JP5218120B2 - 圧電アクチュエータ装置の製造方法、及び、液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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Description
4 流路ユニット
5 圧電アクチュエータ
14 圧力室
31 振動膜
32 圧電層
41 キャビティプレート
83 樹脂
100 インクジェットプリンタ
Claims (7)
- 基材に孔を形成する孔形成工程と、
前記孔を封止材で封止する封止工程と、
前記封止材の表面に振動膜を成膜する振動膜形成工程と、
前記封止材の表面に形成された前記振動膜上に圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記封止材を除去する除去工程と、を備え、
前記孔形成工程においては、前記基材に貫通孔を形成し、
前記封止工程においては、前記基材の一方の面に前記封止材を当接させて、前記貫通孔の一方の開口を前記封止材で封止し、
前記振動膜形成工程においては、前記貫通孔の内壁と前記貫通孔から露出した前記封止材の表面とに跨って前記振動膜を成膜することを特徴とする圧電アクチュエータ装置の製造方法。 - 前記除去工程においては、前記封止材が熱分解または融解する所定温度よりも高い温度で前記封止材を加熱して、前記封止材を除去することを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ装置の製造方法。
- 前記圧電層形成工程においては、エアロゾルデポジション法またはゾルゲル法により前記圧電層を形成し、
前記圧電層形成工程の後に、前記所定温度よりも高い温度で前記圧電層を加熱する加熱工程をさらに備えており、
前記加熱工程は、前記除去工程を兼ねていることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ装置の製造方法。 - 圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの一表面に少なくとも前記圧力室を覆うように配置された振動膜、前記振動膜を保持する基板及び前記振動膜の前記圧力室と反対側に配置された圧電層を含んだ圧電アクチュエータと、を備えた液体移送装置の製造方法であって、
前記基板に貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔の一方の面に封止材を当接させて、前記貫通孔の一方の開口を封止材で封止する封止工程と、
前記貫通孔から露出した前記封止部材の表面と前記貫通孔の内壁とに跨って前記振動膜を成膜する振動膜形成工程と、
前記封止部材上に形成された前記振動膜上に前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記貫通孔を封止する前記封止部材を除去する除去工程と、
前記流路ユニットの前記一表面と前記振動膜の前記圧電層が形成された面と反対側の面を対向させて、前記振動膜が前記流路ユニットの少なくとも一部を構成する第1流路構造体に形成された前記圧力室を覆うように、前記基板と前記第1流路構造体を接合する第1接合工程と、を備えていること特徴とする液体移送装置の製造方法。 - 前記除去工程においては、前記封止材が熱分解または融解する所定温度よりも高い温度で前記封止材を加熱して、前記封止材を除去することを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記圧電層形成工程においては、エアロゾルデポジション法またはゾルゲル法により前記圧電層を形成し、
前記圧電層形成工程の後に、前記所定温度よりも高い温度で前記圧電層を加熱する加熱工程をさらに備えており、
前記加熱工程は、前記除去工程を兼ねていることを特徴とする請求項5に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記流路ユニットは、前記第1流路構造体と前記第1流路構造体と接合される第2流路構造体を含むものであり、
前記圧電層形成工程においては、エアロゾルデポジション法により前記圧電層を形成し、
前記圧電層形成工程の後に、前記第1流路構造体の前記振動膜と反対側の面に前記第2流路構造体を接合する第2接合工程をさらに備えていることを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置の製造方法。
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