JP5157185B2 - 液体移送装置及び液滴噴射装置。 - Google Patents
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Description
従って、第一の電極と第二の電極との間に電位差を発生させることにより圧力室の容積を増加させ、その後、第一の電極と第二の電極との間の電位差をなくして圧力室の容積を元に戻すことにより、圧力室内の液体に圧力を付与して、ノズルから液滴を噴射することができる。これにより、圧力室の容積を一旦増加させてから元に戻すことによってノズルから液滴を噴射する引き打ちを行う場合、液滴を噴射しないときに予め第一の電極と第二の電極との間に電位差を発生させておく必要がなく、消費電力を低減することができる。
また、この共通電極34は分割線Lから右側の領域において、分割線Lから離れた領域に形成されていてもよい(図示省略)。
この共通電極形成工程では、振動板30の凹部36に重ならない領域であれば、図7(c)中に示す分割線Lよりも左側の領域にまで延在する共通電極34を形成してもよい。
トラキス(ジピバロイルメタナート)(Zr(DPM)4)、チタン(ジイソプロポキシ
ジピバロイルメタナート)(Ti(iPrO)2(DPM)2)などを用いることができる(例えば、特開2004−79695公報参照)。そして、振動板30を600℃程度に加熱すると、振動板30の表面において前述の原料間で気相反応が生じ、振動板30の表面に圧電層31が形成される。ここで、図8に示すように、振動板30に形成された凹部36の内部空間には、凹部36が形成されていない振動板30の表面と比較して原料ガスが供給されにくい。従って、凹部36の表面では圧電層31の形成速度が遅くなるため、凹部37における圧電層31の厚さtcが他の領域における圧電層31の厚さtaと比べて薄くなる。
従って、振動板30の表面において、凹部36に対応する位置に形成された圧電層31の凹部37の厚さは、凹部36が形成されていない領域に形成される圧電層31の厚さと等しくなる。
の表面の、振動板30の平面視で複数の共通電極34に夫々重なる領域に、スクリーン印刷法、蒸着法あるいはスパッタ法等を用いて複数の個別電極32を形成する(個別電極形成工程)。そして、最後に、図7(f)に示すように、合成樹脂製のノズルプレート13をマニホールドプレート12の下面に接合して、インクジェットヘッド1の製造を完了する。
従って、振動板30の凹部36が形成された領域では、凹部36により振動板30の剛性を小さくするとともに、振動板30に積層する圧電層31においても、凹部36に対応する凹部37の厚さを小さくすることができるので、かかる部分の剛性を小さくすることが可能となり、振動板30が変形し易くなる。
に堆積する圧電層31を少なくすることが可能となり、同時に圧電層31の厚さを薄くすることができる。従って、各凹部36Bに形成される圧電層31の各凹部37Bの厚さを
さらに薄くすることが可能となり、振動板30の剛性をさらに小さくすることができる。また、開口の小さい凹部36Bに圧電層31を堆積させる場合、開口の大きい凹部36B
に圧電層31を堆積させた場合に比べて、圧電層31の欠けやクラックが生じ難くなるので、耐久性を高くすることができる。
渉しないので、圧力室14を高密度に配置することができる。
態4)。この場合、図15に示すように、共通電極34D及び個別電極32Dに挟まれた圧電層31において、圧力室14の外側の領域に位置する圧電層31の部分もその面と平行な方向に収縮する。
図17に示すように、変更形態6において、振動板30は、圧力室14とは反対側の面に圧電層31が積層されている。そして、この圧電層31の上面で、圧力室14と対応する位置には個別電極32が形成されており、この個別電極32と対応する圧電層31の領域が駆動領域となる。
2 流路ユニット
3 圧電アクチュエータ
14 圧力室
20 ノズル
30 振動板
31 圧電層
32 個別電極
34 共通電極
36,36A1,36A2,36B,36C,36D 凹部
37,37A1,37A2,37B,37C,37D 凹部
40 絶縁膜
Claims (8)
- 液体流入口及び液体流出口を有する圧力室を含む流路ユニットと、
この流路ユニットの一表面に前記圧力室を覆うように接合され、前記圧力室と接する面と反対側の面で、且つ前記圧力室と重なる領域に、前記圧力室の中心を通る分割線により分割された二つの領域における一方の領域内に凹部を有する振動板と、
この振動板の前記凹部が形成された面に対面するように配置された圧電層と、
この圧電層と前記振動板の間に位置し、且つ前記振動板の前記凹部が形成されていない領域に対応する位置に配置された第二の電極と、
前記圧電層の前記振動板と対面する面と反対側の面で、且つ前記第二の電極に対応する領域に配置された第一の電極と、を備え、
前記第一の電極と前記第二の電極との間に電位差が生じて前記圧電層が変形するときに、前記振動板は、前記分割線と直交する方向において、前記第一の電極と前記第二電極の、前記圧力室の外縁線から最も離れた箇所に対応する部分が、前記凹部が形成された部分よりも前記圧力室から離れるように変形することを特徴とする液体移送装置。 - 前記第一の電極と前記第二の電極は、前記他方の領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。
- 前記圧力室は、前記分割線の延びる方向に長尺の形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体移送装置。
- 前記凹部は、前記分割線の延びる方向に沿って長尺の形状を有することを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記凹部は前記一方の領域内に複数形成されており、
複数の前記凹部は、前記分割線の延びる方向と直交する方向に、並んで配置されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液体移送装置。 - 前記凹部は前記一方の領域内に複数形成されており、
複数の前記凹部は、前記分割線の延びる方向に並んで配置されていることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。 - 前記圧電層は、前記凹部が形成された領域に対応する部分が、前記凹部が形成されていない領域に対応する部分よりも薄いことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体移送装置。
- ノズルに連通する圧力室を含む流路ユニットと、
この流路ユニットの一表面に前記圧力室を覆うように接合され、前記圧力室と接する面と反対側の面で、且つ前記圧力室と重なる領域に、前記圧力室の中心を通る分割線により分割された二つの領域における一方の領域内に凹部を有する振動板と、
この振動板の前記凹部が形成された面に対面するように配置された圧電層と、
この圧電層と前記振動板の間に位置し、且つ前記振動板の前記凹部が形成されていない領域に対応する位置に配置された第二の電極と、
前記圧電層の前記振動板と対面する面と反対側の面で、且つ前記第二の電極に対応する領域に配置された第一の電極と、を備え、
前記第一の電極と前記第二の電極との間に電位差が生じて前記圧電層が変形するときに、前記振動板は、前記分割線と直交する方向において、前記第一の電極と前記第二電極の、前記圧力室の外縁線から最も離れた箇所に対応する部分が、前記凹部が形成された部分よりも前記圧力室から離れるように変形することを特徴とする液滴噴射装置。
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