JP4433787B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4433787B2 JP4433787B2 JP2003425604A JP2003425604A JP4433787B2 JP 4433787 B2 JP4433787 B2 JP 4433787B2 JP 2003425604 A JP2003425604 A JP 2003425604A JP 2003425604 A JP2003425604 A JP 2003425604A JP 4433787 B2 JP4433787 B2 JP 4433787B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead electrode
- electrode
- piezoelectric element
- flow path
- path forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けら
れる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて
、前記圧電素子から引き出されるリード電極を具備し、少なくとも前記圧電素子及び前記
リード電極が絶縁材料からなる絶縁膜によって覆われ、且つ前記リード電極は、前記流路
形成基板側に形成される第1リード電極と、当該第1リード電極上に形成される第2リード電極とを有し、前記第1リード電極は、前記第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、第1の電極に第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を有していることにより、リード電極に対して絶縁膜が形成され難い部分が殆ど無く、圧電素子及びリード電極を絶縁膜によって確実に覆うことができる。したがって、水分による圧電体層の破壊を長期に亘って確実に防止することができ、ヘッドの信頼性を向上することができる。
かかる第2の態様では、水分透過率の極めて低い材料である酸化アルミニウムによって圧電素子及びリード電極を覆うことにより、水分による圧電体層の破壊をより確実に防止することができる。
ード電極と接合する接合領域から前記第1リード電極の短手方向に突出した突出領域が前記接合領域の厚さよりも薄い薄膜部となっており、前記第1リード電極と前記第2リード電極の接合面近傍から当該薄膜部の端部近傍までの形状がR形状となっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第3の態様では、絶縁膜が形成され難い部分の1つである第1リード電極と第2
リード電極との接合面近傍から薄膜部の端部近傍までの形状がR形状となっているため、
このような部分を絶縁膜によって確実に覆うことができる。したがって、比較的膜厚の薄
い絶縁膜を形成する場合でも、圧電素子と共にリード電極を絶縁膜によって確実に覆うこ
とができる。
かかる第4の態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を比較的容易に且つ確実に実現することができる。
流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体
層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、前記流
路形成基板の一方面側に前記振動板を介して圧電素子を形成する工程と、前記圧電素子か
ら引き出され前記流路形成基板側に形成される第1リード電極と該第1リード電極上に形
成される第2リード電極とを有するリード電極を形成する工程と、少なくとも前記圧電素
子及び前記リード電極上に絶縁材料からなる絶縁膜を形成する工程とを具備し、且つ前記
リード電極を形成する工程では、前記流路形成基板の一方面側に前記第1リード電極を形
成すると共に当該第1リード電極上に前記第2リード電極を形成して当該第2リード電極
を所定のマスクパターンを介してウェットエッチングした後に、前記マスクパターン及び
前記第2リード電極を介して前記第1リード電極をウェットエッチングし、さらに、前記
マスクパターンを介して少なくとも前記第2リード電極をウェットエッチングすることに
よって前記第1リード電極に前記第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第5の態様では、前記第1リード電極に前記第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を比較的容易に且つ確実に形成することができる。
かかる第6の態様では、比較的膜厚の薄い絶縁膜を容易に形成することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図である。また、図2は、図1の要部を示す平面図及びA−A’断面図である。さらに、図3は、図2の要部を示す平面図及びB−B’断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ1〜2μmの弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
i)、銅(Cu)、ニッケルクロム合金(NiCr)、チタンタングステン合金(TiW
)等が挙げられる。一方、第2リード電極92の材料としては、例えば、金(Au)、ア
ルミニウム合金等が挙げられるが、特に、アルミニウム合金を用いるのが好ましい。これ
により、第2リード電極92の表面が比較的平坦となるため、後述する絶縁膜100との
密着性を高めることができる。本実施形態では、リード電極90は、チタンタングステン
(TiW)からなる第1リード電極91と、アルミニウム合金からなる第2リード電極9
2とで形成されている。なお、第1リード電極91は、第2リード電極92と絶縁体膜5
5等とを密着させる密着層としての役割と、第2リード電極92と上電極膜80とを形成
する金属同士が化学的に反応するのを防止するバリア層としての役割とがある。
なお、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
次に、図7(a)に示すように、流路形成基板10の圧電素子300側に保護基板30を接着剤35によって接着した後、図7(b)に示すように、所定形状にパターニングしたマスク膜51を介して流路形成基板10を異方性エッチングすることにより圧力発生室12等を形成する。
図8は、本発明の実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。また、図9は、本発明の実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す要部断面図である。本実施形態では、図8に示すように、第1リード電極91Aの第2リード電極92Aに相対向する接合領域からその幅方向両側に突出した突出領域が、第2リード電極92Aに相対向する接合領域の厚さよりも薄い薄膜部95となっている。そして、第1リード電極91Aと第2リード電極92Aの接合面近傍から薄膜部95の端部近傍までの形状をR形状とした以外、上述した実施形態1と同様である。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、第1リード電極91の幅方向中央部に第2リード電極92を設けたが、これに限定されず、例えば、第1リード電極の幅方向両端部の何れか一方の上面に第2リード電極を設けてもよい。
また、上述した実施形態1では、第1リード電極91及び第2リード電極92からなる2層のリード電極90を例示したが、これに限定されず、第2リード電極上に、例えば、第3、第4リード電極等を設けて3層以上のリード電極としてもよい。但し、例えば、第2リード電極上に第3リード電極を設けて3層のリード電極とする場合には、第3リード電極を第2リード電極よりも狭い幅で且つその第2リード電極に相対向する領域内に形成する必要がある。リード電極を絶縁膜によって確実に覆うためである。
さらに、上述した実施形態1では、上電極膜80の面上から引き出されたリード電極90(上電極用リード電極)に本発明を適用した場合について説明したが、これに限定されず、下電極膜から保護基板の貫通孔内に引き出されるリード電極(下電極用リード電極)に本発明を適用するようにしてもよい。
Claims (6)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形
成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子から引き出されるリード電極を具備し、少なくとも前記圧電素子及び前記
リード電極が絶縁材料からなる絶縁膜によって覆われ、且つ前記リード電極は、前記流路
形成基板側に形成される第1リード電極と、当該第1リード電極上に形成される第2リード電極とを有し、
前記第1リード電極は、前記第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記絶縁膜が酸化アルミニウムからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1又は2において、
前記第1リード電極の前記第2リード電極と接合する接合領域から前記第1リード電極の短手方向に突出した突出領域が、前記接合領域における厚さよりも薄い薄膜部となっており、
前記第1リード電極と前記第2リード電極との接合面近傍から当該薄膜部の端部近傍までの形状がR形状となっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜3の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形
成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電
素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記流路形成基板の一方面側に前記振動板を介して圧電素子を形成する工程と、前記圧
電素子から引き出され前記流路形成基板側に形成される第1リード電極と該第1リード電
極上に形成される第2リード電極とを有するリード電極を形成する工程と、少なくとも前
記圧電素子及び前記リード電極上に絶縁材料からなる絶縁膜を形成する工程とを具備し、
且つ前記リード電極を形成する工程では、前記流路形成基板の一方面側に前記第1リード
電極を形成すると共に当該第1リード電極上に前記第2リード電極を形成して当該第2リード電極を所定のマスクパターンを介してウェットエッチングした後に、前記マスクパターン及び前記第2リード電極を介して前記第1リード電極をウェットエッチングし、さら
に、前記マスクパターンを介して少なくとも前記第2リード電極をウェットエッチングすることによって、前記第1リード電極に前記第2リード電極との接合領域から外側に突出した突出領域を形成することを特徴する液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項5において、前記絶縁膜をCVD法によって形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425604A JP4433787B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425604A JP4433787B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005178292A JP2005178292A (ja) | 2005-07-07 |
JP4433787B2 true JP4433787B2 (ja) | 2010-03-17 |
Family
ID=34785437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003425604A Expired - Fee Related JP4433787B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4433787B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6756099B2 (ja) * | 2015-11-18 | 2020-09-16 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータ、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置 |
-
2003
- 2003-12-22 JP JP2003425604A patent/JP4433787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005178292A (ja) | 2005-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4450238B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010042683A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
EP1685962A2 (en) | Liquid-jet head and liquid-jet apparatus | |
US20090289999A1 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus including the same | |
JP4614068B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2006255972A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4702553B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 | |
JP4442486B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP4457649B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4734831B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP4623287B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2005178293A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4645024B2 (ja) | アクチュエータ装置の製造方法 | |
JP4591005B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2005119199A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4433787B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2007050673A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2005219243A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド | |
JP2006205427A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4553130B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4475042B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009061729A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006123212A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド | |
JP4352851B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007116004A (ja) | アクチュエータ装置の製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090610 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090618 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090806 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091208 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4433787 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140108 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |