JP5266624B2 - 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴を噴射する液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法に関する。

ノズルから記録用紙等にインクを噴射するインクジェットヘッドにおいて、インクの液滴が噴射される際にノズルの出射口周りにインクが付着すると、この付着したインクにより、次に噴射される液滴の噴射方向が曲がったり、あるいは、その液滴体積や液滴速度がばらついたりしてしまい、印字品質が低下する虞がある。そこで、一般的なインクジェットヘッドにおいては、ノズルの出射口近傍にインクが付着するのを防止するために、ノズルの出射口が配置された液滴噴射面に撥液膜（撥インク膜）が形成されている。

しかし、液滴の噴射対象である記録用紙等は、液滴噴射面との間に非常に小さな（例えば、１ｍｍ程度）の隙間を空けて搬送されるため、搬送時に記録用紙等が液滴噴射面に接触するなどして、撥液膜が剥離するなどの損傷が生じる虞がある。また、液滴噴射面に付着したインクや塵などを取り除くために、ワイパーで液滴噴射面をふき取る動作（ワイピング）を行う際に、撥液膜がワイパーとの間の摩擦により損傷する虞もある。このような要因により、ノズルの出射口周りの撥液膜が損傷すると、液滴の噴射方向が曲がってしまい、印字品質が低下する。

そこで、ノズルの出射口近傍に形成された撥液膜の損傷を防止することが可能なインクジェットヘッドが提案されている。例えば、特許文献１（特開２００４−２５５７０２号公報）に記載のインクジェットヘッドにおいては、ノズルプレートの、ノズルの出射口周りの部分が表面側から弾性体で押圧されて、この部分に凹部が形成されている。また、特許文献２（特開２００３−２７６２０４号公報）に記載のインクジェットヘッドにおいては、ノズルプレートの、ノズルの出射口周りの部分が、レーザー加工、あるいは、エッチングにより部分的に除去されて、凹部が形成されている。そして、これらの凹部により、ノズルの近傍部に形成された撥液膜が、液体噴射面に近接して搬送される記録用紙等やワイピング時に作動するワイパーなどと接触しにくくなるため、撥液膜の損傷が防止される。

特開２００４−２５５７０２号公報 特開２００３−２７６２０４号公報

前述の特許文献１のインクジェットヘッドでは、ノズルプレートの表面側から弾性体が押しつけられて凹部が形成されている。しかし、実際には、ノズルの径は非常に小さく（例えば、２０μｍ程度）、また、隣接するノズルとの間の間隔も小さいことから、各ノズルの出射口周りに凹部を精度よく形成する必要があるが、特許文献１のように各ノズルの出射口周りに弾性体を押しつける方法では、この凹部を精度よく形成することは非常に困難である。

また、特許文献２のインクジェットヘッドでは、ノズルプレートのノズルの出射口周りの部分をレーザー加工やエッチング等により部分的に除去するという、高精度に凹部を形成するための特別な加工が必要になり、製造コストが高くなる。

本発明の目的は、ノズルの出射口の周囲の撥液膜の損傷を防止できる液滴噴射装置と、そのための構造を簡単に形成することが可能な液滴噴射装置の製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明の第１の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有し、前記ノズルの周囲を含む部分において前記流路ユニットに接合され、且つ、前記流路ユニットと接合されていない非接合部が設けられたノズルプレートとを備え、前記ノズルプレートの前記非接合部において、前記液体噴射面に前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成されており、前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に、前記非接合部を前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて前記突出部を形成するための流体が供給される空間が形成されている液滴噴射装置が提供される。

本発明の第１の態様によれば、本発明の液滴噴射装置は、ノズルプレートがノズルの周囲（近傍部）を含む部分において流路ユニットに接合されている。その一方で、ノズルプレートの非接合部には、流路ユニットと反対側へ突出する突出部が形成されている。そのため、この突出部により、ノズルの周囲に形成された撥液膜が、液体噴射面に近接して搬送される記録媒体やワイピング時に作動するワイパーなどとの機械的摩擦から保護されるため、ノズル周囲の撥液膜の損傷が防止される。また、突出部は、ノズル周囲から離れた非接合部を、流路ユニットと反対側へ湾曲させることにより形成される。そのため、従来のようにノズルの周囲をレーザー加工する等して凹部を形成する場合に比べて、厳密な精度管理が不要になり、突出部を形成することが容易になる。また、ノズルプレートの非接合部と流路ユニットとの間の空間を突出部形成のための流体が供給される空間として利用することができるため、この空間内に流体を供給して、この流体により非接合部を膨らませて突出部を形成することができ、突出部の形成を容易に行える。

本発明の液滴噴射装置において、前記突出部の表面は、滑らかに連続する曲面状に形成されていてもよい。この構成では、突出部が段差のある形状に形成されている場合に比べて、ワイピング時に液体噴射面に付着した液滴や塵等を除去しやすくなる。

本発明の液滴噴射装置において、前記空間は、前記液体流路の一部分を構成していてもよい。この場合には、液体流路の一部を、突出部形成のための流体が供給される空間として利用することができるため、この空間を液体流路とは別に形成する必要がない。

本発明の液滴噴射装置において、前記空間は前記液体流路とは独立して形成されており、前記流路ユニットは、その外部と前記空間とを連通させる連通路とを有してもよい。この場合には、ノズルプレートの非接合部と流路ユニットとの間に形成された空間に、連通路を介して確実に流体を供給することができる。

本発明の液滴噴射装置において、前記ノズルは前記ノズルプレートに複数の噴射ノズルとして形成され、前記液体流路は、複数の前記噴射ノズルに連通する共通液室を有し、前記流路ユニットは、第１プレート及び第２プレートを含む複数のプレートを有し、前記複数のプレートは、前記液体流路を形成する複数の孔をそれぞれ備え、且つ、積層状態で互いに接合され、前記ノズルプレートには、前記空間を形成する空間形成孔を備えた第１プレートが接合され、前記空間と前記共通液室は、前記第１プレートの前記ノズルプレートと反対側の面において接合された、第２プレートにより仕切られていてもよい。ノズルから液滴を噴射する際には、アクチュエータ等により共通液室とノズルとの間の液体に圧力が付与される。このとき、複数の噴射ノズルに連通する共通液室内には圧力変動が生じるが、この圧力変動が大きいと、別の噴射ノズルから噴射される液滴体積や液滴速度がばらつくなどの悪影響を及ぼす。しかし、本発明では、突出部を形成するための流体が供給される空間と、共通液室とが、第２プレートにより仕切られているため、この第２プレートにより共通液室内の圧力変動を減衰させることが可能になる。

本発明の液滴噴射装置において、前記ノズルプレートは合成樹脂材料により形成されていてもよい。このように、ノズルプレートが剛性の低い合成樹脂材料からなる場合には、非接合部を変形させて突出部を形成することが容易になる。

本発明の液滴噴射装置において、前記ノズルプレートの厚さは、前記非接合部において部分的に薄くなっていてもよい。この場合には、非接合部の剛性が部分的に低くなっているため、非接合部を変形させて突出部を形成することが容易になる。

本発明の液滴噴射装置において、前記突出部は、前記ノズルが形成された領域を取り囲むように配置されていてもよい。この場合には、ノズルの周囲の撥液膜の損傷を確実に防止できる。

本発明の液滴噴射装置において、前記ノズルは、前記ノズルプレートに列状に配置された複数の個別ノズルとして形成され、前記突出部は、前記個別ノズルの列方向と平行に配置されていてもよい。この場合には、同時に多数の個別ノズルから液滴を噴射させることができる。また、個別ノズル列に対して突出部を平行に設けることによって、例えば、本発明の液滴噴射装置をインクジェット式のラインプリンタ又はシリアルプリンタとして利用する場合に、記録媒体が個別ノズル周囲の撥液膜に接触するのを確実に防ぐことができる。

本発明の液滴噴射装置において、前記ノズルは、前記ノズルプレートに列状に配置された複数の噴射ノズルとして形成され、前記流路ユニット及び前記ノズルプレートは、前記噴射ノズルの列方向と直交する方向へ一体的に移動可能に構成され、前記突出部は、前記ノズルプレートにおいて、前記列方向と直交する方向に関して、前記複数の噴射ノズルが形成された領域の外側に配置されていてもよい。このように、液滴噴射装置が、個別ノズルの配列方向（第１の方向）と直交する方向（第２の方向：走査方向）に移動するシリアル式に構成されている場合に、走査方向である第２の方向に関して、個別ノズルが形成された領域の外側に突出部が形成されているため、ワイピング時にノズルプレートに対して走査方向に相対移動するワイパーが、個別ノズルの周囲の撥液膜に接触するのを防止できる。

本発明の第２の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有し、前記ノズルの周囲を含む部分において前記流路ユニットに接合され、且つ、前記流路ユニットと接合されていない非接合部が設けられたノズルプレートとを備え、前記ノズルプレートの前記非接合部において、前記液体噴射面に前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成されており、前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に充填材が充填されている液滴噴射装置が提供される。本発明の第２の態様によれば、ワイピング時に突出部がワイパーに押圧されて変形するのを抑制することができる。

本発明の第３の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートとを備え、前記ノズルプレートの前記液体噴射面に、前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成され、前記ノズルプレートの前記突出部と前記流路ユニットとの間には、前記液体流路と独立した空間が形成されており、前記独立した空間には、加圧された流体が充填されている液滴噴射装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、ノズルプレートの突出部と流路ユニットとの間には、液体流路と独立した空間が形成されている。この空間は、液滴を噴射させる際に液体流路内に伝搬する圧力波を減衰させるためのダンパとしての機能を果たすことができる。従って、流路ユニットと独立に、空間を設けることによって、液体流路内に伝搬する圧力波を速やかに減衰させ、液滴噴射の特性を良好に保つことができる。

また、突出部におけるノズルプレートの厚さが比較的薄い場合であっても、突出部と流路ユニットとの間の空間に加圧された流体が充填されているため、突出部を押す力に対して、突出部は十分な強度を保つことができる。

本発明の第４の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、前記ノズルプレートの所定の部分又は前記流路ユニットの前記所定の部分と対向することとなる部分に、凹部を形成する凹部形成工程と、前記所定の部分が前記流路ユニットに接合されていない非接合部となるように、前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記ノズルプレートの前記非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程とを備え、前記接合工程において、前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に前記凹部により空間を形成した状態で、前記ノズルプレートを前記流路ユニットに接合し、前記突出部形成工程において、前記空間内に流体を供給し、この流体により前記非接合部を前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて前記突出部を形成する液滴噴射装置の製造方法が提供される。

本発明の第４の態様によれば、ノズルプレートをノズルの周辺において流路ユニットに接合してから、流路ユニットに接合されていない非接合部に外側へ膨らませて突出部を形成する。そのため、この突出部により、ノズルの周辺に形成された撥液膜が、液体噴射面に近接して搬送される被記録媒体やワイピング時に作動するワイパーなどとの機械的摩擦から保護されるため、ノズル近傍部の撥液膜の損傷が防止される。また、本発明では、ノズルの周囲から離れている非接合部を、流路ユニットと反対側へ膨らませることにより突出部を形成する。そのため、従来のようにノズルの周囲を、例えばレーザー加工等によって加工して凹部を形成する場合に比べて、厳密な精度管理が不要になり、突出部の形成が容易になる。

また、ノズルプレートの非接合部と流路ユニットとの間の空間内に流体を供給して、この流体により非接合部を膨らませて突出部を形成するため、突出部の形成を容易に行える。

本発明の液滴噴射装置の製造方法において、前記ノズルプレートが合成樹脂材料により形成されていてもよい。このように、ノズルプレートが、剛性の低い合成樹脂材料からなる場合には、非接合部を変形させて突出部を形成するのが容易になる。

本発明の第５の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記ノズルプレートの、前記流路ユニットに接合されていない非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程とを備え、前記突出部形成工程において、前記非接合部をレーザーで局所的に加熱して前記流路ユニットと反対側へ湾曲させることにより、前記突出部を形成する液滴噴射装置の製造方法が提供される。本発明の第５の態様によれば、加工対象をレーザーで局所的に加熱して所望の形状に成形する、レーザーフォーミング加工を用いることにより、ノズルプレートが金属材料などの剛性が高い材料からなる場合でも、突出部を容易に形成することができる。

本発明の第６の態様に従えば、液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記ノズルプレートの、前記流路ユニットに接合されていない非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程と、前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に充填材を充填する充填工程とを備える液滴噴射装置の製造方法が提供される。本発明の第６の態様によれば、突出部を形成した後に、非接合部と流路ユニットとの間に充填材を充填することにより、ワイピング時に突出部がワイパーに押圧されて変形するのを抑制することができる。

本発明の実施形態について説明する。本実施形態は、液滴噴射装置として、ノズルから記録用紙にインクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。まず、インクジェットヘッド１を備えたインクジェットプリンタ１００について簡単に説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の走査方向（左右方向）に移動可能なキャリッジ１０１と、このキャリッジ１０１に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の紙送り方向の前方へ搬送する搬送ローラ１０２等を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ１０１と一体的に走査方向へ移動して、その下面のインク噴射面４１（液滴噴射面：図３、図５、図６参照）に配置されたノズル２０（図３参照）の出射口から記録用紙Ｐに対してインクを噴射する。そして、インクジェットヘッド１により文字及び／又は画像が記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ１０２により紙送り方向の前方へ排出される。

次に、インクジェットヘッド１について図２〜図６を参照して詳細に説明する。図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド１は、圧力室１６を含む個別インク流路２１（図５参照）が複数形成された流路ユニット２と、複数の個別インク流路２１にそれぞれ連通する複数のノズル２０を有するノズルプレート１５と、流路ユニット２の上面に配置された圧電アクチュエータ３とを備えている。

まず、流路ユニット２について説明する。図５、図６に示すように、流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及び、２枚のカバープレート１３，１４を備えており、これら５枚のプレート１０〜１４が積層状態で接合されている。また、これら５枚のプレート１０〜１４はステンレス鋼製の板であり、後述するマニホールド１７や圧力室１６等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができる。また、この流路ユニット２の下面（カバープレート１４の下面）には、複数のノズル２０が形成されたノズルプレート１５が接合されている。

図２、図４に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って隣接配置された複数の圧力室１６が形成されており、これら複数の圧力室１６は上方へ開口している。また、複数の圧力室１６は、紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。各圧力室１６は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。

図４、図５に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１６の長手方向両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔２２，２３が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、紙送り方向（図２の上下方向）に延びるマニホールド１７（共通液室）が形成されている。また、図２、図３、図５、図６に示すように、マニホールド１７は、平面視で、左側に配列された圧力室１６の左半分、及び、右側に配列された圧力室１６の右半分とそれぞれ重なるように配置されており、連通孔２２を介して圧力室１６に連通している。また、このマニホールド１７は、カバープレート１３により下方から覆われている。そして、マニホールド１７は、後述の振動板３０に形成されたインク供給口１８が接続されており、インクタンク（図示省略）からインク供給口１８を介してインクが供給される。また、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１６のマニホールド１７と反対側の端部と重なる位置には、ベースプレート１１の複数の連通孔２３にそれぞれ連なる複数の連通孔２４も形成されている。

２枚のカバープレート１３，１４の、平面視で連通孔２３，２４と重なる位置には、それぞれ連通孔２５，２６が形成されている。また、図２、図３、図５に示すように、下側のカバープレート１４の、連通孔２６から走査方向外側に離れた領域には、２列に配列された圧力室１６の中央部とそれぞれ重なり、紙送り方向に延びる２つの貫通孔２７（空間形成孔）が形成されている。また、図２に示すように、貫通孔２７は、平面視で、幅方向（走査方向）に関してその大部分がマニホールド１７と重なるように配置されている。

ノズルプレート１５は、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料からなり、図２、図３に示すように、このノズルプレート１５の、連通孔２３（２４，２５，２６）に平面視で重なる位置には、ノズル２０が形成されている。つまり、複数のノズル２０は、複数の圧力室１６にそれぞれ対応して、紙送り方向（図２、図３の上下方向：第１の方向）に２列に配列されている。そして、ノズルプレート１５は、貫通孔２７と対向する部分を除いた部分（ノズル２０の近傍部を含む）においてカバープレート１４の下面に接着剤で接合されている。つまり、ノズルプレート１５の、カバープレート１４の２つの貫通孔２７と対向する部分は、カバープレート１４と接合されない非接合部４５であり、この非接合部４５と流路ユニット２との間に、カバープレート１４（第１プレート）の貫通孔２７で区画された空間４０が形成されている。さらに、この空間４０は、インク流路の一部であるマニホールド１７（共通液室）とカバープレート１３（第２プレート）により仕切られている。即ち、空間４０はマニホールド１７に連通しておらず、これら空間４０とマニホールド１７は互いに独立している。

また、図２に示すように、流路ユニット２内には、後述の振動板３０に形成された空気供給口２９を介して、貫通孔２７内の空間４０と外部とを連通させる連通路２８が形成されている。空気供給口２９をエアポンプ等の加圧手段（図示省略）に接続し、空気供給口２９及び連通路２８を介して２つの貫通孔２７内の空間４０にそれぞれ加圧された空気を供給することによって、ノズルプレート１５に下方へ突出する後述の突出部４３を形成することができる。突出部４３については後ほど詳しく説明する。

尚、図３、図５、図６に示すように、ノズルプレート１５の下面の、複数のノズル２０の出射口が配置されたインク噴射面４１（液滴噴射面）には、インクの濡れを防止する為の高い撥液性を有する撥液膜４２が、全面的に形成されている。この撥液膜４２は、例えば、フッ素系の樹脂を塗布することにより形成される。

そして、図５に示すように、マニホールド１７は連通孔２２を介して圧力室１６に連通し、さらに、圧力室１６は、連通孔２３〜２６を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット２及びノズルプレート１５の内部には、マニホールド１７から圧力室１６を経てノズル２０に至る個別インク流路２１が形成されている。

尚、図１において特に図示しないが、本実施形態のインクジェットプリンタ１００には、ノズル２０に目詰まりが生じたときにノズル２０からインクを強制的に噴出させる、パージ動作を行うパージユニットが設けられている。このパージユニットは、記録用紙Ｐが搬送される領域よりも、インクジェットヘッド１の走査方向（図１の左右方向）に関して外側の位置に配置されている。また、パージユニットは、インクジェットヘッド１のインク噴射面４１を覆うキャップ、このキャップに接続されたパージポンプ、インクジェットヘッド１に対して相対的に走査方向に移動可能なワイパー等を備えている。そして、このパージユニットによりパージ動作を行う際には、インクジェットヘッド１をパージユニットの上方の位置まで移動させて、インク噴射面４１を覆うようにキャップを取り付けてから、パージポンプにより各ノズル２０からインクを吸い出す。その後、ワイパーを走査方向に相対移動させてインク噴射面４１に付着したインクや塵等を取り除く（ワイピング）。

ところで、記録用紙Ｐは、インク噴射面４１との間に非常に小さな（例えば、１ｍｍ程度）の隙間を空けて搬送されるため、搬送時に記録用紙Ｐがインク噴射面４１に接触して、部分的に剥離するなど撥液膜４２が損傷する虞がある。また、前述のワイパーによるワイピング動作の際に、走査方向に移動するワイパーとの間の機械的摩擦により撥液膜４２が損傷する虞もある。そして、このような要因によりノズル２０の周辺の撥液膜４２に剥離などの損傷が生じると、後述の圧電アクチュエータ３により圧力室１６内のインクに圧力が付与されて、ノズル２０からインクが噴射されたときに、あるノズル２０からのインク滴の噴射方向が正規の方向に対して傾いてしまい、印字品質が低下する虞がある。

そこで、図２〜図５に示すように、本実施形態においては、ノズル２０から離れた位置にあり、且つ、流路ユニット２（カバープレート１４）と接合されない部分である、ノズルプレート１５の非接合部４５に、ノズル２０の周辺よりも下方（流路ユニット２と反対側の方向）へ膨らんだ突出部４３が形成されている。また、図２、図３に示すように、２つの突出部４３が、ノズル２０の配列方向である紙送り方向と直交する走査方向に関して、複数のノズル２０が形成された領域の両外側に配置されており、２つの突出部４３は、それぞれ紙送り方向に延びている。

従って、これら２つの突出部４３により、インク噴射面４１に近接して搬送される記録用紙Ｐやワイピング時にインク噴射面４１に接触するワイパーなどが、ノズル２０の周辺に形成された撥液膜４２に接触しにくくなり、ノズル２０の周辺における撥液膜４２の損傷を極力防止できる。また、ノズル２０が形成された領域よりも、走査方向に関して両外側の領域に２つの突出部４３がそれぞれ形成されているため、ワイピング時に走査方向に移動するワイパーが、ノズル２０の周辺の撥液膜４２に接触することも確実に防止できる。

後の製造工程の説明において詳しく説明するが、２つの突出部４３は、ノズルプレート１５の非接合部４５と流路ユニット２との間に形成された空間４０に加圧された空気を供給して、この空気により非接合部４５を流路ユニット２と反対側（下側）に膨らませることにより形成される。尚、本実施形態では、突出部４３の突出高さＨは、ノズルプレート１５の厚さＴ（例えば、５０μｍ程度）に対して、その１／１０程度（５μｍ程度）となっている。

また、図５に示すように、突出部４３の表面は、滑らかに連続する曲面状に形成されている。即ち、突出部４３の表面には段差はない。そのため、前述のワイピング時に、インク噴射面４１に付着したインクや塵等をワイパーで除去しやすくなる。

次に、圧電アクチュエータ３について説明する。図２、図４〜図６に示すように、圧電アクチュエータ３は、キャビティプレート１０の上面に配置された振動板３０と、この振動板３０の上面に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に複数の圧力室１６にそれぞれ対応して形成された複数の個別電極３２とを備えている。

振動板３０は、平面視で略矩形状の金属材料からなる板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、キャビティプレート１０の上面に複数の圧力室１６を覆うように配設され、キャビティプレート１０に接合されている。また、金属製の振動板３０は導電性を有しており、常にグランド電位に保持されている。そして、振動板３０は、個別電極３２との間に挟まれた圧電層３１に電界を作用させる共通電極を兼ねている。

振動板３０の上面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層３１が配置されている。図４、図６に示すように、この圧電層３１は振動板３０の上面において、複数の圧力室１６に亙って連続的に形成されている。

圧電層３１の上面には、圧力室１６よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で、対応する圧力室１６の中央部に重なる位置に形成されている。即ち、図２に示すように、個別電極３２は、圧力室１６に対応して紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。また、個別電極３２は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。さらに、圧電層３１の上面には、個別電極３２のマニホールド１７側の端部から個別電極３２の長手方向（図２の左右方向）と平行に延びる複数の配線部３５も形成されている。図５に示すように、配線部３５は、フレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線部材を介して、ドライバＩＣ３７に電気的に接続されている。そして、複数の配線部を介してドライバＩＣ３７から複数の個別電極３２に選択的に駆動電圧が印加される。

次に、圧電アクチュエータ３のインク吐出動作時における作用について説明する。複数の個別電極３２に対してドライバＩＣ３７から選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が供給された圧電層３１上側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極としての振動板３０の電位とが異なる状態となり、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた圧電層３１の部分に上下方向の電界が生じる。ここで、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層３１がその分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。このとき、振動板３０は、キャビティプレート１０に接合されているため、圧電層３１の収縮に伴って振動板３０が圧力室１６側に凸となるように変形する。従って、圧力室１６内の容積が減少して圧力室１６内のインクに圧力が付与され、圧力室１６に連通するノズル２０からインクの液滴が噴射される。

尚、ある圧力室１６内のインクに圧力が付与されたときには、複数の圧力室１６に連通するマニホールド１７内にはある程度の圧力変動が生じるが、この圧力変動が大きいと、他の圧力室１６に連通するノズル２０から噴射される液滴の体積や速度が変動するなど、液滴の噴射特性がばらつく虞があるため、この圧力変動を速く減衰させることが好ましい。ここで、本実施形態では、ノズルプレート１５とカバープレート１３（第２プレート）との間のカバープレート１４（第１プレート）に、その大部分がマニホールド１７と重なるように２つの貫通孔２７（空間形成孔）が形成され、これら２つの貫通孔２７内の空間４０とマニホールド１７とが、カバープレート１３により仕切られて互いに独立している。つまり、カバープレート１３の、貫通孔２７とマニホールド１７の両方に対向する部分がダンパーとして機能するため、マニホールド１７内の圧力変動をより速く減衰させることができる。

次に、前述したインクジェットヘッド１の製造方法について図７Ａ〜Ｅを参照して説明する。まず、流路ユニット２を構成する５枚のプレート１０〜１４に、エッチング等により、マニホールド１７や圧力室１６等のインク流路を形成する。このとき、同時に、カバープレート１４に２つの貫通孔２７を形成するとともに、５枚のプレート１０〜１４及び振動板３０に、２つの貫通孔２７に連通する連通路２８及び空気供給口２９（図２、図３参照）を形成する。そして、図７Ａに示すように、これら５枚のプレート１０〜１４及び振動板３０の、６枚のプレートを積層して接合し、流路ユニット２を作製する。このとき、カバープレート１４の貫通孔２７の圧力室１６側の開口がカバープレート１３により塞がれることによって、流路ユニット２に凹部４８が形成される（凹部形成工程）。

次に、ポリイミド等の合成樹脂材料からなる基板にエキシマレーザー等を用いたレーザー加工を施して複数のノズル２０を形成し、ノズルプレート１５を作製する。そして、図７Ｂに示すように、このノズルプレート１５の上面（インク噴射面４１と反対側の面）をカバープレート１４に接着剤で接合する（接合工程）。このとき、貫通孔２７の圧力室１６と反対側の開口（凹部４８の開口）をノズルプレート１５の非接合部４５により塞ぐことによって、ノズルプレート１５とカバープレート１３との間に空間４０を形成しつつ、ノズルプレート１５を、貫通孔２７に対向する非接合部４５以外の部分（ノズル２０の近傍部を含む）において流路ユニット２に接合する。さらに、図７Ｃに示すように、複数のノズル２０の出射口が配置されたインク噴射面４１（ノズルプレート１５の下面）に、スピンコートなどの方法により、フッ素系樹脂からなる撥液膜４２を形成する。尚、ノズルプレート１５を作製する際において、複数のノズル２０を形成する前に、基板に予め撥水膜４２を形成してもよい。

次に、図７Ｄに示すように、振動板３０に形成された空気供給口２９（図２、図３参照）、及び、流路ユニット２内に形成された連通路２８（図２、図３参照）を介して、貫通孔２７内の空間４０に加圧された空気４６を供給し、この空気４６により、ノズルプレート１５の非接合部４５を変形させて下方（流路ユニット２と反対側の方向）へ膨らませ、滑らかな曲面状に突出した突出部４３を形成する（突出部形成工程）。ここで、ノズルプレート１５は、金属材料などに比べて剛性が低い合成樹脂材料からなるため、比較的圧力の低い（例えば、０．１〜０．２ＭＰａ程度）の空気でも非接合部４５を変形させることができ、突出部４３の形成が容易である。しかも、カバープレート１３は金属製であるため、カバープレート１３のマニホールド１７と空間４０を仕切る部分を変形させることなく、ノズルプレート１５の非接合部４５のみを変形させることが可能になっている。尚、空間４０内に、空気以外の気体や水等の液体を加圧注入して、突出部４３を形成することも可能である。また、ノズルプレート１５の非接合部４５を変形させた状態で、ノズルプレート１５を１５０〜２５０℃程度に加熱することにより、ノズルプレート１５の非接合部４５の変形を固定させる。このようにノズルプレート１５を加熱することにより、その後に空間４０内の圧力を常圧に戻したとしても、ノズルプレート１５の非接合部４５を変形した状態に保つことができる。

そして、図７Ｅに示すように、振動板３０の上面に圧電層３１を形成する。この圧電層３１は、例えば、圧電材料の粒子を、キャリアガスとともに高速で振動板３０に吹き付けて堆積させる、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により形成することができる。あるいは、スパッタ法、化学蒸着法（ＣＶＤ法）、ゾルゲル法、溶液塗布法、水熱合成法等を用いることもできる。さらに、グリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートを振動板３０に貼り付けることにより圧電層３１を形成してもよい。さらに、この圧電層３１の上面に、スクリーン印刷などにより個別電極３２及び配線部３５のパターンを形成する。

尚、上記の説明では、ノズルプレート１５の下面に撥液膜４２を形成してから（図７Ｃ）、非接合部４５を膨らませて突出部４３を形成しているが（図７Ｄ）、突出部４３を形成してからノズルプレート１５の下面に撥液膜４２を形成してもよい。

以上説明したインクジェットヘッド１及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。ノズルプレート１５がノズル２０の周囲を含む部分において流路ユニット２に接合されており、さらに、ノズル２０の周囲から離れた非接合部４５に、流路ユニット２と反対側へ突出する突出部４３が形成されている。そのため、突出部４３により、インク噴射面４１に近接して搬送される記録用紙Ｐやワイピング時にインク噴射面４１に接触するワイパーなどが、ノズル２０の周囲に形成された撥液膜４２に接触しにくくなるため、ノズル２０の周囲の撥液膜４２が損傷してしまうのを極力防止できる。また、ノズル２０が形成された領域よりも、走査方向に関して両外側の領域に２つの突出部４３がそれぞれ形成されているため、ワイピング時に走査方向に移動するワイパーが、ノズル２０の周囲の撥液膜４２に接触して撥液膜４２が損傷するのをより確実に防止できる。

突出部４３の表面は、滑らかに連続する曲面状に形成されているため、段差のある形状に形成されている場合に比べて、ワイピング時に、インク噴射面４１に付着したインクや塵などをワイパーで除去しやすくなる。

ノズルプレート１５と流路ユニット２（カバープレート１４）との間の空間４０内に加圧された空気を供給して、ノズル２０の周囲から離れた非接合部４５を下側へ膨らませることにより突出部４３を形成するため、ノズル２０の周囲にレーザー加工などの特別な加工を施して凹部を形成する場合などに比べて、厳密な精度管理が不要になり、突出部４３を容易に形成することができる。

なお、本実施形態では、ノズル２０は、インクジェットヘッド２の走査方向に直交する方向（紙送り方向）に沿って列状に設けられている。本実施形態のインクジェットプリンタ１００は、シリアル式であるため、インクジェットヘッド２は走査方向に移動しつつインクを噴射する。このとき、インクジェットヘッド２が走査方向に移動する走査速度と、記録用紙が紙送り方向に送られる紙送り速度を比べると、走査速度の方が圧倒的に大きい。従って、突出部４３をノズル２０に対して走査方向の上流側と下流側に配置することによって、突出部４３がノズル２０の周囲の撥液膜４２の損傷を防止する効果を高めることができる。これに対して、ラインプリンタの場合には、記録用紙が高速に送られるので、ノズルに対して紙送り方向の上流側と下流側に突出部を設けることによって、突出部がノズルの周囲の撥液膜の損傷を防止する効果を高めることができる。通常、シリアル式のインクジェットヘッドの場合には、ノズルは紙送り方向に沿って列状に配置され、ライン式のインクジェットヘッドの場合には、ノズルは紙送り方向と直交する方向に沿って列状に配置される。従って、これらの場合には、突出部をノズルの配列方向と平行に設けることにより、突出部がノズルの周囲の撥液膜の損傷を防止する効果を高めることができる。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

〈第１変更形態〉
図８に示すように、ノズルプレート１５Ａのインク噴射面４１Ａにおいて、突出部４３Ａが、複数のノズル２０が形成された領域を取り囲むように環状に形成されていてもよい。この構成では、記録用紙Ｐ（図１参照）が紙送り方向（図８の上下方向）に搬送される際に、記録用紙Ｐがノズル２０の近傍部の撥液膜４２にさらに接触しにくくなり、撥液膜４２の損傷をより確実に防止できる。

〈第２変更形態〉
突出部が、ノズルの配列方向と平行に連続的に延びるように形成されている必要は必ずしもない。例えば、図９に示すように、複数のノズル２０が配置された領域よりも走査方向に関して両外側の領域において、円形の複数の突出部４３Ｂが、ノズル２０の配列方向（紙送り方向）と平行に離散的に配列されていてもよい。この第２変更形態では、ノズルプレート１５Ｂと流路ユニット２Ｂとの間に複数の空間４０Ｂが形成されており、これら複数の空間４０Ｂが連通路５０により互いに連通している。そして、１つの空気供給口２９から供給された空気を、連通路２８，５０を介して複数の空間４０Ｂにそれぞれ供給することにより、複数の突出部４３Ｂを形成する。

〈第３変更形態〉
ノズルプレートの非接合部の厚さが、ノズルプレートの他の部分の厚さよりも薄くなっていてもよい。例えば、図１０に示すように、ノズルプレート１５Ｃの非接合部４５Ｃの内側（流路ユニット２側）に溝５１が形成され、この溝５１が形成された部分の厚さが他の部分に比べて薄くなっていてもよい。この構成では、空間４０Ｃ内に供給された空気により非接合部４５Ｃを膨らませるのがさらに容易になり、突出部４３Ｃの形成が簡単になる。

〈第４変更形態〉
前記実施形態では、流路ユニット２のカバープレート１４に貫通孔２７を設けることにより流路ユニット２側に凹部を形成して、流路ユニット２とノズルプレート１５との間に空気等の流体が供給される空間４０を形成しているが（図５参照）、図１１に示すように、カバープレート１４Ｄの下面に、貫通孔２７の代わりに溝２７Ｄ（凹部）を設けることにより、流路ユニット２Ｄとノズルプレート１５との間に空間４０Ｄを形成し、この空間４０Ｄに空気等を供給して突出部４３Ｄを形成するようにしてもよい。

〈第５変更形態〉
また、図１２に示すように、ノズルプレート１５Ｅの上面に溝５１Ｅ（凹部）を形成して非接合部４５Ｅを設けることにより、流路ユニット２Ｅとノズルプレート１５Ｅとの間に空間４０Ｅを形成し、この空間４０Ｅに空気等を供給して突出部４３Ｅを形成するようにしてもよい。

〈第６変更形態〉
さらに、流路ユニット又はノズルプレートに凹部を形成しなくても、これらの間に空気等の流体を供給してノズルプレートに突出部を形成することは可能である。まず、図１３Ａに示すように、流路ユニット２Ｆの最下層のカバープレート１３、及び、ノズルプレート１５の両方に溝及び貫通孔を形成せずに、ノズルプレート１５を流路ユニット２Ｆ（カバープレート１３）に接合する。但し、ノズル２０の周囲から走査方向に少し離れた部分において、カバープレート１３の下面とノズルプレート１５の上面に接着剤を付けないようにして、この部分（非接合部４５Ｆ）ではカバープレート１３とノズルプレート１５とが接合されないようにする。このとき、カバープレート１３とノズルプレート１５の非接合部４５Ｆとの間には接着剤の厚さ分の隙間が形成されることになる。そのため、図１３Ｂに示すように、前記実施形態のように空気供給口２９及び連通路２８（図２、図３参照）を介して、カバープレート１３とノズルプレート１５の非接合部４５Ｆとの間の隙間に加圧された空気を供給して、非接合部４５Ｆを膨らませて突出部４３Ｆを形成することが可能になる。

〈第７変更形態〉
ノズルプレートに突出部を形成した後に、流路ユニットとノズルプレートの非接合部（突出部）との間に充填材を充填する工程（充填工程）を行ってもよい。例えば、図１４に示すように、空間４０に空気を供給して突出部４３を形成した後に、減圧条件下で、空気供給口２９及び連通路２８（図２，図３参照）から空間４０内に液状の充填材５２を充填した後、充填材５２を固化させる。この充填材５２としては、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができる。あるいは、充填材５２として、加圧した液体又は気体等の加圧流体を充填することもできる。この場合には、突出部を形成する工程において加圧流体を充填することもできる。このように、流路ユニット２とノズルプレート１５の非接合部４５（突出部４３）との間の空間４０に充填材５２が充填されていると、ワイピング時に突出部４３がワイパーに押圧されて変形するのが抑制される。

〈第８変更形態〉
前記実施形態では、ノズルプレート１５と流路ユニット２との間に、空気等の流体が供給される空間４０が、流路ユニット２内のマニホールド１７等のインク流路とは独立に形成されているが（図５参照）、空気等が供給される空間がインク流路の一部分を構成していてもよい。例えば、図１５に示すように、マニホールドプレート１２の下面にマニホールド１７を覆うようにノズルプレート１５が接合された構成であれば、マニホールド１７内に空気等を供給することにより、ノズルプレート１５のマニホールドプレート１２と接合されていない非接合部４５Ｇを下方へ膨らませて突出部４３Ｇを形成することができる。この構成では、空気等を供給する空間をインク流路とは別に形成する必要がなく、製造工程を簡素化できる。また、流路ユニット２Ｇを構成するプレートの枚数を減らすことも可能になる。

〈第９変更形態〉
ノズルプレートの非接合部を膨らませて突出部を形成する方法としては、加圧された空気等の流体を流路ユニットとノズルプレートとの間に供給する前述の方法に限られるものではない。例えば、ノズルプレートが金属材料からなる場合には、加工対象をレーザーで局所的に加熱することにより所望の形状に成形する、レーザーフォーミング加工を用いることができる。この場合、図１６に示すように、ノズルプレート１５の非接合部４５の２カ所に、矢印で示すように下方からそれぞれレーザーを照射して局所的に加熱すると、これらの加熱箇所においてその板厚方向に温度勾配が発生し、この温度勾配に起因する熱変形量の違いにより加熱箇所に曲げ変形が生じる。すると、これら２カ所の加熱箇所の間の部分が下方（流路ユニット２と反対側の方向）へ膨らむことになり、突出部４３が形成される。このように、ノズルプレート１５が金属材料などの剛性が高い材料からなる場合には、前述の加圧流体による方法では突出部４３の成形はかなり困難であるが、このレーザーフォーミング加工を用いれば、突出部４３を容易に形成することができる。

以上、本発明をインクジェットヘッドに適用した形態について実施形態及びその変更形態を例に挙げて説明したが、本発明を適用可能な形態は、これらの形態に限られるものではない。例えば、ラインヘッドのインクジェットプリンタに適用することも可能であるし、インク以外の液滴を噴射する種々の液滴噴射装置に本発明を適用することも可能である。

図１は本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 図２はインクジェットヘッドの平面図である。 図３はインクジェットヘッドの底面図である。 図４は図２の一部拡大平面図である。 図５は図４のV-V線断面図である。 図６は図４のVI-VI線断面図である 図７Ａ〜Ｅはインクジェットヘッドの製造工程を示す図であり、図７Ａは流路ユニットを構成するプレート及び振動板の接合工程、図７Ｂはノズルプレートの接合工程、図７Ｃは撥液膜形成工程、図７Ｄは突出部形成工程、図７Ｅは圧電層及び個別電極の形成工程をそれぞれ示す。 図８は第１変更形態のインクジェットヘッドの底面図である。 図９は第２変更形態のインクジェットヘッドの底面図である。 図１０は第３変更形態の図５相当の断面図である。 図１１は第４変更形態の図５相当の断面図である。 図１２は第５変更形態の図５相当の断面図である。 図１３Ａ，Ｂは、第６変更形態のインクジェットヘッドの製造工程の一部を示す図であり、図１３Ａはノズルプレートの接合工程、図１３Ｂは突出部形成工程をそれぞれ示す。 図１４は第７変更形態の図５相当の断面図である。 図１５は第８変更形態の図５相当の断面図である。 図１６は第９変更形態における突出部形成工程を示す図である。

１ インクジェットヘッド
２，２Ｂ，２Ｄ，２Ｆ，２Ｇ 流路ユニット
１３ カバープレート（第２プレート）
１４ カバープレート（第１プレート）
１５，１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｅ ノズルプレート
１７ マニホールド
２０ ノズル
２７ 貫通孔
２７Ｄ 溝
２８ 連通路
４０，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ 空間
４１，４１Ａ インク噴射面
４２ 撥液膜
４３，４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ，４３Ｆ，４３Ｇ 突出部
４５，４５Ｃ，４５Ｅ，４５Ｆ，４５Ｇ 非接合部
４８ 凹部
５２ 充填材

Claims (16)

1. 液体流路が形成された流路ユニットと、
   前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有し、前記ノズルの周囲を含む部分において前記流路ユニットに接合され、且つ、前記流路ユニットと接合されていない非接合部が設けられたノズルプレートとを備え、
   前記ノズルプレートの前記非接合部において、前記液体噴射面に前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成されており、
   前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に、前記非接合部を前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて前記突出部を形成するための流体が供給される空間が形成されている液滴噴射装置。
2. 前記突出部の表面は、滑らかに連続する曲面状に形成されている請求項１に記載の液滴噴射装置。
3. 前記空間は、前記液体流路の一部分を構成している請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
4. 前記空間は前記液体流路とは独立して形成されており、
   前記流路ユニットは、その外部と前記空間とを連通させる連通路とを有する請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
5. 前記ノズルは前記ノズルプレートに複数の噴射ノズルとして形成され、
   前記液体流路は、複数の前記噴射ノズルに連通する共通液室を有し、
   前記流路ユニットは、第１プレート及び第２プレートを含む複数のプレートを有し、
   前記複数のプレートは、前記液体流路を形成する複数の孔をそれぞれ備え、且つ、積層状態で互いに接合され、
   前記ノズルプレートには、前記空間を形成する空間形成孔を備えた第１プレートが接合され、
   前記空間と前記共通液室は、前記第１プレートの前記ノズルプレートと反対側の面において接合された、第２プレートにより仕切られている請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
6. 前記ノズルプレートは、合成樹脂材料により形成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
7. 前記ノズルプレートの厚さは、前記非接合部において部分的に薄くなっている請求項１に記載の液滴噴射装置。
8. 前記突出部は、前記ノズルが形成された領域を取り囲むように配置されている請求項１に記載の液滴噴射装置。
9. 前記ノズルは、前記ノズルプレートに列状に配置された複数の個別ノズルとして形成され、前記突出部は、前記個別ノズルの列方向と平行に配置されている請求項１に記載の液滴噴射装置。
10. 前記ノズルは、前記ノズルプレートに列状に配置された複数の個別ノズルとして形成され、
    前記流路ユニット及び前記ノズルプレートは、前記個別ノズルの列方向と直交する方向へ一体的に移動可能に構成され、
    前記突出部は、前記ノズルプレートにおいて、前記列方向と直交する方向に関して、前記複数の個別ノズルが形成された領域の外側に配置されている請求項９に記載の液滴噴射装置。
11. 液体流路が形成された流路ユニットと、
    前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有し、前記ノズルの周囲を含む部分において前記流路ユニットに接合され、且つ、前記流路ユニットと接合されていない非接合部が設けられたノズルプレートとを備え、
    前記ノズルプレートの前記非接合部において、前記液体噴射面に前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成されており、
    前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に充填材が充填されている液滴噴射装置。
12. 液体流路が形成された流路ユニットと、
    前記液体流路に連通するノズル、及び、前記ノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートとを備え、
    前記ノズルプレートの前記液体噴射面に、前記ノズルの周囲よりも高い突出部が形成され、前記ノズルプレートの前記突出部と前記流路ユニットとの間には、前記液体流路と独立した空間が形成されており、
    前記独立した空間には、加圧された流体が充填されている液滴噴射装置。
13. 液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、
    前記ノズルプレートの所定の部分又は前記流路ユニットの前記所定の部分と対向することとなる部分に、凹部を形成する凹部形成工程と、
    前記所定の部分が前記流路ユニットに接合されていない非接合部となるように、前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、
    前記ノズルプレートの前記非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程とを備え、
    前記接合工程において、前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に前記凹部により空間を形成した状態で、前記ノズルプレートを前記流路ユニットに接合し、
    前記突出部形成工程において、前記空間内に流体を供給し、この流体により前記非接合部を前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて前記突出部を形成する液滴噴射装置の製造方法。
14. 前記ノズルプレートが合成樹脂材料により形成されている請求項１３に記載の液滴噴射装置の製造方法。
15. 液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、
    前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、
    前記ノズルプレートの、前記流路ユニットに接合されていない非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程とを備え、
    前記突出部形成工程において、前記非接合部をレーザーで局所的に加熱して前記流路ユニットと反対側へ湾曲させることにより、前記突出部を形成する液滴噴射装置の製造方法。
16. 液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路に連通するノズル、及び、このノズルの出射口が配置された液体噴射面に形成された撥液膜を有するノズルプレートと、を備えた液滴噴射装置の製造方法であって、
    前記ノズルプレートの前記液体噴射面と反対側の面を、その前記ノズルの周囲を含む部分において、前記流路ユニットに接合する接合工程と、
    前記ノズルプレートの、前記流路ユニットに接合されていない非接合部を、前記ノズルの周囲に比べて前記流路ユニットと反対側へ湾曲させて突出部を形成する突出部形成工程と、
    前記ノズルプレートの前記非接合部と前記流路ユニットとの間に充填材を充填する充填工程とを備える液滴噴射装置の製造方法。

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