JP2013166323A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する複数の圧力発生室と、圧力発生室に対応して設けられて、第1電極60、第1電極上に設けられた圧電体層70及び圧電体層上に設けられた第2電極80を有する圧電素子300とを具備し、第2電極は、圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて圧電素子の共通電極を構成しており、第1電極の前記圧電体層の上面視における幅方向における端部は、その厚みが外側に向かって徐々に薄くなり、圧電体層の第1電極の端部に対向する領域の第2電極側の面は外側に向かって第1電極側に傾斜している。
【選択図】図3
Description
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2(a)は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図2(b)は、図2(a)のX−X′線拡大断面図である。
本発明のインクジェット式記録ヘッドの製造方法について、以下図4〜図7を用いて説明する。
本実験例では、圧電素子300の電界強度をシミュレーションにより調べた。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (4)
- ノズルに連通する複数の圧力発生室と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有する圧電素子とを具備し、
前記第2電極は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成しており、
前記第1電極の前記並設方向における端部は、その厚みが外側に向かって徐々に薄くなり、
前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対向する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対向する領域は、該端部の傾斜に従って傾斜していることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を具備し、
前記第2電極は、前記圧電体層の上面及び側面を覆っており、
前記第1電極の前記圧電体層の上面視における幅方向における端部は、その厚みが外側に向かって徐々に薄くなり、
前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対向する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする圧電素子。
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Patent Citations (3)
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