JP2012148428A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記無鉛圧電部材に第1導電パターンを形成し、前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第1導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、電解メッキによって前記第1導電パターン上に第2導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する。
【選択図】 図2
Description
第1の実施形態におけるインクジェットヘッドについて説明する。
第2の実施形態であるインクジェットヘッドについて説明する。
第3の実施形態であるインクジェットヘッドについて説明する。図17は、本実施形態であるインクジェットヘッドの外観図であり、図18は、図17のX2−X2断面図である。図17において、X軸、Y軸およびZ軸は、互いに直交する軸である。X軸、Y軸およびZ軸の関係は、図18から図23においても同様である。
13:圧力室、20:枠部材、21:開口部、30:蓋部材、31:開口部、
40:ノズルプレート、41:ノズル、50:電極
Claims (7)
- 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記無鉛圧電部材に第1導電パターンを形成し、
前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第1導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、
電解メッキによって前記第1導電パターン上に第2導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する、
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記絶縁層を形成した後に、前記絶縁層上に前記第1導電パターンを形成することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記絶縁層は、前記無鉛圧電部材よりも緻密な層であることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 無電解メッキによって、前記第1導電パターンを形成することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記無鉛圧電部材は、ニオブ酸系誘電体材料で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- ガラスコーティング剤を用いて前記絶縁層を形成することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 無鉛圧電部材に電圧を印加するための電極を前記無鉛圧電部材に形成する方法であって、
前記無鉛圧電部材に第1導電パターンを形成し、
前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第1導電パターンを形成する領域以外の領域に絶縁層を形成し、
電解メッキによって前記第1導電パターン上に第2導電パターンを形成することにより、前記電極を形成する、
ことを特徴とする電極形成方法。
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