JP2006082529A - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、リード電極を形成すると共に不連続金属層を貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも不連続金属層を含む膜によって貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、不連続金属層を構成する少なくとも金属層をウェットエッチングによって完全に除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、少なくともリザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備する。
【選択図】 なし
Description
かかる第1の態様では、リザーバを形成する際に、加工カス等の異物が発生することがないため、加工カス等によるノズル詰まり等の吐出不良が確実に防止される。また、流路形成基板をエッチングする際のエッチング液が、貫通孔を介してリザーバ形成基板側に回り込むのを防止でき、エッチング液によるリザーバ形成基板の損傷等も防止できる。また、不連続金属層を構成する金属層を完全に除去することで、液体保護膜を良好に形成することができる。
かかる第2の態様では、貫通孔が確実に封止されるため、連通部等をエッチングによって良好に形成することができる。
かかる第3の態様では、不連続金属層を構成する少なくとも密着層及び金属層がエッチングによって確実に除去される。
かかる第4の態様では、流路形成基板とリザーバ形成基板との接着強度が向上する。
かかる第5の態様では、リード電極を良好に形成できると共に、貫通孔を確実に封止することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る製造方法によって製造されるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
図7は、実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。本実施形態は、不連続金属層95と、リザーバ形成基板用ウェハ130と流路形成基板用ウェハ110とを接着するための接着層35とによって、貫通孔50a,51aを封止するようにした以外は、実施形態1と同様である。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、圧電素子300を形成した後に貫通孔50a,51aを形成するようにしたが、反対に圧電素子300を形成する前に貫通孔50a,51aを形成するようにしてもよい。また、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Claims (5)
- シリコン基板からなり液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と当該圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に前記連通部となる領域の前記振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層と金属層とからなり前記圧電素子から引き出されリード電極を形成すると共に前記密着層と前記金属層とからなるが前記リード電極とは不連続の不連続金属層を前記貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、前記連通部と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部が形成されたリザーバ形成基板を前記流路形成基板の前記一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも前記不連続金属層を含む膜で前記貫通孔が封止された状態で前記流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして前記連通部を形成する工程と、前記不連続金属層を構成する少なくとも前記金属層をウェットエッチングによって完全に除去して前記リザーバ部と前記連通部とを連通させる工程と、少なくとも前記リザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1において、前記不連続金属層のみで前記貫通孔を封止するようにしたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1において、前記不連続金属層を前記貫通孔に対向する領域内に形成し、前記不連続金属層と前記接着層とを含む膜によって前記貫通孔を封止するようにしたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1〜3の何れかにおいて、前記振動板が二酸化シリコンからなる弾性膜を含み、前記リザーバ形成基板が前記不連続金属層の周囲で前記弾性膜に直接接着されるようにしたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1〜4の何れかにおいて、前記金属層が金(Au)からなり、前記密着層がチタンタングステン(TiW)からなることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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