JP2013166323A5 - - Google Patents

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本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する複数の圧力発生室と、流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有する圧電素子とを具備し、前記第2電極は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成しており、前記第1電極の前記並設方向における端部は、その厚みが外側に向かって薄くなり、前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする。本発明では、前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることで、圧電体層の実質的な能動部領域を従来に比べて(即ち圧電体層が平坦である場合に比べて)広くすることができ、これにより高い液体吐出特性を得ることが可能である。
前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域は、該端部の傾斜に従って傾斜していることが好ましい。該端部の傾斜に従って傾斜していることで、前記第1電極の前記端部に対応する領域で形成される電界が第1電極の中央部で形成される電界と略同一となりより高い液体吐出特性を得ることが可能である。
本発明の圧電素子は、第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を具備し、前記第2電極は、前記圧電体層の上面及び側面を覆っており、前記第1電極の前記圧電体層の上面視における幅方向における端部は、その厚みが外側に向かって薄くなり、前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする。このように構成されていることで、圧電体層の実質的な能動部領域を従来に比べて広くすることができるので、この圧電素子を用いることで、高い液体吐出特性を得ることが可能である。

Claims (4)

  1. ノズルに連通する複数の圧力発生室と、流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有する圧電素子とを具備し、
    前記第2電極は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成しており、
    前記第1電極の前記並設方向における端部は、その厚みが外側に向かって薄くなり、
    前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域は、該端部の傾斜に従って傾斜していることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
  3. 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
  4. 第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を具備し、
    前記第2電極は、前記圧電体層の上面及び側面を覆っており、
    前記第1電極の前記圧電体層の上面視における幅方向における端部は、その厚みが外側に向かって薄くなり、
    前記圧電体層の前記第1電極の前記端部に対応する領域の前記第2電極側の面は外側に向かって前記第1電極側に傾斜していることを特徴とする圧電素子。
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JP2009255531A (ja) * 2008-03-28 2009-11-05 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ

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