JPH07148921A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH07148921A JPH07148921A JP29847793A JP29847793A JPH07148921A JP H07148921 A JPH07148921 A JP H07148921A JP 29847793 A JP29847793 A JP 29847793A JP 29847793 A JP29847793 A JP 29847793A JP H07148921 A JPH07148921 A JP H07148921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- width
- lower electrode
- piezoelectric element
- pressure chamber
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/1425—Embedded thin film piezoelectric element
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インク吐出特性のノズル間のばらつきの小さ
いインクジェットヘッドを提供すること。 【構成】 上部電極７と、圧電素子６と、下部電極５
と、振動板４と、圧力室形成基板２と、連通路基板１順
番で積層され、少なくとも、圧電素子６と、下部電極５
と、振動板４とを一体に焼成された構成で、下部電極５
は、その幅が圧力室３の幅より狭く形成され、圧電素子
６は、その幅が下部電極５の幅より大きく形成された構
成である。
いインクジェットヘッドを提供すること。 【構成】 上部電極７と、圧電素子６と、下部電極５
と、振動板４と、圧力室形成基板２と、連通路基板１順
番で積層され、少なくとも、圧電素子６と、下部電極５
と、振動板４とを一体に焼成された構成で、下部電極５
は、その幅が圧力室３の幅より狭く形成され、圧電素子
６は、その幅が下部電極５の幅より大きく形成された構
成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印字データの入力を受
けた時点で、インク滴を飛翔させ、このインク滴により
記録用紙にドットを形成させるオンデマンド方式のイン
クジェットヘッドに関する。
けた時点で、インク滴を飛翔させ、このインク滴により
記録用紙にドットを形成させるオンデマンド方式のイン
クジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術のインクジェットヘッドにおい
て、圧電素子を利用したものとして特公平２−５１７３
４号公報が開示されている。これは、流路となる溝の形
成された流路基板と圧電素子とこの圧電素子に電圧を印
加する２つの電極（個別電極と共通電極）とによって構
成されている。圧電板の両側に電極を形成した後に、圧
電素子のチップに切断整形し、これらのチップを圧力室
に対応した振動板上に実装するもので電極の幅は圧電素
子の幅と等しく構成されていた。圧電素子の変形によっ
て振動板を変位させ、圧力室のインク圧力を高めること
によってインク滴を吐出して記録媒体上に画像を形成す
るものであった。
て、圧電素子を利用したものとして特公平２−５１７３
４号公報が開示されている。これは、流路となる溝の形
成された流路基板と圧電素子とこの圧電素子に電圧を印
加する２つの電極（個別電極と共通電極）とによって構
成されている。圧電板の両側に電極を形成した後に、圧
電素子のチップに切断整形し、これらのチップを圧力室
に対応した振動板上に実装するもので電極の幅は圧電素
子の幅と等しく構成されていた。圧電素子の変形によっ
て振動板を変位させ、圧力室のインク圧力を高めること
によってインク滴を吐出して記録媒体上に画像を形成す
るものであった。
【０００３】また、高密度に配置された圧電素子を形成
する方法として、特開平５−９７４３７号公報が開示さ
れている。これは、セラミック基板上に、圧電素子が膜
形成法によって形成され、焼成することで一体に構成さ
れている。このため、相対的に低作動電圧にて大変位が
得られ、また信頼性が高く、応答速度が早く、さらに高
密度化が可能であるという特徴を有していた。そのう
え、セラミック基板、圧電素子、電極が積層構造である
ため、非常に簡単な構造となっていた。
する方法として、特開平５−９７４３７号公報が開示さ
れている。これは、セラミック基板上に、圧電素子が膜
形成法によって形成され、焼成することで一体に構成さ
れている。このため、相対的に低作動電圧にて大変位が
得られ、また信頼性が高く、応答速度が早く、さらに高
密度化が可能であるという特徴を有していた。そのう
え、セラミック基板、圧電素子、電極が積層構造である
ため、非常に簡単な構造となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の圧電素
子を利用したインクジェットヘッドは、圧電板の両側に
電極を形成した後に、圧電素子のチップを切断整形し、
これらのチップを圧力室に対応した振動板上に実装する
もので、高密度化が非常に困難であった。このため、圧
電素子を印刷によって形成する方法を用いたが、下部電
極の印刷は、その厚さが比較的薄く、容易に精度を確保
できるが、圧電素子の印刷は、その厚さが幅に比べ十分
には薄くないため圧電素子の形状の外側の部分の精度が
非常に悪く、振動板の変形特性が不均一であった。その
うえ、圧電素子を焼成する際に圧電素子が収縮してしま
い、さらに変形特性が悪化した。このため、同様の印字
パルスを入力してもノズルごとにインク速度及び吐出イ
ンク量が大きく異なるという問題点を有していた。そこ
で、本発明は従来のこのような問題点を解決するもの
で、その目的とするところは、圧電素子を振動板上に膜
印刷技術を用いて焼成により形成することで高密度化を
実現し、且つ印刷のズレや焼成後の圧電素子の収縮等の
影響をなくすことで、振動板の変形特性を均一にし、ノ
ズル間のインク速度及び吐出インク量の差をなくし、印
字品質の優れたインクジェットヘッドを提供することに
ある。
子を利用したインクジェットヘッドは、圧電板の両側に
電極を形成した後に、圧電素子のチップを切断整形し、
これらのチップを圧力室に対応した振動板上に実装する
もので、高密度化が非常に困難であった。このため、圧
電素子を印刷によって形成する方法を用いたが、下部電
極の印刷は、その厚さが比較的薄く、容易に精度を確保
できるが、圧電素子の印刷は、その厚さが幅に比べ十分
には薄くないため圧電素子の形状の外側の部分の精度が
非常に悪く、振動板の変形特性が不均一であった。その
うえ、圧電素子を焼成する際に圧電素子が収縮してしま
い、さらに変形特性が悪化した。このため、同様の印字
パルスを入力してもノズルごとにインク速度及び吐出イ
ンク量が大きく異なるという問題点を有していた。そこ
で、本発明は従来のこのような問題点を解決するもの
で、その目的とするところは、圧電素子を振動板上に膜
印刷技術を用いて焼成により形成することで高密度化を
実現し、且つ印刷のズレや焼成後の圧電素子の収縮等の
影響をなくすことで、振動板の変形特性を均一にし、ノ
ズル間のインク速度及び吐出インク量の差をなくし、印
字品質の優れたインクジェットヘッドを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、側壁によって
仕切られた複数の圧力室と、これらの圧力室の一面を封
止する振動板と、前記振動板の外面に前記圧力室に対応
して配置された下部電極と、これらの下部電極に密着し
て積層される圧電素子と、これらの圧電素子を前記下部
電極とで挟み込むように配置した上部電極とを備え、前
記圧電素子は未焼成の状態で前記下部電極上に積層した
後に、焼成によって形成されるインクジェットヘッドで
あって、前記下部電極は、その幅が前記圧力室の幅より
狭く形成され、前記圧電素子は、その幅が前記下部電極
の幅より大きく形成されて成ることを特徴としている。
仕切られた複数の圧力室と、これらの圧力室の一面を封
止する振動板と、前記振動板の外面に前記圧力室に対応
して配置された下部電極と、これらの下部電極に密着し
て積層される圧電素子と、これらの圧電素子を前記下部
電極とで挟み込むように配置した上部電極とを備え、前
記圧電素子は未焼成の状態で前記下部電極上に積層した
後に、焼成によって形成されるインクジェットヘッドで
あって、前記下部電極は、その幅が前記圧力室の幅より
狭く形成され、前記圧電素子は、その幅が前記下部電極
の幅より大きく形成されて成ることを特徴としている。
【０００６】また、少なくとも前記側壁を形成する圧力
室形成基板と前記振動板と前記下部電極と前記圧電素子
は、焼成によって一体に構成されることを特徴としてい
る。
室形成基板と前記振動板と前記下部電極と前記圧電素子
は、焼成によって一体に構成されることを特徴としてい
る。
【０００７】さらに、 前記圧電素子は、下部電極を介
して前記振動板と接合していることを特徴としている。
して前記振動板と接合していることを特徴としている。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら説
明する。
明する。
【０００９】図１は、本発明のインクジェットヘッドに
おける主要部分を示す図であり、圧力室のインクの流れ
方向に直角な面で切断した断面形状を示すものである。
図２は本発明のインクジェットヘッドを示す外観斜視図
であり、１６ノズルを縦２列に構成した圧力発生ユニッ
ト２０を３ユニットと流路ユニット４０を用いたインク
ジェットヘッドであるが、ノズル数、列数、及びユニッ
ト構成はどの様な組合せでも限定されるものではない。
おける主要部分を示す図であり、圧力室のインクの流れ
方向に直角な面で切断した断面形状を示すものである。
図２は本発明のインクジェットヘッドを示す外観斜視図
であり、１６ノズルを縦２列に構成した圧力発生ユニッ
ト２０を３ユニットと流路ユニット４０を用いたインク
ジェットヘッドであるが、ノズル数、列数、及びユニッ
ト構成はどの様な組合せでも限定されるものではない。
【００１０】図３は分解斜視図であって、複数の圧電素
子６、下部電極５、振動板４、圧電素子に対応する複数
の圧力室３を有する圧力室形成基板２及び連通路９が穿
孔された連通路基板１とによって構成された圧力発生ユ
ニット２０と複数のインク供給孔１４を有するインク供
給路形成基板１３、インクリザーバ室１５を有するリザ
ーバ室形成基板１２、複数のノズル１６を有するノズル
形成基板１１とによって構成された流路ユニット４０が
あり、両ユニットが接着剤によって接合されている。
子６、下部電極５、振動板４、圧電素子に対応する複数
の圧力室３を有する圧力室形成基板２及び連通路９が穿
孔された連通路基板１とによって構成された圧力発生ユ
ニット２０と複数のインク供給孔１４を有するインク供
給路形成基板１３、インクリザーバ室１５を有するリザ
ーバ室形成基板１２、複数のノズル１６を有するノズル
形成基板１１とによって構成された流路ユニット４０が
あり、両ユニットが接着剤によって接合されている。
【００１１】接合方法は、スクリーン印刷法、転写法等
によってペースト状接着剤を塗布し、加熱硬化させる。
また、フィルム状接着剤をプレス加工等によって成型し
たものを用いることも可能である。この場合、接着方法
として、プレス加工されたフィルム状接着剤を図示しな
い案内孔を使って位置出しをしながら積層した後で、加
熱圧着を行う。
によってペースト状接着剤を塗布し、加熱硬化させる。
また、フィルム状接着剤をプレス加工等によって成型し
たものを用いることも可能である。この場合、接着方法
として、プレス加工されたフィルム状接着剤を図示しな
い案内孔を使って位置出しをしながら積層した後で、加
熱圧着を行う。
【００１２】圧力発生ユニット２０は、焼成で一体に構
成され、その工程を図４の（Ａ）から（Ｃ）に示す。図
４の（Ａ）において振動板４と、パンチングによって圧
力室３となる部分を形成した圧力室形成基板２と、連通
路が穿孔された連通路基板１をアルミナ、ジルコニア等
のセラミック材料からなるグリーンシートの状態で加圧
し、８００℃から１５００℃の温度で一体に焼成する。
セラミック材料は一般的には酸化アルミニウム、酸化ジ
ルコニウム、酸化マグネシウム、窒化アルミニウム、窒
化珪素のうち何れかの１種類以上を主成分とする材料で
ある。次に図４の（Ｂ）において下部電極５の材料を印
刷によって圧力室３に対応する部分に形成し、焼成す
る。下部電極５の材料は、白金、パラジウム、銀−パラ
ジウム、銀−白金、白金−パラジウムからなる合金のう
ち少なくとも１種類以上を主成分とする材料である。最
後に図４の（Ｃ）において圧電素子６の材料を同じく印
刷によって形成し、焼成して仕上げる。圧電素子６の材
料としては、チタン酸ジルコン酸鉛、マグネシウムニオ
ブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガ
ンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛を主成
分とする材料である。
成され、その工程を図４の（Ａ）から（Ｃ）に示す。図
４の（Ａ）において振動板４と、パンチングによって圧
力室３となる部分を形成した圧力室形成基板２と、連通
路が穿孔された連通路基板１をアルミナ、ジルコニア等
のセラミック材料からなるグリーンシートの状態で加圧
し、８００℃から１５００℃の温度で一体に焼成する。
セラミック材料は一般的には酸化アルミニウム、酸化ジ
ルコニウム、酸化マグネシウム、窒化アルミニウム、窒
化珪素のうち何れかの１種類以上を主成分とする材料で
ある。次に図４の（Ｂ）において下部電極５の材料を印
刷によって圧力室３に対応する部分に形成し、焼成す
る。下部電極５の材料は、白金、パラジウム、銀−パラ
ジウム、銀−白金、白金−パラジウムからなる合金のう
ち少なくとも１種類以上を主成分とする材料である。最
後に図４の（Ｃ）において圧電素子６の材料を同じく印
刷によって形成し、焼成して仕上げる。圧電素子６の材
料としては、チタン酸ジルコン酸鉛、マグネシウムニオ
ブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガ
ンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛を主成
分とする材料である。
【００１３】しかし、以上のような工程でヘッドを製造
すると、圧電素子６を印刷する際に、圧電素子が柔らか
く、その厚さが幅に比べ十分には薄くないためため図５
に示すように圧電素子６の外側（図６の６−１）の部分
の精度が非常に悪く、振動板４の変形特性を低下させ
た。そのうえ、焼成することによって圧電素子６が収縮
し、さらに変形特性が低下した。また、下部電極５と上
部電極７との電気的ショートの可能性もあった。
すると、圧電素子６を印刷する際に、圧電素子が柔らか
く、その厚さが幅に比べ十分には薄くないためため図５
に示すように圧電素子６の外側（図６の６−１）の部分
の精度が非常に悪く、振動板４の変形特性を低下させ
た。そのうえ、焼成することによって圧電素子６が収縮
し、さらに変形特性が低下した。また、下部電極５と上
部電極７との電気的ショートの可能性もあった。
【００１４】本発明においては、以下に述べるような方
法を用いて上記の問題を解決している。図６の（Ａ）に
示すように圧力室３に対応する部分に下部電極５は印刷
により形成されるが、その際下部電極５の幅を圧力室３
の幅より狭く形成し、焼成する。次に、図６の（Ｂ）に
示すように、圧電素子６も印刷により形成されるが、そ
の際に圧電素子６の幅を下部電極５の幅より広く形成
し、焼成する。これにより、圧電素子６の印刷ズレや焼
成による圧電素子６の収縮の影響を受けずに、正確に形
成された下部電極５によって振動板４の変形特性が決ま
り、インク吐出特性が安定した。また、下部電極５と上
部電極７との電気的ショートを防止した。
法を用いて上記の問題を解決している。図６の（Ａ）に
示すように圧力室３に対応する部分に下部電極５は印刷
により形成されるが、その際下部電極５の幅を圧力室３
の幅より狭く形成し、焼成する。次に、図６の（Ｂ）に
示すように、圧電素子６も印刷により形成されるが、そ
の際に圧電素子６の幅を下部電極５の幅より広く形成
し、焼成する。これにより、圧電素子６の印刷ズレや焼
成による圧電素子６の収縮の影響を受けずに、正確に形
成された下部電極５によって振動板４の変形特性が決ま
り、インク吐出特性が安定した。また、下部電極５と上
部電極７との電気的ショートを防止した。
【００１５】図７は、 本発明の第１の実施例の圧力室
のインク流れ方向に直角な面における断面図を示したも
のである。下部電極５の厚さＴ１については、本実施例
では５μｍとしたがこれが最適値である。下部電極５が
厚ければ、下部電極５の外側の形状の精度が下がること
で変形特性が不均一となることや、下部電極５の剛性が
上がることにより振動板４の変形が小さくなること等で
インク吐出特性が悪化する。逆に、下部電極５を薄くす
ると、電流の流れが制限されることによる変形特性の低
下や印刷不良が発生する等の問題がある。
のインク流れ方向に直角な面における断面図を示したも
のである。下部電極５の厚さＴ１については、本実施例
では５μｍとしたがこれが最適値である。下部電極５が
厚ければ、下部電極５の外側の形状の精度が下がること
で変形特性が不均一となることや、下部電極５の剛性が
上がることにより振動板４の変形が小さくなること等で
インク吐出特性が悪化する。逆に、下部電極５を薄くす
ると、電流の流れが制限されることによる変形特性の低
下や印刷不良が発生する等の問題がある。
【００１６】圧力室３の幅Ｗ１は４２０μｍ、下部電極
５の幅Ｗ２は３４０μｍ、圧電素子６の幅Ｗ３は３８０
μｍとした。下部電極５の幅Ｗ２と圧力室３のＷ１の
比、Ｗ２／Ｗ１は０．８以上である。振動板４の変位効
率を最大とするのは、下部電極５の幅Ｗ２と圧力室３の
幅Ｗ１の比、Ｗ２／Ｗ１が０．９付近であるが、製造上
のばらつき等の誤差があるため、下部電極５の幅Ｗ２と
圧力室３の幅Ｗ１の比、Ｗ２／Ｗ１は０．８以上、でき
れば０．９付近にしてある。本実施例の場合に、圧電素
子６は下部電極５を介して振動板４と接合されているの
で、実際に圧電素子６の幅Ｗ３のうち、機能している幅
は下部電極５の幅Ｗ２であるから、圧電素子６の幅Ｗ３
は印刷のばらつきや焼成後の収縮等を考慮して、下部電
極５の幅Ｗ２より１０％程度広くしたものが最適値であ
り、下部電極５の幅と圧電素子６の幅の比、Ｗ２／Ｗ３
は、０．９付近にしてある。
５の幅Ｗ２は３４０μｍ、圧電素子６の幅Ｗ３は３８０
μｍとした。下部電極５の幅Ｗ２と圧力室３のＷ１の
比、Ｗ２／Ｗ１は０．８以上である。振動板４の変位効
率を最大とするのは、下部電極５の幅Ｗ２と圧力室３の
幅Ｗ１の比、Ｗ２／Ｗ１が０．９付近であるが、製造上
のばらつき等の誤差があるため、下部電極５の幅Ｗ２と
圧力室３の幅Ｗ１の比、Ｗ２／Ｗ１は０．８以上、でき
れば０．９付近にしてある。本実施例の場合に、圧電素
子６は下部電極５を介して振動板４と接合されているの
で、実際に圧電素子６の幅Ｗ３のうち、機能している幅
は下部電極５の幅Ｗ２であるから、圧電素子６の幅Ｗ３
は印刷のばらつきや焼成後の収縮等を考慮して、下部電
極５の幅Ｗ２より１０％程度広くしたものが最適値であ
り、下部電極５の幅と圧電素子６の幅の比、Ｗ２／Ｗ３
は、０．９付近にしてある。
【００１７】図８に示す、本発明の第２の実施例におい
て、圧電素子６は、下部電極５を介して振動板４に接合
されているだけで、圧電素子６が直接振動板４に接合さ
れることはないことを特徴としている。このようにする
と更に振動板４の変形特性が均一となり、インク吐出吐
出特性が向上する。
て、圧電素子６は、下部電極５を介して振動板４に接合
されているだけで、圧電素子６が直接振動板４に接合さ
れることはないことを特徴としている。このようにする
と更に振動板４の変形特性が均一となり、インク吐出吐
出特性が向上する。
【００１８】図９に示す、本発明の第３の実施例におい
て、焼成後の圧電素子６の間隙に絶縁材料８を充填する
こともできる。この形状によって、隣合う圧電素子６ど
うしの電気的影響が防止されるため、電気的クロストー
クが向上した。また、下部電極５と上部電極７の絶縁が
よくなり電気的特性も向上する。
て、焼成後の圧電素子６の間隙に絶縁材料８を充填する
こともできる。この形状によって、隣合う圧電素子６ど
うしの電気的影響が防止されるため、電気的クロストー
クが向上した。また、下部電極５と上部電極７の絶縁が
よくなり電気的特性も向上する。
【００１９】図１０に示す、本発明の第４の実施例にお
いて、下部電極５と絶縁材料８を一枚のシート状にする
こともできる。この形状によって、圧電素子６が振動板
４と接合することがなくるため、振動板の変形特性がさ
らに向上し、インク吐出特性が安定する。
いて、下部電極５と絶縁材料８を一枚のシート状にする
こともできる。この形状によって、圧電素子６が振動板
４と接合することがなくるため、振動板の変形特性がさ
らに向上し、インク吐出特性が安定する。
【００２０】図１１に示す、本発明の第５の実施例にお
いて、振動板４に下部電極５と圧電素子６が積層できる
溝を設けることもできる。この形状によって下部電極５
と圧電素子６の印刷精度が向上し、振動板４の変位特性
が均一となり、インク吐出特性を安定させることができ
る。
いて、振動板４に下部電極５と圧電素子６が積層できる
溝を設けることもできる。この形状によって下部電極５
と圧電素子６の印刷精度が向上し、振動板４の変位特性
が均一となり、インク吐出特性を安定させることができ
る。
【００２１】
【発明の効果】下部電極はその幅が圧力室の幅より狭く
形成され、圧電素子はその幅が下部電極の幅より大きく
形成されることで、圧電素子の印刷ばらつきや焼成によ
る圧電素子の収縮等による変形特性の影響を小さくし、
下部電極の幅を正確に形成することで変形特性を均一に
した。これによりインク吐出特性が安定した。
形成され、圧電素子はその幅が下部電極の幅より大きく
形成されることで、圧電素子の印刷ばらつきや焼成によ
る圧電素子の収縮等による変形特性の影響を小さくし、
下部電極の幅を正確に形成することで変形特性を均一に
した。これによりインク吐出特性が安定した。
【００２２】また、印刷技術を用いて一体に焼成するこ
とで高密度化も実現できた。
とで高密度化も実現できた。
【図１】本発明の第１の実施例の圧力室のインク流れ方
向に直角な面における断面図である。
向に直角な面における断面図である。
【図２】本発明の外観を示す斜視図である。
【図３】本発明の構成を示す分解斜視図である。
【図４】従来の一体焼成型インクジェットヘッド製造工
程を示す図である。
程を示す図である。
【図５】従来の圧電素子の印刷状態を圧力室のインクの
流れ方向に直角な面における断面図である。
流れ方向に直角な面における断面図である。
【図６】本発明の第１の実施例の製造工程を示す図であ
る。
る。
【図７】本発明の第１の実施例の圧力室のインク流れ方
向に直角な面における断面図である。
向に直角な面における断面図である。
【図８】本発明の第２の実施例の圧力室のインク流れ方
向に直角な面における断面図である。
向に直角な面における断面図である。
【図９】本発明の第３の実施例の圧力室のインク流れ方
向に直角な面における断面図である。
向に直角な面における断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施例の圧力室のインク流れ
方向に直角な面における断面図である。
方向に直角な面における断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施例の圧力室のインク流れ
方向に直角な面における断面図である。
方向に直角な面における断面図である。
１ 連通路基板 ２ 圧力室形成基板 ３ 圧力室 ４ 振動板 ５ 下部電極 ６ 圧電素子 ７ 上部電極 ８ 絶縁材料 ９ 連通路 １１ ノズル形成基板 １２ リザーバ形成基板 １３ 供給路形成基板 １４ インク供給孔 １５ インクリザーバ室 １６ ノズル ２０ 圧力発生ユニット ４０ 流路ユニット
Claims (3)
- 【請求項１】 側壁によって仕切られた複数の圧力室
と、これらの圧力室の一面を封止する振動板と、前記振
動板の外面に前記圧力室に対応して配置された下部電極
と、これらの下部電極に密着して積層される圧電素子
と、これらの圧電素子を前記下部電極とで挟み込むよう
に配置した上部電極とを備え、前記圧電素子は未焼成の
状態で前記下部電極上に積層した後に、焼成によって形
成されるインクジェットヘッドであって、 前記下部電極は、その幅が前記圧力室の幅より狭く形成
され、前記圧電素子は、その幅が前記下部電極の幅より
大きく形成されて成ることを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項２】 少なくとも、前記側壁を形成する前記圧
力室形成基板と前記振動板と前記下部電極と前記圧電素
子は、焼成によって一体に構成されることを特徴とする
請求項１記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記圧電素子は、下部電極を介して前記
振動板と接合していることを特徴とする請求項１記載の
インクジェットヘッド。
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|---|---|---|---|
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| DE4429904A DE4429904C2 (de) | 1993-08-23 | 1994-08-23 | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
| FR9410209A FR2709266B1 (fr) | 1993-08-23 | 1994-08-23 | Tête d'enregistrement à jets d'encre et son procédé de fabrication. |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1134321A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
| WO2001042024A1 (fr) | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre et imprimante |
| US6364468B1 (en) | 1998-11-16 | 2002-04-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| US6467137B1 (en) | 1998-09-17 | 2002-10-22 | Nec Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head |
| JP2004284363A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法 |
| KR100474832B1 (ko) * | 1999-03-19 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 압전 효과를 이용한 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
| US7766461B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-08-03 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Liquid droplet ejecting head, image forming device, and method of manufacturing liquid droplet ejecting head |
| JP2015160395A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
| JP2018027710A (ja) * | 2017-11-28 | 2018-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、及び、センサー |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP29847793A patent/JP3221470B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1134321A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
| US6467137B1 (en) | 1998-09-17 | 2002-10-22 | Nec Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head |
| US6364468B1 (en) | 1998-11-16 | 2002-04-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| US6443566B1 (en) | 1998-11-16 | 2002-09-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| KR100474832B1 (ko) * | 1999-03-19 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 압전 효과를 이용한 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
| WO2001042024A1 (fr) | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre et imprimante |
| US6715861B2 (en) | 1999-12-10 | 2004-04-06 | Fujitsu Limited | Ink jet head and printing apparatus |
| JP2004284363A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法 |
| JP2010132008A (ja) * | 2003-03-20 | 2010-06-17 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法 |
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| US7766461B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-08-03 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Liquid droplet ejecting head, image forming device, and method of manufacturing liquid droplet ejecting head |
| JP2015160395A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
| JP2018027710A (ja) * | 2017-11-28 | 2018-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、及び、センサー |
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