JP4670378B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
最後に、複数の圧電振動子16と、それを固定する支持基板19からなる圧電アクチュエータ15をハウジング13の開口部より、挿入し接合する。
支持基板19の端面には、それぞれの圧力室3の一つずつに対応するように圧電振動子16が配置され、支持基板19の側面には個別電極20と共通電極21がパターン印刷されており、共通電極21は、支持基板19に設けられたスルーホール24により支持基板19の反対面に配線されている。そのため圧電振動子16の外部電極17は、支持基板19の個別電極20と共通電極21が両側面から対となって配線できるようになっている。さらに、支持基板19の個別電極20及び共通電極21と圧電振動子の外部電極17は、導電性接着剤18により電気的に接続されている。これにより、外部駆動回路からの電気信号は図示しない配線ケーブルより、支持基板19の個別電極20及び共通電極21に送られ、さらに導電性接着剤18を通じ、外部駆動回路から選択的な電気信号が圧電振動子16に印加されることにより、圧電振動子16はひずみを生じる。このひずみが振動板7に変位を与え、圧力室3の圧力が変化する。インクジェットヘッドはこうした原理によってオリフィス1からインクを吐出して、記録媒体上にインク画像を形成する装置に用いられる。
図において、圧電アクチュエータ15は支持基板19と圧電振動子16とで構成されており、該支持基板19と該圧電振動子16は図示しないエポキシ系の接着剤にて接合されている。また、該圧電振動子16の反対面は、接着剤14を介して振動板7と接合されており、圧力室3内の圧力は振動板7が変形することにより急激に変動する。すなわち、外部駆動回路から選択的な電気信号が圧電振動子16に印加されることにより、圧電振動子16はオリフィス1へ向かう方向に変位を発生する。この変位により接着剤12を介して振動板7が変形し、圧力室3内に充填されたインクは、加圧され、オリフィス1からインク滴となって吐出する。
前記圧電アクチュエータが、圧電材料と内部電極とをそれぞれ交互に積層して形成された積層部の前記内部電極が交差する活性領域、並びに該活性領域の両端に前記内部電極が交差しない不活性領域を有する複数の圧電振動子と、該複数の圧電振動子を支持する支持基板を備え、
該支持基板には、
前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向にわたって凹型の溝が形成され、該溝の幅は、前記不活性領域−活性領域−不活性領域の方向での活性領域の幅よりも広くなっており、当該支持基板が前記不活性領域と接合しているとともに、
前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向と直交する方向においては、前記溝の長さは、前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向と直交する方向での圧電振動子の活性領域と同じであることを特徴とする。
図1は、本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示す斜視図である。
図において、1はオリフィス、2はオリフィスプレート、3は圧力室、4は圧力室プレート、5はリストリクタ、6はリストリクタプレート、7は振動板、8はフィルタ、9はダイアフラムプレート、10は穴部、11はサポートプレート、12は共通インク通路、13はハウジング、14は接着剤、15は圧電アクチュエータ、16は圧電振動子、17は外部電極、18は導電性接着剤、19は支持基板、20は個別電極、21は共通電極、22はインク導入パイプ、23はスルーホール、24は内部電極である。オリフィスプレート2は、インクを吐出するオリフィス1が複数個列状に設けられている。このオリフィス1に対応して圧力室3が形成された圧力室プレート4、及びインク供給路10と圧力室3とを連結し、圧力室3へのインク流入を制御するリストリクタ5を形成したリストリクタプレート6を、位置決めして接合している。さらに、圧電アクチュエータ13の圧力を圧力室に伝えるための振動板7と、フィルタ部8とを形成した弾性を有するダイアフラムプレート9と、共通インク通路10を形成したハウジング11を同じように位置決めして接合する。
図において、圧電アクチュエータ15は支持基板17と圧電振動子16とで構成される。圧電振動子16は接着剤14を介して振動板7と接合されている。従って、圧力室3内の圧力は振動板7が変形することにより急激に変動する。すなわち、外部駆動回路から選択的な電気信号が圧電振動子16に印加されることにより圧電振動子16は、オリフィス1へ向かう方向に変位を発生する。この変位により接着剤14を介して振動板7が変形し、圧力室3内に充填されたインクは加圧され、オリフィス1からインク滴となって吐出する。
圧電振動子16と支持基板19は不活性領域で接合されているが、圧電振動子16内の活性領域割合の幅が広い場合、支持基板19のへこみ領域も広くなり、圧電振動子16と支持基板19との接する面が狭くなるため、接着力が弱くなることがある。この場合、圧電振動子の支持基板との接合面の形状を凸型にすると良い。
2 オリフィスプレート
3 圧力室
4 圧力室プレート
5 リストリクタ
6 リストリクタプレート
7 振動板
8 フィルタ
9 ダイアフラムプレート
10 穴部
11 サポートプレート
12 共通インク通路
13 ハウジング
14 接着剤
15 圧電アクチュエータ
16 圧電振動子
17 外部電極
18 導電性接着剤
19 支持基板
20 個別電極
21 共通電極
22 インク導入パイプ
23 スルーホール
24 内部電極
Claims (1)
- インク滴を吐出するオリフィスが複数個列状に配列されるオリフィスプレートと、前記オリフィスに対応してインクを蓄える圧力室と、該圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、前記圧力室にインクを供給する流路のリストリクタと、前記圧力室に対向し前記振動板と接着剤で接合されて電気信号の印加により圧力室内に圧力変動を発生させる圧電アクチュエータと、リストリクタにインクを供給する共通インク流路及び前記圧電アクチュエータが挿入される開口部を有するハウジングからなるインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータが、圧電材料と内部電極とをそれぞれ交互に積層して形成された積層部の前記内部電極が交差する活性領域、並びに該活性領域の両端に前記内部電極が交差しない不活性領域を有する複数の圧電振動子と、該複数の圧電振動子を支持する支持基板を備え、
該支持基板には、
前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向にわたって凹型の溝が形成され、該溝の幅は、前記不活性領域−活性領域−不活性領域の方向での活性領域の幅よりも広くなっており、当該支持基板が前記不活性領域と接合しているとともに、
前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向と直交する方向においては、前記溝の長さは、前記圧電振動子の不活性領域−活性領域−不活性領域の方向と直交する方向での圧電振動子の活性領域と同じであることを特徴とするインクジェットヘッド。
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JP2005029193A JP4670378B2 (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | インクジェットヘッド |
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JP2006212970A JP2006212970A (ja) | 2006-08-17 |
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JPH06297703A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-25 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
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