JP4957701B2 - 液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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Description
4 流路ユニット
5 圧電アクチュエータ
14 圧力室
31 振動板
32 圧電層
81 積層体
100 インクジェットプリンタ
Claims (7)
- 圧力室を含む液体流路が形成された流路構造体と、前記流路構造体の一表面に少なくとも前記圧力室を覆うように配置された振動板及び前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層を含んだ圧電アクチュエータと、を備えた液体移送装置の製造方法であって、
前記振動板と前記流路構造体とを積層して接合する接合工程と、
前記流路構造体と前記振動板の少なくとも一方に形成され前記液体流路に連通する開口を開口封止部材で封止する開口封止工程と、
前記接合工程及び前記開口封止工程の後、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に、エアロゾルデポジション法により圧電材料の粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを噴きつけて前記圧電材料の粒子を堆積させて、圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層形成工程の後、前記開口封止部材を除去する除去工程と、を備えていることを特徴とする液体移送装置の製造方法。 - 前記圧電層形成工程の後、前記開口封止部材が熱分解または気化する温度よりも高いアニール処理温度で前記圧電層を加熱するアニール処理工程をさらに備えており、
前記除去工程は、前記アニール処理工程と同時に行うことを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記開口は、外部から前記液体流路に液体が流入するときに通過する流入孔であり、
前記アニール処理温度よりも融点が高い材料で形成され、複数の孔を有するフィルタで前記流入孔を覆う流入孔覆設工程をさらに備えており、
前記開口封止工程において、前記フィルタの前記複数の孔を前記開口封止部材で封止することを特徴とする請求項2に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記開口封止工程において、前記フィルタに液体状の前記材料を塗布して固化させることで前記複数の孔を封止することを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記フィルタは、多孔質フィルタであることを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記フィルタ及び前記振動板は金属材料からなり、
前記流路構造体は、金属材料からなる複数枚のプレートが積層されて構成されており、
前記接合工程において、前記フィルタと前記振動板と当該複数枚のプレートとを積層状態で金属拡散接合によって接合することを特徴とする請求項5に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記流入孔は、前記振動板の前記圧電層が形成された面、または、前記流路構造体の前記振動板と接合される面に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の液体移送装置の製造方法。
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