JP2018027710A - アクチュエーター、及び、センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル25に連通して圧力室22となるべき空間がノズル列方向に複数並設された圧力室形成基板15を備え、圧力室22に対応する領域において、ノズル列方向に圧力室22の幅の54%以上、72%以下の幅で形成された下電極膜27と、ノズル列方向に下電極膜27を覆い且つ圧力室22の幅の80%以下の幅で形成された圧電体層28と、を備えた。
【選択図】図5
Description
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板に対し、前記振動板側から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層された圧電素子と、を備え、
前記圧力室に対応する領域において、前記第1の方向に前記圧力室の幅の50%以上、80%以下の幅で形成された前記第1の電極層と、前記第1の方向に前記第1の電極層を覆い且つ前記圧力室の幅の90%以下の幅で形成された前記圧電体層と、を備えたことを特徴とする。
すなわち、ノズルに連通して圧力室となるべき空間が第1の方向に複数並設された圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板に対し、前記振動板側から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層された圧電素子と、を備え、
前記圧力室に対応する領域において、前記第1の方向に前記圧力室の幅の54%以上、72%以下の幅で形成された前記第1の電極層と、前記第1の方向に前記第1の電極層を覆い且つ前記圧力室の幅の80%以下の幅で形成された前記圧電体層と、を備えたことが望ましい。
また、上記目的を達成するために提案される本発明は、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、本発明のアクチュエーターは、空間が第1の方向に複数並設された板材と、
前記板材における前記空間の開口を封止する振動板と、
前記振動板側から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層された圧電素子と、
を備え、
前記第1の電極層は、前記空間に対応する領域において、前記第1の方向に前記空間の幅の54%以上、72%以下の幅で形成され、
前記圧電体層は、前記空間に対応する領域において、前記第1の方向に前記第1の電極層を覆い且つ前記空間の幅の80%以下の幅で形成されたことを特徴とする。
また、本発明のセンサーは、空間が第1の方向に複数並設された板材と、
前記板材における前記空間の開口を封止する振動板と、
前記振動板側から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層された圧電素子と、
を備え、
前記第1の電極層は、前記空間に対応する領域において、前記第1の方向に前記空間の幅の54%以上、72%以下の幅で形成され、
前記圧電体層は、前記空間に対応する領域において、前記第1の方向に前記第1の電極層を覆い且つ前記空間の幅の80%以下の幅で形成されたことを特徴とする。
これらの構成によれば、第1の電極層が空間の幅に対して54%以上、72%以下の幅で形成され、圧電体層を空間の幅に対して80%以下の幅で形成されたので、圧電素子駆動時の排除体積をより向上させることが可能となる。
Claims (2)
- ノズルに連通して圧力室となるべき空間が第1の方向に複数並設された圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板に対し、前記振動板側から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層された圧電素子と、を備え、
前記圧力室に対応する領域において、前記第1の方向に前記圧力室の幅の54%以上、72%以下の幅で形成された前記第1の電極層と、前記第1の方向に前記第1の電極層を覆い且つ前記圧力室の幅の80%以下の幅で形成された前記圧電体層と、を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
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