JP6836355B2 - 液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の加圧室にそれぞれ接続され、複数の加圧室に液体を供給する複数の第１流路、および、複数の加圧室にそれぞれ接続され、複数の加圧室の液体を回収する複数の第２流路を備える流路部材と、複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えている。複数の加圧室は、例えば、加圧室本体と、当該加圧室本体と吐出孔とを接続する部分流路とを備えている。特許文献１の図１６では、第２流路は、部分流路の途中に接続されている。

特開２０１３−７１２９３号公報

本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１流路、および複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室の液体を回収する複数の第２流路を備えている流路部材と、複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えている。また、前記加圧室は、加圧室本体と、前記加圧室本体および前記吐出孔を接続している部分流路と、を備えている。また、前記第２流路は、前記部分流路の途中において前記部分流路の壁面に開口している入口を備えている。また、前記部分流路の壁面は、前記入口に対して前記部分流路の流路方向において隣接している第１突出部を備えている。

本開示の一態様に係る記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 （ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。 （ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。 （ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図である。 （ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は部分流路の一部の平面図である。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は部分流路の一部の平面図である。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 （ａ）は第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの断面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 （ａ）〜（ｃ）はアンダーカットの影響を示す断面図である。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同一の部材を示す複数の図面同士においても、形状等を誇張するために、寸法比率等は互いに一致していないことがある。

第２実施形態以降において、既に説明した実施形態の構成と同一又は類似する構成については、既に説明した実施形態の構成に付した符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。既に説明した実施形態の構成に対応する（類似する）構成について、既に説明した実施形態の構成とは異なる符号を付した場合においても、特に断りがない事項については、既に説明した実施形態の構成と同様である。

＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（液体吐出ヘッドの全体構成）
次に、図２〜９を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９（ａ）においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

液体吐出ヘッド２においては、第１流路として第２個別流路１４、第２流路として第３個別流路１６、第３流路として第１個別流路１２を用いて説明する。

図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられている。放熱板５２が第１開口５０ａに配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

（流路部材の全体構成）
第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４−１となっており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

（第２流路部材（統合流路））
第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。

以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

なお、液体の供給および回収は、適宜な手段によって実現されてよい。例えば、図３（ａ）において点線で示すように、プリンタ１は、第１統合流路２２、第１流路部材４の流路および第２統合流路２６を含む循環流路７８と、第１統合流路２２から第１流路部材４の流路を経由して第２統合流路２６へ向かう流れを形成する流れ形成部７９とを有していてよい。

流れ形成部７９の構成は、適宜なものとされてよい。例えば、流れ形成部７９は、ポンプを含み、開口６ｃからの吸引および／または開口６ｂへの吐出を行う。また、例えば、流れ形成部７９は、開口６ｃから回収された液体を貯留する回収空間と、開口６ｂへ供給される液体を貯留する供給空間と、回収空間から供給空間へ液体を送出するポンプと、を有し、供給空間の液面を回収空間の液面よりも高くすることにより、第１統合流路２２と第２統合流路２６との間に圧力差を生じさせるものであってもよい。

循環流路７８のうち第１流路部材４および第２流路部材６の外側に位置する部分、ならびに流れ形成部７９は、液体吐出ヘッド２の一部であってもよいし、液体吐出ヘッド２の外部に設けられていてもよい。

（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
図５〜８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４−１と、下側に設けられた吐出孔面４−２とを有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。

第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。

第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。

第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。
第１流路部材４は、第２共通流路２４にダンパ３０が設けられていることにより、第２共通流路２４の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。

第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。

端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。

（吐出ユニット）
図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第３流路）１２と、第２個別流路（第１流路）１４と、第３個別流路（第２流路）１６とを有している。なお、液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。

吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａでは、吐出ユニット１５が第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂでは、吐出ユニット１５が第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列８ａと、吐出孔行８ｂとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定させるために設けられている。

加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａから下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。

加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐状あるいは円錐台状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。

以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

（圧電アクチュエータ）
図７（ｃ），８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層、金属板または樹脂板を用いてもよい。振動板は、第１流路部材４の一部を構成する部材に兼用されているかのような構成とされてもよい。例えば、振動板は、図示の例とは異なり、加圧室面４−１全体に亘る広さを有するとともに、開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄと対向する開口を有していてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して圧電セラミック層４０ａ上の共通電極用表面電極（不図示）と繋がっており、共通電極用表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

（吐出ユニットの詳細および作用）
図９（ａ）を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。

吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第３流路）１２と、第２個別流路（第１流路）１４と、第３個別流路（第２流路）１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（図８参照）に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（図８参照）に接続されている。

第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

図９（ａ）に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。

これに対して、吐出ユニット１５では、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、これらの流路から加圧室１０に液体が供給される。

そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。

すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。

また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

（個別流路等の詳細および作用）
また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。

また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、吐出ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。

また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に排出しやすい。

また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とが面一であることが好ましい。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに外部に排出しやすい。

また、第２個別流路１４は、第３個別流路１６よりも部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８の近傍にて第２個別流路１４から液体が供給されることとなる。それゆえ、吐出孔８の近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降し、吐出孔８につまりが生じにくくなる。

また、図７（ｂ）に示すように、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。

それにより、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じにくい。

また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。

すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が生じにくい。

また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

ここで、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２（第３流路）および第２個別流路１４（第１流路）を介して第１共通流路２０と接続されている。そのため、加圧室本体１０ａに加えられた圧力の一部は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して第１共通流路２０に伝幡することとなる。

第１共通流路２０には、第１個別流路１２および第２個別流路１４から圧力波が伝幡して、第１共通流路２０の内部に圧力差が生じると、第１共通流路２０の液体の挙動が不安定になるおそれがある。そのため、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさは均一であることが好ましい。

液体吐出ヘッド２は、断面視して、第２個別流路１４が第１個別流路１２よりも下方に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａからの距離が、第２個別流路１４のほうが第１個別流路１２よりも長くなり、第２個別流路１４まで伝幡する際に、圧力減衰が生じることとなる。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗が第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっていることから、第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰を、第１個別流路１２を流れる際の圧力減衰よりも小さくすることができる。その結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

つまり、加圧室本体１０ａから第１個別流路１２または第２個別流路１４までの圧力減衰と、第１個別流路１２または第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰との合計を、第１個別流路１２と第２個別流路１４とで均一に近づけることができ、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

また、断面視して、第３個別流路１６が、第２個別流路１４よりも高く配置されており、かつ第１個別流路１２よりも低く配置されている。言い換えると、第３個別流路１６は、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａに加圧された圧力は、第３個別流路１６に伝幡する際に、一部が第３個別流路１６に伝幡する。

これに対して、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。そのため、第２個別流路１４に到達する圧力波が減少していても、第２個別流路１４での圧力減衰が小さくなるため、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

第１個別流路１２の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

なお、第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも大きくしてもよい。その場合、第１共通流路２０から第２個別流路１４を介した圧力伝幡を生じにくくすることができる。その結果、吐出孔８に不要な圧力が伝幡する可能性を低減することができる。

第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

（第３個別流路の入口および部分流路の突出部）
図８（ａ）、図８（ｂ）および図９（ａ）に示すように、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂの途中に接続されている。すなわち、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂの途中において部分流路１０ｂの壁面に開口する入口１６ａを有している。

部分流路１０ｂの途中は、例えば、部分流路１０ｂの加圧室本体１０ａ側の流路端面（加圧室本体１０ａへの開口面。図示の例ではプレート４ｂの上面）から部分流路１０ｂの内部側へ離れているとともに、吐出孔８側の流路端面（吐出孔８が開口する面。図示の例ではプレート４ｌの下面）から部分流路１０ｂの内部側へ離れている位置である。入口１６ａと流路端面との、流路方向（図示の例ではプレートの積層方向）における距離は、適宜に設定されてよい。例えば、当該距離は、加圧室本体１０ａ側および吐出孔８側のいずれについても、部分流路１０ｂの流路方向における長さの１／１０以上に設定されてよい。また、例えば、入口１６ａは、部分流路１０ｂの流路方向の中央位置よりも加圧室本体１０ａ側に位置している。

また、別の観点では、部分流路１０ｂの途中は、例えば、部分流路１０ｂの加圧室本体１０ａ側の端部を構成するプレート４ｂよりも吐出孔８側、かつ部分流路１０ｂの吐出孔８側の端部を構成するプレート４ｌよりも加圧室本体１０ａ側に位置するプレート４ｃ〜４ｋのいずれか（図示の例ではプレート４ｆ）の位置である。入口１６ａが形成されるプレートは、部分流路１０ｂの端部を構成するプレート４ｂまたは４ｌに隣接してもよいし、１枚以上離れていていてもよい。

第３個別流路１６を部分流路１０ｂの途中と接続することによって、例えば、設計の自由度が向上し、好適な流路構造が得られる。具体的には、例えば、第２共通流路２４の上に加圧室本体１０ａを重ならせることによって複数の加圧室本体１０ａの高密度化および／または第２共通流路２４の拡幅化を図り、その一方で、第３個別流路１６の第２共通流路２４に対する接続位置を第２共通流路２４の側面上端とすることにより、気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。

第１流路部材４は、部分流路１０ｂの壁面において、入口１６ａに対して加圧室本体１０ａ側に隣接し、部分流路１０ｂ内に突出する突出部８１を備えている。突出部８１は、例えば、第３個別流路１６を構成しているプレート４ｆに対して加圧室本体１０ａ側に重ねられているプレート４ｅによって構成されている。具体的には、例えば、以下のとおりである。

プレート４ｂ〜４ｌはそれぞれ、部分流路１０ｂを構成する孔８２を備えている。プレート４ｅの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側（第１方向Ｄ１側）の部分は、例えば、部分流路１０ｂを構成する他の全てのプレート４ｂ〜４ｄおよび４ｆ〜４ｌの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分よりも部分流路１０ｂの内部側（ここでは第４方向Ｄ４側）に位置している。これにより、突出部８１が構成されている。従って、突出部８１の、プレートの積層方向（部分流路１０ｂの流路方向）における大きさは、プレート４ｅの厚みと同一である。

図９（ｂ）は、プレート４ｅのうち部分流路１０ｂおよびその周囲を加圧室本体１０ａ側から見た平面図である。同図では、プレート４ｆも点線で示している。

プレート４ｂ〜４ｌの孔８２の平面形状は、例えば、概ね円形である。プレート４ｅの孔８２の直径は、例えば、他のプレート４ｂ〜４ｄおよび４ｆ〜４ｌの孔８２の直径よりも小さくされている。そして、プレート４ｅの孔８２の中心（面積重心）は、他のプレートの孔８２の中心（面積重心）よりも入口１６ａとは反対側（第４方向Ｄ４側）に位置している。これにより、プレート４ｅの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分は、他のプレートの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分よりも入口１６ａとは反対側に位置している。

従って、突出部８１は、平面視において入口１６ａ側に弧状に形成されている。突出部８１の突出量（弧の内縁と外縁との距離）は、入口１６ａ付近において最大となっている。なお、入口１６ａとは反対側において、プレート４ｅの孔８２の縁部の位置と、他のプレートの孔８２の縁部の位置とは、例えば、一致している。ただし、いずれか一方が他方に対して入口１６ａ側へずれていてもよい。

平面視において、突出部８１は、例えば、第３個別流路１６の幅（第１方向Ｄ１に直交する方向における長さ）全体に亘っている。具体的には、例えば、第３個別流路１６の幅は、プレート４ｆの孔８２の直径（部分流路１０ｂの、第３個別流路１６の高さにおける直径）よりも小さく、孔８２の半周未満である一方で、突出部８１は、プレート４ｆの孔８２の半周以上に亘っている。

突出部８１の突出量は、適宜に設定されてよい。例えば、突出部８１の突出量の最大値（入口１６ａ付近における突出量）は、１μｍ以上、２μｍ以上、５μｍ以上または１０μｍ以上とされてよい。また、別の観点では、例えば、突出部８１の突出量の最大値は、プレート４ｆの孔８２の直径の１／３０００以上または１／３００以上とされてよい。この大きさであれば、例えば、突出部８１が形成されていることを確認することができる。また、例えば、突出量の最大値は、プレート４ｆの孔８２の直径の１／２０以上１／５以下とされてよい。１／２０以上であれば、後述する流れの衝突の効果が大きく、また、１／５以下であれば、吐出のための加圧室本体１０ａから吐出孔８への圧力伝搬に突出部８１が悪影響を及ぼすおそれが低減される。

以上のとおり、本実施形態では、液体吐出ヘッド２は、第１流路部材４と、複数の変位素子４８（加圧部）と、を有している。第１流路部材４は、複数の吐出孔８、複数の吐出孔８にそれぞれ接続されている複数の加圧室１０、複数の加圧室１０にそれぞれ接続されており、複数の加圧室１０に液体を供給する複数の第１流路（例えば第２個別流路１４）、および複数の加圧室１０にそれぞれ接続されており、複数の加圧室１０の液体を回収する複数の第３個別流路１６（第２流路）を備えている。複数の変位素子４８は、複数の加圧室１０をそれぞれ加圧する。加圧室１０は、加圧室本体１０ａと、加圧室本体１０ａおよび吐出孔８を接続している部分流路１０ｂと、を備えている。第３個別流路１６は、部分流路１０ｂの途中において部分流路１０ｂの壁面に開口している入口１６ａを備えている。部分流路１０ｂの壁面は、入口１６ａに対して部分流路１０ｂの流路方向において隣接している突出部８１を備えている。

従って、例えば、入口１６ａ付近において、部分流路１０ｂの流路方向における液体の流れを突出部８１に衝突させることができる。突出部８１に対して下から上へ（別の観点では部分流路１０ｂの流路方向において入口１６ａ側から突出部８１側へ）流れが衝突する場合（図９（ａ）の第２個別流路１４からの長破線の矢印参照）においては、例えば、衝突によって入口１６ａへの流れが生じる。その結果、例えば、効率よく液体を循環させることができる。また、例えば、気泡を第２共通流路２４へ排出することも容易化される。突出部８１に対して上から下へ流れが衝突する場合においては、例えば、流れを攪拌させることができる。これにより、部分流路における液体の流れを好適にできる。

また、本実施形態では、突出部８１は、入口１６ａに対して流路方向の加圧室本体１０ａ側に位置している。

従って、例えば、液体の吐出後に吐出孔８から入口１６ａへの流れによって液体を回収するときに、液体を突出部８１に衝突させることによって入口１６ａへの流れを生じさせることができる。その結果、例えば、液体の回収を円滑化させ、加圧室本体１０ａへ気泡が逆流するおそれを低減できる。また、例えば、液体の吐出時に加圧室本体１０ａからの圧力波が突出部８１によって遮られることによって、当該圧力波が第３個別流路１６および第２共通流路２４を介して他の第３個別流路１６および他の加圧室１０へ伝搬するおそれが低減される。

また、本実施形態では、突出部８１は、入口１６ａに対して流路方向の第２個別流路１４とは反対側に位置している。

従って、例えば、第２個別流路１４から部分流路１０ｂに液体が供給されることによる流れが突出部８１に衝突する。その結果、例えば、入口１６ａへの流れが生じる。入口１６ａへの流れによって、例えば、液体の循環の効率化および気泡の排出の容易化が図られる。

また、本実施形態では、第１流路部材４は、吐出孔８側から加圧室本体１０ａ側へ積層されている複数のプレート４ｂ〜４ｌを備えている。部分流路１０ｂは、複数のプレート４ｂ〜４ｌを貫通する複数の孔８２がプレートの積層方向に繋がることによって構成されている。複数の孔８２のうち入口１６ａが内周面に開口する第１孔（プレート４ｆの孔８２）に対して、複数の孔８２のうち第１孔に重なる第２孔（プレート４ｅの孔８２）が小さいことによって突出部８１が構成されている。

従って、例えば、平面視において孔８２が円形またはこれに類する形状である場合において、突出部８１は、入口１６ａ側ほど突出量が大きくなる弧状となる。その結果、例えば、入口１６ａ付近で衝突の影響を大きくでき、その一方で、衝突の影響を入口１６ａから離れるにつれて徐々に小さくして、予測困難な３次元流れが生じるおそれを抑制できる。また、例えば、孔８２の径等を適宜に設定するだけで突出部８１を形成することができ、形成が容易である。具体的には、例えば、第１流路部材４内の各種の流路は、プレート４ａ〜４ｍの孔（孔８２を含む）および／または溝（貫通溝もしくは凹溝）によって形成されているところ、この孔および／または貫通溝は、例えば、プレートに対してエッチングを施すことによって形成される。エッチングは、例えば、ウェットエッチングである。従って、例えば、エッチングマスクのパターンを適宜に設定するだけで、突出部８１を形成することができる。

また、本実施形態では、第１流路部材４は、複数の加圧室１０にそれぞれ接続されており、複数の加圧室１０に液体を供給する複数の第１個別流路１２（第３流路）をさらに備えている。第１個別流路１２は、加圧室本体１０ａに接続されている。第２個別流路１４は、入口１６ａよりも部分流路１０ｂの流路方向の吐出孔８側において部分流路１０ｂに接続されている。

従って、まず、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６の３本の個別流路が設けられ、これらの個別流路の加圧室１０に対する接続位置が好適に設定されていることによって、図９（ａ）を参照して説明した種々の作用および効果が奏される。例えば、第１個別流路１２（加圧室本体１０ａ）からの流れに第２個別流路１４からの流れを衝突させ、部分流路１０ｂの端部における液体の滞留のおそれを低減できる。そして、突出部８１は、部分流路１０ｂの途中に位置する入口１６ａに隣接していることから、３本の個別流路による部分流路１０ｂの端部付近における滞留低減の効果が突出部８１によって減じられてしまうおそれを低減しつつ、入口１６ａへの液体の流れを容易化することができる。

＜第２実施形態＞
図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２の吐出ユニット２１５の構成を示す、図９（ａ）および図９（ｂ）に相当する図である。

吐出ユニット２１５は、部分流路１０ｂの壁面に凹部８３が設けられている点が第１実施形態の吐出ユニット１５と相違する。その他は、概ね第１実施形態と同様である。なお、以降の実施形態において、部分流路１０ｂおよびプレート４ｅ等は、突出部および／または凹部によってその形状が第１実施形態とは異なるが、便宜上、第１実施形態と同様の符号を用いる。

凹部８３は、部分流路１０ｂを挟んで突出部８１と対向している。対向方向は、例えば、部分流路１０ｂの流路方向に直交する方向および／またはプレートに平行な方向である（本実施形態では両者は同じ）。凹部８３は、部分流路１０ｂの流路方向（プレートの積層方向）、および／または第３個別流路１６の幅方向（平面視において第１方向Ｄ１に直交する方向）において、突出部８１と同等の大きさを有していてもよいし、突出部８１よりも大きくてもよいし、突出部８１よりも小さくてもよい。

凹部８３は、例えば、突出部８１とは逆に、プレート４ｅの孔８２の縁部のうち入口１６ａとは反対側（第４方向Ｄ４側）の部分が、部分流路１０ｂを構成する他の全てのプレート４ｂ〜４ｄおよび４ｆ〜４ｌの孔８２の縁部のうち入口１６ａとは反対側の部分よりも部分流路１０ｂの外部側（ここでは第４方向Ｄ４側）に位置していることによって構成されている。従って、凹部８３の、プレートの積層方向（部分流路１０ｂの流路方向）における大きさは、プレート４ｅの厚みと同一である。

具体的には、プレート４ｂ〜４ｌの孔８２の平面形状は、例えば、第１実施形態と同様に、概ね円形である。プレート４ｅの孔８２の直径は、例えば、第１実施形態とは異なり、他のプレート４ｂ〜４ｄおよび４ｆ〜４ｌの孔８２の直径と概ね同等である。そして、プレート４ｅの孔８２（中心、面積重心）は、他のプレートの孔８２（中心、面積重心）よりも入口１６ａとは反対側（第４方向Ｄ４側）に位置している。これにより、突出部８１とともに凹部８３が構成されている。

従って、突出部８１および凹部８３は、平面視において第１方向Ｄ１に直交する不図示の対称軸に対して線対称の形状である。また、突出部８１および凹部８３は、それぞれ平面視において半円状の弧状に形成されている。平面視において突出部８１の突出量（弧の内縁と外縁との距離）は、概ね入口１６ａ付近において最大となっている。同様に、平面視において凹部８３の深さ（弧の内縁と外縁との距離）は、概ね入口１６ａに対向する位置付近において最大となっている。

なお、第１実施形態では、プレート４ｅの孔８２の径をプレート４ｆの孔８２の径よりも小さくしたのに対して、第２実施形態では、プレート４ｅの孔８２の径をプレート４ｆの孔８２の径と同等としているから、第１実施形態の突出部８１と第２実施形態の突出部８１とでは、寸法または形状（例えば孔８２の円周方向の大きさ等）が若干異なる。それ以外の点については、第１実施形態における突出部８１についての説明は、第２実施形態の突出部８１の説明に適用されてよい。

突出部８１の突出量については、第１実施形態において例示したとおりである。凹部８３は、突出部８１と同等の大きさとされてよいから、突出量についての説明は、そのまま凹部８３の深さに適用されてよい。

以上のとおり、本実施形態の液体吐出ヘッド２０２においても、部分流路１０ｂの壁面は、部分流路１０ｂの流路方向において入口１６ａに対して隣接している突出部８１を備えていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、部分流路１０ｂの流路方向における液体の流れを突出部８１に衝突させることができ、その結果、入口１６ａへの流れを生じさせることができる。

また、本実施形態では、部分流路１０ｂの壁面は、部分流路を挟んで突出部８１に対向している凹部８３を備えている。

従って、例えば、突出部８１を設けて種々の効果を得る一方で、部分流路１０ｂの流路断面積を確保することができる。その結果、例えば、部分流路１０ｂ内の液体を効率的に流すことができる。

また、本実施形態では、複数の孔８２のうち入口１６ａが内周面に開口する第１孔（プレート４ｆの孔８２）に対して、複数の孔のうち第１孔に重なる第２孔（プレート４ｅの孔８２）がプレートに平行な方向（第４方向Ｄ４）へずれていることによって突出部８１および凹部８３が構成されている。

従って、例えば、平面視において孔８２が円形またはこれに類する形状である場合において、突出部８１は、入口１６ａ側ほど突出量が大きくなる弧状となり、凹部８３は、入口１６ａとは反対側ほど深くなる弧状となる。その結果、例えば、入口１６ａ付近で衝突の影響を大きくでき、また、その反対側で流路断面積を大きく確保できる。その一方で、突出部８１から凹部８３に至るまでにおけるこれらの部位が流れに及ぼす影響の変化を緩やかにして、予測困難な３次元流れが生じるおそれを抑制できる。また、例えば、孔８２の位置等を適宜に設定するだけで突出部８１および凹部８３を形成することができ、形成が容易である。具体的には、例えば、プレートのエッチングに用いられるエッチングマスクのパターンを適宜に設定するだけでよい。

＜第３実施形態＞
図１１は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド３０２の吐出ユニット３１５の構成を示す、図９（ａ）に相当する図である。

吐出ユニット３１５は、入口１６ａの加圧室本体１０ａ側だけでなく、入口１６ａの吐出孔８側にも突出部８４および凹部８５が設けられている点が第２実施形態の吐出ユニット２１５と相違する。その他は、概ね第２実施形態と同様である。

突出部８４は、部分流路１０ｂの流路方向における入口１６ａに対する位置が吐出孔８側であることを除いては、突出部８１と同様のものである。従って、第１または２実施形態における突出部８１についての説明は、加圧室本体１０ａ側を吐出孔８側に、プレート４ｅをプレート４ｇ（図８（ａ）参照）に置き代えて、突出部８４に適用されてよい。

同様に、凹部８５は、部分流路１０ｂの流路方向における入口１６ａに対する位置が吐出孔８側であることを除いては、凹部８３と同様のものである。従って、第２実施形態における凹部８５についての説明は、加圧室本体１０ａ側を吐出孔８側に、プレート４ｅをプレート４ｇに、突出部８１を突出部８４に置き代えて、凹部８５に適用されてよい。

確認的に概略を述べると、入口１６ａを有するプレート４ｅの孔８２、およびプレート４ｅに対して吐出孔８側に重なるプレート４ｇの孔８２は、例えば、概ね同等の径を有する概ね円形に形成されている。そして、プレート４ｅの孔８２に対してプレート４ｇの孔８２がプレートに平行な方向において入口１６ａとは反対側にずらされていることによって、突出部８４および凹部８５が構成されている。

突出部８４の突出量は、突出部８１の突出量に対して、小さくてもよいし、同等であってもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、突出部８４のプレートの積層方向における大きさは、突出部８１の前記積層方向における大きさに対して、小さくてもよいし、同等であってもよいし、大きくてもよい（図示の例）。凹部８５と凹部８３との大小関係についても同様である。

以上のとおり、本実施形態の液体吐出ヘッド３０２においても、部分流路１０ｂの壁面は、部分流路１０ｂの流路方向において入口１６ａに対して隣接している突出部８１および／または８４を備えていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。

例えば、加圧室本体１０ａ側からの流れが突出部８１に衝突することによって、および／または吐出孔８側からの流れが突出部８４に衝突することによって、液体の攪拌が生じる。この攪拌は、例えば、滞留の低減に利用可能である。また、例えば、突出部８１が突出部８４よりも突出していれば、吐出孔８側（別の観点では第２個別流路１４）からの流れを突出部８１に衝突させて入口１６ａへの流れを生じさせることができる。

また、本実施形態では、部分流路１０ｂの壁面は、入口１６ａに対して部分流路１０ｂの流路方向（本実施形態ではプレートの積層方向と同じ）の加圧室本体１０ａ側に隣接している突出部８１と、入口１６ａに対して前記流路方向の吐出孔８側に隣接している突出部８４とを備えている。

従って、例えば、加圧室本体１０ａ側（第１個別流路１２）からの流れおよび吐出孔８側（第２個別流路１４）からの流れのいずれも攪拌することができる。また、例えば、加圧室本体１０ａからの流れおよび吐出孔８側からの流れのいずれについても、突出部８１または８４への衝突によって、入口１６ａ付近における、部分流路１０ｂの壁面に沿う方向の流速が減じられる。その結果、例えば、ベルヌーイの定理に従って、入口１６ａ付近における圧力低下が抑制される。これにより、例えば、第３個別流路１６における液体の逆流のおそれを低減できる。

また、本実施形態では、部分流路１０ｂの壁面は、部分流路１０ｂを挟んで突出部８４に対向している凹部８５を備えている。

従って、例えば、凹部８３が設けられた場合と同様に、突出部８４による部分流路１０ｂの流路断面積の減少が補償される。また、凹部８３および８５とが併設されると、これらの凹部間に突出部が形成されることになる。その結果、例えば、凹部間の突出部が圧力波を受けて振動することによって、顔料の凹部壁面への付着のおそれを低減できる。

また、本実施形態では、複数の孔８２のうち入口１６ａが内周面に開口する第１孔（プレート４ｆの孔８２）に対して、複数の孔８２のうち第１孔に重なる第３孔（プレート４ｇの孔８２）がプレートに平行な方向へずれていることによって突出部８４および凹部８５が構成されている。

従って、例えば、突出部８１および凹部８３と同様に、流れの好適化および形成の容易化等の効果が奏される。また、上記の構成と、プレート４ｆの孔８２に対してプレート４ｅの孔８２をずらして構成された突出部８１および凹部８３とを組み合わせた場合においては、プレート４ｅ〜４ｇの３枚のみに着目すると、入口１６ａを有するプレート４ｆの孔８２をその上下のプレート４ｅおよび４ｇの孔８２に対して入口１６ａ側へずらしたことになる。従って、例えば、プレート４ｆの孔８２が、プレート４ｅ〜４ｇの３枚以外のプレートの孔８２に対して入口１６ａ側へずれたとしても、突出部８１、凹部８３、突出部８４および凹部８５は構成される。その結果、例えば、設計の自由度が大きくなる、または加工精度を緩和することができる。

＜第４実施形態＞
図１２，１３を用いて第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド４０２について説明する。液体吐出ヘッド４０２は、吐出ユニット４１５が液体吐出ヘッド２と異なっている。なお、図１３では、実際の液体の流れを実線で示し、第２個別流路４１４から供給された液体の流れを破線で示している。

吐出ユニット４１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第３流路）１２と、第２個別流路（第１流路）４１４と、第３個別流路（第２流路）４１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路４１４は、第１共通流路２０に接続されており、第３個別流路４１６は、第２共通流路２４に接続されている。そのため、吐出ユニット４１５は、第１個別流路１２および第２個別流路４１４から液体が供給され、第３個別流路４１６から液体が回収されている。

第１個別流路１２は、加圧室本体１０ａから下方へ向けて延び、第１方向Ｄ１に引き出された後、第２方向Ｄ２に引き出され、第１共通流路２０の側面に接続されている。第２個別流路４１４は、部分流路１０ｂから第１方向Ｄ１に引き出された後、第２方向Ｄ２に引き出され、第１共通流路２０の側面に接続されている。第３個別流路４１６は、部分流路１０ｂから第４方向Ｄ４に引き出された後、第５方向Ｄ５に引き出され、第２共通流路２４の側面に接続されている。

液体吐出ヘッド４０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路４１４が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、第３個別流路４１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、吐出ユニット４１５には、第１方向Ｄ１から液体が供給され、第４方向Ｄ４から液体が回収されることとなる。それにより、部分流路１０ｂの内部の液体を第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に効率よく流すことができ、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

第１共通流路２０にはダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第１共通流路２０と面した空間３２が配置されている。そのため、第１共通流路２０にダンパ３０が設けられていることにより、第１共通流路２０の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。

本実施形態においても、第１実施形態と同様に、部分流路１０ｂの壁面は、第３個別流路４１６の入口４１６ａの加圧室本体１０ａ側に隣接する突出部８１を有している。突出部８１は、第４方向Ｄ４側に位置していることを除いては、第１実施形態の突出部８１と同様でよい。

なお、本実施形態では、上述のような第１個別流路１２、第２個別流路４１４および第３個別流路４１６に対して、第１実施形態のように、入口４１６ａに対して加圧室本体１０ａ側に隣接する突出部８１のみを組み合わせる態様について例示した。ただし、他の実施形態が組み合わされてもよい。例えば、突出部８１に対向する凹部８３が設けられたり、入口４１６ａに対して吐出孔８側に隣接する突出部８４が設けられたり、突出部８４に対向する凹部８５が設けられたりしてもよい。

＜第５実施形態＞
図１４は、第５実施形態に係る液体吐出ヘッド５０２の吐出ユニット５１５の構成を示す、図９（ａ）に相当する図である。

吐出ユニット５１５は、第２個別流路１４が設けられていない点、および突出部８４のみが設けられている点が第１〜第３実施形態と相違する。その他は、概ね第１〜第３実施形態と同様である。

このような構成においても、突出部８４によって、他の実施形態と同様の効果が奏される。例えば、第１個別流路１２（加圧室本体１０ａ）からの流れを突出部８４に衝突させて、入口１６ａへの流れを生じさせることができる。

なお、本実施形態では、上述のような第２個別流路１４が設けられていない構成に対して、入口１６ａに対して吐出孔８側に隣接する突出部８４のみを組み合わせる態様について例示した。ただし、第１〜第３実施形態の突出部または凹部が組み合わされてもよい。例えば、入口１６ａに対して加圧室本体１０ａ側に隣接する突出部８１のみが設けられたり、突出部８１に対向する凹部８３が設けられたり、突出部８４に対向する凹部８５が設けられたりしてもよい。

＜エッチングの影響＞
図１５（ａ）〜図１５（ｃ）はそれぞれ、エッチングによって孔８２を形成した場合における突出部８１付近の拡大断面図である。なお、図１５（ａ）〜図１５（ｃ）は、エッチングの向き等が互いに異なる。

図１５（ａ）は、図示したプレート４ｄ〜４ｈに対して下面（吐出孔８側の面）から片面エッチングを施した場合における断面図である。この場合、アンダーカット（サイドエッチング）に起因して、孔８２は、吐出孔８側ほど径が大きくなる。各プレートにおいて、孔８２の最大径と最小径との差は、プレートの厚みが大きいほど大きい。

このような場合、例えば、点線および矢印ｙ１で示すように、孔８２の最も径が小さい部分（図１５（ａ）ではプレートの上面）を基準として複数のプレート間で孔８２の縁部の位置を比較し、突出部８１の有無を判定してよい。孔８２の径が小さい部分と径が大きい部分とでは、部分流路１０ｂ内へ突出している方が部分流路１０ｂ内の流れに及ぼす影響が大きいからである。

図示の例では、プレート４ｅの下面における孔８２の縁部（突出部８１の下面の先端縁部）は、他のプレートの上面における孔８２の縁部よりも部分流路１０ｂの内部側（紙面右側）へ位置している。ただし、突出部８１の下面の先端縁部は、他のプレートの上面における孔８２の縁部よりも部分流路１０ｂの外部側（紙面左側）に位置していてもよい。例えば、図示の例とは異なり、突出部８１が形成されるプレート４ｅが他のプレートに比較して厚い場合においては、突出部８１の突出量（上面を基準）を十分に確保しても、下面の縁部が他のプレートの上面の縁部よりも部分流路１０ｂの外部側へ位置し得る。

このことから理解されるように、プレートの積層構造によって部分流路１０ｂが構成される態様においては、突出部８１が入口１６ａに対して部分流路１０ｂの流路方向において隣接するという場合、必ずしも第３個別流路１６の上面（プレート４ｅの下面）が突出していなくてもよい。入口１６ａに隣接するプレートの一部（プレート４ｅの上面）が突出していればよい。

なお、プレートに対して下面から片面エッチングを施した場合について説明したが、プレートに対して上面から片面エッチングを施した場合も、上下が逆であることを除いて同様である。

図１５（ｂ）は、図示したプレート４ｄ〜４ｈに対して片面エッチングを施し、かつその方向がプレート間で異なる場合の断面図である。具体的には、図示の例では、プレート４ｅは上面からエッチングされており、他のプレートは下面からエッチングされている。

このような場合においても、図１５（ａ）の例と同様に、例えば、孔８２の最も径が小さい部分（プレートの上面または下面）を基準として複数のプレート間で孔８２の縁部の位置を比較し、突出部８１の有無を判定してよい。また、突出部は、基準位置の比較において突出していれば、他の位置において突出していなくてもよい。

なお、図１５（ｂ）のようにプレート４ｅの表裏のうち孔８２の径が小さい側を入口１６ａ側とすれば、図１５（ａ）に比較して、突出部８１のうち突出量が大きい側を入口１６ａに近づけることができる。その結果、例えば、下方からの流れを衝突させて入口１６ａへの流れを形成しやすい。

プレート４ｇが突出部８４を構成しない場合において、特に図示しないが、プレート４ｇの表裏のうち孔８２の径が大きい側を入口１６ａ側としてもよい。この場合、例えば、下方からの流れを円滑に入口１６ａへ導くことができる。

図１５（ｃ）は、図示したプレート４ｄ〜４ｈに対して両面からエッチングを施した場合における断面図である。この場合、アンダーカットに起因して、孔８２は、プレートの両面側ほど径が大きくなる。各プレートにおいて、孔８２の最大径と最小径との差は、プレートの厚みが大きいほど大きい。また、当該差は、同一厚みのプレートに対する片面エッチングと比較すると、一般には小さい。

このような場合においても、図１５（ａ）の例と同様に、例えば、孔８２の最も径が小さい部分（ここではプレートの厚み方向中央側）を基準として複数のプレート間で孔８２の縁部の位置を比較し、突出部８１の有無を判定してよい。また、突出部８１は、基準位置の比較において突出していれば、他の位置において突出していなくてもよい。

両面エッチングが行われる場合、一方の面を覆うエッチングマスクと、他方の面を覆うエッチングマスクとで、孔８２に対応する開口の径および位置は、例えば、互いに同一である。ただし、径および／または位置が互いに異なっていてもよい。

図１５（ａ）〜図１５（ｃ）を参照して突出部８１について述べたが、突出部８４についても、入口１６ａに対する上下関係が逆であることを除いて、図１５（ａ）〜図１５（ｃ）と同様である。

突出部と同様に、凹部８３および凹部８５についても、これら凹部を有するプレートの上面と下面とで深さが異なる。凹部についても、各プレートにおいて孔８２の径が最も小さい部分（部分流路１０ｂの内部側に位置している部分）を基準として複数のプレート間で孔８２の縁部を比較し、凹部の有無を判定してよい。

なお、以上の実施形態において、第２個別流路１４および４１４はそれぞれ第１流路の一例である。第３個別流路１６および４１６はそれぞれ第２流路の一例である。第１個別流路１２は第３流路の一例である。変位素子４８は加圧部の一例である。突出部８１は第１突出部の一例である。凹部８３は第１凹部の一例である。突出部８４は第２突出部の一例である。凹部８５は第２凹部の一例である。プレート４ｆの孔８２は第１孔の一例である。プレート４ｅの孔８２は第２孔の一例である。プレート４ｇの孔８２は第３孔の一例である。搬送ローラ７４ａ〜７４ｄは搬送部の一例である。

上記とは異なり、第１個別流路１２を第１流路の一例と捉えてもよい。突出部８４を第１突出部の一例と捉えてもよい。凹部８５を第１凹部の一例と捉えてもよい。プレート４ｇの孔８２を第２孔の一例と捉えてもよい。

本開示の態様は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

加圧室に接続され、液体の供給または回収に供される流路の構成は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、図９（ａ）において、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側の側面に接続されたり、図１３において、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側の側面に接続されたり、図１４において、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側の側面に接続されたりしてもよい。

第１流路および第３流路（第２個別流路１４および第１個別流路１２）は、互いに別個の共通流路から液体が供給されてもよい。逆に、第１流路および／または第３流路に液体を供給する共通流路と、第２流路（第３個別流路１６）から液体を回収する共通流路とは同一のものであってもよい。

実施形態では、平面視において、第２個別流路１４および第３個別流路１６の幅（第１方向Ｄ１に直交する方向）は、部分流路１０ｂの直径よりも小さくされた。ただし、第２個別流路１４および第３個別流路１６の幅は、部分流路１０ｂとの接続部分において広くされることなどにより、部分流路１０ｂの直径と同等以上とされてもよい。

実施形態では、平面視において、突出部８１および８４は、入口１６ａの幅全体に亘る大きさを有した。ただし、突出部８１および８４は、入口１６ａの幅の一部にのみ亘る大きさであってもよい。

１つの突出部または１つの凹部は、２枚以上のプレートによって構成されてもよい。例えば、図８（ａ）において、プレート４ｅの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分だけでなく、プレート４ｄの孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分も部分流路１０ｂの内部側へ位置し、プレート４ｅおよびプレート４ｄによって突出部が構成されてよい。このように１つの突出部が２枚以上のプレートによって構成されている場合において、突出量は、前記２枚以上のプレート間において同等であってもよいし、互いに異なっていてもよく、また、異なる場合において、プレート４ｅにおける突出量は、最大であってもよいし、最大でなくてもよい。

上記を別の観点で捉えると、プレート４ｅは、他の全てのプレートに比較して、孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分が部分流路１０ｂの内部側に位置していなくてもよい。例えば、部分流路１０ｂを構成し、かつプレート４ｅよりも上に位置するプレート４ｂ〜４ｄの少なくともいずれか１つ、および、入口１６ａを有するプレート４ｆと比較して、孔８２の縁部のうち入口１６ａ側の部分が部分流路１０ｂの内部側に位置していればよい。入口１６ａの上の突出部を例に挙げたが、入口１６ａの下の突出部についても上下が逆であることを除いて同様である。突出部に対向する凹部についても、部分流路１０ｂの内外の方向が逆であることを除いて同様である。

なお、入口１６ａを有するプレート４ｆの孔８２の縁部は、入口１６ａによって一部が途切れている。従って、突出部８１の有無の判断に際して、入口１６ａの位置において、プレート４ｅの孔８２の縁部とプレート４ｆの孔８２の縁部とを直接的に比較することはできない。そこで、例えば、実施形態のように入口１６ａの幅（平面視において第１方向Ｄ１に直交する方向）がプレート４ｆの孔８２の直径に比較して小さい場合、および／または、孔８２の縁部の形状が、入口１６ａによって一部が途切れた円形である場合は、プレート４ｆの孔８２の縁部を入口１６ａまで延長する仮想線を用いることにより、プレート４ｅの孔８２の縁部とプレート４ｆの孔８２の縁部とを比較してよい。また、そのような仮想線の想定が困難な場合においては、例えば、プレート４ｆよりも下に位置し、部分流路１０ｂを構成するプレート４ｇ〜４ｌと比較して、突出部８１の有無を判定してよい。例えば、プレート４ｇ〜４ｌの全てと比較して、孔８２の縁部が部分流路１０ｂの内部側に位置していれば、突出部８１が設けられていることは明らかである。また、突出部８４が設けられることがあることを考慮すると、プレート４ｇ〜４ｌの少なくともいずれか１つと比較して、孔８２の縁部が部分流路１０ｂの内部側に位置していればよい。突出部８１を例に挙げたが、突出部８４についても、上下が逆であることを除いて同様である。

突出部（および凹部）を構成するための孔８２の径および／または位置についてのプレート間の相違は、種々の態様が可能である。例えば、プレート４ｆの孔８２の径に対してプレート４ｅの孔８２の径を小さくするとともに、これらの孔８２の中心の位置をずらさないようにしてもよい。この場合、全周に亘って突出部８１が構成される。また、例えば、プレート４ｆの孔８２の径とプレート４ｅの孔８２の径とを互いに異ならせ、かつ突出部８１および凹部８３が構成されるように２つの孔８２の中心をずらしてもよい。この場合、第２実施形態とは異なり、突出部８１と凹部８３とは非対称になる。また、例えば、突出部８１はプレート１枚で構成し、凹部８３はプレート２枚で構成するなど、互いに対向する突出部と凹部との厚さを互いに異ならせることも可能である。

突出部（および凹部）を構成する方法は、孔の径を異ならせたり、孔の位置をずらしたりする方法に限定されない。例えば、プレート４ｆおよびプレート４ｅのうち一方のプレートの孔８２の平面形状を円形にし、他方のプレートの孔８２の平面形状を円形以外の形状にするなど、孔８２の平面形状を互いに異ならせてもよい。

プレート間で孔８２（中心）の位置がずれている場合において、そのずれの方向および大きさと、プレートの外縁同士のずれの方向および大きさとは、異なっていてもよいし、同一であってもよい。別の観点では、例えば、プレートの外縁に対する孔８２の形成位置をプレート間でずらす一方でプレートの外縁同士を揃えることによって孔８２同士をずらしてもよいし、プレートの外縁に対する孔８２の形成位置をプレート間で揃える一方でプレートの外縁同士をずらすことによって孔８２同士をずらしてもよい。プレートの外縁に対する孔８２の形成位置をプレート間でずらすとともにプレートの外縁同士をずらすことによって、孔８２同士のずれを大きく、または小さく調整してもよい。

第１流路部材４に圧電アクチュエータ基板４０を接着する前に、突出部となる部材を部分流路１０ｂの壁面に接着したり、部分流路の壁面を削って凹部を形成したりしてもよい。別の観点では、流路部材は、複数のプレートによって構成されていなくてもよい。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１２・・・第１個別流路（第３流路）
１４・・・第２個別流路（第１流路）
１５・・・吐出ユニット
１６・・・第３個別流路（第２流路）
２０・・・第１共通流路
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路
２６・・・第２統合流路
２８・・・端部流路
３０・・・ダンパ
３２・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４６・・・接続電極
４８・・・変位素子
５０・・・筐体
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
７６・・・制御部
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向

Claims (10)

1. 複数の吐出孔、
   複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１流路、および
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室の液体を回収する複数の第２流路を備えている流路部材と、
   複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、
   を備えており、
   前記加圧室は、
   加圧室本体と、
   前記加圧室本体および前記吐出孔を接続している部分流路と、を備えており、
   前記第２流路は、前記部分流路の途中において前記部分流路の壁面に開口している入口を備えており、
   前記部分流路の壁面は、前記入口に対して前記部分流路の流路方向において隣接している第１突出部を備えており、
   前記第１突出部の先端は、前記部分流路の壁面の、前記入口に対して前記流路方向の前記第１突出部とは反対側に隣接する部分よりも、前記部分流路の内部側に位置している
   液体吐出ヘッド。
2. 前記第１突出部は、前記入口に対して前記流路方向の前記加圧室本体側に位置している
   請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１突出部は、前記入口に対して前記流路方向の前記第１流路とは反対側に位置している
   請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記部分流路の壁面は、前記部分流路を挟んで前記第１突出部に対向している第１凹部を備えている
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路部材は、前記吐出孔側から前記加圧室本体側へ積層されている複数のプレートを備えており、
   前記部分流路は、複数の前記プレートを貫通する複数の孔が前記プレートの積層方向に繋がることによって構成されており、
   前記複数の孔のうち前記入口が内周面に開口する第１孔に対して、前記複数の孔のうち前記第１孔に重なる第２孔が前記プレートに平行な方向へずれていることによって前記第１突出部および前記第１凹部が構成されている
   請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記流路部材は、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第３流路をさらに備えており、
   前記第３流路は、前記加圧室本体に接続されており、
   前記第１流路は、前記入口よりも前記流路方向の前記吐出孔側において前記部分流路に接続されている
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 複数の吐出孔、
   複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１流路、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室の液体を回収する複数の第２流路、および
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されており、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第３流路を備えている流路部材と、
   複数の前記加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、
   を備えており、
   前記加圧室は、
   加圧室本体と、
   前記加圧室本体および前記吐出孔を接続している部分流路と、を備えており、
   前記第２流路は、前記部分流路の途中において前記部分流路の壁面に開口している入口を備えており、
   前記第３流路は、前記加圧室本体に接続されており、
   前記第１流路は、前記入口よりも前記部分流路の流路方向の前記吐出孔側において前記部分流路に接続されており、
   前記部分流路の壁面は、
   前記入口に対して前記流路方向の前記加圧室本体側に隣接している第１突出部と、
   前記入口に対して前記流路方向の前記吐出孔側に隣接している第２突出部と、を備えている
   液体吐出ヘッド。
8. 前記部分流路の壁面は、前記部分流路を挟んで前記第２突出部に対向している第２凹部を備えている
   請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記流路部材は、前記吐出孔側から前記加圧室本体側へ積層されている複数のプレートを備えており、
   前記部分流路は、複数の前記プレートを貫通する複数の孔が前記プレートの積層方向に繋がることによって構成されており、
   前記複数の孔のうち前記入口が内周面に開口する第１孔に対して、前記複数の孔のうち前記第１孔に重なる第３孔が前記プレートに平行な方向へずれていることによって前記第２突出部および前記第２凹部が構成されている
   請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
    を備えている記録装置。

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