JP5514851B2 - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
11T…上面; 11B…下面; 11in…インク供給口; 11out…インク排出口
12…枠体; 12A…第1ステップ; 12B…第2ステップ 13a…圧電部材
13…圧電部材隔壁; 111…圧電部材の列; 112…圧電部材の列
14…圧力室; 15…傾斜面; 15a…圧電部材隔壁の側面
15b…絶縁基板の表面近傍の傾斜面; 16…金属膜; 16E…電極
20…ノズルプレート; 20T…上面; 20B…下面; 21…ノズル
25…配線基板; 211…ノズル列; 212…ノズル列; 30…マスクプレート
30H…開口部; 40…ホルダ; 41…インク導入路; 42…インク回収路
51…導入用パイプ; 52…回収用パイプ; 60…保護膜。
Claims (6)
- 絶縁基板上に、長辺と短辺とを有する矩形状の圧電部材を設ける工程と、
前記圧電部材の短辺に沿った断面の幅が上面から底面に向けて連続的に広がるように、前記圧電部材の長辺の側面を加工して、前記絶縁基板の一部を含む傾斜面を形成する工程と、
前記圧電部材の傾斜面および上面に、選択的に耐酸性の保護膜を形成する工程と、
前記圧電部材を前記保護膜で保護しつつ、前記絶縁基板の表面を選択的に粗面化する工程と、
前記圧電部材から前記保護膜を除去して表面を露出させる工程と、
前記圧電部材に短辺に沿った溝を加工して、複数の圧電部材隔壁および圧電部材隔壁の間に挟まれた圧力室を形成する工程と、
前記圧電部材隔壁の露出した表面を粗面化する工程と、
前記粗面化された絶縁基板の表面および前記粗面化された圧電部材隔壁の傾斜面に、電極を形成する工程と
を具備することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 前記耐酸性の保護膜は、パターン化されたフォトレジスト膜からなることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記絶縁基板は、アルミナ基板であり、前記絶縁基板の粗面化は熱燐酸を用いたエッチングにより行なわれることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記絶縁基板は、ガラス基板であり、前記絶縁基板の粗面化はフッ酸を用いたエッチングにより行なわれることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記圧電部材は、チタン酸ジルコン酸鉛製であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 前記電極は、無電解めっき法により形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
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