JP2007001270A5 - - Google Patents
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Claims (7)
- 液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板上に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、
前記下電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられていると共に、少なくとも前記圧電素子の間の領域の前記下電極の端部近傍が、他の領域よりも薄い薄肉部となっており、
前記下電極の前記他の領域である前記圧電素子の領域及び前記圧電素子の間の中央部が同一厚さで形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記下電極の前記圧電素子の長手方向の幅が、複数の圧電素子に亘って同一幅で形成されていると共に、前記薄肉部の前記圧電素子に隣接する部分には、前記薄肉部と前記圧電素子の領域とを当該圧電素子の並設方向で不連続とする切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
- 液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板上に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、
前記下電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられていると共に、少なくとも前記圧電素子の間の領域の前記下電極の端部近傍が、他の領域よりも薄い薄肉部となっており、
前記下電極の前記圧電素子の長手方向の幅が、複数の圧電素子に亘って同一幅で形成されていると共に、前記薄肉部の前記圧電素子に隣接する部分には、前記薄肉部と前記圧電素子の領域とを当該圧電素子の並設方向で不連続とする切り欠き部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電素子の長手方向の端部の前記下電極が、前記切り欠き部の間で前記圧電体層と同一幅で設けられていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 流路形成基板上に振動板を介して下電極を成膜及びパターニングして、複数の圧電素子に亘って共通となる下電極を形成する工程と、前記下電極上に亘って圧電体層及び上電極を形成する工程と、前記流路形成基板の表面に直交する方向から所定角度傾斜した方向からイオンビームを照射することにより、前記上電極及び前記圧電体層を各圧力発生室毎にドライエッチングして前記下電極、前記圧電体層及び前記上電極からなる圧電素子を形成すると共に、前記圧電素子の間の領域の前記下電極の端部近傍を連続してドライエッチングすることにより、当該下電極の他の領域よりも薄い薄肉部を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記薄肉部を形成する工程では、前記薄肉部の前記圧電素子に隣接する部分には、前記薄肉部と前記圧電素子の領域とを当該圧電素子の並設方向で不連続とする切り欠き部を設けることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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| JP2005187280A JP4645831B2 (ja) | 2005-06-27 | 2005-06-27 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
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