JP2000280470A - 圧電ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各部の寸法精度のバラツキにかかわらず、各
圧電駆動片と各インク圧力室とが精密に対応位置される
ようにする。 【解決手段】 多数個のノズル孔１３と多数個のインク
圧力室１１とが形成されかつ各インク圧力室１１を閉塞
する振動板８を有するヘッド構体３と、多数個の圧電駆
動片１９を形成した圧電ヘッド駆動素子１５を保持する
ベース部材１６とを有する圧電ヘッド駆動構体４と、こ
れらヘッド構体３と圧電ヘッド駆動構体４との間に配置
されて各圧電駆動片１９を貫通させて各インク圧力室１
１に対応して振動板８と接合させるガイド溝６が形成さ
れたホルダ部材２を備える。位置決め孔１４に位置決め
部材１７が相対係合することで、ヘッド構体３と圧電ヘ
ッド駆動構体４が直接位置決め状態で組み合わされ、各
圧電素子片１９とインク圧力室１１との精密な位置合わ
せが行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電圧印加によって
生じる歪み変位動作により振動板を駆動してインク圧力
室に容積変動を生じさせ、インク滴を飛翔させるように
した圧電型インクジェットプリンタ用の圧電ヘッド装置
及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】オンデマンド型インクジェットプリンタ
は、記録画像等の解像度や画質の飛躍的な向上を可能と
するプリンタとして実用化されている。オンデマンド型
インクジェットプリンタは、そのヘッド装置により所定
のインク滴が所定の場所、時間の制御が行われて紙やフ
ィルム等の適宜の記録媒体に飛翔されて着弾することに
よって画像等の記録が行われる。へッド装置には、イン
ク滴を飛翔させる方法として、バブルジェット方式や圧
電方式が採用されている。

【０００３】バブルジェット方式は、インク滴を飛翔さ
せるノズル孔の近傍に位置してインクを瞬間的に気化さ
せるヒータが設けられ、このヒータによってインクが気
化する際の膨張圧力によりインク滴を飛翔させる方式で
ある。また、圧電方式は、インク流路を介してノズル孔
に連通されたインク圧力室に圧電ヘッド駆動素子が接合
されてなる。圧電方式においては、電圧印加により圧電
ヘッド駆動素子に発生する歪み変位動作によりインク圧
力室に容積変化を生じさせ、これに伴う圧力変化により
インク滴を飛翔させる方式である。

【０００４】圧電ヘッド駆動素子は、圧電セラミックと
電極材とを交互に積層してなる圧電ヘッド駆動素子素材
をベース部材に接合した状態でダイヤモンドカッタ等に
よる分割加工が施されることによって所定幅に分割さ
れ、各インク圧力室に対応して振動板と接合される多数
個の圧電駆動片が形成されてなる。圧電ヘッド駆動素子
は、一般にそれぞれその一方側面の基端部がベース部材
に接着固定されており、その接着領域がベース部材との
間にせん断歪みの発生を防止するように歪み変位動作を
発生しないような内部電極構造となっている。圧電ヘッ
ド駆動素子は、それぞれ一端をベース部材に固定された
状態で、自由端が振動板に接合される。

【０００５】また、圧電ヘッド装置は、最近の傾向とし
て、印字速度を上げるためにインク滴を飛翔させるため
の一色あたりのノズル数を増やす対応が図られるととも
に、特に色再現性を改善する目的で色数も増える傾向に
なっている。さらに、圧電ヘッド装置は、インク滴の大
きさについて、そのサイズを小さくして単位面積当たり
のインク滴数を増やすことによって記録画像等の解像度
を上げる対応が図られている。圧電ヘッド装置は、かか
る仕様によって各ノズル孔のピッチが微小に構成され
る。

【０００６】圧電ヘッド装置においては、上述したよう
に圧電ヘッド駆動素子の歪み変位動作によりインク圧力
室に容積変動を生じさせてインク滴を飛翔させることか
ら、各圧電駆動片が各インク圧力室に対して精密に接合
されている必要がある。圧電ヘッド装置は、インク滴が
安定した状態でノズルから飛翔されるために、各圧電駆
動片が各インク圧力室に対して精密に対応位置して振動
板と接合される必要がある。さらに、圧電ヘッド装置
は、各圧電駆動片と振動板とが均一な状態で接合される
必要がある。

【０００７】従来の圧電ヘッド装置は、ホルダ部材に対
して圧電ヘッド駆動素子を取り付けたベース部材を圧入
等して組み合わせた後に、ホルダ部材とヘッド部とを組
み合わせて構成している。従来の圧電ヘッド装置におい
ては、ホルダ部材とヘッド部とに例えば位置決めピンと
位置決め孔とからなる位置決め手段を設け、圧電ヘッド
駆動素子の各圧電駆動片がヘッド部の各インク圧力室に
対応位置されるように構成されている。

【０００８】例えば、特開平６−８４２３号「インクジ
ェット記録ヘッド」公報には、圧電ヘッド駆動素子の両
側にダミー圧電駆動片を形成し、これらダミー圧電駆動
片を介して圧電ヘッド駆動素子とホルダ部材とを位置決
め状態で組み合わせてなる圧電ヘッド装置が開示されて
いる。かかる先願圧電ヘッド装置においては、圧電ヘッ
ド駆動素子とホルダ部材とが高精度に組み合わされるよ
うになり、結果的に圧電ヘッド駆動素子とインク圧力室
とが高精度に位置決めされるようになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、インクジェ
ットプリンタ装置に備えられる圧電へッド装置には、種
々の特性が要求されるが、最も基本的な特性としてイン
ク滴の大きさを精度良くコントロール可能であること、
インク滴をできるだけ短い時間の間隔で連続的に飛翔さ
せるための周波数応答特性等が挙げられる。また、圧電
ヘッド装置においては、印字速度を上げるためにインク
滴を飛翔させるための一色あたりのノズル数を増やす対
応が図られるとともに、特に色再現性を改善する目的で
色数も増える傾向になっている。さらに、圧電ヘッド装
置においては、インク滴の大きさについて、そのサイズ
を小さくして単位面積当たりのインク滴数を増やすこと
によって記録画像等の解像度を上げる対応が図られてい
る。このため、圧電ヘッド装置は、圧電ヘッド駆動素子
の各圧電駆動片或いはインク圧力室が一般に１００μｍ
乃至４００μｍの微細なピッチで形成されている。

【００１０】従来の圧電ヘッド装置は、上述したように
ベース部材とホルダ部材とを組み合わせた後に、ホルダ
部材とヘッド部とを組み合わせて構成される。したがっ
て、従来の圧電ヘッド装置においては、圧電ヘッド駆動
素子の各圧電駆動片と各インク圧力室との位置合わせ
が、ベース部材とホルダ部材の部品精度及びこれらの組
合せ精度と、ホルダ部材とベース部の部品精度及びこれ
らの組合せ精度とによって決定されることになる。従来
の圧電ヘッド装置は、このために各圧電駆動片と各イン
ク圧力室とを高精度に位置決めすることが困難であっ
た。

【００１１】上述した先願圧電ヘッド装置においては、
圧電ヘッド駆動素子とホルダ部材とを比較的高精度に組
み合わすことが可能とされるが、上述した従来の圧電ヘ
ッド装置と同様の構成であることから各圧電駆動片と各
インク圧力室との位置決めを高精度に保持することが困
難である。また、先願圧電ヘッド装置は、各圧電ヘッド
駆動素子が基台との接着領域において歪み変位動作を発
生しないためにその長さに対する発生変位の効率が悪
く、大きな歪み変位量を得るために各圧電ヘッド駆動素
子の長さも大きくしなければならないといった問題もあ
った。

【００１２】したがって、本発明は、圧電へッド駆動構
体とヘッド駆動構体とが直接位置決めされて組み立てら
れることにより各部の寸法精度のバラツキにかかわらず
各圧電駆動片と各インク圧力室とが精密に対応位置され
るようにし、一色あたりのノズル数を増加したり記録画
像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室
のピッチが微小とされた圧電型インクジェットプリンタ
に好適に用いられる圧電ヘッド装置及びその製造方法を
提供することを目的に提案されたものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明にかかる圧電ヘッド装置は、ヘッド構体と、圧電ヘッ
ド駆動構体と、ホルダ部材とを備えてなる。ヘッド構体
は、多数個のノズル孔と、これらノズル孔とインク流路
を介して連通された多数個のインク圧力室とが形成され
るとともに、各インク圧力室を閉塞する振動板を有す
る。圧電ヘッド駆動構体ヘッド構体は、多数個の圧電駆
動片が形成された圧電ヘッド駆動素子と、この圧電ヘッ
ド駆動素子を保持するベース部材とを有する。ホルダ部
材は、ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体との間に配置さ
れ、各圧電駆動片を貫通させて各インク圧力室に対応し
て振動板と接合させるガイド溝と位置決め部材を貫通さ
せるガイド孔とが形成されてなる。ヘッド構体と圧電ヘ
ッド駆動構体には、組み合わせ状態において相対係合す
る位置決め孔と位置決め部材とが形成される。

【００１４】以上のように構成された本発明にかかる圧
電ヘッド装置によれば、ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構
体とが、相対係合する位置決め孔と位置決め部材とによ
って互いに高精度に位置決めされて組み合わされること
から、それぞれに設けた各インク圧力室と各圧電素子片
とが高精度に対応位置されるようになる。したがって、
圧電ヘッド装置は、インク滴が安定した状態でノズルか
ら飛翔されることから一色あたりのノズル数を増加した
り記録画像等の解像度の向上を図るためにノズルやイン
ク圧力室のピッチが微小とされた圧電型インクジェット
プリンタに好適に用いられ、画像等を高精度に記録す
る。

【００１５】また、上述した目的を達成する本発明にか
かる圧電ヘッド装置の製造方法は、圧電駆動片の歪み変
位動作によって振動板を駆動してインク圧力室に容積変
動を生じさせ、ノズル孔からインク滴を飛翔させて画像
等を記録する圧電ヘッド装置を製造する。圧電ヘッド装
置の製造方法は、ノズル孔とインク流路を介して連通さ
れた多数個のインク圧力室とが形成されるとともに各イ
ンク圧力室を閉塞する振動板を有するヘッド構体に位置
決め孔を形成し、多数個の圧電駆動片を有する圧電ヘッ
ド駆動素子とこの圧電ヘッド駆動素子を保持するベース
部材とを有する圧電ヘッド駆動構体のベース部材に位置
決め孔を形成する。圧電ヘッド装置の製造方法によれ
ば、ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体とが、組み合わせ
状態において位置決め孔と位置決め部材との係合によ
り、相対する各圧電素子片と各インク圧力室とが互いに
直接位置決めされる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として示
す圧電ヘッド装置１は、図１及び図２に示すように、ホ
ルダ部材２を介して積層状態に組み合わされたヘッド構
体３と圧電ヘッド駆動構体４とを備える。圧電ヘッド装
置１は、図３に示すようにプリンタ本体側のキャリッジ
５に搭載され、プリンタ本体の制御部から送出される画
像信号等に基づいて印加される駆動電圧によって駆動さ
れる。圧電ヘッド装置１は、圧電ヘッド駆動構体４にお
いて印加された電界と直交する方向の歪み変位動作が発
生し、この圧電ヘッド駆動構体４に生じた歪み変位動作
によってヘッド構体３が駆動される。圧電ヘッド装置１
は、ヘッド構体３からインク滴Ｐを飛翔させて紙やフィ
ルム等の適宣の記録媒体に着弾させ画像等の記録を行
う。

【００１７】ホルダ部材２は、例えば軽量金属、セラミ
ックス或いは合成樹脂等を材料として、図２及び図３に
示すように全体矩形のブロック状を呈して形成される。
ホルダ部材２は、軽量金属を材料として製作する場合に
は、例えばプレス加工、鍛造加工、ダイキャスト成形或
いは切削加工等の適宜の加工方法により製作される。ホ
ルダ部材２は、セラミックスを材料として製作する場合
には、例えばプレス焼成加工により製作される。ホルダ
部材２は、合成樹脂を材料とする場合には、例えば射出
成形により製作される。

【００１８】ホルダ部材２には、図４に示すように幅方
向に並んで互いに平行な一対の矩形ガイド溝６（６ａ、
６ｂ）が貫通形成されるとともに、これらガイド溝６を
挟んで一対のガイド孔７（７ａ、７ｂ）が貫通形成され
ている。ホルダ部材２は、厚み（高さ）寸法がｈ２に設
定されており、後述するようにホルダ部材２と圧電ヘッ
ド駆動構体４とが接合された状態において、圧電ヘッド
駆動構体４を構成する圧電ヘッド駆動素子１５の高さ寸
法ｈ１５（＝ｈ１８）を規定する基準面を構成する。

【００１９】ガイド溝６には、ホルダ部材２と圧電ヘッ
ド駆動構体４とが接合された状態において、圧電ヘッド
駆動素子１５がそれぞれ貫通して組み合わされる。ガイ
ド溝６は、それぞれその長さ寸法がｌ６、幅寸法がｗ６
に設定さるとともに、互いの間隔がｍ６に設定されてい
る。なお、ガイド溝６については、後述する説明から明
らかなように一対の圧電ヘッド駆動素子１５に対応して
ホルダ部材２に一対が形成されるが、この数に限定され
るものでは無い。ガイド孔７には、後述するようにホル
ダ部材２と圧電ヘッド駆動構体４とが接合された状態に
おいて圧電ヘッド駆動構体４に設けられた位置決め部材
１７が貫通される。ガイド孔７は、内径寸法をｄ７とし
た円孔であり、その対向間隔がｌ７に設定されている。

【００２０】ヘッド構体３は、上述したホルダ部材２の
一方主面２ａに接着剤によって接合固定され、図１及び
図３に示すように、振動板８と、インク溜めプレート９
及びノズルプレート１０等の部材によって構成されてい
る。ヘッド構体３は、これらの構成部材が適宜の位置決
め手段を介して図５において下側からこの順で積層状態
に組み合わされるとともに、各部材間を接着剤によって
接合することにより積層体を構成してなる。

【００２１】振動板８は、後述する圧電ヘッド駆動素子
１５に形成された圧電駆動片１９の歪み変位動作に基づ
いて振動動作される。振動板８は、この振動動作により
圧電駆動片１９に対応してインク溜めプレート９に形成
されたインク圧力室１１内に容積変動を生じさせる。振
動板８は、圧電駆動片１９の歪み変位動作に対して減衰
をできるだけ小さくして振動動作するとともにインク液
に対する化学的な耐久性を有する適宜の材料、例えばポ
リイミド系のフィルム材によって形成されている。

【００２２】インク溜めプレート９は、精密な機械加工
を可能とするとともにインク液に対する化学的な耐久性
を有する適宜の金属材或いはガラスやセラミック材、プ
ラスチック材、シリコン材等によって形成されている。
インク溜めプレート９には、例えばＳＵＳにエッチング
処理やプレス加工を施すことによって、数個乃至数百個
のインク圧力室１１が２列に形成されている。インク圧
力室１１は、その対向間隔ｍ１１がベース部材２のガイ
ド溝６の対向間隔ｍ６とほぼ等しく設定されている。

【００２３】インク溜めプレート９には、一端が各イン
ク圧力室１１にそれぞれ連通されるとともに他端が後述
するノズル孔１３にそれぞれ連通するインク流路１２が
形成されている。インク溜めプレート９には、図示しな
いが各インク圧力室１１に流路を介してインクを供給す
るインク溜め室がそれぞれ対応して形成されている。イ
ンク溜めプレート９には、各インク圧力室１１やインク
流路１２を閉塞するようにして振動板８が接合される。

【００２４】ノズルプレート１０には、上述したように
各インク圧力室１１のインク流路１２にそれぞれ連通し
てインク滴を飛翔させる数個乃至数百個のノズル孔１３
が、互いに微小なピッチｐ１３を以って形成されてい
る。ノズルプレート８は、多数個の精密なノズル孔１３
の孔加工を可能とするとともにインク液に対する化学的
な耐久性を有する適宜の金属或いはプラスチック材料に
よって形成されている。ノズルプレート８は、例えば樹
脂フィルムにエキシマレーザ加工を施して多数個のノズ
ル孔１３が形成される。ノズル孔１３の加工は、例えば
金属にエッチング加工或いはプレス等の機械加工を施し
て形成してもよく、ガラス・セラミックス材に切削加工
やパウダビーム加工を施し、或いはシリコン材に異方性
エッチングを施して形成してもよい。

【００２５】各ノズル孔１３は、インク滴Ｐの飛翔状態
に大きな影響を生じさせることから精密に加工形成さ
れ、一般に数μｍ乃至数十μｍの内径を有する丸孔によ
って構成される。勿論、ノズル孔１３は、丸孔に限定さ
れるものではなく、インク滴の飛翔に適した形状である
とともに形成することが可能な形状であればよく、例え
ば楕円形、多角形、三日月形成いはハート形等の精密な
加工が可能な適宜の形状に形成してもよい。

【００２６】上述したヘッド構体３には、図５に示すよ
うにノズル孔１３の形成領域を挟んで一対の位置決め孔
１４（１４ａ、１４ｂ。なお、１４ｂは図示が省略され
ている。）が形成されている。位置決め孔１４は、内径
寸法をｄ１４とした円孔であり、その対向間隔がｌ１４
に設定されている。位置決め孔１４は、各部材に上述し
たノズル孔１３やインク圧力室１１を形成する際に精密
に形成される。位置決め孔１４は、その内径寸法ｄ１４
が、ホルダ部材２のガイド孔７の内径寸法ｄ７よりもわ
ずかに小径とされるとともに後述する位置決め部材１７
の外径寸法ｄ１７とほぼ等しくされている。位置決め孔
１４は、その対向間隔ｌ１４が位置決め部材１７の対向
間隔ｌ１７とほぼ等しくされている。

【００２７】なお、ヘッド構体３については、上述した
ように振動板８、インク溜プレート９及びノズルプレー
ト１０によって構成したが、各インク圧力室１１やイン
ク流路１２の形成条件によっては例えばインク溜プレー
ト９とノズルプレート１０とを一体に形成してもよい。

【００２８】圧電ヘッド装置１は、図１に示すように上
述したホルダ部材２の他方主面２ｂに接着剤によって圧
電へッド駆動構体４が接合固定される。圧電へッド駆動
構体４は、図１、図２及び図６に示すように圧電へッド
駆動素子１５と、この圧電へッド駆動素子１５を支持す
るベース部材１６と、上述したヘッド構体３との組み合
わせを位置決めするための位置決め部材１７とから構成
される。

【００２９】圧電へッド駆動素子１５は、図７に示すよ
うに圧電材１８ａと導電材１８ｂとを所定の厚みで交互
に積層してこれを焼成することにより製作された圧電ヘ
ッド駆動素子素材１８を素材とし、詳細を後述する工程
を経て製作される。圧電材料には、例えばチタン酸ジル
コン酸鉛系のぺースト状の材料が用いられる。導電材料
には、例えば銀パラジウムのペースト状の材料が用いら
れる。勿論、圧電ヘッド駆動素子素材１８は、他の適宜
の圧電材料と導電材料とを用いて製作してもよい。

【００３０】圧電へッド駆動素子素材１８は、詳細を後
述するようにホルダ部材２を介して積層状態に組み合わ
されるヘッド構体３と圧電ヘッド駆動構体４との対向間
隔とほぼ等しい高さ寸法ｈ１８に設定されている。圧電
へッド駆動素子素材１８は、ホルダ部材２のガイド溝６
の開口寸法よりも幾分小さい長さ寸法ｌ１８と幅寸法ｗ
１８を以って形成されている。圧電へッド駆動素子素材
１８には、図７に示すようにその上下端面に例えばスク
リーン印刷法等によって、それぞれ第１の表面電極２１
と第２の表面電極２２とが成膜形成されている。圧電へ
ッド駆動素子素材１８には、上述した各導電材１８ｂの
導電層によって互いに平行な複数の第１の内部電極２３
と第２の内部電極２４とが交互に構成されている。

【００３１】第１の内部電極２３と第２の内部電極２４
とは、圧電材１８ａによる圧電層によって互いに電気的
絶縁が保持されている。第１の内部電極２３は、同図に
示すように圧電へッド駆動素子素材１８の上面から所定
の高さ位置ｈ２３を以って形成されている。したがっ
て、第１の内部電極２３は、第１の表面電極２１と電気
的に接続されるとともに第２の表面電極２１との絶縁が
保持され、後述する各圧電駆動片１９に対応した個別電
極を構成する。第２の内部電極２４は、同図に示すよう
に圧電へッド駆動素子素材１８の底面から上面の近傍に
位置する高さを以って形成されている。したがって、第
２の内部電極２４は、第２の表面電極２２と電気的に接
続されるとともに第１の表面電極２１との絶縁が保持さ
れ、共通電極を構成する。

【００３２】圧電へッド駆動素子素材１８は、第１の表
面電極２１と第２の表面電極２との間に電圧が印加され
ると、歪み変位動作が発生する。圧電へッド駆動素子１
８は、第１の内部電極２３と第２の内部電極２４とが対
向する部位が電圧印加によって圧電振動を生じる活性領
域を構成し、これら第１の内部電極２３と第２の内部電
極２４との対向部位が存在しない部位が電圧印加によっ
ても圧電振動を生じない不活性領域を構成する。

【００３３】圧電へッド駆動素子素材１８は、各層の圧
電材１８ａの圧電常数が等しく、第１の内部電極２３と
第２の内部電極２４との間隔が等しく、印加される電界
の大きさが等しい条件において、活性領域の長さに比例
した歪み変位量を発生させるようになる。圧電へッド駆
動素子素材１８は、底面を固定されることで高さ寸法ｈ
１８に対して効率良い活性領域を構成し、図７矢印で示
す高さ方向と平行な方向の歪み変位動作が生じる。

【００３４】圧電へッド駆動素子素材１８は、後述する
ようにその底面２２をベース部材１６の一方主面１６ａ
上に接合固定された状態において、位置決め部材１７を
基準として多数個の分割溝２５を形成する分割溝加工が
施されることによって図８に示した圧電ヘッド駆動素子
１５が製作される。分割溝加工は、圧電へッド駆動素子
素材１８に対して、適宜に選択された砥石を用いた研削
加工やワイヤーソーによる切削加工等によって行われ
る。

【００３５】圧電へッド駆動素子素材１８には、この分
割溝加工によって、図８に示すようにその上面から第１
の内部電極２３の高さ寸法ｈ２３よりもやや深い高さ寸
法ｈ２５を有するとともに上述したインク圧力室１１の
ピッチｐ１１とほぼ等しいピッチｐ２５を有する多数個
の分割溝２５が形成される。圧電へッド駆動素子素材１
８には、これら分割溝２５によってそれぞれ基端部を連
結基部２０によって連結された多数個の圧電駆動片１９
が構成される。圧電へッド駆動素子素材１８は、第１の
表面電極２１と第１の内部電極２３が、各分割溝２５に
よって各圧電駆動片１９に対応してそれぞれ分割され
る。

【００３６】圧電ヘッド駆動素子１５は、上述したよう
に圧電へッド駆動素子素材１８に分割溝加工が施される
ことによって形成された多数個の圧電駆動片１９と、こ
れら圧電駆動片１９の基部を一体化する連結基部２０と
から構成される。圧電ヘッド駆動素子１５は、図６に示
すようにそれぞれベース部材１６の一方主面１６ａ上に
互いに平行に対峙して一対１５ａ、１５ｂが接合固定さ
れてなる。各圧電ヘッド駆動素子１５ａ、１５ｂは、そ
の対向間隔ｍ１５をインク圧力室１１の対向間隔ｍ１１
とほぼ等しく設定されてベース部材１６に接合固定され
ている。

【００３７】圧電ヘッド駆動素子１５は、上述した分割
溝２５によって、各圧電駆動片１９のピッチｐ１９が各
インク圧力室１１のピッチｐ１１とほぼ等しく形成され
る。圧電ヘッド駆動素子１５は、各圧電駆動片１９の断
面形状が各インク圧力室１１の外形形状に対応して形成
される。なお、圧電へッド駆動素子１５は、印加電圧に
対する各圧電駆動片１９の所望の発生歪み量或いは周波
数応答特性等の条件によってその外形寸法が規定され
る。圧電ヘッド駆動素子１５は、両側に位置する圧電駆
動片１９ａ、１９ｂが位置決め部材１７を基準として間
隔ｍ１７に設定されて形成されている。

【００３８】ベース部材１６は、精密な機械加工を可能
とするとともにインク液に対する化学的な耐久性を有す
る適宜の金属材或いはガラスやセラミック材、プラスチ
ック材等によって、図９に示すように全体矩形板を以っ
て形成されている。ベース部材１６は、例えば金属材の
場合にはプレス加工、鍛造加工、ダイキャスト成型或い
は切削加工によって製作され、セラミック材の場合には
プレス焼成加工によって製作され、プラスチック材の場
合には射出成形法によって製作される。ベース部材１６
は、表裏主面１６ａ、１６ｂが比較的精度の高い面精度
を以って形成される。

【００３９】ベース部材１６には、圧電ヘッド駆動素子
１５の接合領域を挟んで形成された一対の取付孔２６
ａ、２６ｂに、位置決め部材１７ａ、１７ｂがそれぞれ
圧入されることによって一体に立設されている。位置決
め部材１７は、例えば金属材やセラミック材等によって
製作された丸棒状の部材である。位置決め部材１７は、
その外径寸法ｄ１７が上述したようにヘッド構体３の位
置決め孔１４の内径ｄ１４に等しくかつホルダ部材２の
ガイド孔７の内径ｄ７よりもやや小径とされている。位
置決め部材１７は、その対向間隔ｌ１７がヘッド構体３
の位置決め孔１４の対向間隔ｍと等しい。

【００４０】なお、ベース部材１６には、圧電ヘッド駆
動素子１５に駆動電圧を供給するための共通表面電極を
設けるようにしてもよい。ベース部材１６は、共通表面
電極を構成するために、上述したように導電性を有する
金属材料によって形成されるが、ガラスやセラミック材
或いはプラスチック材が用いられる場合にはその表面に
例えばメタライジング処理等が施されて導電性が付与さ
れる。

【００４１】位置決め部材１７は、図９に示すように一
端側１７ａ１、１７ｂ１がそれぞれベース部材１６の主
面１６ａから突出量ｈ１７を以って突出されている。位
置決め部材１７は、突出量ｈ１７が、ホルダ部材２の高
さ（厚み）寸法ｈ２とヘッド構体３の位置決め孔１４の
深さ寸法ｈ１４との和とほぼ等しく設定されており、先
端部位がヘッド構体３の位置決め孔１４との嵌合部を構
成している。位置決め部材１７は、他端側１７ａ２、１
７ｂ２もベース部材１６の他方主面１６ｂからそれぞれ
突出量ｉ１７を以って突出されている。位置決め部材１
７は、突出量ｉ１７が、後述するようにキャリッジ５に
形成した位置決め孔２７の深さｈ２７と同等とされ、嵌
合部を構成している。

【００４２】キャリッジ５は、図３に示すように一端側
をガイド軸２８にスライド自在に支持されており、複数
台の圧電ヘッド装置１が搭載される。キャリッジ５は、
図示しないプリンタ本体の制御部からの駆動信号によっ
て同図矢印で示すように駆動される。キャリッジ５に
は、各圧電ヘッド装置１にそれぞれ対応して上述した各
一対の位置決め孔２７ａ、２７ｂが形成されている。各
位置決め孔２７は、その内径寸法ｄ２７が位置決め部材
１７の外径寸法ｄ１７とほぼ等しく、対向間隔ｌ２７が
位置決め部材１７の対向間隔ｌ１７とほぼ等しい。

【００４３】圧電ヘッド装置１は、位置決め部材１７に
対する上述した構成各部材の対応部位の各寸法の関係を
まとめると次のとおりに設定されている。すなわち、位
置決め部材１７の外径寸法ｄ１７、ホルダ部材２のガイ
ド孔７の内径寸法ｄ７、ヘッド構体３の位置決め孔１４
の内径寸法ｄ１４及びキャリッジ５の位置決め孔２７の
内径寸法ｄ２７は、ｄ１７＝ｄ１４＝ｄ２７＜ｄ７に設
定されている。位置決め部材１７の対向間隔ｌ１７、ホ
ルダ部材２のガイド孔７の対向間隔ｌ７、ヘッド構体３
の位置決め孔１４の対向間隔ｌ１４及びキャリッジ５の
位置決め孔２７の対向間隔ｌ２７は、ｌ１７＝ｌ７＝ｌ
１４＝ｌ２７に設定されている。位置決め部材１７の一
方の突出端部１７ａ１の突出量ｈ１７，ホルダ部材２の
厚み寸法ｈ２及びヘッド構体３の位置決め孔１４の深さ
寸法ｈ１４は、ｈ１７＝ｈ２＋ｈ１４に設定されてい
る。位置決め部材１７の他方の突出端部１７ａ２の突出
量ｉ１７とキャリッジ５の位置決め孔２７の深さ寸法ｈ
２７とは、ｉ１７＝ｈ２７に設定されている。

【００４４】また、圧電ヘッド装置１においては、圧電
ヘッド駆動素子１５に対する上述した構成各部材の対応
部位の各寸法の関係をまとめると次のとおりに設定され
ている。すなわち、圧電ヘッド駆動素子１５に形成され
た各圧電駆動片１９のピッチｐ１９とヘッド構体３の各
インク圧力室１１のピッチｐ１１とは、ｐ１９＝ｐ１１
に設定されている。一対の圧電ヘッド駆動素子１５の対
向間隔ｍ１５とインク圧力室１１の対向間隔ｍ１１と
は、ｍ１５＝ｍ１１に設定されている。分割溝２５の溝
の深さｈ２５と各圧電駆動片１９の高さ寸法ｈ２３と
は、ｈ２５＞ｈ２３に設定されている。圧電ヘッド駆動
素子１５（圧電ヘッド駆動素子素材１８）の高さ寸法ｈ
１８とホルダ部材２の高さ寸法ｈ２とは、ｈ１８＞ｈ２
に設定されている。圧電ヘッド駆動素子１５の幅寸法ｗ
１８とホルダ部材２のガイド溝６の溝幅ｗ６とは、ｗ１
８＜ｗ６に設定されている。

【００４５】以上のように構成された構成各部材を備え
る圧電ヘッド装置１の組み立て方法について、以下説明
する。ベース部材１６には、図１０及び図１１に示すよ
うに位置決め孔２６に位置決め部材１７が圧入されると
ともに圧電ヘッド駆動素子素材１８が接合固定され、圧
電ヘッド駆動中間構体３０を構成する。圧電ヘッド駆動
素子素材１８は、例えばエポキシ樹脂等の接着剤２９に
よって連結基部２０側となる下端面が接合固定される。
圧電ヘッド駆動素子素材１８は、分割溝加工を施すによ
って多数個の圧電駆動片１９を形成するが、素材自体の
寸法精度或いはベース部材１６の面精度によってその高
さ寸法ｈ１８にバラツキがある。

【００４６】圧電ヘッド駆動素子素材１８は、図１２に
示すようにその高さ寸法ｈ１８のバラツキを調整するた
めに高さ調整治具３１の基準面３１ａにそれぞれの上面
を位置合わせされることによって、ベース部材１６の主
面１６ａに対して隙間が構成されるようにする。圧電ヘ
ッド駆動素子素材１８は、同図（Ａ）に示すようにその
高さ寸法ｈ１８が所定の高さＨに足りない場合には、よ
り多量の接着剤２９が底面と主面１６ａとの間に充填さ
れることによって高さ調整が行われる。圧電ヘッド駆動
素子素材１８は、同図（Ｂ）に示すようにその高さ寸法
ｈ１８が所定の高さＨにやや足りない場合には、少量の
接着剤２９が底面と主面１６ａとの間に充填されること
によって高さ調整が行われる。圧電ヘッド駆動中間構体
３０は、これによってベース部材１６に対して各圧電ヘ
ッド駆動素子素材１８の上面の高さ位置が揃えられた状
態となる。

【００４７】圧電ヘッド駆動中間構体３０には、図１３
に示すように位置決め部材１７を基準として、圧電ヘッ
ド駆動素子素材１８に対する分割溝加工が施されること
によって圧電ヘッド駆動構体４が製作される。分割溝加
工は、上述したように圧電ヘッド駆動素子素材１８か
ら、基端部を連結基部２０によって連結した多数個の圧
電駆動片１９を形成する加工である。各圧電駆動片１９
は、そのピッチｐ１９や断面寸法等がヘッド構体３の各
インク圧力室１１のピッチｐ１１や外径寸法等に対応し
て精密に形成される。

【００４８】圧電ヘッド駆動中間構体３０には、位置決
め部材１７から対向間隔ｍ１７の位置において圧電ヘッ
ド駆動素子素材１８に両側の圧電駆動片１９ａを形成す
る分割溝加工が施される。分割溝加工は、この場合同図
（Ａ）に示すように位置決め部材１７の内側面を基準と
して圧電駆動片１９ａを形成する。分割溝加工は、この
場合同図（Ｂ）に示すように位置決め部材１７の外側面
を基準として圧電駆動片１９ａを形成してもよい。分割
溝加工は、この場合同図（Ｃ）に示すように位置決め部
材１７の中心を基準として圧電駆動片１９ａを形成して
もよい。

【００４９】圧電ヘッド駆動構体４は、図１４に示すよ
うに位置決め部材１７がガイド孔７を貫通されるととも
に、圧電ヘッド駆動素子１５がガイド溝６を貫通される
ことによってホルダ部材２に対して組み合わされる。圧
電ヘッド駆動構体４は、上述したように位置決め部材１
７の外径ｄ１７がホルダ部材２のガイド孔７の内径ｄ７
に対してｄ１７＜ｄ７に設定されるとともに、例えば長
さ寸法ｌ１７がガイド溝６の長さ寸法ｌ６に対してｌ１
７＜ｌ６に設定されている。位置決め部材１７は、詳細
には圧電ヘッド駆動素子１５の外周部とガイド溝６の内
壁との間に構成されるクリアランスｃ（ｌ６−ｌ１７）
が、２ｃ＞ｄ７−ｄ１７に設定されている。なお、クリ
アランスｃは、作業性に支障の無い範囲でより小さく設
定することが好ましい。

【００５０】ホルダ部材２と圧電ヘッド駆動中間構体３
０とは、上述した工程を経て図１４及び図１５に示す第
２の圧電ヘッド駆動中間構体３２を構成する。第２の圧
電ヘッド駆動中間構体３２は、上述した構成によって図
１５に示すように圧電ヘッド駆動素子１５が内壁に接触
すること無くガイド溝６内を貫通してホルダ部材２に圧
電ヘッド駆動中間構体３０が組み合わされる。第２の圧
電ヘッド駆動中間構体３２は、ホルダ部材２の主面２ａ
に対して圧電ヘッド駆動素子１５の各圧電駆動片１９の
上端面が略同一面を構成するとともに、位置決め部材１
７の端部１７ａ１、１７ｂ１がそれぞれ所定の高さを以
って突出されている。

【００５１】第２の圧電ヘッド駆動中間構体３２には、
ホルダ部材２の主面２ａ及び各圧電駆動片１９の上端面
にそれぞれ接着剤３３が塗布される。接着剤３３は、例
えばエポキシ樹脂等がの熱硬化樹脂が用いられ、転写法
や吹付け法等の適宜の方法によって塗布される。第２の
圧電ヘッド駆動中間構体３２には、同図（Ｃ）に示すよ
うにホルダ部材２の主面２ａ上にヘッド構体３が接合固
定されて圧電ヘッド装置１が構成される。

【００５２】ヘッド構体３は、ホルダ部材２の主面２ａ
に対して同図矢印で示すように加圧状態で組み合わされ
ることによって、ホルダ部材２のガイド孔７から突出し
た位置決め部材１７の端部１７ａ１、１７ｂ１が相対す
る位置決め孔１４に圧入される。なお、位置決め部材１
７と位置決め孔１４とは、上述したようにその外径寸法
ｄ１７と内径寸法ｄ１４とがほぼ等しく形成されている
が、実際にはそれぞれの寸法精度や位置精度のバラツキ
を考慮する必要があり、ｄ１７＞ｄ１４となるようにす
るとともにその差異をできるだけ小さくするように設定
される。

【００５３】圧電ヘッド装置１においては、圧電ヘッド
駆動素子１５に発生する歪み変位動作によるヘッド構体
３の構成部材の撓み量を抑制するために、ヘッド構体３
に対して圧電ヘッド駆動構体４の圧電ヘッド駆動素子１
５ができるだけ大きな接合面積を以って接合されること
が好ましい。圧電ヘッド装置１は、圧電ヘッド駆動素子
１５が数ｋＨ乃至数十ｋＨの周期で振動し、この振動が
ヘッド構体３のインク圧力室１１を閉塞する振動板８を
駆動する。圧電ヘッド装置１においては、ヘッド構体３
がホルダ部材２に対してしっかりと接合固定されていな
いと、ヘッド構体３全体が振動してしまう。圧電ヘッド
装置１は、これによってインクの吐出安定性が劣化し、
インクの吐出方向や吐出量の乱れが生じて画像等の記録
精度が劣化する。

【００５４】圧電ヘッド装置１は、上述したようにヘッ
ド構体３と圧電ヘッド駆動構体４とが位置決め部材１７
と位置決め孔１４との嵌合により、互いに直接位置決め
された状態で組み合わされる。圧電ヘッド装置１は、圧
電ヘッド駆動素子１５の各圧電駆動片１９が微小なピッ
チで形成された対応する各インク圧力室１１に精密に対
応位置する。圧電ヘッド装置１は、画像信号等に応じて
圧電へッド駆動素子１５に電圧を印加する適宜の給電部
材が設けられる。給電部材としては、例えば各圧電駆動
片１９の先端部が接合される振動板８がこれを兼用する
ようにしてもよい。各圧電駆動片１９には、上述したよ
うにその下端面に第２の内部電極２４が露呈されてい
る。振動板８には、各圧電駆動片１９の接合部位に対応
して端子部をパターン形成し、圧電ヘッド駆動構体４が
ヘッド構体３と組み合わされた状態において端子部と第
２の内部電極２４とが接続されるようにする。

【００５５】給電部材としては、例えば圧電へッド駆動
素子１５を支持するベース部材１６に設けたフレキシブ
ル配線基板によって構成してもよい。フレキシブル配線
基板には、各圧電駆動片１９に対応して短冊状に切り分
けられた接続端子部が設けられ、これら接続端子部が導
電性接着剤等を介して圧電へッド駆動素子１５の側面に
接合されることにより第２の内部電極２４と接続される
ようにする。給電部材としては、例えばベース部材１６
に固定した接続基板によって構成してもよい。接続基板
は、各圧電駆動片１９に対応して端子パターン部が形成
されており、圧電へッド駆動素子１５の側面に位置合わ
せされた状態で異方性導電膜等を介して接合されること
により各端子パターン部と第２の内部電極２４とが接続
されるようにする。

【００５６】以上のように構成された圧電ヘッド装置１
は、図３に示すようにベース部材１６の他方主面１６ｂ
側から突出された位置決め部材１７の端部１７ａ２、１
７ｂ２を位置決め孔２７に圧入することによってキャリ
ッジ５に搭載される。キャリッジ５には、複数個の圧電
ヘッド装置１が搭載されるが、各圧電ヘッド装置１が位
置決め部材１７を位置決め孔２７に圧入することによっ
てそれぞれヘット構体３が直接位置決めされた状態で組
み合わされることになる。したがって、各圧電ヘッド装
置１は、かかる構成によりキャリッジ５に対してそれぞ
れのノズル孔１３が互いに精度良く配置される。

【００５７】圧電ヘッド装置１には、プリンタ本体の制
御部から画像信号等に基づいて給電部材を介して圧電へ
ッド駆動素子１５の共通電極と個別電極とに所定の温度
条件下で所定の向きの電圧が印加される。圧電ヘッド装
置１は、これによって圧電へッド駆動素子１５の所定の
圧電駆動片１９が所定の向きに分極されて圧電特性が生
成され、供給電圧の向きと大きさに応じた所定の方向に
歪み変位動作が発生する。圧電駆動片１９は、互いに向
かい合う第２の表面電極２２及び第１の内部電極２１と
第２の内部電極２２とに直交する高さ方向の歪み変位動
作が発生する。

【００５８】圧電ヘッド装置１は、この圧電駆動片１９
の歪み変位動作によって振動板８が駆動されて対応する
インク圧力室１１に容積変動を生じさせる。圧電ヘッド
装置１は、このインク圧力室１１の容積変動によってイ
ンク流路１２を介してインクが押し出され、ノズル孔１
３からインク滴を飛翔させて記録媒体に所定の画像等を
記録する。圧電ヘッド装置１は、上述したように微細な
ピッチと形状を以って形成された各インク圧力室１１に
対して各圧電駆動片１９が精密に対応位置されているこ
とによって、ノズル孔１３からインク滴が安定した方向
とインク量で飛翔されて精密な画像等を記録媒体に記録
する。

【００５９】上述した圧電ヘッド装置１においては、位
置決め部材１７を断面円形の精密な丸棒によって形成す
るとともに、この形状に対応してホルダ部材２のガイド
孔７やヘッド構体３の位置決め孔１４或いはキャリッジ
５の位置決め孔２７を丸孔に形成したが、かかる構成に
限定されるものでは無い。圧電ヘッド装置１は、位置決
め部材１７と対応する各孔が図１６に示すように種々変
更される。

【００６０】同図（Ａ）に示した圧電ヘッド装置１Ａ
は、一方の位置決め部材１７ａが断面を円形とされると
ともに他方の位置決め部材１７ｂが断面を楕円形に形成
されてなる。勿論、圧電ヘッド装置１Ａは、これら位置
決め部材１７に対応して各孔がそれぞれ円形孔と楕円形
孔との組み合わせによって構成されてなる。また、同図
（Ｂ）に示した圧電ヘッド装置１Ｂは、位置決め部材１
７がそれぞれ断面を正方形に形成されており、この位置
決め部材１７に対応して各孔が矩形孔によって構成され
てなる。さらに、同図（Ｃ）に示した圧電ヘッド装置１
Ｃは、一方の位置決め部材１７ａが断面を正方形とされ
るとともに他方の位置決め部材１７ｂが長方形を楕円形
に形成されてなる。圧電ヘッド装置１Ｃは、これら位置
決め部材１７に対応して各孔がそれぞれ正方形孔と長方
形孔との組み合わせによって構成されてなる。

【００６１】また、圧電ヘッド装置１は、ベース部材１
６に一対の位置決め部材１７を設けたが、２本に限定さ
れるものではなく多数本によって構成してもよい。圧電
ヘッド装置１は、この場合位置決め部材１７の本数に応
じて対応する各部材に同数の位置決め孔やガイド孔が形
成される。また、圧電ヘッド装置１は、少なくとも２本
の位置決め部材１７が対応する各部材との位置決め手段
を構成するとともに他の部材が組み合わせのためのガイ
ド部材として作用するようにしてもよい。

【００６２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる圧電ヘッド装置によれば、位置決め孔と位置決め部
材との係合によってヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体と
が互いに直接位置決めされて高精度に組み合わされて構
成されることから、各部材の寸法精度のバラツキによる
累積誤差も最小に抑制されてそれぞれに設けた各インク
圧力室と各圧電素子片とが高精度に対応位置されてイン
ク滴を安定した状態でノズルから飛翔する。また、圧電
ヘッド装置によれば、ヘッド構体と各圧電素子片とがそ
の対向間隔を精密に設定されることで、各圧電素子片に
よってヘッド構体が精度よく駆動される。さらに、圧電
ヘッド装置によれば、キャリッジに対して精度よく組立
が行われる。したがって、本発明にかかる圧電ヘッド装
置によれば、一色あたりのノズル数を増加したり記録画
像等の解像度の向上を図るためにノズルやインク圧力室
のピッチが微小とされた圧電型インクジェットプリンタ
に好適に用いられ、画像等を高精度に記録することを可
能とする。

【００６３】また、本発明にかかる圧電ヘッド装置の製
造方法によれば、位置決め孔と位置決め部材とを係合さ
せてヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体とが互いに直接位
置決めされて高精度に組み合わされることから、各部材
の寸法精度のバラツキによる累積誤差が最小に抑制され
てそれぞれに設けた各インク圧力室と各圧電素子片とが
高精度に対応位置されてインク滴を安定した状態でノズ
ルから飛翔する圧電ヘッド装置が製造される。また、圧
電ヘッド装置の製造方法によれば、ヘッド構体と各圧電
素子片とがその対向間隔を精密に設定されることから、
各圧電素子片によってヘッド構体が精度よく駆動される
圧電ヘッド装置が製造される。。さらに、圧電ヘッド装
置の製造方法によれば、キャリッジに対して圧電ヘッド
装置を精度よく組立て可能とする。したがって、本発明
にかかる圧電ヘッド装置の製造方法によれば、一色あた
りのノズル数を増加したり記録画像等の解像度の向上を
図るためにノズルやインク圧力室のピッチが微小とされ
た圧電型インクジェットプリンタに好適に用いられる高
精度の圧電ヘッド装置を廉価に製造する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる圧電ヘッド装置の要部斜視図で
ある。

【図２】同圧電ヘッド装置の分解斜視図である。

【図３】同圧電ヘッド装置をキャリッジに搭載した状態
を示す要部斜視図である。

【図４】同圧電へッド装置に備えられるホルダ部材の斜
視図である。

【図５】同圧電へッド装置に備えられるへッド構体の構
成を説明する一部切欠き要部斜視図である。

【図６】同圧電へッド装置に備えられる圧電へッド駆動
構体の構成を説明する斜視図である。

【図７】同圧電へッド装置に備えられる圧電へッド駆動
素子を形成する圧電へッド駆動素子素材の要部斜視図で
ある。

【図８】同圧電へッド駆動素子素材に分割溝加工を施し
て形成した圧電へッド駆動素子の要部斜視図である。

【図９】同圧電へッド駆動構体を構成するベース部材と
位置決め部材とを説明する斜視図である。

【図１０】同ベース部材上に圧電へッド駆動素子素材を
接合してなる第１の圧電へッド駆動中間構体を説明する
斜視図である。

【図１１】同第１の圧電へッド駆動中間構体の側面図で
ある。

【図１２】ベース部材上に圧電へッド駆動素子素材を接
合する工程の説明図である。

【図１３】圧電へッド駆動素子素材に分割溝加工を施し
て圧電駆動片を形成する工程の説明図である。

【図１４】第１の圧電へッド駆動中間構体とホルダ部材
とを組み合わせて第２の圧電へッド駆動中間構体を構成
する工程の説明図である。

【図１５】第２の圧電へッド駆動中間構体及びヘッド構
体との組立工程の説明図であり、同図（Ａ）は第２の圧
電へッド駆動中間構体の平面図であり、同図（Ｂ）は縦
断面図あり、同図（Ｃ）は組立状態の縦断面図である。

【図１６】位置決め部材の他の構成を説明する圧電ヘッ
ド装置の平面図である。

【符号の説明】

１ 圧電へッド装置、２ ホルダ部材、３ ヘッド構
体、４ 圧電ヘッド駆動構体、５ キャリッジ、６ ガ
イド溝、７ ガイド孔、８ 振動板、９ インク溜めプ
レート、１０ ノズルプレート、１１ インク圧力室、
１３ ノズル孔、１４ 位置決め孔、１５ 圧電ヘッド
駆動素子、１６ ベース部材、１７ 位置決め部材、１
８ 圧電ヘッド駆動素子素材、１９ 圧電駆動片、２０
連結基部、２５ 分割溝、２６ 位置決め孔、２７
位置決め孔、２９ 接着剤

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数個のノズル孔と、これらノズル孔と
   インク流路を介して連通された多数個のインク圧力室と
   が形成されるとともに、各インク圧力室を閉塞する振動
   板を有するヘッド構体と、 多数個の圧電駆動片を形成した圧電ヘッド駆動素子と、
   この圧電ヘッド駆動素子を保持するベース部材とを有す
   る圧電ヘッド駆動構体と、 上記ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体との間に配置さ
   れ、上記各圧電駆動片を貫通させて上記各インク圧力室
   に対応して上記振動板と接合させるガイド溝が形成され
   たホルダ部材とを備え、 上記ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体とは、上記ヘッド
   構体に設けた位置決め孔に上記ホルダ部材に設けたガイ
   ド孔を貫通された位置決め部材が相対係合することによ
   り直接位置決め状態で組み合わされることよって、相対
   する上記各圧電素子片と各インク圧力室との位置決めが
   行われることを特徴とする圧電ヘッド装置。
2. 【請求項２】 上記圧電ヘッド駆動構体は、上記位置決
   め部材が、上記ベース部材に固定した圧電ヘッド駆動素
   子素材に分割溝加工を施して連結基部と多数個の圧電駆
   動片とからなる上記圧電ヘッド駆動素子を形成する際の
   基準部材を構成することを特徴とする請求項１に記載の
   圧電ヘッド装置。
3. 【請求項３】 上記圧電ヘッド駆動構体の位置決め部材
   とヘッド構体の位置決め孔とは、その外径寸法ｄ１７と
   内径寸法ｄ１４とが、上記圧電ヘッド駆動素子とガイド
   溝との間に構成されるクリアランスｃに対して、 ２ｃ＞ｄ１４−ｄ１７ に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧
   電ヘッド装置。
4. 【請求項４】 上記圧電ヘッド駆動素子は、上記各圧電
   駆動片が、それぞれの先端部が略同一面を構成するよう
   に上記ベース部材の主面に対して接着剤の充填量を調整
   されて接合されることを特徴とする請求項１に記載の圧
   電ヘッド装置。
5. 【請求項５】 上記位置決め部材は、他端部が上記ベー
   ス部材を貫通して突出され、キャリッジに形成した位置
   決め孔に相対係合することによってこのキャリッジに対
   して上記ヘッド構体を位置決めした状態で組み合わされ
   るようにすることを特徴とする請求項１に記載の圧電ヘ
   ッド装置。
6. 【請求項６】 圧電駆動片の歪み変位動作によって振動
   板を駆動してインク圧力室に容積変動を生じさせ、ノズ
   ル孔からインク滴を飛翔させて画像等を記録する圧電ヘ
   ッド装置の製造方法において、 上記ノズル孔とインク流路を介して連通された多数個の
   インク圧力室とが形成されるとともに、各インク圧力室
   を閉塞する振動板を有するヘッド構体に位置決め孔を形
   成し、 多数個の圧電駆動片を有する圧電ヘッド駆動素子と、こ
   の圧電ヘッド駆動素子を保持するベース部材とを有する
   圧電ヘッド駆動構体の上記ベース部材に位置決め孔を形
   成し、 上記ヘッド構体と圧電ヘッド駆動構体とは、上記ヘッド
   構体に設けた位置決め孔に上記ホルダ部材に設けたガイ
   ド孔を貫通された位置決め部材が相対係合することによ
   り、相対する上記各圧電素子片と各インク圧力室とが互
   いに位置決めされるようにして組み合わされることを特
   徴とする圧電ヘッド装置の製造方法。
7. 【請求項７】 上記圧電ヘッド駆動構体は、上記ベース
   部材に圧電ヘッド駆動素子素材を接合するとともに上記
   位置決め部材を立設した状態で、 上記圧電ヘッド駆動素子素材に対して上記位置決め部材
   を基準として基端側の連結基部を残して多数個の圧電駆
   動片を分割形成する分割溝加工を施して上記圧電ヘッド
   駆動素子が製作されることを特徴とする請求項６に記載
   の圧電ヘッド装置の製造方法。
8. 【請求項８】 上記圧電ヘッド駆動構体は、上記ベース
   部材に対して上記位置決め部材がその他端部を貫通して
   突出されてなり、 上記突出端部がキャリッジに形成した位置決め孔に相対
   係合されることによってこのキャリッジに対して直接位
   置決めして組み合わされるようにすることを特徴とする
   請求項６に記載の圧電ヘッド装置の製造方法。