JP5432064B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、ノズルから液体を吐出して被記録媒体に画像や文字、あるいは薄膜材料を形成する液体噴射ヘッド及びこれを用いた液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head that discharges liquid from a nozzle to form an image, characters, or a thin film material on a recording medium, and a liquid ejecting apparatus using the same.

近年、記録紙等にインク滴を吐出し、文字、図形を描画する、あるいは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜のパターンを形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、液体噴射ヘッドに形成した微小空間にこのインクを充填し、駆動信号に応じて微小空間の容積を瞬間的に縮小し溝に連通するノズルから液滴を吐出させる。   2. Description of the Related Art In recent years, ink jet type liquid ejecting heads have been used which eject ink droplets onto recording paper and the like to draw characters and figures, or eject liquid material onto the surface of an element substrate to form a functional thin film pattern. . In this method, ink or liquid material is supplied from a liquid tank to a liquid ejecting head via a supply pipe, and the ink is filled in a minute space formed in the liquid ejecting head, and the volume of the minute space is instantaneously changed according to a drive signal. The liquid droplets are ejected from a nozzle that is reduced in size and communicates with the groove.

図10はこの種のインクジェットヘッド51の分解斜視図を表す。インクジェットヘッド51は、表面に多数の溝56が形成された圧電体基板52と、液体供給室62とスリット63が形成されたカバープレート54と、液体を吐出するためのノズル64を備えたノズルプレート55と、駆動回路で生成され駆動信号を圧電体基板52に供給するためのフレキシブル基板53などから構成される。各溝56はカバープレート54により上部開口を塞がれてチャンネルを構成する。各溝56は隔壁57により仕切られ、隔壁57の壁面には隔壁57を駆動するための駆動電極59が形成されている。各駆動電極59は圧電体基板52の後方端REの表面に形成した端子電極60に接続されている。圧電体から成る隔壁57は垂直方向に分極処理が施されている。隔壁57の両壁面に形成した駆動電極に駆動信号を与えることにより、隔壁57は厚みすべり変形を生じる。予め溝56から成るチャンネルに液体を充填しておき、駆動時に隔壁57を変形させることにより、チャンネルの容積が変化してノズル64からインクが吐出される。   FIG. 10 is an exploded perspective view of this type of inkjet head 51. The inkjet head 51 includes a piezoelectric substrate 52 having a large number of grooves 56 formed on the surface, a cover plate 54 having a liquid supply chamber 62 and slits 63, and a nozzle plate having nozzles 64 for discharging liquid. 55, a flexible substrate 53 for supplying a drive signal generated by the drive circuit to the piezoelectric substrate 52, and the like. Each groove 56 is covered with an upper opening by a cover plate 54 to form a channel. Each groove 56 is partitioned by a partition wall 57, and a drive electrode 59 for driving the partition wall 57 is formed on the wall surface of the partition wall 57. Each drive electrode 59 is connected to a terminal electrode 60 formed on the surface of the rear end RE of the piezoelectric substrate 52. The partition wall 57 made of a piezoelectric body is polarized in the vertical direction. By applying a drive signal to the drive electrodes formed on both wall surfaces of the partition wall 57, the partition wall 57 undergoes thickness-slip deformation. By preliminarily filling the channel formed of the groove 56 with liquid and deforming the partition wall 57 during driving, the volume of the channel changes and ink is ejected from the nozzle 64.

図11は、圧電体基板52の後方端RE近傍の表面に接合したフレキシブル基板53を圧電体基板52から分離し、下方にずらした状態の圧電体基板52とフレキシブル基板53の上面模式図である。圧電体基板52の表面には溝56からなるチャンネルが形成され、各チャンネルはダミーチャンネルD1〜Dn+1と液滴を吐出する吐出チャンネルC1〜Cnが交互に配置されている。各チャンネルを区画する隔壁57の側面には隔壁57を変形駆動するための駆動電極59が形成されている。圧電体基板52の後方端RE近傍の表面には各チャンネルの駆動電極59に電気的に接続する端子電極60が形成されている。例えば、吐出チャンネルC1を構成する両隔壁57の吐出チャンネル側の両側面には駆動電極59c1が形成され、第一端子電極60c1に接続されている。ダミーチャンネルD1の吐出チャンネルC1側の側面には駆動電極59d1が形成され、ダミーチャンネルD2の吐出チャンネルC1側の側面には駆動電極59d2が形成され、いずれも第二端子電極60d1に電気的に接続されている。他の吐出チャンネルC2〜Cnや、ダミーチャンネルD1〜Dn+1や第一及び第二端子電極60c、60dも同様の構成を備えている。   FIG. 11 is a schematic top view of the piezoelectric substrate 52 and the flexible substrate 53 in a state where the flexible substrate 53 bonded to the surface near the rear end RE of the piezoelectric substrate 52 is separated from the piezoelectric substrate 52 and shifted downward. . Channels made of grooves 56 are formed on the surface of the piezoelectric substrate 52. Dummy channels D1 to Dn + 1 and discharge channels C1 to Cn for discharging droplets are alternately arranged in each channel. A drive electrode 59 for deforming and driving the partition wall 57 is formed on a side surface of the partition wall 57 partitioning each channel. A terminal electrode 60 that is electrically connected to the drive electrode 59 of each channel is formed on the surface of the piezoelectric substrate 52 in the vicinity of the rear end RE. For example, drive electrodes 59c1 are formed on both side surfaces of the partition walls 57 constituting the discharge channel C1 on the discharge channel side, and are connected to the first terminal electrode 60c1. A drive electrode 59d1 is formed on the side surface of the dummy channel D1 on the discharge channel C1 side, and a drive electrode 59d2 is formed on the side surface of the dummy channel D2 on the discharge channel C1 side, both of which are electrically connected to the second terminal electrode 60d1. Has been. The other discharge channels C2 to Cn, the dummy channels D1 to Dn + 1, and the first and second terminal electrodes 60c and 60d have the same configuration.

フレキシブル基板53の圧電体基板52側の表面には駆動電極59に駆動信号を供給するための配線電極61が形成されている。フレキシブル基板53は矢印で示すように圧電体基板52の後方端RE側の表面に移動させて配線電極61d1が端子電極60d1に、配線電極61c1が端子電極60c1に、配線電極61d2が端子電極60d2にそれぞれ電気的に接続して圧電体基板52の表面に接合されている。その他の配線電極61も同様である。   A wiring electrode 61 for supplying a drive signal to the drive electrode 59 is formed on the surface of the flexible substrate 53 on the piezoelectric substrate 52 side. As indicated by the arrow, the flexible substrate 53 is moved to the surface of the piezoelectric substrate 52 on the rear end RE side so that the wiring electrode 61d1 is the terminal electrode 60d1, the wiring electrode 61c1 is the terminal electrode 60c1, and the wiring electrode 61d2 is the terminal electrode 60d2. Each is electrically connected and bonded to the surface of the piezoelectric substrate 52. The same applies to the other wiring electrodes 61.

図12は、他のインクジェットヘッドを表す斜視図である(特許文献1の図1)。圧電セラミックス基板81の下面にチャンネルを構成する多数の溝が形成されている。圧電セラミックス基板81の前端部の表面84には図示しないノズルプレートが接合し、ノズルプレートのノズルに溝からなるインク室82が連通する。下面の各インク室82を区画する隔壁には駆動電極が形成され、各駆動電極は引出電極86により表面84を経由して表面85に引き出されている。表面84において電極は絶縁部83により分離され、表面85において引出電極86は絶縁部87により電気的に分離されている。引出電極86は後方端上面の電気接続端88において電気配線89と接続して図示しない駆動回路に接続している。この例においては、インク室82のピッチW1よりも電気接続端88のピッチW2を大きく形成して、外部接続回路との接続を容易にしている。   FIG. 12 is a perspective view showing another inkjet head (FIG. 1 of Patent Document 1). A large number of grooves constituting channels are formed on the lower surface of the piezoelectric ceramic substrate 81. A nozzle plate (not shown) is joined to the surface 84 of the front end portion of the piezoelectric ceramic substrate 81, and an ink chamber 82 formed of a groove communicates with the nozzle of the nozzle plate. Drive electrodes are formed on the partition walls that partition the ink chambers 82 on the lower surface, and each drive electrode is drawn out to the surface 85 via the surface 84 by the extraction electrode 86. On the surface 84, the electrodes are separated by an insulating portion 83, and on the surface 85, the extraction electrode 86 is electrically separated by an insulating portion 87. The extraction electrode 86 is connected to an electrical wiring 89 at an electrical connection end 88 on the upper surface of the rear end and is connected to a drive circuit (not shown). In this example, the pitch W2 of the electrical connection ends 88 is formed larger than the pitch W1 of the ink chamber 82, thereby facilitating connection with an external connection circuit.

特開平9−29977号公報JP-A-9-29977

図10及び図11に示す従来例において、フレキシブル基板53に形成した配線電極61の端子電極60との接続点のピッチPは、圧電体基板52に形成したチャンネルの配列ピッチPと同程度としなければならない。しかし、近年チャンネル数が増大するとともにその配列ピッチが狭くなってきている。そのために、フレキシブル基板53の配線電極61も狭ピッチ化しなければならず、位置合わせを行って実装する際の位置合わせ精度が厳しく、製造が困難となる、あるいは製造歩留まりが悪化する等の課題があった。   10 and 11, the pitch P of the connection point between the wiring electrode 61 formed on the flexible substrate 53 and the terminal electrode 60 must be approximately the same as the channel arrangement pitch P formed on the piezoelectric substrate 52. I must. However, in recent years, the number of channels has increased and the arrangement pitch has become narrower. For this reason, the wiring electrodes 61 of the flexible substrate 53 must also be narrowed, and there is a problem that the alignment accuracy when positioning and mounting is difficult, manufacturing becomes difficult, or the manufacturing yield deteriorates. there were.

また、図12に示すように圧電セラミックス基板81の裏面側に引出電極86を形成するためには、圧電セラミックス基板81の前方端の表面84及び上方の表面85に電極パターンを形成しなければならない。そのため、製造工程が複雑となって量産性が低下する課題があった。   Further, as shown in FIG. 12, in order to form the extraction electrode 86 on the back surface side of the piezoelectric ceramic substrate 81, an electrode pattern must be formed on the front surface 84 and the upper surface 85 of the piezoelectric ceramic substrate 81. . For this reason, there is a problem that the manufacturing process is complicated and mass productivity is reduced.

本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、簡便な製造方法で構成することができ、小型化の容易な液体噴射ヘッドを提供するものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a liquid ejecting head that can be configured by a simple manufacturing method and can be easily downsized.

本発明による液体噴射ヘッドは、基板の前方端から後方端近傍の表面に互いに隔壁により離隔して並列する複数の溝と、前記隔壁の側面に設置した駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、後方端近傍の表面に設置した電極端子とを有するアクチュエータ基板と、前記アクチュエータ基板の表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、前記アクチュエータ基板の後方端近傍の表面に接合し、前記電極端子に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、前記複数のチャンネルは、液体を吐出するための吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、前記電極端子は、前記吐出チャンネルを構成する2つの隔壁の側面のうち、当該吐出チャンネル側の側面に設置した2つの駆動電極に電気的に接続する第一電極端子と、前記吐出チャンネルの一方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極と他方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極に電気的に接続する第二電極端子を含み、前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する第一電極端子と他の吐出チャンネルに対応する他の第一電極端子を電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する第二電極端子のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有することとした。   A liquid ejecting head according to the present invention includes a plurality of grooves that are spaced apart from each other by a partition wall on a surface in the vicinity of a rear end from a front end of a substrate, a drive electrode that is disposed on a side surface of the partition wall, and an electrical connection to the drive electrode. An actuator substrate having an electrode terminal connected to a surface near a rear end, a cover plate that is bonded to the surface of the actuator substrate, closes upper openings of the plurality of grooves, and forms a plurality of channels; A flexible substrate having a wiring electrode bonded to a surface near the rear end of the actuator substrate and electrically connected to the electrode terminal, wherein the plurality of channels discharge liquid and discharge liquid The dummy terminals are alternately arranged, and the electrode terminal is connected to the discharge channel among the side surfaces of the two partition walls constituting the discharge channel. A first electrode terminal electrically connected to two drive electrodes installed on the side surface on the channel side, a drive electrode installed on the side surface on the dummy channel side of one partition wall of the discharge channel, and a dummy channel side of the other partition wall The wiring electrode includes a second electrode terminal electrically connected to a drive electrode installed on a side surface, and the wiring electrode electrically connects a first electrode terminal corresponding to the discharge channel and another first electrode terminal corresponding to another discharge channel. Common wiring electrodes connected to each other and a plurality of individual wiring electrodes individually electrically connected to each of the second electrode terminals corresponding to each discharge channel.

また、前記各吐出チャンネルにおいて、前記第一電極端子と前記共通配線電極を電気的に接続する第一接続点は、前記第二電極端子と前記個別配線電極を電気的に接続する第二接続点よりも前方端側に位置することとした。   In each discharge channel, the first connection point that electrically connects the first electrode terminal and the common wiring electrode is a second connection point that electrically connects the second electrode terminal and the individual wiring electrode. More than the front end side.

また、前記第一接続点と第二接続点は吐出チャンネルの長手方向に沿って対向することとした。   Further, the first connection point and the second connection point are opposed to each other along the longitudinal direction of the discharge channel.

また、前記共通配線電極は、前記フレキシブル基板上において前記個別配線電極よりも外周側に位置することとした。   The common wiring electrode is positioned on the outer peripheral side of the individual wiring electrode on the flexible substrate.

また、前記共通配線電極と前記第二電極端子とが交差する交差部に、短絡防止用の絶縁膜が介在することとした。   In addition, an insulating film for preventing a short circuit is interposed at an intersection where the common wiring electrode and the second electrode terminal intersect.

また、前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端側の前記電極端子が設置される手前の位置まで延在し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端に亘って延在することとした。   The groove constituting the discharge channel extends from the front end of the actuator substrate to a position before the electrode terminal on the rear end side is installed, and the groove constituting the dummy channel is formed on the actuator substrate. It was decided to extend from the front end to the rear end.

本発明の液体噴射装置は、上記いずれかの液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。   According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus comprising: And a liquid tank for supplying the liquid.

本発明の液体噴射ヘッドは、基板の前方端から後方端近傍の表面に互いに隔壁により離隔して並列する複数の溝と、その隔壁の側面に設置した駆動電極と、その駆動電極に電気的に接続し、後方端近傍の表面に設置した電極端子とを有するアクチュエータ基板と、アクチュエータ基板の表面に接合し、複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、アクチュエータ基板の後方端近傍の表面に接合し、上記電極端子に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備えている。更に、上記複数のチャンネルは、液体を吐出するための吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、上記電極端子は、吐出チャンネルを構成する2つの隔壁の側面のうち、当該吐出チャンネル側の側面に設置した2つの駆動電極に電気的に接続する第一電極端子と、当該吐出チャンネルの一方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極と他方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極に電気的に接続する第二電極端子を含み、配線電極は、吐出チャンネルに対応する第一電極端子と他の吐出チャンネルに対応する他の第一電極端子を電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する第二電極端子のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有している。この構成により、アクチュエータ基板上の端子電極数に対し、フレキシブル基板上の配線電極数を概ね1/2に低減できるので、フレキシブル基板上の配線電極を容易に形成することができるとともに、端子電極と配線電極の接続を容易にした。   The liquid jet head according to the present invention includes a plurality of grooves that are parallel to each other, separated from each other by a partition wall, on a surface in the vicinity of the rear end from the front end of the substrate, a drive electrode installed on a side surface of the partition, An actuator substrate having an electrode terminal connected to the surface near the rear end, a cover plate that is bonded to the surface of the actuator substrate, closes upper openings of the plurality of grooves, and forms a plurality of channels; A flexible substrate having a wiring electrode bonded to a surface in the vicinity of the rear end and electrically connected to the electrode terminal. In addition, the plurality of channels are alternately arranged with discharge channels for discharging liquid and dummy channels that do not discharge liquid, and the electrode terminal is connected to the discharge side of the two partition walls constituting the discharge channel. A first electrode terminal electrically connected to the two drive electrodes installed on the side surface of the channel side, a drive electrode installed on the side surface of the discharge channel on the dummy channel side of the one partition wall, and the dummy channel side of the other partition wall The wiring electrode includes a first electrode terminal corresponding to the discharge channel and another first electrode terminal corresponding to the other discharge channel. A common wiring electrode to be connected and a plurality of individual wiring electrodes to be electrically connected to each of the second electrode terminals corresponding to the respective discharge channels are provided. With this configuration, since the number of wiring electrodes on the flexible substrate can be reduced to approximately ½ of the number of terminal electrodes on the actuator substrate, the wiring electrodes on the flexible substrate can be easily formed, Wiring electrodes are easily connected.

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分分解斜視図である。FIG. 3 is a partially exploded perspective view of the liquid jet head according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの縦断面及び回路構成を表す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a longitudinal section and a circuit configuration of the liquid jet head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの電極配線を表す上面模式図である。FIG. 3 is a top schematic view illustrating electrode wiring of the liquid jet head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの上面模式図である。FIG. 6 is a top schematic view of a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの上面模式図である。FIG. 10 is a schematic top view of a liquid jet head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a liquid jet head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの変形例を表す上面模式図である。FIG. 10 is a schematic top view illustrating a modification example of the liquid jet head according to the third embodiment of the present invention. 本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの上面模式図である。FIG. 9 is a schematic top view of a liquid jet head according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus according to a fifth embodiment of the invention. 従来公知のインクジェットヘッドの部分分解斜視部である。2 is a partially exploded perspective view of a conventionally known inkjet head. 従来公知のインクジェットヘッドの上面模式図である。It is an upper surface schematic diagram of a conventionally well-known inkjet head. 従来公知のインクジェットヘッドの模式図である。It is a schematic diagram of a conventionally well-known inkjet head.

本発明の液体噴射ヘッドは、表面に複数の溝を形成したアクチュエータ基板と、アクチュエータ基板の表面に接合したカバープレートと、アクチュエータ基板に駆動信号を供給するためのフレキシブル基板を備えている。アクチュエータ基板は、基板の前方端から後方端近傍の表面に互いに隔壁により離隔して並列する複数の溝と、その隔壁の側面に形成した駆動電極と、その駆動電極に電気的に接続し、後方端近傍の表面に設置した電極端子を備えている。カバープレートは、アクチュエータ基板の表面に形成した複数の溝の上部開口を塞いで複数の並列するチャンネルを構成する。フレキシブル基板は、アクチュエータ基板の後方端近傍の基板表面に接合し、上記アクチュエータ基板に形成した端子電極と電気的に接続する配線電極と備えている。   The liquid jet head of the present invention includes an actuator substrate having a plurality of grooves formed on the surface thereof, a cover plate joined to the surface of the actuator substrate, and a flexible substrate for supplying a drive signal to the actuator substrate. The actuator substrate has a plurality of grooves parallel to each other separated from each other by a partition wall on the surface near the rear end from the front end of the substrate, a drive electrode formed on a side surface of the partition wall, and electrically connected to the drive electrode. An electrode terminal is provided on the surface near the end. The cover plate configures a plurality of parallel channels by closing upper openings of a plurality of grooves formed on the surface of the actuator substrate. The flexible substrate is provided with a wiring electrode that is bonded to the substrate surface near the rear end of the actuator substrate and electrically connected to the terminal electrode formed on the actuator substrate.

並列する複数のチャンネルは、液体を吐出するため吐出チャンネルと、液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列している。アクチュエータ基板の後方端近傍に形成した電極端子は、第一電極端子と第二電極端子を有している。第一電極端子は、吐出チャンネルを構成する2つの隔壁の側面のうち、当該吐出チャンネル側の側面に設置した2つの駆動電極に電気的に接続している。第二電極端子は、当該吐出チャンネルの一方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極と、他方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極に電気的に接続している。   In the plurality of parallel channels, discharge channels for discharging liquid and dummy channels that do not discharge liquid are alternately arranged. The electrode terminal formed near the rear end of the actuator substrate has a first electrode terminal and a second electrode terminal. The first electrode terminal is electrically connected to two drive electrodes installed on the side surface on the discharge channel side of the two partition walls constituting the discharge channel. The second electrode terminal is electrically connected to the drive electrode installed on the side of the discharge channel on the dummy channel side of one partition and the drive electrode installed on the side of the other partition on the dummy channel side.

各隔壁は圧電体材料により構成している。この場合に、アクチュエータ基板の全体を圧電体材料により構成してもよいし、隔壁部分のみを圧電体材料により構成してもよい。隔壁は、例えばアクチュエータ基板表面の法線方向に分極処理を施しておけば、大きな電歪効果を得ることができる。この場合に、隔壁全体を法線方向に分極処理してもよいし、隔壁の高さの略1/2を境にして、分極方向を反転させてもよい。そして、第一電極端子と第二電極端子に駆動信号を与えて吐出チャンネルを構成する両隔壁を吐出チャンネルを中心に対称に変形させ、吐出チャンネルの容積を変化させて内部に充填した液体をこの吐出チャンネルに連通するノズルから吐出させる。通常、第一電極端子をGNDに接続し第二電極端子に駆動信号を与えてアクチュエータ基板を駆動する。   Each partition is made of a piezoelectric material. In this case, the entire actuator substrate may be made of a piezoelectric material, or only the partition wall portion may be made of a piezoelectric material. For example, if the partition wall is polarized in the normal direction of the actuator substrate surface, a large electrostrictive effect can be obtained. In this case, the entire partition wall may be polarized in the normal direction, or the polarization direction may be reversed at approximately half the height of the partition wall. Then, by applying drive signals to the first electrode terminal and the second electrode terminal, both partition walls constituting the discharge channel are deformed symmetrically around the discharge channel, and the volume of the discharge channel is changed to fill the liquid filled inside. It discharges from the nozzle connected to a discharge channel. Normally, the first electrode terminal is connected to GND and a drive signal is given to the second electrode terminal to drive the actuator substrate.

ここで、フレキシブル基板に形成した配線電極は、共通配線電極と個別配線電極を有している。共通配線電極は、一の吐出チャンネルに対応する第一電極端子と他の吐出チャンネルに対応する第一電極端子とを電気的に共通に接続している。個別配線電極は、各吐出チャンネルに対応する第二電極端子のそれぞれに電気的に個別に接続している。   Here, the wiring electrode formed on the flexible substrate has a common wiring electrode and an individual wiring electrode. The common wiring electrode electrically connects the first electrode terminal corresponding to one discharge channel and the first electrode terminal corresponding to another discharge channel in common. The individual wiring electrodes are electrically connected individually to the second electrode terminals corresponding to the respective ejection channels.

従って、アクチュエータ基板上にn(nは正の整数)個の吐出チャンネルが存在する場合に、これらの吐出チャンネルを駆動するための電極端子はn個の第一電極端子とn個の第二電極端子の合計2n個の電極端子が存在する。これに対して、フレキシブル基板上の配線電極は、例えば1本の共通配線電極とn本の個別配線電極、つまりn+1本の配線電極を形成すればよい。つまり、本発明の液体噴射ヘッドにおいては、アクチュエータ基板側に形成した電極端子の数に対して、フレキシブル基板側に形成する配線電極の数を大幅に低減させ、フレキシブル基板側の配線密度を概ね1/2とすることができる。そのため、フレキシブル基板上に配線電極を容易に形成することができ、更に端子電極と配線電極の接続を容易にした。   Therefore, when there are n (n is a positive integer) discharge channels on the actuator substrate, the electrode terminals for driving these discharge channels are n first electrode terminals and n second electrodes. There are a total of 2n electrode terminals. On the other hand, the wiring electrodes on the flexible substrate may be formed with, for example, one common wiring electrode and n individual wiring electrodes, that is, n + 1 wiring electrodes. That is, in the liquid ejecting head of the present invention, the number of wiring electrodes formed on the flexible substrate side is greatly reduced with respect to the number of electrode terminals formed on the actuator substrate side, and the wiring density on the flexible substrate side is approximately 1. / 2. Therefore, the wiring electrode can be easily formed on the flexible substrate, and the connection between the terminal electrode and the wiring electrode is facilitated.

また、各吐出チャンネルにおいて、アクチュエータ基板側の第一端子電極とフレキシブル基板側の共通配線電極とを電気的に接続する接続点を第一接続点とし、アクチュエータ基板側の第二電極端子とフレキシブル基板側の個別配線電極とを電気的に接続する接続点を第二接続点とすると、第一接続点は第二接続点よりもアクチュエータ基板の前方端側に位置するようにした。これにより、各チャンネルが配列する配列方向の接続点ピッチを大きくすることができるので、接続工程が容易となるとともに接続不良を低減させることができる。   In each discharge channel, the first connection point is a connection point that electrically connects the first terminal electrode on the actuator substrate side and the common wiring electrode on the flexible substrate side, and the second electrode terminal on the actuator substrate side and the flexible substrate When the connection point for electrically connecting the individual wiring electrode on the side is the second connection point, the first connection point is located on the front end side of the actuator substrate with respect to the second connection point. Thereby, since the connection point pitch of the arrangement direction where each channel arranges can be enlarged, a connection process becomes easy and connection failure can be reduced.

また、第一接続点と第二接続点は吐出チャンネルの長手方向に沿って対向するように設置することができる。これにより隣接する吐出チャンネル間の配線電極や接続点の間隔を広くとることができ、配線電極の高密度化に適する。   The first connection point and the second connection point can be installed so as to face each other along the longitudinal direction of the discharge channel. As a result, it is possible to widen the distance between the wiring electrodes and the connection points between the adjacent discharge channels, which is suitable for increasing the density of the wiring electrodes.

また、共通配線電極は、フレキシブル基板上において個別配線電極よりも外周側に位置するように形成することができる。これにより、個別配線電極の間に共通配線電極を形成する必要が無くなり、配線電極の最小ピッチを第一電極端子のピッチと同程度にすることができる。そのために、フレキシブル基板上に配線電極を容易に形成することができ、同時に接続工程の歩留まりも向上させることができる。更に、共通配線電極は個別配線電極よりも流れる電流量が大きくなるが、個別配線電極の電極幅や電極ピッチに影響を受けることなく共通配線電極の配線幅を太くして配線抵抗による電圧降下を低減することができる。   Further, the common wiring electrode can be formed on the flexible substrate so as to be positioned on the outer peripheral side with respect to the individual wiring electrode. As a result, it is not necessary to form a common wiring electrode between the individual wiring electrodes, and the minimum pitch of the wiring electrodes can be made substantially equal to the pitch of the first electrode terminals. Therefore, the wiring electrodes can be easily formed on the flexible substrate, and at the same time, the yield of the connection process can be improved. Furthermore, the amount of current that flows through the common wiring electrode is larger than that of the individual wiring electrode, but the common wiring electrode is widened without being affected by the electrode width or electrode pitch of the individual wiring electrode, so that the voltage drop due to wiring resistance is reduced. Can be reduced.

また、共通配線電極と第二電極端子とが交差する交差部に、短絡防止用の絶縁膜を介在させて、短絡を防止することができる。絶縁膜は上記交差部の共通配線電極側に設置してもよいし第二電極端子側に設置してもよい。これにより、フレキシブル基板上の電極配線を片面のみとすることができるので、コスト低減に寄与することができる。以下、図面を用いて具体的に説明する。   In addition, it is possible to prevent a short circuit by interposing an insulating film for preventing a short circuit at an intersection where the common wiring electrode and the second electrode terminal intersect. The insulating film may be installed on the common wiring electrode side of the intersection or on the second electrode terminal side. Thereby, since the electrode wiring on a flexible substrate can be made into only one side, it can contribute to cost reduction. Hereinafter, it demonstrates concretely using drawing.

(第一実施形態)
図1、図2及び図3は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1を説明するため図であり、図1は液体噴射ヘッド1の部分分解斜視図であり、図2はアクチュエータ基板2の部分XXの縦断面及び回路構成を表す模式図であり、図3はアクチュエータ基板2の後方端近傍の上面及びフレキシブル基板3の電極配線を表す模式図である。
(First embodiment)
1, 2 and 3 are views for explaining the liquid jet head 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a partially exploded perspective view of the liquid jet head 1, and FIG. 2 is an actuator. FIG. 3 is a schematic diagram showing a longitudinal section and circuit configuration of a portion XX of the substrate 2, and FIG. 3 is a schematic diagram showing an upper surface near the rear end of the actuator substrate 2 and electrode wiring of the flexible substrate 3.

図1に示すように、液体噴射ヘッド1は、圧電体材料から形成したアクチュエータ基板2と、その上面に接合したカバープレート4と、アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面15に接合したフレキシブル基板3と、アクチュエータ基板2の前方端FEに接合したノズルプレート5を備えている。アクチュエータ基板2は、その基板の前方端FEから後方端RE近傍に亘る表面15に複数の並列する溝6と各溝6を離隔する複数の隔壁7を備え、その後方端RE側の表面15に各隔壁7の側面に形成した駆動電極9に電気的に接続する端子電極10を備えている。   As shown in FIG. 1, the liquid jet head 1 includes an actuator substrate 2 formed of a piezoelectric material, a cover plate 4 bonded to the upper surface thereof, and a flexible substrate bonded to a surface 15 near the rear end RE of the actuator substrate 2. 3 and a nozzle plate 5 joined to the front end FE of the actuator substrate 2. The actuator substrate 2 includes a plurality of parallel grooves 6 and a plurality of partition walls 7 separating the grooves 6 on a surface 15 extending from the front end FE to the vicinity of the rear end RE of the substrate. A terminal electrode 10 electrically connected to the drive electrode 9 formed on the side surface of each partition wall 7 is provided.

アクチュエータ基板2は次のようにして形成した。圧電体基板の表面をダイシングブレードにより切削し、複数の並列する溝6を形成した。次に圧電体基板の表面に感光性樹脂シートを貼り付け、露光現像してパターンを形成した。次に斜め蒸着法により圧電体基板の表面及び隔壁7の側面に導体膜を堆積し、次にリフトオフ法により感光性樹脂シートを除去することにより隔壁7の側面に駆動電極9を、表面15に端子電極10を形成した。   The actuator substrate 2 was formed as follows. The surface of the piezoelectric substrate was cut with a dicing blade to form a plurality of parallel grooves 6. Next, a photosensitive resin sheet was attached to the surface of the piezoelectric substrate, exposed and developed to form a pattern. Next, a conductive film is deposited on the surface of the piezoelectric substrate and the side surfaces of the partition walls 7 by an oblique deposition method, and then the photosensitive resin sheet is removed by a lift-off method, whereby the drive electrodes 9 are formed on the side surfaces of the partition walls 7. A terminal electrode 10 was formed.

カバープレート4は、液体を流入するための液体供給室12と、その液体供給室12の底面からカバープレート4の裏面に貫通するスリット13を備えている。カバープレート4は、アクチュエータ基板2の表面に、アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面が露出し、スリット13が溝6の一本置きに溝6上部の開口部に連通するように、接着材により接合している。カバープレート4が溝6の上部開口を塞いでチャンネルを構成する。チャンネルは、スリット13を介して液体供給室12から液体の供給を可能に構成した吐出チャンネルCと、液体供給室12とは連通せず、液体が供給されないダミーチャンネルDとが交互に配列している。ノズルプレート5は、吐出チャンネルCに連通するノズル14を備え、アクチュエータ基板2及びカバープレート4の前方端FEに接合している。   The cover plate 4 includes a liquid supply chamber 12 through which liquid flows and a slit 13 that penetrates from the bottom surface of the liquid supply chamber 12 to the back surface of the cover plate 4. The cover plate 4 has an adhesive material such that the surface near the rear end RE of the actuator substrate 2 is exposed on the surface of the actuator substrate 2, and the slits 13 communicate with the openings at the top of the grooves 6 every other groove 6. Are joined together. The cover plate 4 closes the upper opening of the groove 6 to form a channel. As for the channel, the discharge channel C configured to be able to supply the liquid from the liquid supply chamber 12 through the slit 13 and the dummy channel D not connected to the liquid supply chamber 12 and not supplied with the liquid are alternately arranged. Yes. The nozzle plate 5 includes a nozzle 14 that communicates with the discharge channel C, and is joined to the actuator substrate 2 and the front end FE of the cover plate 4.

端子電極10は第一端子電極10aと第二端子電極10bを備えている。第一端子電極10aは吐出チャンネルCを構成する2つの隔壁7の吐出チャンネル側の側面に形成した2つの駆動電極9に接続する。第二端子電極10bは、吐出チャンネルCを構成する一方の隔壁7のダミーチャンネルD側の側面に形成した駆動電極9と、他方の隔壁7のダミーチャンネルD側の側面に形成した駆動電極9の両方の電極に接続する。即ち、各吐出チャンネルCに、第一端子電極10aは吐出チャンネルCの端部から後方端REの手前まで延在し、第二端子電極10bはその吐出チャンネルCの両隣りに位置するダミーチャンネルDの両端部から第一端子電極10aをコの字状に取り囲む形状を有している。そして、フレキシブル基板3が後方端RE近傍の表面15に接合している。   The terminal electrode 10 includes a first terminal electrode 10a and a second terminal electrode 10b. The first terminal electrode 10a is connected to two drive electrodes 9 formed on the side surface on the discharge channel side of the two partition walls 7 constituting the discharge channel C. The second terminal electrode 10b includes a drive electrode 9 formed on the side surface on the dummy channel D side of one partition wall 7 constituting the discharge channel C and a drive electrode 9 formed on the side surface on the dummy channel D side of the other partition wall 7. Connect to both electrodes. That is, in each discharge channel C, the first terminal electrode 10a extends from the end of the discharge channel C to the front of the rear end RE, and the second terminal electrode 10b is a dummy channel D positioned on both sides of the discharge channel C. The first terminal electrode 10a is surrounded by a U-shape from both ends. The flexible substrate 3 is bonded to the surface 15 near the rear end RE.

図2を用いて回路構成を説明する。吐出チャンネルC1〜C4とダミーチャンネルD1〜D5は交互に配列している。例えば、吐出チャンネルC1は隣接するダミーチャンネルD1とD2から挟まれ、それらの間に隔壁71及び隔壁72が介在する。第一端子電極10aは、隔壁71と隔壁72により構成される吐出チャンネルC1の吐出チャンネルC1側の側面に形成した2つの駆動電極9に接続し、第二端子電極10bは、隔壁71のダミーチャンネルD1側の側面に形成した駆動電極9と隔壁72のダミーチャンネルD2側の側面に形成した駆動電極9に接続している。   The circuit configuration will be described with reference to FIG. The discharge channels C1 to C4 and the dummy channels D1 to D5 are alternately arranged. For example, the discharge channel C1 is sandwiched between adjacent dummy channels D1 and D2, and a partition wall 71 and a partition wall 72 are interposed therebetween. The first terminal electrode 10 a is connected to two drive electrodes 9 formed on the side surface on the discharge channel C 1 side of the discharge channel C 1 constituted by the partition wall 71 and the partition wall 72, and the second terminal electrode 10 b is a dummy channel of the partition wall 71. The drive electrode 9 formed on the side surface on the D1 side and the drive electrode 9 formed on the side surface on the dummy channel D2 side of the partition wall 72 are connected.

フレキシブル基板3は共通配線電極11aと複数の個別配線電極11bを備えている。共通配線電極11aは、第一接続点16aを介して吐出チャンネルC1に対応する第一端子電極10aに電気的に接続し、GNDに接続する。他の吐出チャンネルC2〜C4に対応する他の第一端子電極10aも同様に他の第一接続点16aを介して配線電極11aに接続している。個別配線電極11bは、各吐出チャンネルC1〜C4に対応する第二接続点16bを介して第二端子電極10bに電気的に接続する。   The flexible substrate 3 includes a common wiring electrode 11a and a plurality of individual wiring electrodes 11b. The common wiring electrode 11a is electrically connected to the first terminal electrode 10a corresponding to the ejection channel C1 through the first connection point 16a, and is connected to GND. Other first terminal electrodes 10a corresponding to the other discharge channels C2 to C4 are similarly connected to the wiring electrode 11a via other first connection points 16a. The individual wiring electrode 11b is electrically connected to the second terminal electrode 10b via the second connection point 16b corresponding to each of the discharge channels C1 to C4.

例えば吐出チャンネルC1を駆動する場合は、端子Taに駆動信号を与える。すると、隔壁71と隔壁72にはその上半分の厚さ方向に電界が印加されて厚み滑り歪みが発生し、隔壁71と隔壁72はその略1/2の高さを屈曲点とし“く”の字状に変形する。これにより、吐出チャンネルC1の容積が変化し、その内部に充填された液体がノズル14から吐出される。他の吐出チャンネルC2〜C4を駆動する場合も、端子Tb〜Tdを介し、駆動信号をダミーチャンネルD2〜D5側の駆動電極9に与える。吐出チャンネルC1〜C4側の駆動電極9をGNDレベルとしたので、導電性の液体を使用しても液体を介して駆動信号が漏れ出すことがない。   For example, when driving the ejection channel C1, a drive signal is given to the terminal Ta. Then, an electric field is applied to the partition wall 71 and the partition wall 72 in the upper half of the thickness direction to generate a thickness-slip distortion, and the partition wall 71 and the partition wall 72 have a substantially half height as a bending point. It transforms into a letter shape. As a result, the volume of the discharge channel C1 changes, and the liquid filled therein is discharged from the nozzle 14. When driving the other ejection channels C2 to C4, a drive signal is applied to the drive electrodes 9 on the dummy channels D2 to D5 side via the terminals Tb to Td. Since the drive electrode 9 on the discharge channels C1 to C4 side is set to the GND level, the drive signal does not leak through the liquid even when a conductive liquid is used.

図3を用いてアクチュエータ基板2上の第一及び第二端子電極10a、10bとフレキシブル基板3上の共通配線電極11a及び個別配線電極11bのレイアウトを説明する。図3において、アクチュエータ基板2上の端子電極10を破線で、フレキシブル基板3上の配線電極11を実線で表している。   The layout of the first and second terminal electrodes 10a and 10b on the actuator substrate 2 and the common wiring electrode 11a and the individual wiring electrode 11b on the flexible substrate 3 will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the terminal electrode 10 on the actuator substrate 2 is represented by a broken line, and the wiring electrode 11 on the flexible substrate 3 is represented by a solid line.

第一端子電極10aと第二端子電極10bをアクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面15に形成した。第一端子電極10aは吐出チャンネルC1の両側面に形成した駆動電極9に電気的に接続し、第二端子電極10bはその両側のダミーチャンネルD1、D2の吐出チャンネルC1側の側面に形成した2つの駆動電極9に電気的に接続する。表面15上において、第二端子電極10bは第一端子電極10aをコの字状に取り囲む形状を有している。   The first terminal electrode 10 a and the second terminal electrode 10 b were formed on the surface 15 near the rear end RE of the actuator substrate 2. The first terminal electrode 10a is electrically connected to the drive electrode 9 formed on both side surfaces of the discharge channel C1, and the second terminal electrode 10b is formed on the side surface of the dummy channels D1 and D2 on both sides of the discharge channel C1 side. The two drive electrodes 9 are electrically connected. On the surface 15, the second terminal electrode 10b has a shape surrounding the first terminal electrode 10a in a U-shape.

共通配線電極11aと個別配線電極11bをフレキシブル基板3のアクチュエータ基板2側の表面に形成した。共通配線電極11aはフレキシブル基板3の外周に沿って個別配線電極11bを取り囲むように配置した。共通配線電極11aは、吐出チャンネルC1に対応する第一端子電極10aと第一接続点16aにおいて電気的に接続する。他の吐出チャンネルに対応する第一端子電極も同様に他の第一接続点において共通配線電極11aに共通に接続する。個別配線電極11bは、吐出チャンネルC1に対応する第二端子電極10bと第二接続点16bにおいて電気的に接続した。他の吐出チャンネルに対応する第二端子電極も同様に他の第二接続点において電気的に接続している。第一接続点16aは第二接続点16bよりも前方端FE側に位置する。   The common wiring electrode 11a and the individual wiring electrode 11b were formed on the surface of the flexible substrate 3 on the actuator substrate 2 side. The common wiring electrode 11a is disposed along the outer periphery of the flexible substrate 3 so as to surround the individual wiring electrode 11b. The common wiring electrode 11a is electrically connected to the first terminal electrode 10a corresponding to the ejection channel C1 at the first connection point 16a. Similarly, the first terminal electrodes corresponding to the other discharge channels are connected in common to the common wiring electrode 11a at other first connection points. The individual wiring electrode 11b was electrically connected to the second terminal electrode 10b corresponding to the ejection channel C1 at the second connection point 16b. Similarly, the second terminal electrodes corresponding to the other discharge channels are electrically connected at other second connection points. The first connection point 16a is located closer to the front end FE than the second connection point 16b.

この電極構成により、アクチュエータ基板2上の端子電極数に対し、フレキシブル基板3上の配線電極数を概ね1/2に低減できるので、フレキシブル基板上の配線電極を容易に形成することができる。また、各チャンネルが配列する配列方向、即ち溝6と直交する方向の接続点16のピッチが拡大し、第一及び第二端子電極10a、11bと共通配線電極11a及び個別配線電極11bとを接続する接続工程が容易となる。また、共通配線電極11aをフレキシブル基板3の外周に個別配線電極11bを囲むように設置した。そのため吐出チャンネルCの数が増加し、個別配線電極11bの配線密度が高くなった場合であっても、共通配線電極11aの電極幅を個別配線電極11bの配線ピッチに影響を受けることなく自由に設定できる。そのために共通配線電極11aの抵抗による電圧降下を抑制することができる。   With this electrode configuration, the number of wiring electrodes on the flexible substrate 3 can be reduced to approximately ½ of the number of terminal electrodes on the actuator substrate 2, so that the wiring electrodes on the flexible substrate can be easily formed. Further, the pitch of the connection points 16 in the arrangement direction in which the channels are arranged, that is, the direction orthogonal to the grooves 6 is increased, and the first and second terminal electrodes 10a and 11b are connected to the common wiring electrode 11a and the individual wiring electrode 11b. The connecting process is easy. In addition, the common wiring electrode 11a was installed on the outer periphery of the flexible substrate 3 so as to surround the individual wiring electrode 11b. Therefore, even when the number of ejection channels C is increased and the wiring density of the individual wiring electrodes 11b is increased, the electrode width of the common wiring electrode 11a is freely affected without being affected by the wiring pitch of the individual wiring electrodes 11b. Can be set. Therefore, a voltage drop due to the resistance of the common wiring electrode 11a can be suppressed.

第二接続点16bの設置位置は、第一接続点16aよりも後方端RE側であって第二端子電極10b上であればよい。ここで第二端子電極10bのチャンネル方向と直交する方向の長さは、1つの溝6の幅と2つの隔壁7の厚さの合計となる。従って、第二端子電極10bに対する個別配線電極11bの位置合わせ精度が緩和され、接続不良の発生も低減し接続工程も容易となる。また、図3に示すように、第一接続点16aと第二接続点16bとを吐出チャンネルCの長手方向に沿って対向設置すれば隣接する吐出チャンネル間の配線電極や接続点16の間隔が広がり、実装工程が容易となる。また、配線電極11の高密度化に好適である。   The installation position of the second connection point 16b may be on the rear end RE side with respect to the first connection point 16a and on the second terminal electrode 10b. Here, the length of the second terminal electrode 10b in the direction orthogonal to the channel direction is the sum of the width of one groove 6 and the thickness of two partition walls 7. Therefore, the alignment accuracy of the individual wiring electrode 11b with respect to the second terminal electrode 10b is relaxed, the occurrence of connection failure is reduced, and the connection process is facilitated. In addition, as shown in FIG. 3, if the first connection point 16a and the second connection point 16b are installed facing each other along the longitudinal direction of the discharge channel C, the distance between the wiring electrodes and the connection points 16 between the adjacent discharge channels is increased. Spreads and facilitates the mounting process. Moreover, it is suitable for increasing the density of the wiring electrode 11.

なお、フレキシブル基板3上の共通配線電極11aをフレキシブル基板3の外周に沿って形成したがこれに限定されない。例えば共通配線電極11aを2つの個別配線電極11bの間に設置してもよいし、片方の外周側のみに形成してもよい。また、配線電極11をフレキシブル基板3上のアクチュエータ基板2側に形成したがこれに限定されない。例えば、共通配線電極11をフレキシブル基板3のアクチュエータ基板2側とは反対側の表面に形成し、第一接続点16aにおいてフレキシブル基板3を貫通する貫通電極を介して共通配線電極11aと第一端子電極10aと電気的に接続する。これにより、共通配線電極11aと第二端子電極10bとが交差する交差部にフレキシブル基板3が介在して短絡防止が容易となる。また、フレキシブル基板3を個別配線電極用と共通配線電極用に分割することができる。このようにすれば、共通配線電極を個別配線電極の周囲に設置する必要が無くなり、フレキシブル基板3の外形を小さく全体をコンパクトに形成することができる。   In addition, although the common wiring electrode 11a on the flexible substrate 3 was formed along the outer periphery of the flexible substrate 3, it is not limited to this. For example, the common wiring electrode 11a may be provided between the two individual wiring electrodes 11b, or may be formed only on one outer peripheral side. Moreover, although the wiring electrode 11 is formed on the actuator substrate 2 side on the flexible substrate 3, it is not limited to this. For example, the common wiring electrode 11 is formed on the surface of the flexible substrate 3 on the side opposite to the actuator substrate 2 side, and the common wiring electrode 11a and the first terminal are connected through the through electrode penetrating the flexible substrate 3 at the first connection point 16a. It is electrically connected to the electrode 10a. As a result, the flexible substrate 3 is interposed at the intersection where the common wiring electrode 11a and the second terminal electrode 10b intersect to facilitate prevention of a short circuit. Moreover, the flexible substrate 3 can be divided into individual wiring electrodes and common wiring electrodes. In this way, there is no need to install the common wiring electrode around the individual wiring electrode, and the outer shape of the flexible substrate 3 can be made small and the whole can be made compact.

また、アクチュエータ基板2としてPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)セラミックスを用い、隔壁7は基板表面の法線方向に分極処理を施した。隔壁7をシェブロンタイプの構造としても、或いは隔壁7の高さの略1/2の上半分又は下半分に電極を形成してもよい。カバープレート4はアクチュエータ基板2と同じ材料を使用し、ノズルプレート5はポリイミドフィルムを用いた。ただし本発明はこれらの材料に限定されず、他の材料を用いることができうることは言うまでもない。   The actuator substrate 2 was made of PZT (lead zirconate titanate) ceramics, and the partition walls 7 were polarized in the normal direction of the substrate surface. The partition wall 7 may have a chevron type structure, or an electrode may be formed on the upper half or the lower half of the half of the height of the partition wall 7. The cover plate 4 was made of the same material as the actuator substrate 2, and the nozzle plate 5 was made of a polyimide film. However, the present invention is not limited to these materials, and it goes without saying that other materials can be used.

ここで言うシェブロンタイプとは、アクチュエータ基板に特徴があり、アクチュエータ基板の構成は図2に示す構成と異なり、その他の部分は図2に示す構成と同様である。即ち、アクチュエータ基板の素材にPZTセラミックスを用いる点は前述した構成と同様だが、各隔壁は基板表面の法線方向に対向するように分極処理を施した2層のPZTセラミックスから構成されている。具体的に、2層のPZTセラミックスは分極方向が相反する方向になるように積層されており、その隔壁の側面に上下にわたって駆動電極が形成されている。これにより、駆動電圧を印加することによって、側壁の上下にわたって駆動することができる。   The chevron type mentioned here is characterized by an actuator substrate. The configuration of the actuator substrate is different from the configuration shown in FIG. 2, and the other parts are the same as the configuration shown in FIG. That is, the point that PZT ceramics is used as the material for the actuator substrate is the same as that described above, but each partition wall is made of two layers of PZT ceramics that are polarized so as to face the normal direction of the substrate surface. Specifically, two layers of PZT ceramics are laminated so that the directions of polarization are opposite to each other, and drive electrodes are formed on the side surfaces of the partition walls in the vertical direction. Thereby, it can drive across the side wall by applying a drive voltage.

(第二実施形態)
図4は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の上面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、アクチュエータ基板2上に形成した第二端子電極10bとフレキシブル基板3のアクチュエータ基板2側の表面に形成した共通配線電極11aとの間に絶縁層を形成した点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、主に異なる部分について説明する。
(Second embodiment)
FIG. 4 is a schematic top view of the liquid jet head 1 according to the second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that an insulating layer is formed between the second terminal electrode 10b formed on the actuator substrate 2 and the common wiring electrode 11a formed on the surface of the flexible substrate 3 on the actuator substrate 2 side. There are other configurations similar to those of the first embodiment. Therefore, different parts will be mainly described below.

アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面15に第一及び第二端子電極10a、10bを形成し、第二端子電極10bは第一端子電極10aを囲むように配置している。フレキシブル基板3のアクチュエータ基板2側の表面に共通配線電極11aと個別配線電極11bを形成し、共通配線電極11aは個別配線電極11bを囲むようにフレキシブル基板3の周辺に形成した。共通配線電極11aは吐出チャンネルC1に対応する第一端子電極10aと第一接続点16aにおいて図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続している。他の吐出チャンネルに対応する他の第一端子電極も同様に共通配線電極11aに接続している。個別配線電極11bは、吐出チャンネルC1に対応する第二端子電極10bと第一接続点16aよりも後方端RE側の第二接続点16bにおいて図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続している。   First and second terminal electrodes 10a and 10b are formed on the surface 15 near the rear end RE of the actuator substrate 2, and the second terminal electrode 10b is disposed so as to surround the first terminal electrode 10a. The common wiring electrode 11a and the individual wiring electrode 11b were formed on the surface of the flexible substrate 3 on the actuator substrate 2 side, and the common wiring electrode 11a was formed around the flexible substrate 3 so as to surround the individual wiring electrode 11b. The common wiring electrode 11a is electrically connected to the first terminal electrode 10a corresponding to the ejection channel C1 through an anisotropic conductive film (not shown) at the first connection point 16a. Other first terminal electrodes corresponding to other ejection channels are similarly connected to the common wiring electrode 11a. The individual wiring electrode 11b is electrically connected to the second terminal electrode 10b corresponding to the ejection channel C1 through an anisotropic conductive film (not shown) at the second connection point 16b on the rear end RE side with respect to the first connection point 16a. doing.

この構成では、共通配線電極11aと第二端子電極10bとは平面視必ず交差する。そこで、共通配線電極11aと各吐出チャンネルに対応する第二端子電極10bとの交差部に絶縁層17を介在して、共通配線電極11aと第二端子電極10bとの短絡を防止した。   In this configuration, the common wiring electrode 11a and the second terminal electrode 10b always intersect each other in plan view. Therefore, an insulating layer 17 is interposed at the intersection of the common wiring electrode 11a and the second terminal electrode 10b corresponding to each discharge channel to prevent a short circuit between the common wiring electrode 11a and the second terminal electrode 10b.

絶縁層17として絶縁性フィルムを用い、各交差部のフレキシブル基板3側に貼り付けてもよいし、アクチュエータ基板2側に貼り付けてもよい。また、絶縁層17として、交差部の第二端子電極10bの表面を覆うように絶縁膜を形成してもよいし、交差部の共通配線電極11aを覆うように絶縁膜を形成してもよい。   An insulating film may be used as the insulating layer 17 and may be affixed to the flexible substrate 3 side of each intersection or may be affixed to the actuator substrate 2 side. Further, as the insulating layer 17, an insulating film may be formed so as to cover the surface of the second terminal electrode 10b at the intersection, or an insulating film may be formed so as to cover the common wiring electrode 11a at the intersection. .

(第三実施形態)
図5は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の上面模式図であり、図6は部分YYの断面模式図である。図7は、第三実施形態の変形例を表す断面模式図である。第二実施形態と異なる主な部分は、共通配線電極11aと第一端子電極10aとを接続する第一接続点16aよりも前方端FE側の共通配線電極11aに絶縁フィルムからなる絶縁層17aを覆うように形成して、第二端子電極10bと共通配線電極11aの間の短絡を防止した点である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
(Third embodiment)
FIG. 5 is a schematic top view of the liquid jet head 1 according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a portion YY. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view illustrating a modification of the third embodiment. The main part different from the second embodiment is that an insulating layer 17a made of an insulating film is provided on the common wiring electrode 11a on the front end FE side of the first connection point 16a connecting the common wiring electrode 11a and the first terminal electrode 10a. It is the point which formed so that it might cover and the short circuit between the 2nd terminal electrode 10b and the common wiring electrode 11a was prevented. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図5及び図6を参照して液体噴射ヘッド1の構成を説明する。液体噴射ヘッド1は、圧電体材料から形成し、表面15に吐出チャンネルC1〜CnとダミーチャンネルD1〜Dn+1が交互に配列するアクチュエータ基板2と、その表面15に接合し、液体供給室12と吐出チャンネルC1〜Cnに液体を供給するためのスリット13を有するカバープレート4と、吐出チャンネルC1〜Cnに連通するノズル14を備え、アクチュエータ基板2及びカバープレート4の前方端FEに接合するノズルプレート5と、アクチュエータ基板2、フレキシブル基板3及びカバープレート4を固定するための枠体18と、アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面15に接合し、アクチュエータ基板2に駆動信号を供給するためのフレキシブル基板3と、駆動IC20を搭載し、フレキシブル基板3に駆動信号を供給する回路基板19を備えている。   The configuration of the liquid jet head 1 will be described with reference to FIGS. 5 and 6. The liquid ejecting head 1 is formed of a piezoelectric material, and is joined to the surface 15 of the actuator substrate 2 in which the ejection channels C1 to Cn and the dummy channels D1 to Dn + 1 are alternately arranged on the surface 15, and ejected from the liquid supply chamber 12 A nozzle plate 5 having a cover plate 4 having a slit 13 for supplying liquid to the channels C1 to Cn and a nozzle 14 communicating with the discharge channels C1 to Cn and joined to the actuator substrate 2 and the front end FE of the cover plate 4 And a frame 18 for fixing the actuator substrate 2, the flexible substrate 3 and the cover plate 4, and a flexible member for joining the surface 15 near the rear end RE of the actuator substrate 2 and supplying a drive signal to the actuator substrate 2. The board 3 and the drive IC 20 are mounted, and the drive signal is sent to the flexible board 3. And a circuit board 19 for supplying.

回路基板19は、その表面に駆動IC20を搭載し、フレキシブル基板3のアクチュエータ基板2とは反対側の端部に接合している。回路基板19はその表面に図示しない配線を有し、各配線の一方端が駆動IC20に、他方端がフレキシブル基板3の共通配線電極11a及び個別配線電極11bに電気的に接続している。つまり、駆動IC20で生成した駆動信号は、フレキシブル基板3上の配線電極11を介してアクチュエータ基板2上の端子電極10に伝達し、各チャンネルの駆動電極9に供給される。なお、アクチュエータ基板2、カバープレート4及びノズルプレート5の構成や、端子電極10及び配線電極11のレイアウトは第一実施形態又は第二実施形態と同様なので、詳細な説明は省略する。   The circuit board 19 has a driving IC 20 mounted on the surface thereof, and is joined to the end of the flexible board 3 opposite to the actuator board 2. The circuit board 19 has wiring (not shown) on its surface, and one end of each wiring is electrically connected to the drive IC 20 and the other end is electrically connected to the common wiring electrode 11 a and the individual wiring electrode 11 b of the flexible substrate 3. That is, the drive signal generated by the drive IC 20 is transmitted to the terminal electrode 10 on the actuator substrate 2 via the wiring electrode 11 on the flexible substrate 3 and supplied to the drive electrode 9 of each channel. The configuration of the actuator substrate 2, the cover plate 4, and the nozzle plate 5, and the layout of the terminal electrodes 10 and the wiring electrodes 11 are the same as those in the first embodiment or the second embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.

共通配線電極11aは、吐出チャンネルC1に対応する第一端子電極10aと第一接続点16aにおいて図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続し、他の吐出チャンネルに対応する第一端子電極も同様に共通配線電極11aに接続している。個別配線電極11bは、吐出チャンネルC1に対応する第二端子電極10bと第二接続点16bにおいて図示しない異方性導電膜を介して電気的に接続し、他の吐出チャンネルに対応する第二端子電極も同様の構成を有する。各個別配線電極11bは互いに電気的に独立している。   The common wiring electrode 11a is electrically connected to the first terminal electrode 10a corresponding to the ejection channel C1 through an anisotropic conductive film (not shown) at the first connection point 16a, and the first terminal corresponding to the other ejection channel. Similarly, the electrodes are connected to the common wiring electrode 11a. The individual wiring electrode 11b is electrically connected to the second terminal electrode 10b corresponding to the discharge channel C1 through an anisotropic conductive film (not shown) at the second connection point 16b, and the second terminal corresponding to another discharge channel. The electrode has the same configuration. Each individual wiring electrode 11b is electrically independent from each other.

第一接続点16aは、第二接続点16bよりも前方端FE側に位置する。そして、この第一接続点16aよりも前方端FE側の共通配線電極11aにその表面を覆うようにカバー層からなる絶縁層17aを設置した。また、アクチュエータ基板2と回路基板19の間のフレキシブル基板3の表面に絶縁層17bを形成して配線電極11の表面を保護するようにした。第二端子電極10bと共通配線電極11aとの間にカバー層からなる絶縁層17aを設置したので、フレキシブル基板3の前方端FE側端部が上方から押圧された場合でも、第二端子電極10bと共通配線電極11aの短絡を防止することができる。   The first connection point 16a is located closer to the front end FE than the second connection point 16b. Then, an insulating layer 17a made of a cover layer was provided on the common wiring electrode 11a closer to the front end FE than the first connection point 16a so as to cover the surface. In addition, an insulating layer 17 b is formed on the surface of the flexible substrate 3 between the actuator substrate 2 and the circuit substrate 19 to protect the surface of the wiring electrode 11. Since the insulating layer 17a made of a cover layer is installed between the second terminal electrode 10b and the common wiring electrode 11a, even when the front end FE side end of the flexible substrate 3 is pressed from above, the second terminal electrode 10b And the short circuit of the common wiring electrode 11a can be prevented.

図7は、上記第三実施形態における回路基板19を除去し、フレキシブル基板3上に駆動IC20を設置した。このように構成すれば、部品点数を減らし、組立工程も短くすることができる。その他の構成は第三実施形態と同様なので、説明を省略する。   In FIG. 7, the circuit board 19 in the third embodiment is removed, and the driving IC 20 is installed on the flexible board 3. If comprised in this way, a number of parts can be reduced and an assembly process can also be shortened. Since other configurations are the same as those of the third embodiment, description thereof is omitted.

(第四実施形態)
図8は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1のアクチュエータ基板2及びフレキシブル基板3の上面模式図を表す。第一実施形態と異なる部分は、ダミーチャンネルDを構成する溝6をアクチュエータ基板2の前方端FEから後方端REに亘って形成した点である。従って、以下主に異なる部分について説明する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。
(Fourth embodiment)
FIG. 8 is a schematic top view of the actuator substrate 2 and the flexible substrate 3 of the liquid jet head 1 according to the fourth embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that the groove 6 constituting the dummy channel D is formed from the front end FE to the rear end RE of the actuator substrate 2. Therefore, different parts will be mainly described below. The same reference numerals are assigned to the same parts or parts having the same function.

図8に示すように、ダミーチャンネルD1〜Dn+1を構成する溝6はアクチュエータ基板2の前方端FEから後方端REまで形成し、吐出チャンネルC1〜Cnを構成する溝6は前方端FEから後方端RE近傍の手前の領域まで形成している。そして、アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面15に、第一及び第二端子電極10a、10bを形成した。第一端子電極10aは吐出チャンネルC1の両側面に形成した駆動電極9に接続し、後方端REの近傍まで延在する。第二端子電極10bは、ダミーチャンネルD1の吐出チャンネルC1側の側面に形成した駆動電極9と、ダミーチャンネルD2の吐出チャンネルC1側の側面に形成した駆動電極9と電気的に接続し、第一端子電極10aと後方端REとの間に形成した。   As shown in FIG. 8, the grooves 6 constituting the dummy channels D1 to Dn + 1 are formed from the front end FE to the rear end RE of the actuator substrate 2, and the grooves 6 constituting the discharge channels C1 to Cn are formed from the front end FE to the rear end. The region up to the near region near the RE is formed. Then, the first and second terminal electrodes 10 a and 10 b were formed on the surface 15 near the rear end RE of the actuator substrate 2. The first terminal electrode 10a is connected to the drive electrodes 9 formed on both side surfaces of the discharge channel C1, and extends to the vicinity of the rear end RE. The second terminal electrode 10b is electrically connected to the drive electrode 9 formed on the side surface of the dummy channel D1 on the discharge channel C1 side and the drive electrode 9 formed on the side surface of the dummy channel D2 on the discharge channel C1 side. It was formed between the terminal electrode 10a and the rear end RE.

そして、フレキシブル基板3の共通配線電極11aとアクチュエータ基板2の第一端子電極10aとは第一接続点16aにおいて電気的に接続している。他の吐出チャンネルの第一端子電極10aも同様に共通配線電極11aに電気的に接続する。フレキシブル基板3の個別配線電極11bとアクチュエータ基板2の第二端子電極10bとは第二接続点16bにおいて電気的に接続し、他の吐出チャンネルCにおいても同様の配線構造を有している。   The common wiring electrode 11a of the flexible substrate 3 and the first terminal electrode 10a of the actuator substrate 2 are electrically connected at the first connection point 16a. Similarly, the first terminal electrodes 10a of the other discharge channels are also electrically connected to the common wiring electrode 11a. The individual wiring electrode 11b of the flexible substrate 3 and the second terminal electrode 10b of the actuator substrate 2 are electrically connected at the second connection point 16b, and the other discharge channels C have the same wiring structure.

また、共通配線電極11aとダミーチャンネルDの側面に形成した駆動電極9との間に絶縁層17を介在させた。これにより、共通配線電極11aとダミーチャンネルDの側面に形成した駆動電極9とが短絡することを防止する。なお、短絡防止用の絶縁層17は共通配線電極11aの上面に設置してもよいし、電極交差部のアクチュエータ基板2側に設置してもよい。また、交差部分のみではなく、第三実施形態で説明したように、第一接続点16aより前方端FE側の共通配線電極11aの全表面を覆うように設置してもよい。   In addition, an insulating layer 17 is interposed between the common wiring electrode 11a and the drive electrode 9 formed on the side surface of the dummy channel D. This prevents a short circuit between the common wiring electrode 11a and the drive electrode 9 formed on the side surface of the dummy channel D. The insulating layer 17 for preventing a short circuit may be installed on the upper surface of the common wiring electrode 11a, or may be installed on the actuator substrate 2 side of the electrode intersection. Moreover, you may install not only an intersection part but the whole surface of the common wiring electrode 11a of the front end FE side from the 1st connection point 16a so that it may be demonstrated as 3rd embodiment demonstrated.

(第五実施形態)
図9は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置30の模式的な斜視図である。
液体噴射装置30は、上記本発明に係る液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構43と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する液体供給管33、33’と、液体供給管33、33’に液体を供給する液体タンク31、31’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は本発明に係る液体噴射ヘッド1から構成される。即ち、表面に並列する複数の溝と、隣接する溝を離隔する隔壁を有するアクチュエータ基板と、溝を覆い、アクチュエータ基板の表面に接合するカバープレートと、溝に連通するノズルを有し、アクチュエータ基板の端面に接合するノズルプレートと、を備えている。このアクチュエータ基板は、液滴吐出用の吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが交互に配列している。そして、アクチュエータ基板2の後方端RE近傍の表面には、吐出チャンネルの側面に形成した駆動電極に接続する第一端子電極とダミーチャンネルの当該吐出チャンネル側の側面に形成した駆動電極に接続する第二端子電極が設置されている。第一端子電極は第二端子電極よりも前方端側に位置している。フレキシブル基板には、第一接続点を介して第一端子電極に電気的に接続する共通配線電極と、第二接続点を介して第二端子電極に電気的に接続する個別配線電極が設置されている。
(Fifth embodiment)
FIG. 9 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus 30 according to the fifth embodiment of the present invention.
The liquid ejecting apparatus 30 includes a moving mechanism 43 that reciprocates the liquid ejecting heads 1 and 1 ′ according to the present invention, liquid supply pipes 33 and 33 ′ that supply liquid to the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, and a liquid supply. Liquid tanks 31 and 31 ′ for supplying liquid to the pipes 33 and 33 ′ are provided. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ is composed of the liquid ejecting head 1 according to the present invention. That is, an actuator substrate having a plurality of grooves arranged in parallel to the surface, a partition wall separating the adjacent grooves, a cover plate covering the grooves and joined to the surface of the actuator substrate, and a nozzle communicating with the grooves, A nozzle plate that is joined to the end face. In this actuator substrate, discharge channels for discharging droplets and dummy channels that do not discharge droplets are alternately arranged. The surface of the actuator substrate 2 near the rear end RE is connected to the first terminal electrode connected to the drive electrode formed on the side surface of the discharge channel and the drive electrode formed on the side surface of the dummy channel on the discharge channel side. A two-terminal electrode is installed. The 1st terminal electrode is located in the front end side rather than the 2nd terminal electrode. The flexible substrate is provided with a common wiring electrode that is electrically connected to the first terminal electrode via the first connection point and an individual wiring electrode that is electrically connected to the second terminal electrode via the second connection point. ing.

具体的に説明する。液体噴射装置30は、紙等の被記録媒体34を主走査方向に搬送する一対の搬送手段41、42と、被記録媒体34に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体タンク31、31’に貯留した液体を液体供給管33、33’に押圧して供給するポンプ32、32’と、液体噴射ヘッド1を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構43等を備えている。   This will be specifically described. The liquid ejecting apparatus 30 includes a pair of conveying units 41 and 42 that convey a recording medium 34 such as paper in the main scanning direction, liquid ejecting heads 1 and 1 ′ that eject liquid to the recording medium 34, and a liquid tank 31. , Pumps 32 and 32 ′ for supplying the liquid stored in 31 ′ to the liquid supply pipes 33 and 33 ′ and a moving mechanism 43 for scanning the liquid jet head 1 in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. I have.

一対の搬送手段41、42は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体34を主走査方向に搬送する。移動機構43は、副走査方向に延びた一対のガイドレール36、37と、一対のガイドレール36、37に沿って摺動可能なキャリッジユニット38と、キャリッジユニット38を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト39と、この無端ベルト39を図示しないプーリを介して周回させるモータ40を備えている。   The pair of conveying means 41 and 42 includes a grid roller and a pinch roller that extend in the sub-scanning direction and rotate while contacting the roller surface. A grid roller and a pinch roller are moved around the axis by a motor (not shown), and the recording medium 34 sandwiched between the rollers is conveyed in the main scanning direction. The moving mechanism 43 connects a pair of guide rails 36 and 37 extending in the sub-scanning direction, a carriage unit 38 slidable along the pair of guide rails 36 and 37, and moves the carriage unit 38 in the sub-scanning direction. An endless belt 39 is provided, and a motor 40 that rotates the endless belt 39 via a pulley (not shown) is provided.

キャリッジユニット38は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク31、31’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ32、32’、液体供給管33、33’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット38を駆動するモータ40の回転及び被記録媒体34の搬送速度を制御することにより、被記録媒体34上に任意のパターンを記録することできる。   The carriage unit 38 mounts a plurality of liquid ejecting heads 1, 1 ′, and ejects, for example, four types of liquid droplets of yellow, magenta, cyan, and black. The liquid tanks 31 and 31 'store liquids of corresponding colors and supply them to the liquid jet heads 1 and 1' via the pumps 32 and 32 'and the liquid supply pipes 33 and 33'. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ ejects droplets of each color according to the drive signal. An arbitrary pattern is recorded on the recording medium 34 by controlling the timing at which liquid is ejected from the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the rotation of the motor 40 that drives the carriage unit 38, and the conveyance speed of the recording medium 34. I can.

この構成により、アクチュエータ基板上の端子電極数に対しフレキシブル基板上の配線電極数が低減し、配線密度を概ね1/2とすることができるので、フレキシブル基板の配線を容易に形成することができ、同時に接続歩留まりも向上させることができる。   With this configuration, the number of wiring electrodes on the flexible substrate can be reduced with respect to the number of terminal electrodes on the actuator substrate, and the wiring density can be halved. Therefore, wiring on the flexible substrate can be easily formed. At the same time, the connection yield can be improved.

1 液体噴射ヘッド
2 アクチュエータ基板
3 フレキシブル基板
4 カバープレート
5 ノズルプレート
6 溝
7 隔壁
9 駆動電極
10 端子電極
11 配線電極
12 液体供給室
13 スリット
14 ノズル
16 接続点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejecting head 2 Actuator substrate 3 Flexible substrate 4 Cover plate 5 Nozzle plate 6 Groove 7 Partition 9 Drive electrode 10 Terminal electrode 11 Wiring electrode 12 Liquid supply chamber 13 Slit 14 Nozzle 16 Connection point

Claims (7)

  1. 基板の前方端から後方端近傍の表面に互いに隔壁により離隔して並列する複数の溝と、前記隔壁の側面に設置した駆動電極と、前記駆動電極に電気的に接続し、後方端近傍の表面に設置した電極端子とを有するアクチュエータ基板と、
    前記アクチュエータ基板の表面に接合し、前記複数の溝の上部開口を塞いで複数のチャンネルを構成するカバープレートと、
    前記アクチュエータ基板の後方端近傍の表面に接合し、前記電極端子に電気的に接続する配線電極を有するフレキシブル基板と、を備え、
    前記複数のチャンネルは、液体を吐出するための吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に配列し、
    前記電極端子は、前記吐出チャンネルを構成する2つの隔壁の側面のうち、当該吐出チャンネル側の側面に設置した2つの駆動電極に電気的に接続する第一電極端子と、前記吐出チャンネルの一方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極と他方の隔壁のダミーチャンネル側の側面に設置した駆動電極に電気的に接続する第二電極端子を含み、
    前記配線電極は、前記吐出チャンネルに対応する第一電極端子と他の吐出チャンネルに対応する他の第一電極端子を電気的に接続する共通配線電極と、各吐出チャンネルに対応する第二電極端子のそれぞれに個別に電気的に接続する複数の個別配線電極を有する液体噴射ヘッド。
    A plurality of grooves that are parallel to each other and separated from each other by a partition wall on a surface near the rear end from the front end of the substrate, a drive electrode installed on a side surface of the partition, and a surface near the rear end that is electrically connected to the drive electrode An actuator substrate having an electrode terminal installed in
    A cover plate that is bonded to the surface of the actuator substrate and closes upper openings of the plurality of grooves to form a plurality of channels;
    A flexible substrate having a wiring electrode bonded to the surface near the rear end of the actuator substrate and electrically connected to the electrode terminal;
    In the plurality of channels, discharge channels for discharging liquid and dummy channels that do not discharge liquid are alternately arranged,
    The electrode terminal includes a first electrode terminal electrically connected to two drive electrodes provided on a side surface on the discharge channel side of two partition walls constituting the discharge channel, and one of the discharge channels. Including a second electrode terminal electrically connected to the drive electrode installed on the side surface of the partition wall on the dummy channel side and the drive electrode installed on the side surface of the other partition wall on the dummy channel side;
    The wiring electrode includes a common wiring electrode that electrically connects a first electrode terminal corresponding to the discharge channel and another first electrode terminal corresponding to another discharge channel, and a second electrode terminal corresponding to each discharge channel. A liquid jet head having a plurality of individual wiring electrodes that are electrically connected to each of the plurality of individual wiring electrodes.
  2. 前記各吐出チャンネルにおいて、前記第一電極端子と前記共通配線電極を電気的に接続する第一接続点は、前記第二電極端子と前記個別配線電極を電気的に接続する第二接続点よりも前方端側に位置する請求項1に記載の液体噴射ヘッド。   In each discharge channel, the first connection point that electrically connects the first electrode terminal and the common wiring electrode is more than the second connection point that electrically connects the second electrode terminal and the individual wiring electrode. The liquid ejecting head according to claim 1, which is located on a front end side.
  3. 前記第一接続点と第二接続点は吐出チャンネルの長手方向に沿って対向している請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the first connection point and the second connection point face each other along a longitudinal direction of the discharge channel.
  4. 前記共通配線電極は、前記フレキシブル基板上において前記個別配線電極よりも外周側に位置する請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the common wiring electrode is positioned on an outer peripheral side of the individual wiring electrode on the flexible substrate.
  5. 前記共通配線電極と前記第二電極端子とが交差する交差部に、短絡防止用の絶縁膜が介在する請求項1〜4のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein an insulating film for preventing a short circuit is interposed at an intersecting portion where the common wiring electrode and the second electrode terminal intersect.
  6. 前記吐出チャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端側の前記電極端子が設置される手前の位置まで延在し、前記ダミーチャンネルを構成する溝は、前記アクチュエータ基板の前方端から後方端に亘って延在する請求項1〜5のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。   The groove constituting the discharge channel extends from the front end of the actuator substrate to a position before the electrode terminal on the rear end side is installed, and the groove constituting the dummy channel is the front end of the actuator substrate. The liquid jet head according to claim 1, which extends from the rear end to the rear end.
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
    前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
    前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
    The liquid ejecting head according to claim 1,
    A moving mechanism for reciprocating the liquid jet head;
    A liquid supply pipe for supplying a liquid to the liquid ejecting head;
    And a liquid tank that supplies the liquid to the liquid supply pipe.
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