JP4284739B2 - 圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電圧印加によって生じる歪み変位動作により振動板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせ、インク滴を飛翔させるようにした圧電型インクジェットプリンタ用の圧電ヘッド装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
オンデマンド型インクジェットプリンタは、記録画像等の解像度や画質の飛躍的な向上を可能とするプリンタとして実用化されている。オンデマンド型インクジェットプリンタは、そのヘッド装置により所定のインク滴が所定の場所、時間の制御が行われて紙やフィルム等の適宜の記録媒体に飛翔されて着弾することによって画像等の記録が行われる。へッド装置には、インク滴を飛翔させる方法として、バブルジェット方式や圧電方式が採用されている。
【０００３】
バブルジェット方式は、インク滴を飛翔させるノズル孔の近傍に位置してインクを瞬間的に気化させるヒータが設けられ、このヒータによってインクが気化する際の膨張圧力によりインク滴を飛翔させる方式である。また、圧電方式は、ノズル孔の近傍に設けられたインキ溜まり部に圧電ヘッド駆動素子が設置されてなる。圧電方式においては、電圧印加により圧電ヘッド駆動素子に発生する歪み変位動作によりインク溜まり部に容積変化を生じさせ、これに伴う圧力変化によりインク滴を飛翔させる方式である。
【０００４】
圧電ヘッド装置としては、例えば圧電ヘッド駆動素子として、印加された電界と同方向に発生する歪み変位動作を利用してインク滴を飛翔させるようにした圧電へッド駆動素子や、印加された電界と直交する方向に発生する歪み変位動作を利用してインク滴を飛翔させるようにした圧電ヘッド駆動素子等が用いられている。例えば特開平４−１０５２号公報には、印加された電界と直交する方向に発生する歪み変位動作を利用してインク滴を飛翔させる圧電素子を備えた圧電ヘッド装置が開示されている。
【０００５】
すなわち、この先願圧電ヘッド装置は、インク滴を飛翔させる多数個のノズル孔が形成されたノズルプレートと、各ノズル孔に対応して多数個のインク圧力室が形成されたインク溜めプレートと、振動板とを積層してへッド構体が構成されている。先願圧電型へッド装置は、ヘッド構体に対して基台と、多数個の圧電へッド駆動素子等が組み合わされて構成されている。
【０００６】
圧電ヘッド駆動素子は、圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる素材を基台に接合した状態でダイヤモンドカッタ等によって所定幅に分割して各インク圧力室に対応して振動板と接合される多数個が形成される。圧電ヘッド駆動素子は、それぞれその一方側面の基端部を基台に接着固定され、その接着領域が基台との間にせん断歪みの発生を防止するように歪み変位動作を発生しないような内部電極構造となっている。圧電ヘッド駆動素子は、それぞれ一端を基台に固定された状態において、自由端が振動板に接合される。
【０００７】
先願圧電型へッド装置においては、プリンタ本体より記録画像等に基づく駆動信号が所定の圧電へッド駆動素子に印加されると、この圧電ヘッド駆動素子に歪み変位動作が生じる。先願圧電ヘッド装置においては、かかる圧電へッド駆動素子の歪み変位動作によって対応する振動板が駆動されてインク圧力室に圧力が加えられる。先願圧電ヘッド装置においては、これによってインク圧力室からインクが押し出されてノズル孔から飛翔し、画像等が記録される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、インクジェットプリンタに備えられるへッド装置には、種々の特性が要求されるが、最も基本的な特性としてインク滴の大きさを精度良くコントロール可能であること、インク滴をできるだけ短い時間の間隔で連続的に飛翔させるための周波数応答特性等が挙げられる。また、ヘッド装置は、最近の傾向として、印字速度を上げるためにインク滴を飛翔させるための一色あたりのノズル数を増やす対応が図られるとともに、特に色再現性を改善する目的で色数も増える傾向になっている。さらに、ヘッド装置は、インク滴の大きさについて、そのサイズを小さくして単位面積当たりのインク滴数を増やすことによって記録画像等の解像度を上げる対応が図られている。ヘッド装置は、かかる仕様によって各ノズル孔のピッチが微小に構成される。
【０００９】
ところで、先願圧電ヘッド装置は、上述したように各圧電ヘッド駆動素子が基台との接着領域において歪み変位動作を発生することができないために、その長さに対する発生変位の効率が悪いといった問題がある。さらにまた、先願圧電型へッド装置は、圧電ヘッド駆動素子素材を基台に接合した状態においてダイヤモンドカッタ等による分割処理を施して各圧電ヘッド駆動素子を１個ずつ形成するために、その加工時間が長くなって生産効率が悪くなるとともに、各圧電ヘッド駆動素子をそれぞれ矩形の短冊状にしか形成することができないといった制約がある。
【００１０】
また、先願圧電ヘッド装置においては、各圧電ヘッド駆動素子が振動板に対する接触面積を分断後の幅×厚みで決定されている。したがって、先願圧電へッド装置は、上述した振動板の効率的な駆動或いはインク滴の吐出量の調整等を図るために振動板に対する圧電ヘッド駆動素子の接触面積を減らす場合に、圧電ヘッド駆動素子素材から幅寸法を小さくして圧電へッド駆動素子を分断形成する必要がある。先願圧電ヘッド装置は、このように各圧電ヘッド駆動素子を小幅に分断して構成した場合に機械的強度が劣化することから、分断幅に制約があり上述した微小ピッチのノズル孔仕様に対応することができないといった問題がある。
【００１１】
さらに、先願圧電ヘッド装置においては、各圧電ヘッド駆動素子がその自由端部を平担に形成されて振動板と接触されているために、圧電ヘッド駆動素子と振動板とをそれぞれ高精度に形成して接触面において互いに均一な状態で接触するように構成しなければならない等の種々の問題がある。
【００１２】
発明者等は、上述した先願圧電ヘッド装置の問題点を解決するために、圧電ヘッド駆動素子素材に対して基端部を残す分割溝加工を施すことにより多数個の圧電ヘッド駆動素子を構成してなる新規な圧電ヘッド装置を開発した。かかる新規な圧電ヘッド装置によれば、圧電ヘッド駆動素子素材が比較的厚みを有することでこれを製作する際に焼成時の返り等の発生が抑制されて高精度に製作され、また基台に対してより大きな接合面積が得られることで接合強度の向上が図られるようになる。新規な圧電ヘッド装置は、圧電ヘッド駆動素子素材に対して微小形状の多数個の圧電駆動片部が高精度にかつ効率良く形成されることで、ノズルビッチを微小にして一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るようにした高精度の圧電型インクジェットプリンタを実現する。
【００１３】
しかしながら、かかる新規な圧電ヘッド装置においても、さらなるノズルビッチの微小化に伴うインク圧力室の小型化或いは微小ピッチ化等に伴って上述した分割溝加工の困難性、インク圧力室の位置精度或いは圧電ヘッド駆動素子とヘッド部との組立精度等に限界があった。新規な圧電ヘッド装置は、かかる対応によってコスト低減の実現が困難であるといった課題があった。さらに、新規な圧電ヘッド装置においては、圧電ヘッド駆動素子素材に対して分割溝加工を施す際に、微小化するほど最外側部位に形成される圧電駆動片部と内側部位に形成される圧電駆動片部とでその傾き量に差異が生じてしまい、精度が劣化するといった課題もあった。
【００１４】
したがって、本発明は、圧電へッド駆動素子が高精度に形成されるとともに圧電へッド駆動構体やヘッド駆動構体の寸法精度のバラツキにかかわらず高精度に組み立てられ、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされた圧電型インクジェットプリンタに好適に用いられる圧電ヘッド装置及びその製造方法を提供することを目的に提案されたものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置は、圧電へッド駆動構体に備えられた圧電ヘッド駆動素子の歪み変位動作によりヘッド構体を構成する振動板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせてノズル孔からインク滴を飛翔させ、画像等を記録する圧電型インクジェットプリンタに備えられる。圧電ヘッド装置は、圧電へッド駆動構体が、圧電材と電極材とを交互に積層した圧電ヘッド駆動素子素材に互いに等形状かつ平行な短冊片を分割形成する分割溝形成加工を施して形成した多数個の圧電駆動片部とこれら圧電駆動片部の基部を一体化する連結基部とから構成された圧電へッド駆動素子と、圧電へッド駆動素子よりも大きなヤング率の素材により形成されてその両側面に接合されそれぞれの接合面と対向する外側面がヘッド構体との組み合わせ基準面を構成するとともに基準面が圧電ヘッド駆動素子素材に圧電駆動片部を形成する分割溝形成加工を施す際の基準面を構成する一対のサイドベースとから構成される。圧電ヘッド装置は、ヘッド構体が、圧電へッド駆動素子の圧電駆動片部とそれぞれ相対する多数個のノズル孔が形成されたノズルプレートと、このノズルプレートに積層されノズル孔にそれぞれ連通する多数個のインク圧力室が形成されたインク溜プレートと、このインク溜プレートに積層されてインク圧力室を閉塞する振動板と、この振動板に積層され各インク圧力室に対応して圧電へッド駆動素子の圧電駆動片部の自由端を貫通させて振動板と接合させる多数個の開口部と圧電へッド駆動構体のサイドベースを位置決めした状態で嵌合させる位置決め開口部とが形成された基準プレートとの積層体によって構成される。圧電ヘッド装置は、圧電へッド駆動構体がヘッド構体に対して、サイドベースの基準面を基準プレートの位置決め開口部の開口縁に突き合わせて位置決めした状態で直接組み合わされてなる。
【００１６】
また、圧電ヘッド装置は、各圧電駆動片部のそれぞれの自由端に他の部位に対して幅狭とする凸部が形成され、サイドベースの基準面が各圧電駆動片部の自由端にこれら凸部を形成する凸部形成加工を施す際の基準面を構成する。さらに、圧電ヘッド装置は、サイドベースに、外側の圧電駆動片部と対向する先端部の内面にそれぞれ凹部が形成され、これら凹部が圧電へッド駆動素子素材に対して分割溝形成工程を施して各圧電駆動片部を形成する際に、外側の圧電駆動片部を内側の圧電駆動片部と同形状に形成する加工工具の逃げ凹部を構成する。
【００１７】
さらに、圧電ヘッド装置は、圧電へッド駆動構体に、サイドベース間と圧電へッド駆動素子の連結基部とに跨って接合された補強板が設けられる。圧電ヘッド装置は、補強板が、その上面を圧電へッド駆動素子の連結基部の上面よりもやや突出しかつサイドベースの上面と略面一を構成するようにして、一方主面を連結基部の主面に接合するとともに両側面を相対するサイドベースの対向主面にそれぞれ接合される。圧電ヘッド装置は、補強板が、圧電へッド駆動素子の外周部を囲んで機械的に保護する。
【００１８】
以上のように構成された本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置によれば、圧電へッド駆動素子素材の両側面にサイドベースを接合して分割溝形成工程を施して圧電へッド駆動素子を形成することによって、焼成時の返り等の発生を抑制して高精度の寸法精度を以って圧電駆動片部を形成することが可能となり、またサイドベースの基準面を介してヘッド構体に対して圧電へッド駆動構体の高精度の組立が行われるようになる。したがって、圧電ヘッド装置は、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされた圧電型インクジェットプリンタに好適に用いることが可能である。
【００１９】
上述した目的を達成する本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体の歪み変位動作によりヘッド構体を構成する振動板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせ、ノズル孔からインク滴を飛翔させて画像等を記録する圧電型インクジェットプリンタ用の圧電ヘッド装置を製造する。圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電材と電極材とを交互に積層した圧電ヘッド駆動素子素材に対して互いに等形状かつ平行な短冊片に分割して多数個の圧電駆動片部と、これら圧電駆動片部の基部を一体化する連結基部とを形成する分割溝形成加工を施してなる圧電へッド駆動素子と、この圧電へッド駆動素子よりも大きなヤング率の素材により形成されてその両側面にそれぞれ接合された一対のサイドベースとから構成された圧電へッド駆動構体を備える圧電ヘッド装置を製造する。圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動素子の圧電駆動片部とそれぞれ相対する多数個のノズル孔が形成されたノズルプレートと、このノズルプレートに積層されノズル孔にそれぞれ連通する多数個のインク圧力室が形成されたインク溜プレートと、このインク溜プレートに積層されインク圧力室を閉塞する振動板と、この振動板に積層され各インク圧力室に対応して圧電へッド駆動素子の圧電駆動片部の自由端を貫通させて振動板と接合させる多数個の開口部と圧電へッド駆動構体のサイドベースを位置決めした状態で嵌合させる位置決め開口部とが形成された基準プレートとの積層体によって構成されたヘッド構体を備える圧電ヘッド装置を製造する。
【００２０】
圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体の製造工程が、圧電へッド駆動素子素材に対してその両側面にサイドベースを接合する工程と、圧電ヘッド駆動素子素材に対してサイドベースの圧電へッド駆動素子との接合面と対向する外側面を基準面として、互いに等形状でかつ平行な短冊片からなる多数個の圧電駆動片部を分割形成するとともにこれら圧電駆動片部の基部を一体化する連結基部を形成する分割溝形成加工を施す工程とを有する。圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体をヘッド構体に対して、サイドベースの基準面を基準プレートの位置決め開口部の開口縁に突き合わせて位置決めした状態で直接組み合わせる工程を経て圧電ヘッド装置を製造する。
【００２１】
圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体の製造工程の圧電へッド駆動素子素材に対するサイドベースを接合する工程において、基準面に突き合わされる位置決め治具を用いてそれぞれの自由端面が同一面若しくは所定の高さの段差を付すように組み合わせた状態で接合が行われるようにする。
【００２２】
圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体の製造工程において、各圧電駆動片部に対して、サイドベースの外側面を基準面として、それぞれの自由端を他の部位に対して幅狭とする凸部形成加工が施される。
【００２３】
圧電ヘッド装置の製造方法は、外側の圧電駆動片部と接合する内面の先端部にそれぞれ凹部を形成したサイドベースが用いられ、分割溝形成加工に際してこの凹部が加工工具の逃げ凹部を構成して、外側の圧電駆動片部を内側の圧電駆動片部と同形状に形成することを可能とする。
【００２４】
圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電へッド駆動構体の製造工程において、圧電へッド駆動素子素材にサイドベースを接合する工程の後工程として、サイドベース間と圧電へッド駆動素子の連結基部とに跨って補強板を接合する工程が施される。圧電ヘッド装置の製造方法は、補強板が、その上面を圧電へッド駆動素子の連結基部の上面よりもやや突出しかつサイドベースの上面と略面一を構成するようにして、一方主面を連結基部の主面に接合するとともに両側面を相対するサイドベースの対向主面にそれぞれ接合され、圧電へッド駆動素子の外周部を囲んで機械的に保護するようにする。
【００２５】
以上の工程を備える本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタにおける圧電ヘッド装置の製造方法によれば、圧電へッド駆動素子素材の両側面にそれぞれサイドベースを接合して分割溝形成工程を施して圧電へッド駆動素子を形成することによって、焼成時の返り等の発生を抑制して高精度の寸法精度を以って圧電駆動片部が制作されるとともにサイドベースを介してヘッド構体に対して圧電へッド駆動構体を高精度に組み立てることが可能となる。したがって、圧電ヘッド装置の製造方法によれば、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされた高精度の圧電型インクジェットプリンタを実現する圧電ヘッド装置を製造する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として示す圧電ヘッド装置１は、図１に示すようにヘッドケース２に組み合わされたヘッド構体３と圧電ヘッド駆動構体４とを備える。圧電ヘッド装置１は、圧電ヘッド駆動構体４において、図示しないプリンタ本体から送出された画像信号等に基づいて印加された電界と直交する方向の歪み変位動作が発生する。圧電ヘッド装置１は、この圧電ヘッド駆動構体４に生じた歪み変位動作によってヘッド構体３が駆動され、インク滴を飛翔させて紙やフィルム等の適宣の記録媒体に着弾させ画像等の記録を行う。
【００２７】
圧電ヘッド装置１は、ヘッドケース２を介してプリンタ本体の駆動部に組み込まれる。ヘッドケース２は、軽量かつ充分な機械的剛性を有する金属材等によって形成され、圧電ヘッド駆動構体４を組み込む開口部２ａが形成されている。ヘッドケース２は、開口部２ａ内に圧電ヘッド駆動構体４を嵌合するとともに必要に応じて接着剤によって接合固定する。
【００２８】
ヘッド構体３は、図１及び図２に示すように基準プレート５と、振動板６と、インク溜めプレート７及びノズルプレート８等の部材によって構成される。ヘッド構体３は、これら構成部材が適宜の位置決め手段を介して上側からこの順で積層状態に組み合わされるとともに、各部材間を接着剤によって接合することにより積層体を構成してなる。
【００２９】
基準プレート５は、上述したヘッド構体３を圧電ヘッド駆動構体４に組み合わせる際の基準部材を構成する。基準プレート５は、高精度の加工を可能とするとともに機械的剛性を有する材料、例えばＳＵＳ等の鋼板、銅板、プラスチック板或いはセラミック板等によって形成される。基準プレート５には、多数個の圧電駆動片嵌合穴９と、サイドベース嵌合穴１０（１０ａ、１０ｂ）とが形成されている。基準プレート５は、これら圧電駆動片嵌合穴９とサイドベース嵌合穴１０とが精密に形成されている。
【００３０】
各圧電駆動片嵌合穴９は、全体矩形を呈しており、ヘッド構体３の構成各部材を組み合わせた状態において図１及び図２に示すように後述するインク圧力室１１が精密に対応位置される。サイドベース嵌合穴１０は、各圧電駆動片嵌合穴９を挟んだ両側に位置して開口されており、それぞれの外側開口縁１０ａ１、１０ｂ１が圧電ヘッド駆動構体４を組み付ける際の基準面を構成している。サイドベース嵌合穴１０は、外側開口縁１０ａ１、１０ｂ１の間隔Ｄが精密に設定されている。また、サイドベース嵌合穴１０は、外側開口縁１０ａ１、１０ｂ１と両側の圧電駆動片嵌合穴９とが間隔Ｌに精密に設定されている。
【００３１】
以上のように構成された基準プレート５には、後述するように圧電駆動片嵌合穴９に圧電ヘッド駆動構体４の各圧電駆動片部１７が相対嵌合されるとともにサイドベース嵌合穴１０にサイドベース１５（１５ａ、１５ｂ）が相対嵌合されてこれらを位置決めする。
【００３２】
振動板６は、後述する圧電ヘッド駆動素子１４の圧電駆動片部１７の歪み変位動作に基づいて振動動作される。振動板６は、この振動動作により圧電駆動片部１７に対応してインク溜めプレート７に形成されたインク圧力室１１内に容積変動を生じさせる。振動板６は、圧電駆動片部１７の歪み変位動作に対して減衰をできるだけ小さくして振動動作するとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の材料、例えばポリイミド系のフィルム材によって形成されている。
【００３３】
インク溜めプレート７は、精密な機械加工を可能とするとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の金属或いはセラミック材、プラスチック材料等によって形成されている。インク溜めプレート７には、例えばＳＵＳにエッチング処理やプレス加工を施すことによって、上述した基準プレート５の各圧電駆動片嵌合穴９に対応して数個乃至数百個のインク圧力室１１が形成されている。インク溜めプレート７には、一端が各インク圧力室１１にそれぞれ連通されるとともに他端が後述するノズル孔１３にそれぞれ連通するインク流路１２が形成されている。インク溜めプレート７には、図示しないが各インク圧力室１１に流路を介してインクを供給するインク溜め室がそれぞれ対応して形成されている。
【００３４】
ノズルプレート８には、上述したように各インク圧力室１１のインク流路１２にそれぞれ連通してインク滴を飛翔させる数個乃至数百個のノズル孔１３が、互いに微小なピッチを以って形成されている。ノズルプレート８は、多数個の精密なノズル孔１３の孔加工を可能とするとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の金属或いはプラスチック材料によって形成されている。ノズルプレート８には、例えば樹脂フィルムにエキシマレーザ加工を施して多数個のノズル孔１３が形成される。ノズル孔１３の加工は、例えば金属にエッチング加工或いはプレス等の機械加工を施して形成してもよい。
【００３５】
各ノズル孔１３は、インク滴の飛翔状態に大きな影響を生じさせることから精密に加工形成され、一般に数μｍ乃至数十μｍの内径を有する丸孔によって構成される。勿論、ノズル孔１３は、丸孔に限定されるものではなく、インク滴の飛翔に適した形状であるとともに形成することが可能な形状であればよく、例えば楕円形、多角形、三日月形成いはハート形等の精密な加工が可能な適宜の形状に形成してもよい。
【００３６】
圧電ヘッド装置１は、図１に示すように上述したヘッド構体３に対して圧電へッド駆動構体４が直接位置決めされた状態で組み合わされる。圧電へッド駆動構体４は、図３及び図５に示すように圧電へッド駆動素子１４と、サイドベース１５と、補強板１６とから構成される。圧電へッド駆動構体４には、例えば上端部に図示しないが圧電へッド駆動素子１４を支持する基台を取り付けてもよい。この基台は、圧電へッド駆動素子１４の支持部材を構成するとともに、共通表面電極を設けて後述する各電極に対する給電部材としても機能させるようにする。なお、基台については、共通表面電極を構成するために、導電性を有する金属材料によって形成したり、上面にメタライジング処理を施して導電性が付与されたセラミックスや合成樹脂材料によって成形してもよい。
【００３７】
圧電へッド駆動素子１４は、圧電材料と導電材料とを所定の厚みで交互に積層してこれを焼成することにより製作された圧電ヘッド駆動素子素材３０を素材とし、詳細を後述する工程を経て製作される。圧電材料には、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系のぺースト状の材料が用いられる。導電材料には、例えば銀パラジウムのペースト状の材料が用いられる。勿論、圧電ヘッド駆動素子素材３０は、他の適宜の圧電材料と導電材料とを用いて製作してもよい。
【００３８】
圧電ヘッド駆動素子１４は、各インク圧力室１１に対応して櫛歯状に形成された互いに平行な多数個の圧電駆動片部１７と、これら圧電駆動片部１７の基部を一体化する連結基部１８とから構成される。各圧電駆動片部１７は、それぞれ短冊状を呈しており、相互の間隔が各インク圧力室１１の間隔と精密に一致されて連結基部１８に一体化されて形成されている。
【００３９】
圧電ヘッド駆動素子１４には、素材の状態で図４に示すようにスクリーン印刷法等によって連結基部１８の上面に第１の表面電極１９が成膜形成されるとともに、圧電材料層と導電材料層との積層面と平行な両側面に第２の表面電極２０が成膜形成されている。
【００４０】
圧電へッド駆動素子１４には、上述した各導電材層によって互いに平行な複数の第１の内部電極２１と第２の内部電極２２とが構成されている。各第１の内部電極２１と各第２の内部電極２２とは、圧電材料層によって互いに電気的絶縁が保持されている。第１の内部電極２１は、連結基部１８の上面に露出されて第１の表面電極１９と電気的に接続されることによって共通電極を構成する。第１の内部電極２１は、各圧電駆動片部１７の自由端から所定の高さ位置ｈまでに形成されており、下端面に露出されていない。したがって、第１の内部電極２１は、各圧電駆動片部１７の自由端において圧電材料層によって電気的絶縁が保持されている。
【００４１】
第２の内部電極２２は、各圧電駆動片部１７の自由端に露出され、その自由端から各圧電駆動片部１７の高さ位置の範囲で形成されることによって上面に露出されていない。したがって、第２の内部電極２２は、連結基部１８の部位においては形成されておらず第１の表面電極１９に対して圧電材料層によって電気的絶縁が保持されている。第２の内部電極２２は、各圧電駆動片部１７を駆動する個別電極を構成する。
【００４２】
圧電へッド駆動素子１４には、第１の内部電極２１及び第２の内部電極２２に対して適宜の給電部材を介して画像信号等に応じた電圧が印加される。給電部材としては、例えば各圧電駆動片部１７の下端面が当接する振動板６がこれを兼用する。各圧電駆動片部１７には、上述したようにその下端面に第２の内部電極２２が露出されている。振動板６には、各圧電駆動片部１７の当接部位に対応して端子部がパターン形成されており、圧電ヘッド駆動構体４がヘッド構体３と組み合わされた状態において導電性接着剤等を介して相対する端子部と第２の内部電極２２とが接続される。
【００４３】
給電部材としては、例えば圧電へッド駆動素子１４を支持する基台を有する場合、各圧電駆動片部１７に対応して短冊状に切り分けられた接続端子部を有するフレキシブル配線基板によって構成してもよい。フレキシブル配線基板は、基台に接合固定されるとともに各接続端子部が導電性接着剤を介して圧電へッド駆動素子１４の側面に接合される。フレキシブル配線基板は、接続端子部を介して第２の内部電極２２に駆動電圧を印加する。
【００４４】
給電部材としては、例えば基台に固定された接続基板によって構成される。接続基板は、各圧電駆動片部１７に対応して端子部が形成されており、圧電へッド駆動素子１４の側面に位置合わせされた状態で異方性導電膜等を介して接合される。接続基板は、端子部を介して第２の内部電極２２に駆動電圧を印加する。
【００４５】
以上のように構成された圧電駆動片部１７には、給電部材を介して画像信号等に基づいて共通電極と個別電極とに所定の温度条件下で所定の向きの電圧が印加される。圧電駆動片部１７は、これによって所定の向きに分極されて圧電特性が生成されて供給電圧の向きと大きさに応じた所定の方向に歪み変位動作が発生する。圧電駆動片部１７は、図４において互いに向かい合う第２の表面電極２０及び第１の内部電極２１と第２の内部電極２２とに直交する高さ方向の歪み変位動作が発生する。
【００４６】
圧電へッド駆動素子１４は、第１の内部電極２１と第２の内部電極２２とが対向する部位が電圧印加によって圧電振動を生じる活性領域を構成し、これら第１の内部電極２１と第２の内部電極２２との対向部位が存在しない部位が電圧印加によっても圧電振動を生じない不活性領域を構成する。圧電へッド駆動素子１４は、連結基部１８と各圧電駆動片部１７の先端部が不活性領域を構成している。圧電へッド駆動素子１４は、各層の圧電材料の圧電常数が等しく、第１の内部電極２１と第２の内部電極２２との間隔が等しく、印加される電界の大きさが等しい条件において、各圧電駆動片部１７に活性領域の長さに比例した歪み変位量を発生させるようになる。圧電へッド駆動素子１４は、基台に対して片持ち状態で支持されることから、高さ寸法に対して効率良い活性領域を有する圧電駆動片部１７が構成される。
【００４７】
圧電へッド駆動素子１４には、各圧電駆動片部１７の先端部に後述する凸部形成工程が施されることによってそれぞれ凸部２３が一体に形成されている。圧電へッド駆動素子１４は、凸部２３によって振動板６に突き当てられる各圧電駆動片部１７の先端部がそれぞれ幅狭とされる。圧電へッド駆動素子１４は、圧電ヘッド駆動構体４がヘッド構体３と組み合わされた状態において、多少の位置ズレがあった場合でも各圧電駆動片部１７が微小なピッチで形成された各インク圧力室１１に対応した領域に正確に位置されて振動板６に当接されるようになる。
【００４８】
したがって、圧電へッド駆動素子１４は、振動板６に対して各圧電駆動片部１７が安定した接触状態に保持されるようになる。圧電へッド駆動素子１４は、かかる構成によって各圧電駆動片部１７の歪み変位動作が振動板６を介して対応する各インク圧力室１１に安定かつ確実に伝達されることで、画像等の正確かつ精密な記録を行うことを可能とする。また、圧電ヘッド駆動素子１４は、各圧電駆動片部１７がある程度の断面寸法を以って形成されることによって機械的強度が保持される。
【００４９】
以上のように構成された圧電へッド駆動素子１４には、その両側面にそれぞれサイドベース１５が接合される。サイドベース１５は、詳細には圧電へッド駆動素子素材３０の状態でその両側面にそれぞれ接合されて後述する機械加工を施される部材である。サイドベース１５は、圧電へッド駆動素子１４よりもヤング率が大きい材料、例えばセラミック材によって形成される。サイドベース１５は、図５に示すように圧電へッド駆動素子１４に対してその厚み寸法、幅寸法及び高さ寸法がそれぞれやや大とされた板状部材からなる。サイドベース１５には、先端部の内面にそれぞれ凹部２４（２４ａ、２４ｂ）が形成されている。
【００５０】
これら凹部２４は、その深さが各圧電駆動片部１７の凸部２３の高さとほぼ等しく、後述する圧電へッド駆動素子素材３０に対して分割溝形成工程を施して各圧電駆動片部１７を形成する際に、外側の圧電駆動片部１７ａ、１７ｂを内側の圧電駆動片部１７と同等形状にそれぞれ高精度に形成するための加工工具の逃げを構成する。
【００５１】
サイドベース１５には、外側面にそれぞれ基準段部２５（２５ａ、２５ｂ）が形成されている。これら基準段部２５は、圧電へッド駆動素子１４の幅寸法Ｅを精密に規定するために詳細を後述する機械加工がサイドベース１５の両側面に施されて形成される。これら基準段部２５は、その間隔Ｅが、基準プレート５の外側開口縁１０ａ１、１０ｂ１の間隔Ｄと高精度に一致されてなる。また、基準段部２５は、図３に示す圧電へッド駆動素子１４の両側に位置して形成された圧電駆動片部１７ａ、１７ｂとのそれぞれの間隔Ｍが、図２に示す基準プレート５に形成された圧電駆動片嵌合穴９とサイドベース嵌合穴１０との間隔Ｌと精密に一致されてなる。サイドベース１５は、基準段部２５によって精密に形成された先端部１５ａ１、１５ｂ１が、それぞれサイドベース嵌合穴１０との嵌合部を構成する。
【００５２】
サイドベース１５は、圧電へッド駆動素子素材３０の両側面に接合されることによって組立状態において圧電へッド駆動構体４の機械的強度を向上させる作用を奏する。また、サイドベース１５は、後述するように圧電へッド駆動素子素材３０に所定の機械加工を施す際に、圧電へッド駆動素子１４の圧電駆動片部１７を含む各部の寸法精度の向上を図る作用を奏する。
【００５３】
サイドベース１５には、その対向間隔を保持するようにして補強板１６が接合される。補強板１６も、圧電へッド駆動素子１４よりもヤング率が大きい材料、例えばセラミック材やアルミナ材等によって形成され、その幅寸法がサイドベース１５の対向間隔、換言すれば圧電へッド駆動素子１４の幅寸法とほぼ等しい板状部材からなる。
【００５４】
補強板１６は、その一方主面が圧電へッド駆動素子１４を構成する圧電へッド駆動素子素材３０の相対する主面に接合されて、この圧電へッド駆動素子素材３０に対して所定の機械加工が施されるようにする。補強板１６は、具体的には圧電へッド駆動素子１４の連結基部１８に対応した部位に接合される。また、補強板１６は、圧電へッド駆動素子１４に対してサイドベース１５を接合する際に、その両側面がサイドベース１５の対向主面にそれぞれ接合される。
【００５５】
補強板１６は、接合状態において、図３及び図５に示すようにその上面をサイドベース１５の上面と略面一とされるとともに圧電へッド駆動素子１４の上面よりもやや突出している。したがって、補強板１６は、サイドベース１５とともに圧電へッド駆動素子１４の外周部を囲むことによって機械的保護を図る作用を奏している。
【００５６】
以上のように構成された圧電ヘッド駆動構体４は、図１に示すように、組立の基準部材としてサイドベース１５を基準プレート５に組み合わせてヘッド構体３に組み立てられて圧電ヘッド装置１を構成する。圧電ヘッド装置１は、上述したように互いに高精度に形成された基準プレート５側のサイドベース嵌合穴１０の外側開口縁１０ａ１、１０ｂ１とサイドベース１５側の先端部１５ａ１、１５ｂ１とを基準にして組み立てられる。圧電ヘッド装置１は、かかる構成によって、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るために微小化されたノズル孔１３に対応して微小なピッチや形状に形成された相対応する各インク圧力室１１と圧電駆動片部１７との精密な位置合わせが行われるようになる。
【００５７】
圧電ヘッド装置１は、図示しないインク溜め室に供給されたインクが、このインク溜め室から流路を介してインク圧力室１１内に供給されて溜められる。圧電型へッド装置１には、プリンタ本体より記録画像等に基づく駆動信号が圧電ヘッド駆動構体４に印加される。圧電型へッド装置１は、所定の圧電駆動片部１７に歪み変位動作が生じて対応するインク圧力室１１に圧力を加える。圧電型へッド装置１は、この圧力によってインク圧力室１１内に容積変動が生じてインク流路１２を介してインクが押し出され、ノズル孔１３からインク滴を飛翔させて記録媒体に所定の画像等を記録する。
【００５８】
次に上述した圧電ヘッド駆動構体４の製造工程について図６を参照して説明する。第１の工程は、同図（ａ）に示すように圧電材料と導電材料とを所定の厚みで交互に積層してこれを焼成することにより製作された圧電ヘッド駆動素子素材３０に対して補強板１６を接合して第１の中間体３１を形成する工程である。なお、圧電ヘッド駆動素子素材３０には、図示を省略するが不活性領域３２の上面に予め第１の表面電極１９が形成されるとともに各圧電駆動片部１７の形成領域に対応する活性領域３３の側面に第２の表面電極２０が形成されている。
【００５９】
圧電ヘッド駆動素子素材３０には、同図に示すように第１の内部電極２１と第２の内部電極２２とが対向していない連結基部１８に対応する不活性領域３２に補強板１６が積層状態で接合される。補強板１６は、同図に示すようにその上端部や両端部が圧電ヘッド駆動素子素材３０の上面や両側面からやや突出するようにして接合される。第１の中間体３１は、補強板１６によって後述する研削加工や取り扱い時における圧電ヘッド駆動素子素材３０の外周縁の欠けや表面電極１９、２０の剥離といった不都合の発生が抑制される。
【００６０】
第２の工程は、同図（ｂ）に示すように第１の中間体３１の両側面に研削加工を施して第２の中間体３４を形成する工程である。第２の中間体３４は、その幅寸法Ｎが基準プレート５のサイドベース嵌合穴１０の対向間隔と一致されるように高精度に研削される。
【００６１】
第３の工程は、同図（ｃ）に示すように第２の中間体３４に対してその両側面にそれぞれサイドベース１５を接合することによって第３の中間体３５を形成する工程である。このサイドベース１５の接合工程においては、同図（ｄ−１）及び（ｄ−２）に示すように組立治具３６が用いられる。組立治具３６は、幅方向の基準面を構成する第１の部位３６ａと厚み方向の基準面を構成する第２の部位３６ｂとが直交された全体Ｌ字状を呈している。第３の中間体３５は、図（ｄ−１）及び（ｄ−２）の矢印で示すように各部が第１の部位３６ａと第２の部位３６ｂとに押し付けられた状態で第２の中間体３４とサイドベース１５とが接合されることで高精度の組立体が構成される。
【００６２】
第４の工程は、同図（ｅ）に示すように各サイドベース１５に対してそれぞれの外側面に基準段部２５ａ、２５ｂを形成する工程である。この基準段部形成工程においては、サイドベース１５の外側面を研削する第１の研削部３８ａ、３８ｂと、サイドベース１５と圧電ヘッド駆動素子素材３０との接合部位を研削する第２の研削部３９ａ、３９ｂとを有する研削砥石３７ａ、３７ｂが用いられる。第３の中間体３５は、この工程によって全体の幅寸法Ｅが精密に形成されるとともにサイドベース１５と圧電ヘッド駆動素子素材３０との接合部位に凹部２４ａ、２４ｂが形成されて同図（ｆ）に示す第４の中間体４０が形成される。
【００６３】
第４の中間体４０には、その先端面に研削砥石を用いて上述した凸部２３を形成するための凸部形成工程が施される。凸部形成工程においては、圧電ヘッド駆動素子素材３０の先端面から活性領域２２に達しない範囲で高さ方向の多数個の凸部２３を形成する。各凸部２３は、上述したように各圧電駆動片部１７に対応したピッチを以って精密に形成される。
【００６４】
第４の中間体４０には、例えば図７に示した分割溝形成研削砥石４１を用いて圧電ヘッド駆動素子素材３０に多数個の分割溝が研削形成されることによって、分割溝の切り残し部位により構成される多数個の圧電駆動片部１７を形成する分割溝形成工程が施される。なお、分割溝形成工程には、分割溝形成研削砥石４１による研削加工ばかりでなく、例えばワイヤカッティング加工やパウダービーム加工を施して分割溝を形成するようにしてもよい。
【００６５】
分割溝形成工程は、分割溝形成研削砥石４１によって第４の中間体４０に対して圧電ヘッド駆動素子素材３０の先端面から高さ方向に不活性領域３２に至る多数個の分割溝を形成する工程である。第４の中間体４０には、所定のピッチと深さを有する多数個の分割溝が形成されることによって、不活性領域３２において連結基部１８によって連設された多数個の圧電駆動片部１７が形成される。
【００６６】
分割溝形成工程は、例えば一方のサイドベース１５ａの基準段部２５ａから間隔Ｍの位置に第１の分割溝を形成して第１の圧電駆動片部１７ａを形成するが、図７（ａ）に示すように分割溝形成研削砥石４１が多数個の研削部を有することで他の圧電駆動片部１７も同時に形成される。各分割溝は、サイドベース１５の基準段部２５ａを基準として基準プレート５に各インク圧力室１１に対応して所定のピッチで形成された各圧電駆動片嵌合穴９に対応する多数個の圧電駆動片部１７を形成する。
【００６７】
第４の中間体４０には、上述したように圧電ヘッド駆動素子素材３０の両側面にサイドベース１５が接合されるとともにサイドベース１５との接合部に凹部２４が形成されている。分割溝形成工程は、かかる構成によって圧電ヘッド駆動素子素材３０の両側面の近傍位置に第１の圧電駆動片部１７ａを高精度に形成し、全体の歩留り率の向上を図るようにする。圧電ヘッド駆動素子１４は、圧電駆動片部１７に電圧が印加されて歪み変位動作が生じた場合に、各圧電駆動片部１７が均一に形成されていないと抵抗力が異なって曲がり現象が生じるために精密に形成されていなければならない。
【００６８】
すなわち、分割溝形成研削砥石４１は、サイドベース１５が接合されていない圧電ヘッド駆動素子素材３０に対して分割溝研削加工を施す場合に、図７（ｂ）に示すように外側部位４１ａが研削の進行によって次第に外側へと傾斜していく現象を呈することがある。したがって、形成される圧電ヘッド駆動素子１４は、かかる分割溝形成研削砥石４１の動作によって外側の分割溝の溝幅、換言すれば第１の圧電駆動片部１７ａが根元に向かって次第に幅広となって他の圧電駆動片部１７と異なる形状となる。圧電ヘッド駆動素子１４は、第１の圧電駆動片部１７ａと他の圧電駆動片部１７との動作特性にバラツキが生じて画像等の精密な記録動作が行われないといった問題を生じさせる。
【００６９】
分割溝形成工程においては、かかる問題点を解決するために例えば同図（ｃ）に示すように圧電ヘッド駆動素子素材３０の側面部に充分な領域ｋを保持して分割溝研削加工を施す対応が考慮される。圧電ヘッド駆動素子素材３０は、側面部に領域ｋを設けることで分割溝形成研削砥石４１の各部位が均一の条件で分割溝を研削加工して高精度の圧電駆動片部１７が形成されるようになる。
【００７０】
なお、第４の中間体４０には、上述したように基準段部形成加工、凸部形成加工及び分割溝形成加工とが施されるが、これら各加工をそれぞれ独立に施して或いは同時に施してもよい。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置によれば、圧電へッド駆動素子素材の両側面に接合されたサイドベースの基準面を介して圧電へッド駆動素子を製作するとともに、この圧電へッド駆動素子とサイドベースからなる圧電へッド駆動構体を上記基準面によりヘッド構体に直接位置決めして組み合わせて構成されることによって高精度の組立が行われる。また、圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置においては、圧電ヘッド駆動素子に微小かつ微細なピッチで多数個の圧電駆動片部が高精度にかつ互いに均一に形成される。したがって、圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置は、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされた圧電型インクジェットプリンタに好適に用いられ、記録画像等を高精度に記録する。
【００７２】
また、本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法によれば、圧電へッド駆動素子素材の両側面に接合されたサイドベースの基準面を介して圧電へッド駆動素子を製作する工程と、この圧電へッド駆動素子とサイドベースからなる圧電へッド駆動構体を上記基準面を介してヘッド構体に直接位置決めして組立てる工程を経て圧電ヘッド装置を製造することから、高精度の組立が簡易な工程によって行われるようになる。また、圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法においては、圧電ヘッド駆動素子に微小かつ微細なピッチで互いに均一な多数個の圧電駆動片部を高精度にかつ材料歩留りよく形成することを可能とする。したがって、圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法によれば、一色あたりのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされた高精度で廉価な圧電型インクジェットプリンタを実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の要部斜視図である。
【図２】同圧電ヘッド装置を構成するヘッド構体の要部斜視図である。
【図３】同圧電ヘッド装置を構成する圧電へッド駆動構体の要部正面図である。
【図４】同圧電へッド駆動構体に備えられる圧電ヘッド駆動素子の要部斜視図である。
【図５】同圧電へッド駆動構体の要部斜視図である。
【図６】同圧電へッド駆動構体の製作工程の説明図である。
【図７】圧電ヘッド駆動素子素材に施す分割溝形成工程の説明図である。
【符号の説明】
１ 圧電型へッド装置、２ ヘッドケース、３ ヘッド構体、４ 圧電ヘッド駆動構体、５ 基準プレート、６ 振動板、７ インク溜めプレート、８ ノズルプレート、９ 圧電駆動片嵌合穴、１０ サイドベース嵌合穴、１１ インク圧力室、１３ ノズル孔、１４ 圧電ヘッド駆動素子、１５ サイドベース、１６ 補強板、１７ 圧電駆動片部、１８ 連結基部、２３ 凸部、２４ 凹部、２５ 基準段部、３０ 圧電ヘッド駆動素子素材、３６ 組立治具

Claims (9)

1. 圧電へッド駆動構体に備えられた圧電へッド駆動素子の歪み変位動作により、ヘッド構体を構成する振動板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせ、ノズル孔からインク滴を飛翔させて画像等を記録する圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置において、
   上記圧電へッド駆動構体は、
   圧電材と電極材とを交互に積層した圧電ヘッド駆動素子素材に対して互いに等形状かつ平行な短冊片に分割して多数個の圧電駆動片部と、これら圧電駆動片部の基部を一体化する連結基部とを形成する分割溝形成加工を施して形成した上記圧電へッド駆動素子と、
   上記圧電へッド駆動素子よりも大きなヤング率の素材により形成されてその両側面に接合され、それぞれの接合面と対向する外側面が上記ヘッド構体との組み合わせ基準面を構成するとともに、上記基準面が上記圧電ヘッド駆動素子素材に上記分割溝形成加工を施す際の基準面を構成する一対のサイドベースとから構成され、
   上記ヘッド構体は、
   上記圧電へッド駆動素子の上記圧電駆動片部とそれぞれ相対する多数個の上記ノズル孔が形成されたノズルプレートと、
   上記ノズルプレートに積層され上記ノズル孔にそれぞれ連通する多数個の上記インク圧力室が形成されたインク溜プレートと、
   上記インク溜プレートに積層されて上記インク圧力室を閉塞する上記振動板と、
   上記振動板に積層され、上記各インク圧力室に対応して上記圧電へッド駆動素子の上記圧電駆動片部の自由端を貫通させて上記振動板と接合させる多数個の開口部と、上記圧電へッド駆動構体の上記サイドベースを位置決めした状態で嵌合させる位置決め開口部とが形成された基準プレートとの積層体によって構成され、
   上記圧電へッド駆動構体が上記ヘッド構体に対して、上記サイドベースの上記基準面を上記基準プレートの上記位置決め開口部の開口縁に突き合わせて位置決めすることにより直接組み合わされることを特徴とする圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置。
2. 上記各圧電駆動片部には、それぞれの自由端に他の部位に対して幅狭とする凸部が形成され、
   上記サイドベースの上記基準面は、上記各圧電駆動片部の自由端に凸部形成加工を施す際の基準面を構成することを特徴とする請求項１に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置。
3. 上記サイドベースには、上記圧電駆動片部の外側の上記圧電駆動片部と対向する先端部の内面にそれぞれ凹部が形成され、
   上記凹部が、上記圧電へッド駆動素子素材に対して分割溝形成工程を施して各圧電駆動片部を形成する際に、上記外側の圧電駆動片部を内側の圧電駆動片部と同形状に形成する加工工具の逃げ凹部を構成することを特徴とする請求項１に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置。
4. 上記圧電へッド駆動構体には、上記サイドベース間と上記圧電へッド駆動素子の上記連結基部とに跨って接合された補強板が設けられ、
   上記補強板は、その上面が上記圧電へッド駆動素子の上記連結基部の上面よりもやや突出しかつ上記サイドベースの上面と略面一を構成するようにして、一方主面を上記連結基部の主面に接合するとともに両側面を相対する上記サイドベースの対向主面にそれぞれ接合することにより、上記圧電へッド駆動素子の外周部を囲んで機械的に保護することを特徴とする請求項１に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置。
5. 圧電へッド駆動構体の歪み変位動作によりヘッド構体を構成する振動板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせ、ノズル孔からインク滴を飛翔させて画像等を記録する圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法において、
   上記圧電へッド駆動構体が、圧電材と電極材とを交互に積層した圧電ヘッド駆動素子素材に対して互いに等形状かつ平行な短冊片に分割して多数個の圧電駆動片部と、これら圧電駆動片部の基部を一体化する連結基部とを形成する分割溝形成加工を施してなる上記圧電へッド駆動素子と、この圧電へッド駆動素子よりも大きなヤング率の素材により形成されてその両側面に接合された一対のサイドベースとから構成され、
   上記ヘッド構体が、上記圧電へッド駆動素子の上記圧電駆動片部とそれぞれ相対する多数個の上記ノズル孔が形成されたノズルプレートと、このノズルプレートに積層され上記ノズル孔にそれぞれ連通する多数個の上記インク圧力室が形成されたインク溜プレートと、このインク溜プレートに積層され上記インク圧力室を閉塞する上記振動板と、この振動板に積層され上記各インク圧力室に対応して上記圧電へッド駆動素子の上記圧電駆動片部の自由端を貫通させて上記振動板と接合させる多数個の開口部と上記圧電へッド駆動構体の上記サイドベースを位置決めした状態で嵌合させる位置決め開口部とが形成された基準プレートとの積層体によって構成され、
   上記圧電へッド駆動構体の製造工程が、
   上記圧電へッド駆動素子素材に対して、その両側面に上記サイドベースを接合する工程と、
   上記圧電ヘッド駆動素子素材に対して上記サイドベースの上記圧電へッド駆動素子との接合面と対向する外側面を基準面として上記分割溝形成加工を施す工程とを有し、
   上記圧電へッド駆動構体を上記ヘッド構体に対して、上記サイドベースの上記基準面を上記基準プレートの上記位置決め開口部の開口縁に突き合わせて位置決めした状態で直接組み合わせる工程を経て圧電ヘッド装置を製造することを特徴とする圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法。
6. 上記圧電へッド駆動素子素材に対して上記サイドベースが、上記基準面に突き合わされる位置決め治具を用いてそれぞれの自由端面が同一面若しくは所定の高さの段差を付されて組み合わされた状態で接合する工程を有することを特徴とする請求項５に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法。
7. 上記各圧電駆動片部に対して、上記サイドベースの外側面を基準面として、それぞれの自由端を他の部位に対して幅狭とする凸部形成加工を施す工程を有することを特徴とする請求項５に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法。
8. 上記サイドベースには、上記圧電駆動片部の外側の圧電駆動片部を接合する内面の先端部にそれぞれ凹部を形成したサイドベースが用いられ、
   上記分割溝形成加工に際して上記凹部が、上記外側圧電駆動片部を内側の圧電駆動片部と同形状に形成する加工工具の逃げ凹部を構成することを特徴とする請求項５に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法。
9. 上記圧電へッド駆動素子素材に上記サイドベースを接合する工程の後工程として、上記サイドベース間と上記圧電へッド駆動素子の上記連結基部とに跨って補強板を接合する工程が施され、
   上記補強板が、その上面を上記圧電へッド駆動素子の上記連結基部の上面よりもやや突出しかつ上記サイドベースの上面と略面一を構成するようにして、一方主面を上記連結基部の主面に接合するとともに両側面を相対する上記サイドベースの対向主面にそれぞれ接合されて、上記圧電へッド駆動素子の外周部を囲んで機械的に保護することを特徴とする請求項５に記載の圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置の製造方法。

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