JP5183758B2 - インクジェットプリンタヘッド製造方法 - Google Patents
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上記駆動素子を蓋部材で覆うことで、上記圧力室に連通する共通液室を形成する共通液室形成工程とを備えていることを特徴とする。
Claims (5)
- 絶縁基板の上面で、かつ、端部に上面から底面にかけて拡がるテーパ面を有する駆動素子を積層する積層工程と、
レジストを上記絶縁基板の上面及び上記駆動素子の上面及びテーパ面に塗布する塗布工程と、
上記レジストを除去するレジスト除去工程と、
上記駆動素子にその上面側から切削加工により溝を形成し、複数の駆動素子に分離する溝形成工程と、
上記絶縁基板の上面及び上記駆動素子の溝が形成された部分であってレジストが除去された部分に導電材を形成する電極形成工程と、
上記絶縁基板の端部にノズル板を設け、上記複数の駆動素子のうち隣接する駆動素子相互間に圧力室を形成する圧力室形成工程と、
上記駆動素子を蓋部材で覆うことで、上記圧力室に連通する共通液室を形成する共通液室形成工程とを備えていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド製造方法。 - 上記レジスト除去工程は、マスク部材を用いてパターンを上記絶縁基板の上面と上記駆動素子の上面との中間位置を焦点として露光する露光工程を具備することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド製造方法。
- 上記レジスト除去工程は、マスク部材を用いてパターンを上記絶縁基板の上面を焦点として露光する露光工程を具備することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド製造方法。
- 上記電極形成工程は、上記レジストが除去された部分にメッキの触媒核を吸着させる工程と、
上記レジストを剥離するレジスト剥離工程と、
無電解メッキを行うメッキ工程とを具備することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド製造方法。 - 上記電極形成工程は、上記絶縁基板の上面及び上記駆動素子の溝が形成された部分に成膜する成膜工程と、
上記レジストを剥離するレジスト剥離工程とを具備することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド製造方法。
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