別回収流路３６についても同様に、その入口部（圧力室１４との連通部）の断面積Ｒinと、出口部（回収流路支流３４との連通部）の断面積Ｒoutとの比（Ｒin／Ｒout）が、１１０％以上になるように設定することが好ましい。

≪第２の実施の形態≫
図１２は、液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図１３、図１４は、それぞれ図１２の１３−１３断面図、１４−１４断面図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０Ａは、主に供給流路支流（共通供給流路）２４と回収流路支流（共通回収流路）３４に供給用突起部２４Ａと回収用突起部３４Ａを有する点で上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０と相違する。

したがって、ここでは、この供給用突起部２４Ａと回収用突起部３４Ａの構成及び作用効果についてのみ説明する。

供給用突起部２４Ａは、各個別供給流路２６の連通部に設けられ、供給流路支流２４を流れる液体のトラップとして機能する。この供給用突起部２４Ａは、個別供給流路２６が連通する壁面に対向する面に形成され、個別供給流路２６の連通口に対向して形成される。

回収用突起部３４Ａは、各個別回収流路３６の連通部に設けられている。この回収用突起部３４Ａは、個別回収流路３６が連通する壁面に形成され、個別回収流路３６の連通口の上流側に形成される。

このような供給用突起部２４Ａを供給流路支流２４に形成することにより、供給流路支流２４を流れる液体が、個別供給流路２６に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流をより効果的に抑止することができる。

同様に、上記のような回収用突起部３４Ａを回収流路支流３４に形成することにより、個別回収流路３６を流れる液体が、回収流路支流３４に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流をより効果的に抑止することができる。

なお、供給用突起部２４Ａ及び回収用突起部３４Ａの形状は、特に限定されないが、本例のように、液流に対して上流側の面が傾斜した断面三角形状に形成することにより、スムーズな流れを形成でき、気泡等の異物が停留するのを防止できる。

また、本例のように、断面三角形状に形成することにより、加工を容易に行うことができるとともに、強度も確保することができる。

なお、供給用突起部２４Ａと回収用突起部３４Ａの形状としては、この他、たとえば、図１５に示すように、板状の突起として形成することもできる。

また、これらの突起部の加工は、基板がシリコンの場合は、エッチング等で形成することができ、基板がＳＵＳ材料の場合は、積層数を増やすことで形成することができる。加工は、この他レーザ等で行うこともできる。

≪第３の実施の形態≫
図１６は、液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図１７、図１８は、それぞれ図１６の１７−１７断面図、１８−１８断面図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０Ｂは、個別供給流路２６の入口部が面取りされる点、及び、個別回収流路３６の出口部が回収流路支流（共通回収流路）３４に突出して形成される点で上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０と相違する。

したがって、ここでは、この個別供給流路２６と個別回収流路３６の構成及び作用効果についてのみ説明する。

図１７に示すように、個別供給流路２６は、供給流路支流２４から圧力室１４に向けて入口部２６Ｐを除き断面積一定でストレートに形成される。入口部２６Ｐ（供給流路支流２４に連通する連通口の部分）は、その左右の両縁部が所定の面取り長さ、面取り角度で面取りされる。

一方、個別回収流路３６は、図１８に示すように、圧力室１４から回収流路支流３４に向けて断面積一定でストレートに形成され、その出口部３６Ｐ（回収流路支流３４に連通する連通口の部分）が、回収流路支流３４内に所定量突出して形成される。

このように、個別供給流路２６の入口部２６Ｐの左右の両周縁を面取りすることにより、供給流路支流２４を流れる液体が、個別供給流路２６に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流を効果的に抑止することができる。

同様に、個別回収流路３６の出口部３６Ｐを回収流路支流３４に突出させることにより、個別回収流路３６を流れる液体が、回収流路支流３４に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流を効果的に抑止することができる。

このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０Ｂにおいても、平常時の循環では、逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。これにより、意図しないリフィルや、それに伴うクロストークの発生等を抑止できる。また、液体の流れ方向が一方向になるため、局所的なループが発生せず、スムーズに気泡や異物、劣化した液体を排出することができる。

なお、個別供給流路２６及び個別回収流路３６に施す加工は、基板がシリコンの場合は、エッチング等で形成することができ、基板がＳＵＳ材料の場合は、積層数を増やすことで形成することができる。また、加工はこの他レーザ等で行うこともできる。

なお、十分な効果を得るため、個別供給流路２６の入口部２６Ｐに形成する面取りは、共通流路支流２４の幅Ｌｓに対して５％以上の面取り長さＬｃ、２０°〜７０°の面取り角度αで形成することが好ましい。また、個別回収流路３６の出口部３６Ｐの突出量ｘは、回収流路支流３４の幅Ｌｒに対して５％以上の長さをもって回収流路支流３４に突出させることが好ましい。

また、本例では、入口部２６Ｐを除いて個別供給流路２６を断面積を一定に形成しているが、上述した第１の実施の形態のように、圧力室１４に向かって断面積が漸次減少するように形成してもよい。同様に、個別回収流路３６の断面積を圧力室１４から回収流路支流３４に向けて漸次減少するように形成してもよい。

また、本例の場合も、個別供給流路２６及び個別回収流路３６は、屈曲又は湾曲させて形成することもできる。

〈個別供給流路と個別回収流路の他の形態＞
図１９は、個別供給流路の他の実施の形態を示す断面図である。

同図に示すように、個別供給流路２６の入口部２６Ｐに施す面取りは、供給流路支流２４を流れる液体の流れの方向に対して、上流側に位置する辺の縁部のみを面取りするようにしてもよい。

また、同図に示すように、供給流路支流２４に供給用突起部２４Ａを形成してもよい。これにより、供給流路支流２４を流れる液体が、個別供給流路２６により流れ込みやすくすることができる。

図２０は、個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図である。

同図に示すように、個別回収流路３６の出口部３６Ｐは、回収流路支流３４を流れる液体の流れの方向に対して、上流側に位置する辺の流路壁のみを突出させるようにしてもよい。

なお、突出させる個別回収流路３６の出口部３６Ｐは、同図に示すように、その外周縁を傾斜させてテーパ状に形成することが好ましい。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。また、強度も確保することができる。

１０…液滴吐出ヘッド（第１の実施の形態）、１０Ａ…液滴吐出ヘッド（第２の実施の形態）、１０Ｂ…液滴吐出ヘッド（第３の実施の形態）、１０…ノズル、１４…圧力室、２０…供給流路、２２…供給流路本流、２４…供給流路支流（共通供給流路）、２４Ａ…供給用突起部、２６…個別供給流路、２６Ａ…個別供給流路の底部、２６Ｂ…個別供給流路の側壁面、２６Ｖ…個別供給流路の垂直部、２６Ｈ…個別供給流路の水平部、２６ＨＡ…個別供給流路の水平部の天面部、２６…個別供給流路の入口部、２８…液体供給口、３０…回収流路、３２…回収流路本流、３４…回収流路支流（共通回収流路）、３４Ａ…回収用突起部、３６…個別回収流路、３６Ａ…個別回収流路の天面部、３６Ｂ…個別回収流路の側壁面、３６Ｖ…個別回収流路の垂直部、３６Ｈ…個別回収流路の水平部、３６ＨＡ…個別回収流路の水平部の天面部、３６Ｐ…個別回収流路の出口部、３８…液体回収口、４０…ノズルプレート、４２…圧力室プレート、４４…振動板、４６…圧力室上部プレート、４８…圧電素子、５０…空間、１００…メインタンク、１０２…メインタンク接続配管、１０４…バッファータンク、１０４Ａ…大気開放穴、１０２…メインタンク接続配管、１０６…メインポンプ、１０８…メインバルブ、１１０…第１供給流路、１１２…供給タンク、１１２Ａ…供給液体室、１１２Ｂ…供給気体室、１１４…第２供給流路、１１８…第１回収流路、１２０…回収タンク、１２０Ａ…回収液体室、１２０Ｂ…回収気体室、１２２…第２回収流路、１２６…供給ポンプ、１２８…フィルタ、１３０…供給バルブ、１３２…回収ポンプ、１３４…回収バルブ、１３６…弾性膜、１３８…供給圧力検出器、１４０…大気開放管、１４２…大気開放バルブ、１４４…弾性膜、１４６…回収圧力検出器、１４８…大気開放管、１５０…大気開放バルブ

Claims (12)

1. 並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記各個別供給流路は、前記共通供給流路から前記圧力室に向かって断面積が漸次減少するように形成され、
   前記各個別回収流路は、前記圧力室から前記共通回収流路に向かって断面積が漸次減少するように形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記各個別供給流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記共通供給流路から前記圧力室に向かって漸次減少するように形成され、
   前記各個別回収流路は、流路壁の少なくとも１面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記圧力室から前記共通回収流路に向かって漸次減少するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の断面積と、前記圧力室に連通する連通口の断面積との比率が１１０％以上になるように形成され、
   前記各個別回収流路は、前記圧力室に連通する連通口の断面積と、前記共通回収流路に連通する連通口の断面積との比率が１１０％以上になるように形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、
   前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、
   前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 前記各個別供給流路は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされることを特徴とする請求項４又は５に記載の液滴吐出ヘッド。
7. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
8. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成されることを特徴とする請求項４〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
9. 前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部に形成される面取りが、前記共通供給流路の幅に対して５％以上の面取り長さで形成されるとともに、２０°〜７０°の面取り角度で形成されることを特徴とする請求項４〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
10. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が、前記共通回収流路の幅に対して５％以上の突出量で前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項４〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
11. 前記共通供給流路は、前記各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
12. 前記突起部は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成されることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ヘッド。

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