JP2014065317A - 圧電素子及び液体噴射ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液体噴射ヘッドの製造方法は、第1電極60と第2電極80とに挟持された圧電体層70を備え、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層62を形成する工程を含む第1電極を形成する第1電極形成工程と、第1電極上に、ニオブ酸ナトリウムカリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、圧電体層上に、第2電極を形成する第2電極形成工程とを備える。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図である。
図3〜図5を用いて本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。図3〜図5は、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
次に、図5(b)に示すように、流路形成基板用ウェハー110を所定の厚みに薄くする。
はじめに、単結晶シリコン基板を熱酸化して二酸化シリコンからなる弾性膜50を厚さ1300nmで形成した。得られた弾性膜50上にチタニアからなる密着層をスパッタリング法により厚さ40nmとなるように形成した。
実施例1とは拡散抑制層62は設けなかった点以外は全て同一条件で圧電素子300を形成し、サンプル2とした。
サンプル1〜3の結果を図6に示す。実施例1及び2は、比較例1の場合に比べてリーク電流が抑制され、電流は駆動電圧領域において1.0×10―3A/cm2以下であった。
図7に示すインクジェット式記録装置IIにおいて、本実施形態の製造方法で得られたインクジェット式記録ヘッドIを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
かかる態様では、電極層を設けることで、第1電極と下地との密着性を向上することができる。また、拡散抑制層を設けることで、圧電体層に含まれるアルカリ金属が第1電極中に拡散するのを抑制して、リークを抑制することができると共に圧電体層のAサイトに空孔が形成されることによる圧電特性の低下を抑制することができる。
(Ka x ,Na 1−x )NbO 3 (1)
0.3≦x≦0.5
かかる態様では、電極層を設けることで、第1電極と下地との密着性を向上することができる。また、拡散抑制層を設けることで、圧電体層に含まれるアルカリ金属が第1電極中に拡散するのを抑制して、リークを抑制することができると共に圧電体層のAサイトに空孔が形成されることによる圧電特性の低下を抑制することができる。
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層を形成する工程を含む前記第1電極を形成する第1電極形成工程により圧電体層からのアルカリ金属の拡散を抑制する拡散抑制層を形成することができるので、アルカリ金属が第1電極に拡散されず、かつ、鉛を含まない圧電素子を形成でき、これによりリーク電流を抑制できる。この結果、液体噴射特性のよい液体噴射ヘッドを製造できる。
前記第1電極形成工程は、スパッタリング法により第1電極層を形成し、その後該第1電極層上に蒸着法により前記拡散抑制層を形成することが好ましい。このように構成することで、密着性がよいと共にリーク電流を抑制できる第1電極を形成できる。
前記拡散抑制層を、厚さが40nm以上となるように形成することが好ましい。この厚さであることで、よりリーク電流を抑制できる。
前記圧電体層形成工程において、さらに鉄酸ビスマスを含む圧電体層を形成することが好ましい。前記圧電体層が、さらに鉄酸ビスマスを含むことで圧電特性が向上する。
本発明の液体噴射装置は、前記した液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。上述した液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドを備えることで、液体噴射特性が低下することが抑制される。
本発明の圧電素子の製造方法は、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層を形成する工程を含む第1電極を形成する第1電極形成工程と、前記第1電極上に、ニオブ酸ナトリウムカリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、前記圧電体層上に、前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、を備えることを特徴とする。本発明の圧電素子の製造方法では、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層を形成する工程を含む前記第1電極を形成する第1電極形成工程により鉛を含有しない圧電体層からのアルカリ金属の拡散を抑制する拡散抑制層を形成することができるので、アルカリ金属が第1電極に拡散されず、これによりリーク電流を抑制できる。
Claims (6)
- 第1電極と第2電極とに挟持された圧電体層を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層を形成する工程を含む前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記第1電極上に、ニオブ酸ナトリウムカリウムを含む複合酸化物からなる前記圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、
前記圧電体層上に、前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記第1電極形成工程は、スパッタリング法により第1電極層を形成し、その後該第1電極層上に蒸着法により前記拡散抑制層を形成することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記拡散抑制層を、厚さが40nm以上となるように形成することを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記圧電体層形成工程において、さらに鉄酸ビスマスを含む圧電体層を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
- 蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも1種を含む拡散抑制層を形成する工程を含む第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記第1電極上に、ニオブ酸ナトリウムカリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、
前記圧電体層上に、前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、を備えることを特徴とする圧電素子の製造方法。
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