JP4973377B2 - 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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Description
5 圧電アクチュエータ
14 圧力室
30 振動板
31,31B 圧電素子
32 個別電極
35 接点部
36,36A 支持部
37 表面電極
38 導通部
40 接着剤
50 フレキシブルプリント配線板(FPC)
Claims (15)
- 平面に沿って配置された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを有し、
前記圧電アクチュエータは、
前記流路ユニットに前記複数の圧力室を覆うように配置された振動板と、
振動板の前記圧力室と反対側の面に配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子と接する前記振動板の面に配置された第1電極と、
前記振動板と接する前記複数の圧電素子の面と反対側の面に配置された第2電極と、
を備え、
前記複数の圧電素子は、各々対応する圧力室と対向して配置されているとともに、互いに孤立して配置されており、
前記第2電極には可撓性を有する配線部材が接続されるとともに、前記振動板の前記圧力室と反対側の面において、前記複数の圧力室と対向する領域を囲う領域に、前記圧電素子と同じ圧電材料からなる支持部が設けられており、
前記配線部材は、前記支持部の前記振動板と反対側の面に接合されていることを特徴とする液体移送装置。 - 前記第1電極は、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に隙間なく形成された、前記複数の圧電素子の共通電極であり、
前記第2電極は、前記複数の圧電素子のそれぞれの個別電極であることを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。 - 前記振動板が、前記圧力室と反対側の面に前記共通電極としての導電面を有し、
前記支持部の前記振動板と反対側の面に表面電極が形成されるとともに、前記表面電極と前記振動板の導電面とが導通し、
さらに、前記配線部材は、前記表面電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の液体移送装置。 - 前記配線部材は、前記支持部の前記振動板と反対側の面に、熱硬化性接着剤により接合されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記熱硬化性接着剤は、導電性であることを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置。
- 前記支持部は、前記配線部材の長手方向に延在していることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記支持部は、その延在する方向と直交する方向の幅が延在する方向において異なることを特徴とする請求項6に記載の液体移送装置。
- インクジェットヘッドであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の液体移送装置。
- 圧電アクチュエータを備える液体移送装置の製造方法であって、
平面に沿って配置された複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットをもたらす工程と、
前記流路ユニットに前記複数の圧力室を覆うように振動板を配置する工程と、
前記振動板の前記圧力室と反対側の面に圧電材料の粒子を離散的に堆積させることにより、互いに孤立した複数の圧電素子を形成する素子形成工程と、
前記複数の圧電素子と接する前記振動板の面に第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記振動板と接する前記複数の圧電素子の面と反対側の面に第2電極を形成する第2電極形成工程と、
前記第2電極に可撓性を有する配線部材を接続する配線接続工程とを有し、
前記素子形成工程において、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に、前記複数の圧電素子と、これら圧電素子と同じ圧電材料からなる支持部を同時に形成し、
前記配線接続工程において、前記配線部材を、前記第2電極と接続するとともに、前記支持部の前記振動板と反対側の面に接合し、
前記素子形成工程において、前記振動板の、前記複数の圧力室と対向する領域を囲う領域に、前記支持部を形成することを特徴とする液体移送装置の製造方法。 - 前記第1電極が、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に隙間なく形成され、前記複数の圧電素子の共通電極であり、
前記第2電極が、前記複数の圧電素子のそれぞれの個別電極であり、
さらに、前記振動板が、前記圧力室と反対側に前記共通電極としての導電面を有するものであり、
前記電極形成工程において、前記支持部の前記振動板と反対側の面に、表面電極を前記複数の個別電極と同時に形成するとともに、前記表面電極と前記振動板の前記導電面を導通させる導通部を形成し、
前記配線接続工程において、前記配線部材と前記表面電極とを電気的に接続することを特徴とする請求項9に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記配線接続工程において、前記配線部材と前記支持部の前記振動板と反対側の面とを、熱硬化性接着剤を用いて接合することを特徴とする請求項9又は10に記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記熱硬化性接着剤は、導電性であることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 前記支持部を前記配線部材の長手方向に延在させることを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載の製造方法。
- 前記支持部が延在する方向と直交する方向の前記支持部の幅が、長手方向において異なっていることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記液体移送装置がインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項9〜14のいずれかに記載の製造方法。
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