JP2007083568A - インクジェットヘッド及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明の目的は、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行えて、かつ、温度変化に対して安定なインクジェットヘット及びその検査方法の提供。
【解決手段】 少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁を少なくとも１つの壁とするインクチャネルを、駆動壁と他の壁から構成し、該駆動壁の壁面に駆動電極を設け、該駆動電極の表面に保護膜が形成され、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁を変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、前記他の壁の少なくとも一部がＰＬＺＴであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【選択図】 図１

Description

本発明は、インクジェットヘッド及びその検査方法に関する。

従来より、圧電材料からなる駆動壁とインクチャネルとを交互に配列すると共に、該駆動壁に駆動電極を設け、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁をせん断変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドが知られている。

かかるシェアモード型のインクジェットヘッドにおいては、駆動壁を駆動させるための駆動電極は、駆動壁の側面に設けられるため、インクチャネル内に貯留されるインクは、この駆動電極と常に接触する。ここで隣のインクチャネルに臨む駆動電極を接地してインクチャネルに臨む駆動電極に電圧を印加させると、使用されるインクが水系インクの場合、水の理論分解電圧は１．２３Ｖであり、駆動電極に印加される電圧は１０〜２０Ｖであるため、水系インク中の水が電気分解を起こして気泡を発生させ、この気泡により駆動壁の変形による圧力が緩衝されてしまい、インクチャネル内のインクを吐出できなくなるばかりでなく、駆動電極の溶解をも惹き起こす。

一方、近年、水系インク以外にも、特に産業用途において、溶剤を使用する溶剤系インクを始めとして、各種組成のインクが用いられるようになってきており、このような各種のインクから駆動電極を保護し、駆動電極の腐食を防止することが必要である。

このため、従来、駆動壁の側壁面に金属皮膜を形成して駆動電極とし、その表面に保護膜を被覆形成することで、駆動電極に電圧を印加しても、水系インク、溶剤系インクを問わずに各種のインク吐出が行えるようにしたインクジェットヘッドが提案されている（特許文献１参照）。
特開２００２−２１０９６７号公報

しかしながら、上記従来技術において、該保護膜にピンホールの発生が見られる問題があった。パリレン膜に発生したピンホールは、たとえ１箇所であっても該部において駆動電極に印加される電圧によって水系インク中の水を電気分解させてしまい、保護膜としての機能を発揮し得ない。また、ピンホール部で腐食性のインクと電極が直接接触することになり、電極の腐食が発生する場合がある。

従って、従来のインクジェットヘッドでは、例えば、製品出荷時にピンホールの検査を行う必要がある。また、製品出荷後のユーザー使用時に不良が発生して戻ってきた場合にも、不良品の解析においてピンホール検査を行う必要がある。

また、従来のインクジェットヘッドでは、圧電素子であるＰＺＴの基板にインクチャネルとなる溝を研削し、電極を形成してインクチャネル上面を覆うようにカバープレートを接着した後、電極表面を含めてインクチャネル内面の全面に絶縁膜を形成する。ここで、ヘッドの温度変化に対する安定性を高めるため、カバープレートには脱分極したＰＺＴを用いている。例えば、カバープレートをインクチャネルが形成されたＰＺＴ基板と接着する際、熱硬化型接着剤が使用されるが、カバープレートの線膨張係数がＰＺＴ基板のそれとかけ離れていると、冷却時に歪みが生じたり、材料間で剥離が生じる問題があるためである。

このようなインクジェットヘッドの保護膜のピンホール検査では、インクチャネルを形成するカバープレート等の構成材料であるＰＺＴが不透明であるため、カバープレートを剥がして、保護膜を観察することによりピンホールの検査を行う必要があった。

この方法では、カバープレートを剥がす際に保護膜も一緒に剥がしてしまうことが多々あった。これにより、観察時の状態とカバープレートを剥がす前の状態とが一致していない可能性があり、解析の精度に限界が生じていた。また、カバープレートは、接着剤により強固に接着されているため、これを剥がすことは容易ではない。

このように従来のインクジェットヘッドでは、カバープレートにＰＺＴを用いているため不透明であり、破壊検査が必要であることにより工数や時間が多くなる問題、あるいは、破壊検査によりピンホール検出の精度が低下するという問題や、ピンホール発生箇所の特定が困難であるという多様な問題があった。

本発明の目的は、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行えて、かつ、温度変化に対して安定なインクジェットヘット及びその検査方法を提供することにある。

本発明の目的は、以下のような構成により達成される。
（１）
少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁を少なくとも１つの壁とするインクチャネルを、駆動壁と他の壁から構成し、該駆動壁の壁面に駆動電極を設け、該駆動電極の表面に保護膜が形成され、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁を変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、前記他の壁の少なくとも一部がＰＬＺＴであることを特徴とするインクジェットヘッド。
（２）
前記駆動壁により前記インクチャネルの側壁が形成され、前記他の壁は前記インクチャネルの上面を閉鎖する上壁と前記インクチャネルの下面を閉鎖する下壁であり、前記上壁及び前記下壁の少なくとも何れか一方がＰＬＺＴであることを特徴とする（１）に記載のインクジェットヘッド。
（３）
前記圧電材料がＰＬＺＴであることを特徴とする（１）または（２）に記載のインクジェットヘッド。
（４）
（１）乃至（３）の何れか１つに記載のインクジェットヘッドの検査方法であって、前記インクチャネルに硫酸銅溶液を充填した状態で、前記駆動電極に電圧を印加することにより、前記保護膜のピンホールを検出することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。

本発明によれば、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行えて、かつ、温度変化に対して安定なインクジェットヘット及びその検査方法を提供することができる。

以下に本発明に関する実施の形態の例を示すが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。

まず本発明に係るインクジェットヘッドの実施の形態について図面を用いて説明する。

図１（ａ）は、本発明に係るインクジェットヘッドの概要を示す部分破断斜視図、図１（ｂ）は同ヘッドの縦断面図である。図１において、１は圧電材料基板、２はインクチャネルの上面を閉鎖するカバー板である上壁、２０はインクチャネルの下面を閉鎖する下壁、３はノズルプレート、４はバックプレート、５はインクマニホールドである。

なお、本明細書においては、インクジェットヘッドからインクが吐出される側の面を「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。また、インクジェットヘッドにおいて並設されるインクチャネルを挟んで図示上下に位置する外側面をそれぞれ「上面」及び「下面」という。

インクジェットヘッドは、２枚の基板２、２０との間に、少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁１３とインクチャネル１１とが交互に並設されている。インクチャネル１１の形状は、両側壁が基板２、２０に対してほぼ垂直方向に立ち上がっており、そして互いに平行である。図２に示すように、インクジェットヘッドの前面及び後面にそれぞれ各インクチャネル１１の出口と入口とが配設されると共に、各インクチャネル１１は、入口から出口に亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートタイプである。このようにインクチャネル１１がストレートタイプであることにより、泡抜けが良く、電力効率が高く、発熱が少なく、高速応答性が良いインクジェットヘッドとすることができる。

本実施形態では、インクチャネルは、インクチャネルの側壁を形成する前記駆動壁と前記インクチャネルの上面を閉鎖する上壁と前記インクチャネルの下面を閉鎖する下壁とにより形成され、前記上壁及び前記下壁の少なくとも何れか一方がＰＬＺＴである。上壁２、下壁２０がともにＰＬＺＴからなることがより好ましい。

ＰＬＺＴとは、チタン酸鉛とジルコン酸鉛の固溶体に酸化ランタンを添加したチタン酸ジルコン酸ランタン鉛である。従来から圧電材料としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛：［ＰｂＺｒＯ₃とＰｂＴｉＯ₃の固溶体］）がよく知られており、このＰＺＴにＬａを添加したＰＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛：ＰＺＴすなわちＰｂＺｒＯ₃とＰｂＴｉＯ₃の固溶体にＬａを添加した金属酸化物）も圧電性を有する透光性材料として知られている。本実施形態では、主に、このＰＬＺＴを圧電材料ではなく、その透光性を利用して、前述の上壁２，下壁２０に用いる点に特徴がある。ＰＬＺＴ基板を、上壁２，下壁２０に用いることにより、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行うことができる。また、ＰＬＺＴは、駆動壁に通常用いられる圧電材料であるＰＺＴと熱膨張係数を始めとする物理特性が類似しており、例えば、温度変化に対して安定なインクジェットヘッドとすることができる。

ＰＬＺＴとしては、成形、焼成等の工程を経て形成されるＰＬＺＴセラミックスが好ましい。また、ＰＬＺＴには、例えば透光性を向上させるため、他元素を添加しても良い。

圧電材料基板１に用いられる圧電材料としては、電界を加えることにより変形を生じる公知の圧電材料を用いることができ、ＰＺＴが好ましい。特に成形、焼成等の工程を経て形成されるＰＺＴ圧電セラミックス基板が好ましい。

ＰＺＴとしては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ₃−ＰｂＴｉＯ₃）と、第三成分添加ＰＺＴがある。添加する第三成分としてはＰｂ（Ｍｇ_1/2Ｎｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｍｎ_1/3Ｓｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｃｏ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃等がある。

また、成形、焼成を必要としないで形成される基板として、例えば、ゾル−ゲル法、積層基板コーティング法等で形成することができる。

圧電材料基板１は、２枚の圧電材料基板１ａ、１ｂを分極方向を互いに反対に向けて（図中の矢印）上下に接合してなる。２枚の圧電材料基板１ａ、１ｂを接合する手段としては、エポキシ系接着剤等の接着剤を用いた接合を採用できるが、接合可能であれば特にこれに限定されない。接着剤を用いて接合する場合、その接着剤層の硬化後の厚みは、１〜１０μｍの範囲が好ましい。

ＰＬＺＴからなる１枚の下壁２０上に、前記圧電材料基板１をエポキシ系接着剤を用いて接合する。この接合基板に対して、圧電材料基板１側から下壁２０に到達するように、円盤状の砥石（ダイシングブレード）等の公知の研削機を用いて所定ピッチで互いに平行な複数列の溝を加工することにより、インクが貯留されるインクチャネル１１と各インクチャネル１１間の駆動壁１３とを交互に形成する。

この溝加工の後に、各駆動壁１３の壁面に金属の駆動電極６を形成する。駆動壁１３は分極方向の異なる２枚の圧電材料基板１ａ、１ｂからなるため、各駆動電極６は、それら両基板１ａ、１ｂを駆動させるべく、少なくとも各駆動壁１３を構成している圧電材料基板１ａ及び１ｂに亘る側面の全面に形成するが、必ずしも底面には形成しなくてもよく、ピンホールの観察を容易にするため、底面には形成しない方が好ましい。この駆動電極６に不図示の駆動回路からの駆動電圧パルスが印加されて、駆動壁１３がせん断変形してインクが吐出される。また、圧電材料基板１の形態によっては、側面の一部に駆動電極を設ければよい。

駆動電極６を形成し得る金属としては、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）等があるが、ＮｉやＡｌが好ましい。

駆動電極６の形成は、蒸着法、スパッタリング法、めっき法、ＣＶＤ（化学気相反応法）等の真空装置を用いた方法等によって金属被膜を形成する方法が挙げられるが、めっき法によるものが好ましく、特に無電解めっきにより形成することが好ましい。無電解めっきによれば、均一且つピンホールフリーの金属被膜を形成することができる。めっき膜の厚みは０．５〜５μｍの範囲が好ましい。

無電解めっきによる電極形成においては、Ｎｉ−Ｐめっき又はＮｉ−Ｂめっきを単独で使用してもよいし、あるいはＮｉ−ＰとＮｉ−Ｂを重層してもよい。Ｎｉ−ＰめっきはＰ含量が高くなると電気抵抗が増大するので、Ｐ含量は１〜数％程度がよい。Ｎｉ−ＢめっきのＢ含量は普通１％以下なので、Ｎｉ−ＰよりＮｉ含量が多く、電気抵抗が低く、且つ外部配線との接続性が良いため、Ｎｉ−ＰよりＮｉ−Ｂの方が好ましいが、Ｎｉ−Ｂは高価なのでＮｉ−ＰとＮｉ−Ｂを組み合わせることも好ましい。

Ｎｉ−Ｐ又はＮｉ−Ｂからなる無電解めっき法により形成された駆動電極６は、析出が均一に行われ、その結果平滑な表面性を有している。

また、めっき膜の厚みは０．５〜５μｍの範囲が好ましい。

なお、駆動電極６は、駆動壁１３に例えばＮｉ−Ｂからなる無電解めっきによりめっき膜を形成した上に、更にＮｉ−Ｐからなる無電解めっき処理を施すようにして形成することもできる。この場合、更にそれぞれのめっき金属を異ならせるようにすることもできる。また、駆動壁１３に無電解めっきによりめっき膜を形成した後、そのめっき膜上に金めっき等の電解めっき処理を行うようにしてもよい。更に、駆動壁１３に蒸着法により金属皮膜を形成した後に、該金属皮膜上に電解めっき処理を行ってめっき膜を形成することにより駆動電極６を形成するようにしてもよい。

ＰＬＺＴからなる上壁２は、駆動電極６を形成した後にエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合される。

このように、圧電材料基板１としてＰＺＴ基板、上壁２、下壁２０としては、ＰＺＴ基板と物理特性が類似しているＰＬＺＴ基板を使用すると、貼り合せた時にソリ、変形、熱膨張係数の差による剥離等を抑制できる。また、熱膨張率の差に起因する圧電材料基板１の歪み等の発生を抑えることができる。

また、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、下壁２０を用いる代わりに圧電材料基板１ｂを厚手のものとし、薄手の圧電材料基板１ａ側から厚手の圧電材料基板１ｂの中途部にまで至る複数の平行な溝を研削することにより、高さ方向で分極方向が反対となる駆動壁１３の形成と同時に下壁２０の部分が圧電材料基板１ｂによって一体に形成されるようにしてもよい。この場合、上壁２にＰＬＺＴ基板を用いればよい。

また、図１，図２は、インクチャネル１１が駆動壁１３を挟んで連続しているヘッドを示したが、図３の（ａ）、（ｂ）に示すようにインクが供給されるインクチャネル１１とインクが供給されない空気チャネル１２（空気チャネル）が駆動壁１３を挟んで交互に形成された独立チャネルヘッドとしても良い。インクチャネル１１に対応してインク導入孔４１とノズル３１を設けることにより、ノズル３１からインクが吐出される。この場合、インクチャネル１１の駆動壁１３がせん断変形しても、隣接した他のインクチャネルに影響することがなく、インクチャネル１１の駆動壁の駆動が容易である。

さらに、図１〜図３のヘッドにおいて、圧電材料基板１をＰＬＺＴで構成すると、インクチャネルを構成する部材のすべてが、光透過性のＰＬＺＴで構成されることになり、絶縁膜のピンホールの検出精度をより一層高めることができる。駆動壁部分を分極したＰＺＴの代わりに駆動壁部分を分極したＰＬＺＴを用いればよい。

図１〜図３のヘッドにおいて、上壁２を接合した後に、各チャネル１１，１２内に臨む壁面に保護膜の一例であるパリレン膜７を形成する。図示例では、パリレン膜７はインクチャネル１１、空気チャンネル１２内面全面に形成されているが、駆動電極６を絶縁するために、少なくとも駆動電極６の表面に形成される。また、図３のヘッドにおいて、空気チャネル１２の駆動電極６は、インクに接触しないため、パリレン膜７を形成しなくても良いが、形成した方が駆動電極６の安定性が増すので好ましい。

本発明において、保護膜の材質は特に制限しないが、パリレン膜が好ましく、本実施形態では、保護膜としてパリレン膜７を用いている。

図４にＣＶＤ法（気相合成法）にてパリレン膜を形成する化学蒸着を行うための蒸着装置の一例を示す。この蒸着装置は、昇華炉１００、熱分解炉２００及び成膜槽３００より構成され、これら昇華炉１００、熱分解炉２００及び成膜槽３００はガス流路を形成する配管により図示するように連結されている。蒸着工程中、上記蒸着装置は真空度が１〜１０²Ｔｏｒｒに保たれる。また、昇華炉１００内は１００℃〜２００℃、熱分解炉２００内は４５０℃〜７００℃、成膜槽３００内は室温の各温度に保持される。

昇華炉１００内ではパリレン膜７の原料である固体二量体のジパラキシリレンの気化が行われる。熱分解炉２００内では、気化した二量体（構造式Ａ）を熱分解させてパラキシリレンラジカル（構造式Ｂ）を発生させる熱分解が行われる。成膜槽３００内には１０ｒｐｍ程度で回転する回転台が設けられていて、この回転台上に駆動電極６を形成後の圧電材料基板１と上壁２との一体化物、あるいは、圧電材料基板１と上壁２と下壁２０の一体化物が置かれる。

熱分解炉２００内で発生したパラキシリレンラジカルは、成膜槽３００内で回転台上に置かれた圧電材料基板１と上壁２（及び下壁２０）に付着する。更に、この成膜槽３００内で、圧電材料基板１と上壁２（及び下壁２０）に付着したパラキシリレンラジカルは、付着と同時に気相重合して高分子量のポリパラキシリレン（構造式Ｃ）の皮膜を形成する。ポリパラキシリレンの誘導体からなる樹脂皮膜の例を構造式Ｄに示す。

なお、パリレン膜７の膜厚は、１．０μｍよりも薄いと、十分な絶縁性を維持することが困難となる。また、膜厚が増加するに従って、膜自体の剛性により駆動壁１３の動きを規制するようになる。このため、パリレン膜の膜厚は、１．０〜１０μｍ程度とすることが望まれるが、特に１．０〜５．０μｍとすることが好ましい。パリレン膜７が１．０〜５．０μｍの範囲にあるときは、パリレン膜７は十分に薄い膜としてインクチャネル１１内に形成されるため、インクチャネル１１の有効断面積を減少させることがなく、十分なインク吐出感度及びインク吐出特性を得ることができる。より好ましい膜厚の範囲は、１．０〜３．０μｍである。

パリレン膜７の膜厚は、成膜槽３００内での処理時間を調整することにより調整することができる。

また、前述のようにパリレン膜７には、ピンホール５０が発生する場合がある。

本発明において、パリレン膜７を形成した後、更にプラズマ処理を施すことは有利に働く。プラズマ処理としては、例えば次の処理を具体例として挙げることができる。

（処理条件）
装置：平行平板型反応装置
原料ガス：酸素
ガス流量：５０ｓｃｃｍ
圧力：１０Ｐａ
放電方法：高周波（１３．５６ＭＨｚ、出力２００Ｗ）
処理時間：２分間
この処理によれば、パリレン膜７は約０．５μｍエッチングされ、表面が活性化される。その結果、処理前の水の接触角８５°が、処理後１０°となり、濡れ性が大きく向上し、インクチャネル１１内へのインクの導入を円滑にし、気泡の混入を防ぐことができる。

なお、他に有効なプラズマ処理として、マイクロ波を用いた方法等が挙げられ、採用するガスも酸素に限らず、窒素や他のガス又は酸素と不活性ガスの混合ガス等が挙げられる。

以上のようにして各チャネル１１，１２の内壁にパリレン膜７を形成した後、図１〜図３に示すように、圧電材料基板１の前端面に、インクを吐出するためのノズル孔３１を有するノズルプレート３をエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合する。また、圧電材料基板１の後端面には、インク導入孔４１を有するバックプレート４を介して、インクチャネル１１内にインクを供給するインクマニホールド５を、同様にエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合し、インクジェットヘッドを構成する。

以上の説明では、少なくとも一部が圧電材料で形成された駆動壁がインクチャネルの側壁として設けられ、上壁、下壁が設けられた構成のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、少なくとも一部が圧電材料で形成された駆動壁がインクチャネルの上壁または下壁として設けられ、他の壁の少なくとも一部をＰＬＺＴとした構成のインクジェットヘッドも、本発明も本発明に含まれる。

以上、説明したように、少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁を少なくとも１つの壁とするインクチャネルを、駆動壁と他の壁から構成し、該駆動壁の壁面に駆動電極を設け、該駆動電極の表面に保護膜が形成され、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁を変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、前記他の壁の少なくとも一部がＰＬＺＴであることを特徴とするインクジェットヘッドにより、ＰＬＺＴの透光性を利用して、保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行える構成を備え、かつ、温度変化に対して安定なインクジェットヘットとすることができる。

次に、かかるインクジェットヘッドの検査方法について説明する。

例えば、図１〜図３に示すインクジェットヘッドのインクチャネル１１に硫酸銅溶液を充填した状態で、駆動電極６に電圧を印加することにより、保護膜のピンホールを検出する。電圧の極性としては負極性が好ましい。なお、駆動電極６は、Ｎｉ（ニッケル）またはＡｌ（アルミニウム）等で構成されている。また、ヘッドとしては、出荷前のヘッドや出荷後のユーザー使用時に吐出不良が発生し、戻ってきたヘッドなどである。

具体的には、まず、図１〜図３に示すインクジェットヘッドの各インクチャネル１１に硫酸銅（ＣｕＳＯ₄）１０％水溶液を充填する。マニホールドからインクチャネルにインクの代わりに硫酸銅（ＣｕＳＯ₄）１０％水溶液を導入すればよい。なお硫酸銅（ＣｕＳＯ₄）水溶液は硫酸銅溶液の一例であり、青色を呈している。

充填した状態で、各インクチャネル１１の駆動電極６に−１０〜−２０Ｖの電圧を所定時間印加する。この電圧値は、インクを吐出するために駆動壁３を駆動する際に駆動電極６に印加する電圧とほぼ同じであるため、前述の駆動回路をそのままもちいて電圧を印加すればよい。パリレン膜７にピンホール５０が発生していると、ピンホール発生個所の駆動電極６上に銅（Ｃｕ）が析出し、ピンホールの発生が明確に可視化される。従って、ヘッドの透光性ＰＬＺＴ部分を利用して、銅の析出の有無を観察することによってより明確に精度良くピンホールの発生を検出することができる。また、ピンホールの存在は、その個数の多さにより評価できる。

このように、本発明のインクジェットヘッドの検査方法によれば、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を精度良く、しかも短時間で、非破壊で容易に行なうことができる。

（ａ）は本発明に係る実施形態のインクジェットヘッドの部分破断斜視図、（ｂ）は部分断面図。 （ａ）は本発明に係る他の実施形態のインクジェットヘッドの部分破断斜視図、（ｂ）は部分断面図。 （ａ）は本発明に係る他の実施形態のインクジェットヘッドの部分破断斜視図、（ｂ）は部分断面図。 本発明に用いる蒸着装置の構成の一例を示す説明図。

符号の説明

１ 圧電材料基板
２ 上壁
３ ノズルプレート
４ バックプレート
５ インクマニホールド
６ 駆動電極
７ パリレン膜
１１ インクチャネル
１２ 空気チャネル
２０ 下壁
５０ ピンホール
１００ 昇華炉
２００ 熱分解炉
３００ 成膜槽

Claims (4)

1. 少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁を少なくとも１つの壁とするインクチャネルを、駆動壁と他の壁から構成し、該駆動壁の壁面に駆動電極を設け、該駆動電極の表面に保護膜が形成され、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁を変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、前記他の壁の少なくとも一部がＰＬＺＴであることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記駆動壁により前記インクチャネルの側壁が形成され、前記他の壁は前記インクチャネルの上面を閉鎖する上壁と前記インクチャネルの下面を閉鎖する下壁であり、前記上壁及び前記下壁の少なくとも何れか一方がＰＬＺＴであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記圧電材料がＰＬＺＴであることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 請求項１乃至３の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの検査方法であって、前記インクチャネルに硫酸銅溶液を充填した状態で、前記駆動電極に電圧を印加することにより、前記保護膜のピンホールを検出することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。

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