JP6402547B2 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents
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Description
前記支持体の前記第1の領域上に第1の電極層、圧電体層、および第2の電極層がこの順に積層されてなる圧電素子本体と、
前記第2の電極層上に密着層を介して積層される金属層と、を備え、
前記圧電素子本体の一部は前記第2の領域まで延設され、
当該延設側の領域において、前記金属層が前記第1の領域に重なる位置から前記第2の領域に重なる位置に亘って形成されると共に、前記密着層が当該金属層と重なる位置を越えて前記第2の電極層の端部まで延設されたことを特徴とする。
さらに、上記目的を達成するために提案される本発明は、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、撓み変形が許容される第1の領域と、該第1の領域の外側であって撓み変形が阻害される第2の領域とからなる支持体と、
前記支持体の前記第1の領域上に第1の電極層、圧電体層、および第2の電極層がこの順に積層されてなる圧電素子本体と、
前記第2の電極層上に密着層を介して積層される金属層と、
前記金属層に接着剤により接合され、前記圧電素子本体を保護する封止板と、
を備え、
前記圧電素子本体の一部は前記第2の領域まで延設され、
当該延設側の領域において、前記金属層が前記第1の領域に重なる位置から前記第2の領域に重なる位置に亘って形成されると共に、前記密着層が当該金属層と重なる位置を越えて前記第2の電極層の端部まで延設され、
前記密着層のうち前記金属層と重なる位置を越えて露出した部分が前記封止板との間の前記接着剤により保護されたことを特徴とする。
また、本発明の液体噴ヘッドは、上記構成の圧電素子を備えたことを特徴とする。
さらに、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、第1の領域と第2の領域との境界において、金属層が圧電素子本体の動きを規制するので、圧電素子本体が変形し過ぎることを抑制できる。これにより、能動部と非能動部との境界位置に発生する応力を弱めることができる。また、圧電素子本体を第2の領域まで延設し、密着層を金属層より外側の第2の電極層まで延設したので、第2の電極層の端部、すなわち、能動部と非能動部との境界位置に応力が集中することを抑制できる。これにより、圧電素子本体を変形させる際に、圧電体層にクラック等が発生する不具合をより確実に抑制することができる。その結果、圧電素子の信頼性が向上し、ひいては液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の信頼性が向上する。
Claims (3)
- 撓み変形が許容される第1の領域と、該第1の領域の外側であって撓み変形が阻害される第2の領域とからなる支持体と、
前記支持体の前記第1の領域上に第1の電極層、圧電体層、および第2の電極層がこの順に積層されてなる圧電素子本体と、
前記第2の電極層上に密着層を介して積層される金属層と、
前記金属層に接着剤により接合され、前記圧電素子本体を保護する封止板と、
を備え、
前記圧電素子本体の一部は前記第2の領域まで延設され、
当該延設側の領域において、前記金属層が前記第1の領域に重なる位置から前記第2の領域に重なる位置に亘って形成されると共に、前記密着層が当該金属層と重なる位置を越えて前記第2の電極層の端部まで延設され、
前記密着層のうち前記金属層と重なる位置を越えて露出した部分が前記封止板との間の前記接着剤により保護されたことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項2に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
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