JP2015171801A - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程の効率化や簡素化を図ることができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ベースプレート４１と、ベースプレート４１上に固定されたアクチュエータプレート４２と、アクチュエータプレート４２の吐出チャネル５１ａ及びダミーチャネル５１ｂの内面にそれぞれ形成された駆動電極６１〜６４と、ベースプレート４１上において、アクチュエータプレート４２よりも後側に位置する部分に形成され、駆動電極６１〜６４に電気的に接続された引き出し電極８１，８２と、を備え、ベースプレート４１のうち、引き出し電極８１，８２が形成される電極形成領域は、電極形成領域以外の領域よりも表面粗さが大きくなっていることを特徴とする。【選択図】図４

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置に関する。

従来から、被記録媒体に向けて液滴状のインク（以下、単にインク滴という。）を吐出し、画像や文字を記録する装置として、複数のノズル孔から被記録媒体に向かってインク滴を吐出する、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。

上述したインクジェットとしては、例えば下記特許文献１に示されるように、ガラス等からなるベースプレートと、ベースプレート上に配列された圧電材料からなる複数の隔壁と、を備え、各隔壁間にインクが収容されるチャネルが画成された構成とされている。隔壁の側面には、駆動電極が形成され、ベースプレート上に形成された引き出し電極に電気的に接続されている。そして、引き出し電極には、隔壁よりも外側においてフレキシブル基板が接続されている。
この構成によれば、フレキシブル基板及び引き出し電極を介して駆動電極に電圧を印加すると、隔壁が変形することで、チャネル内の圧力が高まり、チャネル内に収容されたインクがノズル孔を通して吐出されるようになっている。

特開２００１−３４１２９８号公報

しかしながら、上述した特許文献１の構成にあっては、ベースプレート上に引き出し電極を形成する工程と、隔壁の側面に駆動電極を形成する工程と、を別々に行う必要があるため、製造工程の増加や、複雑化に繋がるという問題がある。
また、特許文献１の構成のように、各チャネル内にインクが収容され、各チャネルから順次インクが吐出される、いわゆる３サイクル方式のインクジェットヘッドでは、水性インク等の導電性を有するインクを用いると、インクを介して各駆動電極間が短絡する。したがって、特許文献１の構成では、多様なインクには対応することができず、利便性を向上させる点で改善の余地があった。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、製造工程の効率化や簡素化を図ることができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、ベースプレートと、前記ベースプレート上に固定されるとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが並設されたアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部のうち、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの延在方向における一端側に配設され、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔が並設された噴射孔プレートと、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの内面にそれぞれ形成された駆動電極と、前記ベースプレート上において、前記アクチュエータ部に対して延在方向の他端側に形成され、前記駆動電極に電気的に接続された引き出し電極と、を備え、前記ベースプレートのうち、前記引き出し電極が形成される電極形成領域は、前記電極形成領域以外の領域よりも表面粗さが大きくなっていることを特徴としている。
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、前記ベースプレートの前記電極形成領域を粗面化する粗面化工程と、前記ベースプレート上に前記アクチュエータ部を固定する接合工程と、前記ベースプレートの前記電極形成領域、前記噴射チャネルの内面、及び前記ダミーチャネルの内面に対してめっき被膜を形成する電極形成工程と、を有していることを特徴としている。

この構成によれば、ベースプレートのうち、電極形成領域の表面粗さがそれ以外の領域に比べて大きくなっているため、例えば駆動電極及び引き出し電極をめっきにより形成する場合に、電極形成領域にアンカー効果を持たせることができる。すなわち、電極形成工程において、ベースプレートのうち、電極形成領域のみにめっき被膜を析出させ、電極形成領域以外の領域（非形成領域）にはめっき被膜が析出しないように設定できる。これにより、ベースプレート上における所望の領域に選択的にめっき被膜を形成することができる。この場合、ベースプレート及びアクチュエータ部を接合した後、これらベースプレート及びアクチュエータ部に対して駆動電極及び引き出し電極をめっき被膜により一括して形成することができる。その結果、ベースプレート上の引き出し電極及びアクチュエータ部の駆動電極を別々に形成する場合に比べて製造工程の効率化や簡素化を図ることができる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記駆動電極、及び前記引き出し電極は、めっき被膜により一体的に形成されていてもよい。
この構成によれば、ベースプレート上の引き出し電極及びアクチュエータ部の駆動電極を別々に形成する場合に比べて製造工程の効率化や簡素化を図ることができる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記電極形成領域の表面粗さＲａは、前記電極形成領域以外の領域の表面粗さＲａに対して４倍以上であってもよい。
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記電極形成領域は、表面粗さＲａが４００Å以上であってもよい。
この構成によれば、電極形成領域に十分なアンカー効果を持たせることができるので、電極形成領域上に十分な厚みのめっき被膜をムラなく形成できる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記ベースプレートは、ガラス材料からなってもよい。
この構成によれば、ベースプレートがガラス材料により構成されているため、非形成領域の表面粗さＲａを小さく抑えることができる。この場合、非形成領域にめっき被膜が形成されるのを抑制できるので、めっき被膜の形成後のパターニング工程が不要になり、製造工程の効率化を図ることができるとともに、低コスト化を図ることができる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記駆動電極は、前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極を備え、前記アクチュエータ部のうち、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの並設方向において最外端に位置する前記ダミーチャネルよりも外側に位置する部分には、前記引き出し電極に接続されたグランド端子が形成され、前記アクチュエータ部の前記ベースプレート側とは反対側の主面上には、前記噴射チャネル内に連通する液体室を有するカバープレートが配設され、前記カバープレートには、前記共通電極及び前記グランド端子間を接続する接続配線が形成されていてもよい。
この構成によれば、カバープレートに形成された接続配線を介して共通電極及びグランド端子間を接続することで、アクチュエータ部にカバープレートを接合するだけで、共通電極及びグランド端子間の導通を図ることができる。これにより、製造工程の更なる効率化を図ることができる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記駆動電極は、前記ダミーチャネルの内面に形成された個別電極を備え、前記アクチュエータ部の前記主面上には、前記共通電極及び前記個別電極間を分断する溝部が形成され、前記接続配線は、前記溝部に対応する位置に配設されていてもよい。
この構成によれば、アクチュエータ部の主面上に形成された溝部に対応する位置に接続配線が配設されるため、接続配線と共通電極及び個別電極との接触を抑制し、接続配線を介した共通電極及び個別電極間の短絡を抑制できる。これにより、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記アクチュエータ部は、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの並設方向に沿って間隔をあけて配置されるとともに、前記噴射チャネルが形成されたチャネルブロックを備え、前記駆動電極は、前記ダミーチャネルを画成する前記チャネルブロックの対向面に形成された個別電極を備え、前記ダミーチャネルは、隣り合う前記チャネルブロック間及び前記ベースプレートにより画成され、前記電極形成領域以外の領域は、前記ベースプレートのうち、前記ダミーチャネルを画成する部分を含んでいてもよい。
この構成によれば、ベースプレートのうち、ダミーチャネルを画成する部分（すなわち、ダミーチャネルの底面を構成する部分）には、めっき被膜が析出されないことになる。そのため、個別電極をめっきにより形成する場合に、ダミーチャネルの内面のうち、側壁面（チャネルブロックの対向面）のみにめっき被膜を析出させ、底面（ベースプレートのうち、チャネルブロック間に位置する部分）にめっき被膜が析出されないように設定できる。これにより、例えばダミーチャネルの底面に析出しためっき被膜をレーザ等の後加工により除去する必要がないので、製造コストの削減や、後工程で発生するゴミを削減できるとともに、ダミーチャネルの側壁面に形成された個別電極が底面を介して短絡するのを確実に抑制できる。

上記本発明に係る液体噴射装置において、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の液体噴射ヘッドを備えているため、信頼性に優れた液体噴射装置を提供できる。

本発明によれば、製造工程の効率化や簡素化を図ることができる。

実施形態におけるインクジェットプリンタの斜視図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 ヘッドチップをＺ方向の一方側から見た分解斜視図である。 ヘッドチップをＺ方向の他端側から見た斜視図である。 図３のＡ−Ａ線に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図であって、図４のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図であって、図４のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。

以下、本発明に係る第１実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙等の被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［プリンタ］
図１は、プリンタ１の斜視図である。
図１に示すように、プリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と直交する方向（副走査方向）にインクジェットヘッド４を走査させる走査手段６と、を備えている。

なお、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、及びＹ方向に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、プリンタ１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、かつＺ方向が上下方向となるように載置して使用される。

一対の搬送機構２，３は、それぞれＸ方向に延びるグリッドローラ２ａ，３ａと、グリッドローラ２ａ，３aとそれぞれに平行に延びるピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転動作させるモータ等の図示しない駆動機構と、を備えている。

インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０とインクジェットヘッド４とを接続するインク配管１１と、を備えている。インクタンク１０は、複数設けられており、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＹ方向に沿って配列されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。なお、インクタンク１０は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｂに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。

走査手段６は、Ｘ方向に延び、かつＹ方向に間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１４，１５と、これら一対のガイドレール１４，１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６をＸ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１４，１５の間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されてＸ方向に移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。

キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＸ方向に移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４がＸ方向に並んだ状態で搭載されている。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド４、すなわちインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂがキャリッジ１６に搭載されている。なお、上述した搬送機構２，３及び走査手段６により、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる移動機構を構成している。

（インクジェットヘッド）
次に、上述したインクジェットヘッド４について詳述する。図２は、インクジェットヘッド４の斜視図である。なお、上述した各インクジェットヘッド４は、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、一のインクジェットヘッド４について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２１と、この固定プレート２１上に固定されたヘッドチップ２２と、インク供給手段５から供給されるインクを、ヘッドチップ２２の後述する共通インク室７１（図３参照）にさらに供給するインク供給部２３と、ヘッドチップ２２に駆動電圧を印加するヘッド駆動部２４と、を備えている。

インクジェットヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の吐出量で吐出する。このとき、インクジェットヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができ、この走査を搬送機構２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。

固定プレート２１には、アルミ等の金属製の支持プレート２５がＺ方向に沿って起立した状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２２の後述する共通インク室７１にインクを供給する流路部材２６が固定されている。流路部材２６の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器２７が支持プレート２５に支持された状態で配置されている。そして、流路部材２６と圧力緩衝器２７とはインク連結管２８を介して連結され、圧力緩衝器２７にはインク供給手段５の上述したインク配管１１が接続されている。

そして、圧力緩衝器２７は、インク配管１１を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管２８及び流路部材２６を介して共通インク室７１に供給する。
なお、これら流路部材２６、圧力緩衝器２７及びインク連結管２８により、上述したインク供給部２３を構成している。

また、支持プレート２５には、ヘッドチップ２２を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３１が搭載されたＩＣ基板３２が取り付けられている。この制御回路３１は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブルプリント基板３３を介して、ヘッドチップ２２の後述する駆動電極（共通電極６１、共通端子６２、個別電極６３、及び個別端子６４）に電気的に接続されている。これにより、制御回路３１は、フレキシブルプリント基板３３を介して駆動電極６１〜６４に駆動電圧を印加することが可能とされる。
そして、これら制御回路３１が搭載されたＩＣ基板３２、及びフレキシブルプリント基板３３により、上述したヘッド駆動部２４を構成している。

（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ２２について詳細に説明する。図３はヘッドチップ２２をＺ方向の一方側から見た分解斜視図であり、図４はヘッドチップ２２をＺ方向の他端側から見た斜視図である。また、図５は、図３のＡ−Ａ線に相当する断面図である。
図３〜図５に示すように、本実施形態のヘッドチップ２２は、ベースプレート４１、アクチュエータプレート（アクチュエータ部）４２、カバープレート４３、及びノズルプレート（噴射孔プレート）４４を備えている。なお、ヘッドチップ２２は、後述する吐出チャネル（噴射チャネル）５１ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。なお、以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート４４側（一方側）を前側といい、ノズルプレート４４とは反対側（他方側）を後側という。

ベースプレート４１は、例えばガラス等の誘電体により構成されている。
アクチュエータプレート４２は、分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）で異なる２枚のプレートを積層した積層プレートとされている（いわゆる、シェブロン方式）。これら２枚のプレートは、ともに厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合されている。

アクチュエータプレート４２は、前端面をベースプレート４１の前端面と面一に配置した状態で、上述したベースプレート４１上に接着等により固定されている。Ｘ方向から見た平面視において、アクチュエータプレート４２は、ベースプレート４１の外形に比べて小さくなっている。したがって、ベースプレート４１におけるＹ方向の両側及び後端部は、アクチュエータプレート４２よりも外側に張り出している。

アクチュエータプレート４２には、Ｘ方向に窪む複数のチャネル５１ａ，５１ｂがＹ方向（並設方向）に所定の間隔をあけて並設されている。これら複数のチャネル５１ａ，５１ｂは、アクチュエータプレート４２における一方の主面４２ａ側に開口するとともに、Ｚ方向に沿って直線状に延在している。
具体的に、複数のチャネル５１ａ，５１ｂは、インクが充填される吐出チャネル５１ａと、インクが充填されないダミーチャネル５１ｂと、に大別される。そして、これら吐出チャネル５１ａとダミーチャネル５１ｂとは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。

ダミーチャネル５１ｂは、アクチュエータプレート４２をＸ方向及びＺ方向に貫通しており、アクチュエータプレート４２をＹ方向に分断している。なお、アクチュエータプレート４２のうち、Ｙ方向で隣接するダミーチャネル５１ｂ間に位置する部分は中央ブロック（チャネルブロック）５３を構成し、Ｙ方向で最外端に位置するダミーチャネル５１ｂよりもＹ方向の外側に位置する部分は一対の外側ブロック５４を構成している。なお、図示の例では、一対の外側ブロック５４のうち、一方の外側ブロック５４のみを示している。

一方、吐出チャネル５１ａは、中央ブロック５３に各別に形成され、アクチュエータプレート４２のＸ，Ｚ方向に開口した状態で形成されている。したがって、各中央ブロック５３のうち、吐出チャネル５１ａに対してＹ方向の両側には、吐出チャネル５１ａを画成する駆動壁が形成されている。この駆動壁は、断面矩形状でＺ方向に延びるとともに、この駆動壁によって吐出チャネル５１ａ及びダミーチャネル５１ｂがそれぞれ区分けされている。なお、図示の例において、吐出チャネル５１ａにおける後端部は、後側に向かうに従い漸次浅くなっている。

吐出チャネル５１ａの内面、すなわちＹ方向に向かい合う一対の側壁面及び底壁面には、共通電極６１が形成されている。この共通電極６１は、吐出チャネル５１ａに沿ってＺ方向に延び、中央ブロック５３の一方の主面４２ａ上に形成された共通端子６２に導通している。なお、各共通端子６２はそれぞれ電気的に独立するようにパターン形成されている。

一方、中央ブロック５３の外側面（ダミーチャネル５１ｂの内面のうち、Ｙ方向に向かい合う一対の側壁面）には、その全面に亘って個別電極６３がそれぞれ形成されている。これら個別電極６３は、中央ブロック５３の後端部において、中央ブロック５３の一方の主面４２ａ及び後端面上に形成された個別端子６４（図４参照）に接続されている。したがって、一の中央ブロック５３の外側面に形成された一対の個別電極６３は、個別端子６４を介して接続されている。なお、個別電極６３は、ダミーチャネル５１ｂの内面において、底壁面（ベースプレート４１上）には形成されておらず、Ｙ方向に向かい合う一対の外側面間で切り離されている。また、共通電極６１、共通端子６２、個別電極６３、及び個別端子６４により、上述した駆動電極６１〜６４を構成している。

また、外側ブロック５４の外壁面には、グランド端子６５が形成されている。なお、図示の例において、グランド端子６５は、外側ブロック５４における一方の主面４２ａ、外側面、及び後端面上に形成されているが、少なくとも一方の主面４２ａ及び後端面上に形成されていれば構わない。

さらに、アクチュエータプレート４２（中央ブロック５３及び外側ブロック５４）の一方の主面４２ａ上において、共通端子６２及び個別端子６４間に位置する部分には、Ｙ方向に沿って延びる溝部６７が形成されている。溝部６７は、Ｚ方向に窪むとともに、共通端子６２及び個別端子６４間を分断している。

カバープレート４３は、一方の主面４３ａがアクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａに接合されている。なお、アクチュエータプレート４２の後端側が露出していると、ヘッドチップ２２が製造上の治具等に誤って衝突した際に、アクチュエータプレート４２の後端側に亀裂や欠損が生じ、個別端子６４が断線してしまうおそれがある。この問題を防止するため、ＺＹ平面において、カバープレート４３はアクチュエータプレート４２と面一の形状であり、カバープレート４３のＸ方向から見た平面視外形は、アクチュエータプレート４２全体（中央ブロック５３及び外側ブロック５４）のＸ方向から見た平面視外形と一致している。つまり、ＺＹ平面において、カバープレート４３はアクチュエータプレート４２の後端側を覆っている。また、カバープレート４３は、他方の主面４３ｂ側に形成された凹状の共通インク室（液体室）７１と、共通インク室７１及び吐出チャネル５１ａを各別に連通させる複数のスリット７２と、を有している。

共通インク室７１は、カバープレート４３の後端部に位置し、Ｘ方向に沿うアクチュエータプレート４２側に窪むとともに、Ｙ方向に沿って延びる長方形の開口である。共通インク室７１は、上述した流路部材２６（図２参照）内に連通しており、流路部材２６内のインクが流通するように構成されている。
スリット７２は、共通インク室７１のうち、吐出チャネル５１ａに対応する位置に形成されている。具体的に、スリット７２はＺ方向に所定の長さを有しており、Ｚ方向において、スリット７２の後端縁は吐出チャネル５１ａの後端縁（吐出チャネル５１ａのエンベロープ形状の終点）に一致している（図５参照）。これにより、共通インク室７１内のインクを吐出チャネル５１ａ内に導入させ、かつダミーチャネル５１ｂ内への導入を規制するように構成されている。なお、上述した具体的なスリット７２の配置により、吐出チャネル５１ａの後端側でインクが淀まないので、吐出チャネル５１ａの内部に気泡が溜まることを防止することができる。

カバープレート４３の一方の主面４３ａ上には、上述した各共通端子６２とグランド端子６５との間を接続する接続配線７３が形成されている。具体的に、接続配線７３は、各共通端子６２に各別に接続された共通接続部７４と、グランド端子６５に各別に接続されたグランド接続部７５（図４参照）と、これら共通接続部７４及びグランド接続部７５間を接続するメイン配線７６と、を有している。
メイン配線７６は、カバープレート４３において、アクチュエータプレート４２の溝部６７とＸ方向で重なる部分に形成され、Ｙ方向に沿って延びる帯状とされている。なお、メイン配線７６は、アクチュエータプレート４２における一対の外側ブロック５４間を架け渡すように、カバープレート４３のＹ方向におけるほぼ全体に亘って形成されている。また、接続配線７３の幅（Ｚ方向における幅）は、例えば溝部６７の幅よりも狭くなっており、アクチュエータプレート４２から離間している。

各共通接続部７４は、Ｙ方向に間隔をあけて配列されるとともに、Ｚ方向に互いに平行に延在している。この場合、各共通接続部７４のＹ方向における配列ピッチは、吐出チャネル５１ａの配列ピッチと同等になっている。そして、各共通接続部７４は、その前端部が対応する共通端子６２にそれぞれ接続される一方、後端部がメイン配線７６にまとめて接続されている。
グランド接続部７５は、メイン配線７６におけるＹ方向の両端部から後側に向けて延在しており、その後端部が外側ブロック５４の一方の主面４２ａ上において、対応するグランド端子６５にそれぞれ接続されている。

ここで、上述したベースプレート４１の一方の主面４１ａ上において、アクチュエータプレート４２よりも後側に位置する部分には、各個別端子６４及びグランド端子６５に各別に接続される引き出し電極（個別引き出し電極８１及びグランド引き出し電極８２）が形成されている。
個別引き出し電極８１は、Ｙ方向に間隔をあけて配列されるとともに、Ｚ方向に互いに平行に延在している。この場合、各個別引き出し電極８１のＹ方向における配列ピッチは、中央ブロック５３の配列ピッチと同等になっている。そして、個別引き出し電極８１は、その前端部が対応する個別端子６４にそれぞれ接続され、後端部がベースプレート４１における後端縁に近接する位置まで引き出されている。
グランド引き出し電極８２は、その前端部が対応するグランド端子６５にそれぞれ接続され、後端部がベースプレート４１における後端縁に近接する位置まで引き出されている。

なお、グランド引き出し電極８２の面積は、個別引き出し電極８１の面積よりも大きく、例えば図４に示すように、Ｚ方向において、グランド引き出し電極８２と個別引き出し電極８１の長さは等しく、Ｙ方向において、グランド引き出し電極８２の長さは個別引き出し電極８１の長さより長い。

そして、図５に示すように、ベースプレート４１の後端部には、上述したフレキシブルプリント基板３３が接続されており、フレキシブルプリント基板３３に形成された図示しない配線パターンが各引き出し電極８１，８２に接続されている。

ところで、図４に示すように、上述した駆動電極６１〜６４や、グランド端子６５、引き出し電極８１，８２は、Ｎｉ／Ａｕ等からなるめっき被膜９３（図８（ｃ）参照）により一体で形成されている。ここで、ベースプレート４１の一方の主面４１ａにおいて、引き出し電極８１，８２が形成される電極形成領域は、電極形成領域以外の領域（非形成領域）に比べて表面粗さＲａが大きいアンカー部８３を構成している。この場合、アンカー部８３（電極形成領域）の表面粗さＲａは、めっき被膜９３を形成可能な大きさであって、４００Å以上であることが好ましい。一方、非形成領域の表面粗さＲａは、めっき被膜９３が形成不可能な大きさであって、１００Å未満であることが望ましい。すなわち、本実施形態において、アンカー部８３の表面粗さＲａは、非形成領域の表面粗さＲａに対して４倍以上になっていることが好ましい。なお、本実施形態において、表面粗さＲａとはＪＩＳ Ｂ０６０１に規格化されている算術平均粗さＲａの数値である。

本実施形態の非形成領域は、ダミーチャネル５１ｂの底面、すなわちベースプレート４１の一方の主面４１ａ上のうち、中央ブロック５３間に位置する部分を含んでいる。
一方、本実施形態の各アンカー部８３は、Ｙ方向における幅が中央ブロック５３及び外側ブロック５４の幅以下に設定されている。図示の例において、中央ブロック５３に対応するアンカー部８３の幅は、中央ブロック５３の幅よりも小さくなっており、外側ブロック５４に対応するアンカー部８３の幅は外側ブロック５４の幅と同等になっている。
さらに、アンカー部８３は、少なくとも電極形成領域（引き出し電極８１，８２と同形同大の範囲）に形成され、かつＹ方向で隣り合うアンカー部８３同士が切り離されていれば、その大きさは適宜設計変更が可能である。例えば、アンカー部８３の前端部は、ベースプレート４１上において、アクチュエータプレート４２の後端面よりも前側で各ブロック５３，５４とＸ方向で重なる位置まで延在していても構わない。

図３、図５に示すように、ノズルプレート４４は、例えばポリイミド等の樹脂材料からなるフィルム状とされ、ベースプレート４１、アクチュエータプレート４２、及びカバープレート４３の前端面に、例えば接着等により固定されている。
また、ノズルプレート４４には、Ｚ方向に貫通する複数のノズル孔４４ａがＹ方向に所定の間隔をあけて並設されている。これらノズル孔４４ａは、複数の吐出チャネル５１ａに対してそれぞれ対向する位置に形成されており、各吐出チャネル５１ａ内に連通する。

＜インクジェットヘッドの動作方法＞
次に、上述したインクジェットヘッド４の動作方法について説明する。
インクジェットヘッド４では、フレキシブルプリント基板３３を介して駆動電極６１〜６４に駆動電圧が印加されることで、吐出チャネル５１ａを画成する２つの駆動壁が圧電滑り効果によりダミーチャネル５１ｂ側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート４２は、厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された２枚のプレートが積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁のＸ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５１ａがあたかも膨らむように変形する。

２つの駆動壁の変形によって、吐出チャネル５１ａの容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５１ａ内に誘導される。そして、吐出チャネル５１ａの内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５１ａの内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔４４ａに到達したタイミングで、駆動電極６１〜６４に印加した駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁が復元し、一旦増大した吐出チャネル５１ａの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル５１ａの内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔４４ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４４ａを通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。

なお、インクジェットヘッド４の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁が吐出チャネル５１ａの内側に変形し、吐出チャネル５１ａがあたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、駆動電極６１〜６４に印可する電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えない場合はアクチュエータプレート４２の圧電素子の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５１ａが外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５１ａが内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。

また、本実施形態のインクジェットヘッド４は、各吐出チャネル５１ａの間に、インクが充填されないダミーチャネル５１ｂが配置されているため、全ての吐出チャネル５１ａからインクを同時に吐出するようになっている（いわゆる、１サイクル方式）。また、ダミーチャネル５１ｂが配置されているため、各駆動電極６１〜６４がインクを介して短絡することがない。これにより、水性インク等の導電性を有するインクを含め多様なインクを用いることができ、利便性に優れるという効果がある。

＜インクジェットヘッドの製造方法＞
次に、上述したインクジェットヘッド４の製造方法について説明する。図６〜図８はインクジェットヘッド４の製造方法を説明するための説明図であって、図６はフローチャート、図７、図８は図４のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。
図６、図７に示すように、本実施形態におけるインクジェットヘッド４の製造方法では、ベースプレート４１、アクチュエータプレート４２、及びカバープレート４３を接合する前に行う下準備工程（Ｓ０）と、アクチュエータプレート４２、及びカバープレート４３をベースプレート４１に接合しながら行う組立工程（Ｓ１０）と、を主に有している。なお、ベースプレート４１、アクチュエータプレート４２、及びカバープレート４３それぞれの下準備工程（Ｓ０）は、並行して行うことが可能である。

（下準備工程）
図９は、インクジェットヘッド４の製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。
まず、図６、図９に示すように、ベースプレート４１の下準備として、ベースプレート４１の一方の主面４１ａ上にアンカー部８３を形成する（Ｓ１：粗面化工程）。具体的には、ベースプレート４１の一方の主面４１ａ上において、アンカー部８３となる領域（電極形成領域）に対して、サンドブラスト加工を施し、めっき被膜９３が形成可能な表面粗さＲａにする。なお、粗面化工程（Ｓ１）では、サンドブラスト加工に限らず、エッチング、レーザ等を用いてベースプレート４１を粗面化しても構わない。

また、図６、図７（ａ）に示すように、アクチュエータプレート４２の下準備として、アクチュエータプレート４２の他方の主面４２ｂ側に対してダミーチャネル５１ｂとなる凹部８６を形成する（Ｓ２：凹部形成工程）。具体的には、ダイシングを用いた切削加工等により、Ｚ方向に沿って直線状に延びる凹部８６をＹ方向に間隔をあけて形成する。なお、凹部８６は、アクチュエータプレート４２のＺ方向における両端面で開放されるように形成する。また、凹部８６のＸ方向における深さは、上述した中央ブロック５３及び外側ブロック５４のＸ方向における高さに相当している。

さらに、図６に示すように、カバープレート４３の下準備として、カバープレート４３の一方の主面４３ａ上に図示しないマスクを介して蒸着やめっき等の成膜法を行うことで、接続配線７３（図４参照）を形成する（Ｓ３：接続配線形成工程）。
続いて、カバープレート４３に対してサンドブラスト加工等を施すことで、カバープレート４３に共通インク室７１及びスリット７２を形成する（Ｓ４：インク室形成工程）。

（組立工程）
組立工程（Ｓ１０）では、図７（ｂ）、図９に示すように、まずベースプレート４１とアクチュエータプレート４２とを貼り合せる（Ｓ１１：アクチュエータプレート接合工程（接合工程））。このとき、アクチュエータプレート４２の後端面と、ベースプレート４１におけるアンカー部８３の前端縁と、がＺ方向で一致するように両プレート４１，４２を位置合わせした後、接着剤等を用いて両プレート４１，４２を貼り合せる。なお、両プレート４１，４２の位置合わせは、アクチュエータプレート４２の後端面と、ベースプレート４１におけるアンカー部８３の前端縁と、がＺ方向で離間しなければ構わない。すなわち、アクチュエータプレート４２の後端面と、ベースプレート４１におけるアンカー部８３の前端縁と、がＺ方向でラップするように両プレート４１，４２を位置合わせしても構わない。

図１０は、インクジェットヘッド４の製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。
次に、図７（ｃ）、図１０に示すように、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａを、グラインダ等により研削して、凹部８６を貫通させる（Ｓ１２：研削工程）。これにより、アクチュエータプレート４２が、中央ブロック５３及び外側ブロック５４に切り離されるとともに、各中央ブロック５３間や中央ブロック５３及び外側ブロック５４間にダミーチャネル５１ｂが形成される。なお、本実施形態では、アクチュエータプレート４２のうち、Ｘ方向の一方側を向く主面は、何れの状態においても一方の主面４２ａとする。

続いて、図７（ｄ）に示すように、アクチュエータプレート４２（中央ブロック５３及び外側ブロック５４）の表面のうち、駆動電極６１〜６４及びグランド端子６５の形成領域以外の領域を覆うマスク９１を形成する（Ｓ１３：マスク形成工程）。具体的には、まずアクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上に、感光性ドライフィルム等からなるマスク材料を貼り付ける。次に、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングすることにより、マスク材料のうち、各端子６２，６４の形成領域に相当する部分のマスク材料を除去する。

次に、図８（ａ）に示すように、中央ブロック５３の一方の主面４２ａに対してダイシング加工等の切削加工を行い、吐出チャネル５１ａを形成する（Ｓ１４：吐出チャネル形成工程）。なお、本実施形態では、マスク形成工程（Ｓ１３）の後に吐出チャネル形成工程（Ｓ１４）を行う方法について説明したが、これに限らず、吐出チャネル形成工程（Ｓ１４）の後にマスク形成工程（Ｓ１３）を行っても構わない。但し、マスク形成工程（Ｓ１３）を先に行う場合は、吐出チャネル形成工程（Ｓ１４）時に用いるアライメントマーク等をマスク９１に対して一括して行うことができる等の点で好ましい。

次に、アクチュエータプレート４２及びベースプレート４１の接合体９２に対して駆動電極６１〜６４、グランド端子６５、及び引き出し電極８１，８２を形成する（Ｓ１５：電極形成工程）。本実施形態では、電極形成工程（Ｓ１５）を無電解めっきにより行う。
電極形成工程では、まず接合体９２のうち、駆動電極６１〜６４、グランド端子６５、及び引き出し電極８１，８２を形成する領域に対して触媒を付与する。具体的には、まず接合体９２を、塩化第１錫水溶液に浸漬させ、接合体９２の表面に塩化第１錫を吸着させるセンシタイジング処理を行う。
続いて、接合体９２を水洗等により軽く洗浄する。その後、接合体９２を、塩化パラジウム水溶液に浸漬させ、接合体９２の表面に塩化パラジウムを吸着させる。すると、接合体９２の表面に吸着した塩化パラジウムと、上述したセンシタイジング処理で吸着した塩化第１錫との間で酸化還元反応が生じることで、触媒として金属パラジウムが析出される（アクチベーティング処理）。

ここで、本実施形態では、接合体９２のうち、アクチュエータプレート４２における表面全体に加え、ベースプレート４１のアンカー部８３にもアンカー効果によって触媒が付与される。一方、ベースプレート４１のうち、アンカー部８３以外の領域（非形成領域）は、表面粗さＲａが小さいため、触媒が付与されないようになっている。

次に、図８（ｂ）に示すように、触媒（金属パラジウム）が付与された接合体９２をめっき液に浸漬させることで、接合体９２のうち、触媒が付与された部分にめっき被膜９３が析出される。

図１１は、インクジェットヘッド４の製造方法を説明するための説明図であって、図４に相当する斜視図である。
続いて、図８（ｃ）、図１１に示すように、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上に形成されたマスク９１を除去する（Ｓ１６：リフトオフ工程）。これにより、接合体９２上に駆動電極６１〜６４、グランド端子６５、及び引き出し電極８１，８２が一括で形成される。

そして、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上に溝部６７（図４参照）を形成する（Ｓ１７：溝部形成工程）。具体的には、ダイシング加工等の切削加工により、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上において、共通端子６２及び個別端子６４間を分断するようにＹ方向に沿って延びる溝部６７を形成する。なお、上述した実施形態では、アクチュエータプレート４２のＹ方向全体（中央ブロック５３及び外側ブロック５４）に溝部６７を形成する場合について説明したが、少なくとも中央ブロック５３にのみ形成されていれば構わない。

次に、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上に、カバープレート４３を接合する（Ｓ１８：カバープレート接合工程）。具体的には、アクチュエータプレート４２の吐出チャネル５１ａと、カバープレート４３のスリット７２と、が連通するように両プレート４２，４３を位置合わせする。さらに、本実施形態では、接続配線７３のうち、メイン配線７６が溝部６７とＸ方向で重なり、かつ共通接続部７４及びグランド接続部７５が対応する共通端子６２及びグランド端子６５に各別に接続されるように、両プレート４２，４３を位置合わせする。そして、位置合わせ後、両プレート４２，４３を接着剤等によって接合する。
なお、本実施形態では、上述したようにカバープレート４３のＸ方向から見た平面視外形が、アクチュエータプレート４２全体のＸ方向から見た平面視外形に一致しているため、各プレート４２，４３の端面同士を面一に位置合わせするだけで、上述した各種の位置合わせが自動的に完了することになる。

その後、ベースプレート４１、アクチュエータプレート４２、及びカバープレート４３の前端面に、ノズルプレート４４を接合する（Ｓ１９：ノズルプレート接合工程）。
最後に、ベースプレート４１にフレキシブルプリント基板３３を接続する。これにより、フレキシブルプリント基板３３の配線パターンが、ベースプレート４１の引き出し電極８１，８２に電気的に接続される。
そして、このように構成されたヘッドチップ２２がキャリッジ１６に搭載されることで、本実施形態のインクジェットヘッド４が作製される。

このように、本実施形態では、ベースプレート４１のうち、引き出し電極８１，８２が形成される電極形成領域に、非形成領域よりも表面粗さＲａが大きいアンカー部８３を形成する構成とした。
この構成によれば、ベースプレート４１の電極形成領域にアンカー効果を持たせることができる。すなわち、電極形成工程（Ｓ１５）において、ベースプレート４１のうち、電極形成領域のみにめっき被膜９３を析出させ、非形成領域にはめっき被膜９３が析出しないように設定できる。これにより、ベースプレート４１上における所望の領域に選択的にめっき被膜９３を形成することができる。この場合、ベースプレート４１及びアクチュエータプレート４２を接合した後、これらベースプレート４１及びアクチュエータプレート４２に対して駆動電極６１〜６４、グランド端子６５、及び引き出し電極８１，８２をめっき被膜９３により一括して形成することができる。その結果、ベースプレート４１上の引き出し電極８１，８２、並びにアクチュエータプレート４２の駆動電極６１〜６４、及びグランド端子６５を別々に形成する場合に比べて製造工程の効率化や簡素化を図ることができる。

また、本実施形態では、非形成領域が、ベースプレート４１の一方の主面４１ａ上のうち、中央ブロック５３間に位置する部分を含んでいるため、ベースプレート４１のうち、ダミーチャネル５１ｂの底面を構成する部分には、めっき被膜９３が析出されないことになる。そのため、個別電極６３をめっきにより形成する場合に、ダミーチャネル５１ｂの内面のうち、側壁面（中央ブロック５３の対向面）のみにめっき被膜９３を析出させ、底面にめっき被膜９３が析出されないように設定できる。これにより、例えばダミーチャネル５１ｂの底面に析出しためっき被膜９３をレーザ等の後加工により除去する必要がないので、製造コストの削減や、後工程で発生するゴミを削減できるとともに、ダミーチャネル５１ｂの側壁面に形成された個別電極６３が底面を介して短絡するのを確実に抑制できる。

また、アンカー部８３の表面粗さＲａを４００Å以上に設定することで、アンカー部８３に十分なアンカー効果を持たせることができるので、電極形成工程（Ｓ１５）において、十分な厚みのめっき被膜９３をムラなく形成できる。

さらに、ベースプレート４１がガラス材料により構成されているため、非形成領域の表面粗さＲａを小さく抑えることができる。この場合、非形成領域にめっき被膜９３が形成されるのを抑制できるので、めっき被膜９３の形成後のパターニング工程が不要になり、製造工程の効率化を図ることができるとともに、低コスト化を図ることができる。

しかも、本実施形態では、カバープレート４３に形成された接続配線７３を介して各共通電極６１（共通端子６２）及びグランド端子６５間を接続することで、アクチュエータプレート４２にカバープレート４３を接合するだけで、共通電極６１及びグランド端子６５間の導通を図ることができる。これにより、製造工程の更なる効率化を図ることができる。
さらに、本実施形態では、アクチュエータプレート４２の一方の主面４２ａ上に形成された溝部６７に対応する位置に接続配線７３が配設されるため、接続配線７３と共通端子６２及び個別端子６４との接触を抑制し、接続配線７３を介した共通端子６２及び個別端子６４間の短絡を抑制できる。これにより、信頼性に優れたインクジェットヘッド４を提供できる。

そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド４を備えているため、信頼性に優れたプリンタ１を提供できる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４が複数搭載された複数色用のプリンタ１について説明したが、これに限られない。例えば、インクジェットヘッド４が一つの単色用のプリンタ１としても構わない。

また、本発明の実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用のプリンタ１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは単色用のプリンタ１に好適に用いられる。

また、上述した実施形態では、ベースプレート４１をガラスにより構成した場合について説明したが、これに限られない。ベースプレート４１は、非形成領域の表面粗さＲａを、めっき被膜９３が形成不可能な程度の大きさ（例えば、１００Å程度）に抑制できる材料であれば、セラミックス材料等、適宜設計変更が可能である。

また、上述した実施形態では、引き出し電極８１，８２をＺ方向に沿って直線状に形成した場合について説明したが、これに限られない。例えば、引き出し電極８１，８２を、後側に向かうに従いＹ方向の外側に向けて延在するように形成しても構わない。
この構成によれば、各引き出し電極８１，８２間の間隔が、後側に向かうに従い広がるので、引き出し電極８１，８２間での短絡を抑制し、電気的信頼性を確保できる。また、電極パターンの複雑化を抑制できる。
なお、引き出し電極８１，８２を、後側に向かうに従いＹ方向の外側に向けて延在させることで、引き出し電極８１，８２の幅を増大させることも可能である。例えば、その引き出し電極８１，８２の具体的な形状が扇形でも構わないし、台形でも構わない。つまり、Ｚ方向に進むに従いＹ方向の幅が広くなる末広がり形状であれば、どんな形状でも含まれる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送機構（移動機構）
４，４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査手段（移動機構）
４１…ベースプレート
４１ａ…一方の主面（主面）
４２…アクチュエータプレート（アクチュエータ部）
４３…カバープレート
４４…ノズルプレート（噴射孔プレート）
４４ａ…ノズル孔（噴射孔）
５１ａ…吐出チャネル（噴射チャネル）
５１ｂ…ダミーチャネル
５３…中央ブロック（チャネルブロック）
６１…共通電極（駆動電極）
６２…共通端子（駆動電極）
６３…個別電極（駆動電極）
６４…個別端子（駆動電極）
６５…グランド端子
６７…溝部
７１…共通インク室（液体室）
７３…接続配線
８１…個別引き出し電極（引き出し電極）
８２…グランド引き出し電極（引き出し電極）
９３…めっき被膜
Ｓ…被記録媒体

Claims (10)

1. ベースプレートと、
   前記ベースプレート上に固定されるとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが並設されたアクチュエータ部と、
   前記アクチュエータ部のうち、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの延在方向における一端側に配設され、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔が並設された噴射孔プレートと、
   前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの内面にそれぞれ形成された駆動電極と、
   前記ベースプレート上において、前記アクチュエータ部に対して延在方向の他端側に形成され、前記駆動電極に電気的に接続された引き出し電極と、を備え、
   前記ベースプレートのうち、前記引き出し電極が形成される電極形成領域は、前記電極形成領域以外の領域よりも表面粗さが大きくなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記駆動電極、及び前記引き出し電極は、めっき被膜により一体的に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記電極形成領域の表面粗さＲａは、前記電極形成領域以外の領域の表面粗さＲａに対して４倍以上であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記電極形成領域は、表面粗さＲａが４００Å以上であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ベースプレートは、ガラス材料からなることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記駆動電極は、前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極を備え、
   前記アクチュエータ部のうち、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの並設方向において最外端に位置する前記ダミーチャネルよりも外側に位置する部分には、前記引き出し電極に接続されたグランド端子が形成され、
   前記アクチュエータ部の前記ベースプレート側とは反対側の主面上には、前記噴射チャネル内に連通する液体室を有するカバープレートが配設され、
   前記カバープレートには、前記共通電極及び前記グランド端子間を接続する接続配線が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記駆動電極は、前記ダミーチャネルの内面に形成された個別電極を備え、
   前記アクチュエータ部の前記主面上には、前記共通電極及び前記個別電極間を分断する溝部が形成され、
   前記接続配線は、前記溝部に対応する位置に配設されていることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記アクチュエータ部は、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの並設方向に沿って間隔をあけて配置されるとともに、前記噴射チャネルが形成されたチャネルブロックを備え、
   前記ダミーチャネルは、隣り合う前記チャネルブロック間及び前記ベースプレートにより画成され、
   前記駆動電極は、前記ダミーチャネルを画成する前記チャネルブロックの対向面に形成された個別電極を備え、
   前記電極形成領域以外の領域は、前記ベースプレートのうち、前記ダミーチャネルを画成する部分を含んでいることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１から請求項８の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   前記ベースプレートの前記電極形成領域を粗面化する粗面化工程と、
   前記ベースプレート上に前記アクチュエータ部を固定する接合工程と、
   前記ベースプレートの前記電極形成領域、前記噴射チャネルの内面、及び前記ダミーチャネルの内面に対してめっき被膜を形成する電極形成工程と、を有していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
10. 請求項１から請求項８の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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