JPH10286956A

JPH10286956A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JPH10286956A
Application number: JP9935997A
Authority: JP
Inventors: Kyuhachiro Iwasaki; 久八郎岩崎
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1997-04-16
Filing date: 1997-04-16
Publication date: 1998-10-27

Abstract

(57)【要約】【課題】接着工程がなく、部品点数が少なく、工程数
も少なく、ノズルの高集積化を可能とする。【解決手段】表面に圧電振動子９を有して振動部材を
形成するセラミックス板部材１と、圧力室を形成する複
数の通孔２ａを有し板部材１の裏面に当接されるセラミ
ックス板部材２と、該板部材２の裏面側に当接されて前
記通孔２ａを封止するとともに、インク供給源と前記圧
力室２ａとの流路を形成する開口部３ｂを有するセラミ
ックス板部材３と、該板部材３の裏面側に当接すること
により該板部３材と協働してノズル３ａを形成するとと
もに、前記板部材３の流路を形成する開口部３ｂに連通
した開口部４ａを有するセラミックス板部材４とを前記
の順に一体に焼結して接続する。インクジェット記録ヘ
ッドを最少部品点数，最少工程で（接着工程を用いるこ
となく）、一体焼成可能とし、製造コストを低減化す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド、より詳細には、接着工程がなく、部品点数が
少なく、従って、工程数も少なく、ノズルの高集積化が
図りやすいインクジェット記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、従来のインクジェット記録ヘ
ッドの一例（特開平６−４００３０号公報）を説明する
ための要部断面図（図１１（Ａ））及びそのＢ−Ｂ線断
面図（図１１（Ｂ））で、このインクジェット記録ヘッ
ドは、インクノズル部材１０とインクポンプ部材２０と
が接合一体化されることによって形成されており、イン
クポンプ部材２０内に形成されたインク加圧室に供給さ
れたインクが、インクノズル部材１０に設けられたノズ
ル孔を通じて、噴出されるようになっている。インクノ
ズル部材１０は、それぞれ薄肉の平板形状を呈するノズ
ルプレート１１とオリフィスプレート１３が、それらの
間に流路プレート１２を挟んで重ね合わされ、接着材に
よって一体的に接合されている。

【０００３】ノズルプレート１１には、インク噴出用の
ノズル孔１１ａが、複数個形成されていると共に、オリ
フィスプレート１３および流路プレート１２には、各ノ
ズル孔１１ａに対応する位置において、板厚方向に貫通
する通孔１３ａ，１２ａが該ノズル孔１１ａよりも所定
寸法大きな内径をもって形成されている。さらに、オリ
フィスプレート１３には、インク供給用のオリフィス孔
１３ｂが複数個形成されていると共に、流路プレート１
２に設けられた窓部１２ｃが、ノズルプレート１１およ
びオリフィスプレート１３にて、両側から覆蓋されるこ
とにより、それらノズルプレート１１とオリフィスプレ
ート１３との間に、各オリフィス孔１３ｂに連通せしめ
られたインク供給流路１２ｂが形成されている。また、
オリフィスプレート１３には、インク供給流路１２ｂに
対して、インクタンクから導かれるインクを供給するイ
ンク供給口１３ｃが設けられている。

【０００４】一方、前記インクポンプ部材２０は、それ
ぞれ薄肉の平板形状を呈する閉塞プレート２３と接続プ
レート２１が、スペーサプレート２２を挟んで重ね合わ
されて一体的に形成されている。接続プレート２１に
は、前記インクノズル部材１０のオリフィスプレート１
３に形成された通孔１３ａおよびオリフィス孔１３ｂに
対応する位置に、第一の連通用開口部２１ａおよび第二
の連通用開口部２１ｂが、それぞれ形成されている。な
お、第一の連通用開口部２１ａは、通孔１３ａと略同一
乃至若干大きめの内径とされている一方、第二の連通用
開口部２１ｂは、オリフィス孔１３ｂよりも所定寸法大
径とされている。

【０００５】スペーサプレート２２には、長手矩形状の
窓部２２ｂが、複数個形成されている。そして、それら
各窓部２２ｂに対して、上記接続プレート２１に設けら
れた各一つの第一の連通用開口部２１ａおよび第二の連
通用開口部２１ｂが開口せしめられるように、スペーサ
プレート２２が、接続プレート２１に対して重ね合わさ
れている。このスペーサプレート２２の接続プレート２
１が重ね合わされた側とは反対側の面には、閉塞プレー
ト２３が重ね合わされており、この閉塞プレート２３に
て、窓部の開口が覆蓋されている。それによって、かか
るインクポンプ部材２０の内部には、第一及び第二の連
通用開口部２１ａ，２１ｂを通じて外部に連通されたイ
ンク加圧室２２ａが形成される。

【０００６】上記インクポンプ部材２０は、セラミック
スの一体焼成品として形成される。例えば、セラミック
ス原料とバインダー並びに液媒等から調製されるセラミ
ックスのスラリーから、ドクターブレード装置やリバー
スロールコーター装置等の一般的な装置を用いて、グリ
ーンシートを成形し、必要に応じて、かかるグリーンシ
ートに切断・切削・打ち抜き等の加工を施して、窓部２
２ｂや第一，第二の連通用開口部２１ａ，２１ｂ等を形
成し、各プレート２３，２１，２２の前駆体を形成す
る。次いで、それら各前駆体を積層し、焼成することに
よって、一体的なセラミックス基体としてのインクポン
プ部材２０が得られる。

【０００７】インクポンプ部材２０には、その閉塞プレ
ート２３の外面上において、各インク加圧室２３ａに対
応する部位に、それぞれ圧電／電歪素子３０が設けられ
ている。ここにおいて、この圧電／電歪素子３０は、閉
塞プレート２３上に、下部電極３１，圧電／電歪層３２
および上部電極３３からなる圧電／電歪作動部を、膜形
成法によって形成することによって形成されたものであ
る。

【０００８】上述のごとくして、圧電／電歪素子３０が
一体的に設けられてなるインクポンプ部材２０にあって
は、その焼成後、図示のように、インクノズル部材１０
に対して重ね合わされ、適当な接着剤を用いて、接合，
一体化せしめられ、それによって、インクポンプ部材２
０に一体的に設けられた圧電／電歪素子３０の作動に基
づき、インク供給路１２ｂを通じて導かれたインクが、
オリフィス孔１３ｂよりインク加圧室２２ａに供給され
ると共に、かかるインクが、通孔１３ａ，１２ａを通し
てノズル孔１１ａより外部に噴出せしめられるインクジ
ェット記録ヘッドが得られる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記インクジェット記
録ヘッドにおいて、インクポンプ部材２０は、セラミッ
クスを一体焼成して形成することができるが、該インク
ポンプ部材２０とインクノズル部材１０とは、接着剤を
用いて接合，一体化するものであり、また、インクノズ
ル部材１０は、ノズルプレート１１とオリフィスプレー
ト１３が、流路プレート１２を挟んで重ね合わされ、接
着剤によって一体的に接合されるものであり、従って、
製造工程中に焼成工程の他に接着工程を含み、製造工程
が複雑となり、製造コストが高く、また、製作されたイ
ンクジェット記録ヘッドは、特に、シリアルプリンタ等
に使用される時は、主走査方向の寸法が長く、その分記
録速度が遅く、スペース的にも不利であった。

【００１０】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、インクポンプ部及びインクノズル部全てを
一体焼成可能とし、接着工程を用いることなく製作可能
とするとともに、部品点数を少なくし、従って、工程数
を少なくして製作コストを下げ、しかも、ノズルの高集
積化を図り、特に、リシリアルプリンタとして用いる場
合において、記録速度を高速化可能とすることを目的と
してなされたものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、表面
に圧電振動子を有して振動部材を形成するセラミックス
からなる第１の板部材と、複数の通孔を有し前記第１の
板部材の裏面に当接されるセラミックスからなる第２の
板部材と、該第２の板部材の裏面側に当接されて前記通
孔を封止して圧力室を形成するとともに、先端部に形成
されて前記圧力室に連通する複数のスリット及び前記圧
力室とインク供給源との流路を形成する開口部を有する
第３のセラミックス板部材と、該第３のセラミックス板
部材の裏面側に当接されて該第３のセラミックス板部材
と協働して前記スリットの底面を閉塞してノズルを形成
するとともに、前記第３の板部材のインク供給源との流
路を形成する開口部に連通した開口部を有する第４のセ
ラミックス板部材とを有し、前記第１乃至第４のセラミ
ックス板部材を前記の順に一体に焼結接続してなること
を特徴とし、もって、インクジェット記録ヘッドを最少
部品点数，最少工程で（接着工程を用いることなく）、
一体焼成可能とし、製造コスト低減を可能としたもので
ある。

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ノズルは、高さ寸法が前記第３のセラミックス
板部材の板厚に等しく、幅寸法が前記高さ寸法に等しい
正方形であることを特徴とし、もって、ノズルの形状を
より好ましい形状（長方形でなく、正方形）にし、噴射
特性（応答周波数）を向上させ、噴射の安定性を向上さ
せるようにしたものである。

【００１３】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記第３のセラミックス板部材に形成された
前記開口部が前記インク供給源と圧力室との間の流体抵
抗を形成していることを特徴とし、もって、高精度を要
求される部分を集中化する（第３のセラミックス板部材
に、ノズル部と流体抵抗部を形成する）ことにより、精
度管理維持をしやすくしたものである。

【００１４】請求項４の発明は、表面に圧電振動子を有
して振動部材を形成するセラミックスからなる第１の板
部材と、複数の通孔を有し前記第１の板部材の裏面に当
接されるセラミックスからなる第２の板部材と、該第２
の板部材の裏面側に当接されて前記通孔を封止して圧力
室を形成するとともに、先端部に形成されて前記圧力室
に連通する複数のスリット及び前記圧力室とインク供給
源との流路を形成する開口部を有する第３のセラミック
ス板部材と、該第３のセラミックス板部材の裏面側に当
接されて該第３のセラミックス板部材と協働して前記ス
リットの底面を閉塞してノズルを形成するとともに、前
記第３の板部材のインク供給源との流路を形成する開口
部に連通した開口部を有する第４のセラミックス板部材
と、該第４のセラミックス板部材の裏側の該第４のセラ
ミックス板部材に形成された前記開口部を閉塞しないよ
うに当接された第５のセラミックス板部材と、該第５の
セラミックス板部材の裏側に当接され、前記第４のセラ
ミックス板部材の裏面と協働してインク供給路を形成
し、該インク供給路が前記第４のセラミックス板部材に
形成された前記開口部に連通する共通インク供給路を形
成する第６のセラミックス板部材とを有し、前記第１乃
至６のセラミックス板部材を前記の順に一体に焼結接続
してなることを特徴とし、もって、共通インク室まで一
体焼成可能とし、更に工数の低減を図るとともに、イン
クカートリッジとの連結を容易にしたものである。

【００１５】請求項５の発明は、表面に圧電振動子を有
して振動部材を形成するセラミックスからなる第１の板
部材と、複数の通孔を有し前記第１の板部材の裏面に当
接されるセラミックスからなる第２の板部材と、該第２
の板部材の裏面側に当接されて前記通孔を封止して圧力
室を形成するとともに、先端部に形成されて前記圧力室
に連通する複数のスリット及び前記圧力室とインク供給
源との流路を形成する開口部を有する第３のセラミック
ス板部材と、該第３のセラミックス板部材の裏面側に当
接されて該第３のセラミックス板部材と協働して前記ス
リットの底面を閉塞してノズルを形成するとともに、前
記第３の板部材のインク供給源との流路を形成する開口
部に連通した開口部を有する第４のセラミックス板部材
と、該第４のセラミックス板部材の裏側の該第４のセラ
ミックス板部材に形成された前記開口部を閉塞しないよ
うに当接された第５のセラミックス板部材と、該第５の
セラミックス板部材を中心として前記第１から第４のセ
ラミックス板部材を鏡面対称となるごとき順に配し、前
記第４のセラミックス板部材と第５のセラミックス板部
材とで、前記第４のセラミックス板部材に形成された開
口部とインク供給源とを連通する共通インク流路を形成
するごとく、一体に焼結接続してなることを特徴とし、
もって、ノズル列を複数列可能とするとともに、複数化
する場合における部品の低減と小型を図ったものである
（請求項４のヘッドを２個用いる場合に比し、第６のセ
ラミックス板部材を省略できる）。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は、請求項１乃至３の発明を
説明するための要部断面図で、図中、１は第１のセラミ
ックス板部材、２は第２のセラミックス板部材、３は第
３のセラミックス板部材、４は第４のセラミックス板部
材で、図４に上記第１〜第４のセラミックス板部材１〜
４を含むインクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示
す。第１のセラミックス板部材１の表面には、前述のご
とき圧電振動子９が配設されており、該第１のセラミッ
クス板部材１は、振動子板（インク加圧部材）として働
く。第２のセラミックス板部材２は、加圧室を形成する
複数の通孔２ａを有し、前記第１のセラミックス板部材
１の裏側（圧電振動子９が設けられている側と反対の
側）に配設され、該第２のセラミックス板部材２の裏側
（第１のセラミックス板部材１と反対の側）には、ノズ
ル部３ａを形成する複数のスリット及びインク供給路
（流体抵抗路）３ｂを有する第３のセラミックス板部材
３が配設され、該第３のセラミックス板部材３の裏側
（第２のセラミックス板部材２が配設されている側と反
対の側）には、第３のセラミックス板部材３のインク流
路３ｂに連通するインク供給路４ａを有する第４のセラ
ミックス板部材４が配設され、これによって、スリット
の下側を閉塞してノズル３ａを形成する。上述のごとく
して、第１〜第４のセラミックス板部材１〜４が図示の
ごとく積層され、焼成されて、一体的に接続される。

【００１７】上述のように、図１に示したインクジェッ
ト記録ヘッドによると、インク加圧室２ａ内のインクを
加圧するポンプ部から該インク加圧室２ａの加圧された
インクを吐出するノズル部３ａまでが、セラミックス板
部材を重ね合わせ焼成することで、一体焼成でき、従っ
て、ポンプユニットとノズルユニットとを接着剤で接着
させる必要がなく、製造コストを低減することができ
る。また、複数のノズル孔を小面積に配置でき、プリン
ト（記録）速度の向上を図りやすい。更には、第３のセ
ラミックス板部材３を設けることにより、ノズルの形状
をより好ましい形状（正方形）にでき、噴射性（応答周
波数）が向上し、噴射の安定性が向上する。更には、高
精度を要求される部分（ノズル部３ａ及び液体抵抗部３
ｂ）が第３のセラミックス板部材３に集中されており、
精度管理がしやすい。製造時のハンドリングが容易とな
り、歩留りが向上し、寸法精度の向上を図ることができ
る。

【００１８】図２は、本発明の他の実施例を説明するた
めの要部断面構成図で、図中、図１に示した実施例と同
様の作用をする部分には、図１の場合と同じ参照番号が
付してある。而して、図２に示した実施例は、図１に示
したインクジェット記録ヘッドの第４のセラミックス板
部材４の裏側に、更に、第５のセラミックス板部材５、
及び、第６のセラミックス板部材６を順次積層して、共
通インク室（リザーバ）５ａまで一体焼成し、工数をさ
らに低減させるとともに、インクカートリッジとの連結
を容易にしたものである。なお、図４には、上記第５の
セラミックス板部材５及び第６のセラミックス板部材６
を含めた斜視図が示してある。

【００１９】図３は、本発明の更に他の実施例を説明す
るための要部断面図で、この実施例は、ノズル孔を複数
列（２列）にしたもので、図２に示した実施例における
第５のセラミックス板部材５を中心に鏡対称に第１〜第
４のセラミックス板部材１′〜４′を設けたもので、こ
のようにすると、図２に示した実施例における第６のセ
ラミックス板部材６を省略して、ノズル列２個のインク
ジェット記録ヘッドを構成することができ、図２に示し
た１列構成のインクジェット記録ヘッドを２個背中合わ
せにして使用する場合に比し、部品数を減らすことがで
き、コストの低減化及び小型化を図ることができる。な
お、図６は、この図３に示したインクジェット記録ヘッ
ドの振動子板１を取り外した分解斜視図を示す。

【００２０】図４は、図２に示したインクジェット記録
ヘッドの分解斜視図を示したが、実際に、このインクジ
ェット記録ヘッドを作製するには、図５に示すような、
セラミックス板部材１乃至６を積層，焼成して一体化し
た後、つまり、セラミックス板部材３のノズル先端部を
クローズした形で積層，焼成した後、図５中に、Ａ−Ａ
線にて示す線で切断することにより、図４に示すごと
き、ノズルが開口したインクジェット記録ヘッドを得る
ことができ、これによって、製造時のハンドリングが著
しく向上し、歩留りが良くなり、しかも、寸法精度の向
上を図ることができる。

【００２１】図７は、上述のごとき本発明によるインク
ジェット記録ヘッドを用いてシリアルプリンタを構成し
た時の概略構成図で、図中、４０₁，４０₂，４０₃，４
０₄は本発明によるインクジェット記録ヘッド、４１は
これらインクジェット記録ヘッドを搭載したキャリッ
ジ、４２Ｙ，４２Ｍ，４２Ｃ，４２Ｋはインクカートリ
ッジ、４３は記録紙で、矢印Ａはキャリッジ４１の走査
方向（主走査方向）、Ｂは記録紙４３の移動方向（副走
査方向）で、図７（Ａ）はキャリッジ４１が主走査方向
（矢印Ａ方向）に移動する時の様子を示す図、図７
（Ｂ）は記録紙４３が副走査方向（矢印Ｂ方向）に移動
する時の様子を示す図で、図７（Ａ）に示すように、本
発明によると、インクジェット記録ヘッド４０₁〜４０₄
のノズル先端を記録紙４３に近づけることができ、ま
た、複数のヘッドを主走査方向に並べた時に、全体の長
さＬを短くすることができ、記録端部でのはみ出し長さ
が小さくてすみ、記録速度を向上させることができる。

【００２２】図８は、図１１に示した従来のインクジェ
ット記録ヘッドを用いてシリアルプリンタを構成した時
の様子を説明するための要部概略構成図で、図中、図７
に示した例と同様の作用をする部分には図７の場合と同
一の参照番号が付してある。図８において、４５₁〜４
５₄はインクジェット記録ヘッドで、この場合には、Ｌ
が長くなり、記録速度の点で図７に示した本発明による
インクジェット記録ヘッドに比し不利である。また、図
８（Ｂ）に示すように、ヘッドをノズル面と直角方向に
薄くしてあっても、ノズル面を記録紙４３に近づけるた
めには、スペーサ４４等が必要となり、ヘッドのレイア
ウトの面でも不利である。

【００２３】図９は、本発明によるインクジェット記録
ヘッドをラインプリンタに用いた場合の例を示す概略構
成図で、前述のごとくし製作してヘッド５０₁，５０₃…
５０₅をＰＣＢ基板５２Ａの取り付け部５２₁〜５２₃…
に取り付けるのに、５０₂，５０₄，５０₆をＰＣＢ基板
５２Ｂを取り付け部５２₂，５２₄…に取り付け、これら
をインク流路を構成するインク流路板５３の前後に取り
付け、これによって、１ライン長分のヘッドを構成して
いる。図９は、上述のごとき１ライン長分のヘッドを副
走査方向に複数個並べてカラープリンタとした場合の様
子を示す図で、図中、４２Ｙ，４２Ｍ，４２Ｃ，４２Ｋ
はインクカートリッジ、４３は記録紙、５２Ｙ，５２
Ｍ，５２Ｃ，５２Ｋは図９に示したごとくして構成した
１ライン長分のインクジェット記録ヘッドである。

【００２４】

【発明の効果】本発明によるインクジェット記録ヘッド
によると、インク加圧室内のインクを加圧するポンプユ
ニットから該インク加圧室の加圧されたインクを吐出す
るノズルユニットまでが、セラミックス板部材を重ね合
わせ焼成することで一体焼成でき、従って、ポンプユニ
ットとノズルユニットとを接着剤で接着させる必要がな
く、製造コストを低減することができる。また、複数の
ノズル孔を小面積に配置でき、プリント（記録）速度の
向上を図りやすい。更には、第３のセラミックス板部材
を設けることにより、ノズルの形状をより好ましい形状
（正方形）にでき、噴射性（応答周波数）が向上し、噴
射の安定性が向上する。更には、高精度を要求される部
分（ノズル部及び液体抵抗部）が第３のセラミックス板
部材に集中されており、精度管理がしやすい。製造時の
ハンドリングが容易となり、歩留りが向上し、寸法精度
の向上を図ることができる等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１のインクジェット記録ヘッドの一実
施例を説明するための要部断面図である。

【図２】請求項２のインクジェット記録ヘッドの一実
施例を説明するための要部断面図である。

【図３】請求項３のインクジェット記録ヘッドの一実
施例を説明するための要部断面図である。

【図４】図２に示したインクジェット記録ヘッドの分
解斜視図である。

【図５】図２に示したインクジェット記録ヘッドの製
造工程中の例（切断前の状態）を説明するための図であ
る。

【図６】図３に示したインクジェット記録ヘッドの一
部を分解して示す斜視図である。

【図７】本発明によるインクジェット記録ヘッドをシ
リアルプリンタに適用した場合の例を説明するための図
である。

【図８】従来のインクジェット記録ヘッドを用いてシ
リアルプリンタを構成した場合の例を説明するための図
である。

【図９】本発明によるインクジェット記録ヘッドをラ
インプリンタに適用する場合の組立前の状態を説明する
ための分解図である。

【図１０】本発明によるインクジェット記録ヘッドを
用いてラインプリンタを構成した時の斜視図である。

【図１１】従来のインクジェット記録ヘッドの例を説
明するための図である。

【符号の説明】

１〜６，１′〜４′…セラミックス板部材、３ａ…ノズ
ル、３ｂ…流体抵抗路、９…圧電振動子。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に圧電振動子を有して振動部材を形
成するセラミックスからなる第１の板部材と、複数の通
孔を有し前記第１の板部材の裏面に当接されるセラミッ
クスからなる第２の板部材と、該第２の板部材の裏面側
に当接されて前記通孔を封止して圧力室を形成するとと
もに、先端部に形成されて前記圧力室に連通する複数の
スリット及び前記圧力室とインク供給源との流路を形成
する開口部を有する第３のセラミックス板部材と、該第
３のセラミックス板部材の裏面側に当接されて該第３の
セラミックス板部材と協働して前記スリットの底面を閉
塞してノズルを形成するとともに、前記第３の板部材の
インク供給源との流路を形成する開口部に連通した開口
部を有する第４のセラミックス板部材とを有し、前記第
１乃至第４のセラミックス板部材を前記の順に一体に焼
結接続してなることを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド。
【請求項２】前記ノズルは、高さ寸法が前記第３のセ
ラミックス板部材の板厚に等しく、幅寸法が前記高さ寸
法に等しい正方形であることを特徴とする請求項１に記
載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】前記第３のセラミックス板部材に形成さ
れた前記開口部が前記インク供給源と圧力室との間の流
体抵抗を形成していることを特徴とする請求項１又は２
に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】表面に圧電振動子を有して振動部材を形
成するセラミックスからなる第１の板部材と、複数の通
孔を有し前記第１の板部材の裏面に当接されるセラミッ
クスからなる第２の板部材と、該第２の板部材の裏面側
に当接されて前記通孔を封止して圧力室を形成するとと
もに、先端部に形成されて前記圧力室に連通する複数の
スリット及び前記圧力室とインク供給源との流路を形成
する開口部を有する第３のセラミックス板部材と、該第
３のセラミックス板部材の裏面側に当接されて該第３の
セラミックス板部材と協働して前記スリットの底面を閉
塞してノズルを形成するとともに、前記第３の板部材の
インク供給源との流路を形成する開口部に連通した開口
部を有する第４のセラミックス板部材と、該第４のセラ
ミックス板部材の裏側の該第４のセラミックス板部材に
形成された前記開口部を閉塞しないように当接された第
５のセラミックス板部材と、該第５のセラミックス板部
材の裏側に当接され、前記第４のセラミックス板部材の
裏面と協働してインク供給路を形成し、該インク供給路
が前記第４のセラミックス板部材に形成された前記開口
部に連通する共通インク供給路を形成する第６のセラミ
ックス板部材とを有し、前記第１乃至６のセラミックス
板部材を前記の順に一体に焼結接続してなることを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】表面に圧電振動子を有して振動部材を形
成するセラミックスからなる第１の板部材と、複数の通
孔を有し前記第１の板部材の裏面に当接されるセラミッ
クスからなる第２の板部材と、該第２の板部材の裏面側
に当接されて前記通孔を封止して圧力室を形成するとと
もに、先端部に形成されて前記圧力室に連通する複数の
スリット及び前記圧力室とインク供給源との流路を形成
する開口部を有する第３のセラミックス板部材と、該第
３のセラミックス板部材の裏面側に当接されて該第３の
セラミックス板部材と協働して前記スリットの底面を閉
塞してノズルを形成するとともに、前記第３の板部材の
インク供給源との流路を形成する開口部に連通した開口
部を有する第４のセラミックス板部材と、該第４のセラ
ミックス板部材の裏側の該第４のセラミックス板部材に
形成された前記開口部を閉塞しないように当接された第
５のセラミックス板部材と、該第５のセラミックス板部
材を中心として前記第１から第４のセラミックス板部材
を鏡面対称となるごとき順に配し、前記第４のセラミッ
クス板部材と第５のセラミックス板部材とで、前記第４
のセラミックス板部材に形成された開口部とインク供給
源とを連通する共通インク流路を形成するごとく、一体
に焼結接続してなることを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。