JP2012206294A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012206294A JP2012206294A JP2011071871A JP2011071871A JP2012206294A JP 2012206294 A JP2012206294 A JP 2012206294A JP 2011071871 A JP2011071871 A JP 2011071871A JP 2011071871 A JP2011071871 A JP 2011071871A JP 2012206294 A JP2012206294 A JP 2012206294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- liquid ejecting
- head
- flow path
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000011856 silicon-based particle Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
Abstract
【解決手段】絶縁性のノズルプレート31に蓄積した電荷が、ノズル開口310から圧力発生室320を満たしたインクを流れ、振動板33に到達する。振動板33に到達した電荷は、振動板33が導電性セラミックスからなり、振動板33が接地されているので、振動板33を通じて逃げる。したがって、振動板33に蓄積した電荷による振動板33の絶縁破壊が抑えられ、駆動回路370の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド100を得ることができる。
【選択図】図4
Description
液体噴射ヘッドの一種に、駆動回路からの駆動信号に従って、振動板の表面に形成された圧電素子に電圧を印加して撓み変形させることで液滴を噴射させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、振動板、振動板が一部を構成する圧力発生室、ノズル開口、マニホールドを備えたヘッドユニットを有している。ヘッドユニットは、振動板、流路形成基板、ノズル開口が形成されたノズルプレート等を積み重ねて製造される。
例えば、セラミックスからなる板部材を一体に焼成接続した液体噴射ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドが知られている(例えば、特許文献1参照)。
圧力発生室および液体流路の隔壁が形成されたセラミックスからなる流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面に配置され、前記圧力発生室および前記液体流路の一部を構成し、導電性セラミックスからなる振動板と、前記振動板を挟んで前記圧力発生室に対向する前記振動板上に形成され、一対の電極を備えた圧電素子と、前記電極に接続された駆動回路と、前記圧力発生室と連通したノズル開口が形成され、絶縁性セラミックスからなるノズルプレートとを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
上記液体噴射ヘッドにおいて、前記振動板を前記一対の電極のうち接地する側として接地側として用いることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、振動板を接地側の電極として用いるので、新たに電極を形成する必要がなく、構造が簡便で、製造の容易な液体噴射ヘッドが得られる。
上記液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板、前記振動板および前記ノズルプレートが一体焼成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、セラミックスからなる流路形成基板、振動板およびノズルプレートが一体焼成されているので、熱収縮による流路形成基板、振動板およびノズルプレート間の位置ずれが少なく、組み立ての行い易い液体噴射ヘッドが得られる。
上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
図1はプリンター1000の概略構成を示す図である。図1中、X方向は、キャリッジ104が移動する主走査方向を示し、Y方向は、記録媒体Pが移送される副走査方向を示している。Z方向は、X方向およびY方向と直交する方向である。
そのため、モーター109が作動すると、キャリッジ104は、プリンター1000に架設されたガイドロッド110に案内されて、主走査方向であるX方向に往復移動する。
図2において、インクジェット式記録ヘッド100は、取り付け板10とケースヘッド20とヘッドユニット30とカバーケース40とを有している。ケースヘッド20の底部にはヘッドユニット30が配置され、ヘッドユニット30はカバーケース40に収められている。ヘッドユニット30およびカバーケース40は、1つしか描かれていないが、複数を組み合わせた構成であってもよい。
図3および図4において、ヘッドユニット30は、図1に示した記録媒体Pに対向する位置に、ノズルプレート31を有している。ノズルプレート31には、インクを噴射するためのノズル開口310が形成されている。ノズル開口310は、ドット形成密度に応じたピッチで開設されている。
ノズルプレート31の上には、ノズルプレート31にインクを供給するための流路形成基板32、振動板33、リザーバープレート34およびコンプライアンス基板35が積層されている。
圧力発生室320のインクジェット式記録ヘッド100の長手方向であるY方向と直交する幅方向であるX方向の断面形状は矩形状で、圧力発生室320は、インクジェット式記録ヘッド100の幅方向であるX方向に長く形成されている。この方向を圧力発生室320の長手方向とする。断面形状は矩形状に限らず、例えば、台形状であってもよい。
振動板33には、電圧が印加されるとたわみ振動をする圧電素子36が形成されている。図3において、圧電素子36は、共通電極で接地されている下電極360と圧電体361と個別電極としての上電極362とを備えている。
圧電素子36は、振動板33を挟んで、圧力発生室320とは反対側の振動板33の表面に、圧力発生室320を覆い隠すように形成され、各圧力発生室320に対応してノズル列方向に列設されている。
圧電体361の膜の製造方法としては、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体361の膜を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いることができる。
なお、ゾル−ゲル法に限定されず、例えば、MOD(Metal−Organic Decomposition)法等を用いてもよい。さらに、これらの液相法による圧電体361の膜の製造方法に限定されず、スパッタリングなどの蒸着法を用いた圧電体361の膜の製造方法であってもよい。
導電性セラミックスは、アルミナやジルコニア等の絶縁性セラミックスに導電性の粒子を分散させたものを用いることができる。例えば、導電性の粒子としては、シリコンの粒子を用いることができる。
例えば、グリーンシート(未焼成のシート材)に対して切削や打ち抜き等の加工を施して必要な通孔等を形成し、ノズルプレート31、流路形成基板32および振動板33の各シート状前駆体を形成する。
そして、各シート状前駆体を積層し焼成することにより、各シート状前駆体は一体化されて1枚のセラミックスシートとなる。この場合、各シート状前駆体は一体焼成されるので、特別な接着処理が不要である。また、各シート状前駆体の接合面において高いシール性を得ることもできる。
フレキシブル基板37は、COF(Chip On film)基板を用いることができる。
フレキシブル基板37は、図2に示したケースヘッド20に配置されているケースヘッド側基板13と接続され、ケースヘッド側基板13から電力の供給を受ける構成となっている。フレキシブル基板37には、図2に示したケースヘッド側基板13からの駆動信号を圧電素子36に対して選択的に供給する制御を行う駆動回路370が実装されている。
(1)絶縁性のノズルプレート31に蓄積した電荷が、ノズル開口310から圧力発生室320を満たしたインクを流れ、振動板33に到達する。振動板33に到達した電荷は、振動板33が導電性セラミックスからなり、振動板33が接地されているので、振動板33を通じて逃げる。したがって、蓄積した電荷の流入による駆動回路370の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド100を得ることができる。
例えば、流路形成基板32が導電性セラミックスで形成されていてもよい。この場合も、下電極360および振動板33を共通電極として用いることができる。
Claims (4)
- 圧力発生室および液体流路の隔壁が形成されたセラミックスからなる流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面に配置され、前記圧力発生室および前記液体流路の一部を構成し、導電性セラミックスからなる振動板と、
前記振動板を挟んで前記圧力発生室に対向する前記振動板上に形成され、一対の電極を備えた圧電素子と、
前記電極に接続された駆動回路と、
前記圧力発生室と連通したノズル開口が形成され、絶縁性セラミックスからなるノズルプレートとを備えている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記振動板を前記一対の電極のうち接地する側として接地側として用いる
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板、前記振動板および前記ノズルプレートが一体焼成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011071871A JP2012206294A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
US13/431,759 US8646880B2 (en) | 2011-03-29 | 2012-03-27 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
CN201210084421.8A CN102729631B (zh) | 2011-03-29 | 2012-03-27 | 液体喷射头和液体喷射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011071871A JP2012206294A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012206294A true JP2012206294A (ja) | 2012-10-25 |
Family
ID=46926676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011071871A Withdrawn JP2012206294A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8646880B2 (ja) |
JP (1) | JP2012206294A (ja) |
CN (1) | CN102729631B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102530734B (zh) * | 2012-02-07 | 2014-08-27 | 张崇志 | 移动门式起重机 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0577415A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-03-30 | Seikosha Co Ltd | インクジエツトヘツド |
EP0858894A2 (en) * | 1997-01-31 | 1998-08-19 | Kyocera Corporation | Member having ultrafine groove, member for passage, method of manufacturing the same, ink jet printer head using the same, and ink jet printer head |
JPH10305574A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-17 | Kyocera Corp | インクジェットプリンタヘッド |
JP2001063048A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-13 | Kyocera Corp | 圧電/電歪膜型アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットプリンタヘッド |
JP2002031062A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
JP2002046262A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-12 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
JP2005019550A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Kyocera Corp | 圧電変換装置 |
JP2006156987A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-06-15 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 |
JP2008188927A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置の製造方法、液体移送装置、液滴噴射装置の製造方法及び液滴噴射装置。 |
JP2009051039A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Brother Ind Ltd | 液滴移送装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970020443A (ko) * | 1995-10-13 | 1997-05-28 | 김광호 | 화상형성장치의 전자기방식을 이용한 잉크젯 프린트헤드 |
JPH10286956A (ja) | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
KR100213721B1 (ko) * | 1997-06-28 | 1999-08-02 | 윤종용 | 잉크분사장치 |
JP3236542B2 (ja) | 1997-11-17 | 2001-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法およびインクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP3238674B2 (ja) * | 1999-04-21 | 2001-12-17 | 松下電器産業株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
EP1598191B1 (en) * | 2004-05-19 | 2011-05-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, ink-jet head provided with the same, ink-jet printer and method for manufacturing piezoelectric actuator |
JP4911907B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2012-04-04 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 |
JP4329734B2 (ja) * | 2005-06-20 | 2009-09-09 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP4321552B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2009-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
-
2011
- 2011-03-29 JP JP2011071871A patent/JP2012206294A/ja not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-03-27 CN CN201210084421.8A patent/CN102729631B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-27 US US13/431,759 patent/US8646880B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0577415A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-03-30 | Seikosha Co Ltd | インクジエツトヘツド |
EP0858894A2 (en) * | 1997-01-31 | 1998-08-19 | Kyocera Corporation | Member having ultrafine groove, member for passage, method of manufacturing the same, ink jet printer head using the same, and ink jet printer head |
US6494566B1 (en) * | 1997-01-31 | 2002-12-17 | Kyocera Corporation | Head member having ultrafine grooves and a method of manufacture thereof |
JPH10305574A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-17 | Kyocera Corp | インクジェットプリンタヘッド |
JP2001063048A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-13 | Kyocera Corp | 圧電/電歪膜型アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットプリンタヘッド |
JP2002031062A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
JP2002046262A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-12 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
JP2005019550A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Kyocera Corp | 圧電変換装置 |
JP2006156987A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-06-15 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 |
JP2008188927A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置の製造方法、液体移送装置、液滴噴射装置の製造方法及び液滴噴射装置。 |
JP2009051039A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Brother Ind Ltd | 液滴移送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102729631A (zh) | 2012-10-17 |
CN102729631B (zh) | 2015-07-29 |
US8646880B2 (en) | 2014-02-11 |
US20120249685A1 (en) | 2012-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8696081B2 (en) | Droplet ejecting device capable of maintaining recording quality while suppressing deterioration of actuator | |
JP6252013B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置 | |
JP5621684B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニットおよび液体噴射装置 | |
US7794063B2 (en) | Liquid-droplet jetting head and liquid-droplet jetting apparatus | |
JP2013119166A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP5903769B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP5472596B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置 | |
US7891782B2 (en) | Liquid injecting head, method of manufacturing liquid injecting head, and liquid injecting device | |
JP2011255604A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
US9022526B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2014188716A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2012206294A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2009255528A (ja) | 液体噴射ヘッド、圧電素子及び液体噴射装置 | |
JP2011212869A (ja) | 圧電アクチュエータ、液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置 | |
JP5760616B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2012015388A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 | |
JP2009255516A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP5418346B2 (ja) | 液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置 | |
JP2011101955A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP5754495B2 (ja) | 液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置 | |
JP2009196240A (ja) | 液体噴射ヘッドおよびプリンタ | |
JP2008311290A (ja) | 圧電体素子、圧電体素子の製造方法、流体噴射ヘッド、流体噴射装置 | |
JP2012206357A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2016020093A (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2013166323A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140922 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150331 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20150406 |