JP2005053072A - 液体移送装置 - Google Patents
液体移送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005053072A JP2005053072A JP2003286084A JP2003286084A JP2005053072A JP 2005053072 A JP2005053072 A JP 2005053072A JP 2003286084 A JP2003286084 A JP 2003286084A JP 2003286084 A JP2003286084 A JP 2003286084A JP 2005053072 A JP2005053072 A JP 2005053072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- insulating sheet
- piezoelectric body
- transfer device
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 172
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 5
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 claims description 4
- 239000011236 particulate material Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
- B41J2002/14225—Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14266—Sheet-like thin film type piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Abstract
【解決手段】 各液室16に亘って絶縁シート21が配置され、その絶縁シート21上に、各液室16毎に対応する個別電極26と、その個別電極26を駆動回路25に接続するための個別電極用配線27とが形成されている。更に、絶縁シート21上に、各液室16に亘って圧電体22、その上に共通電極を兼ねる導電性シート23が形成されている。絶縁シート21上の配線27を介して個別電極26に電圧が印可されると、液室16に対応する圧電体22の部分が変形され、絶縁シート21を介して液体に圧力が付与される。
【選択図】 図3
Description
10 キャビティユニット
14 キャビティプレート(シート状フレーム部材)
16 液室
20 圧電アクチュエータ
21 絶縁シート(絶縁シート体)
22 圧電体
23 導電性シート
25 駆動回路
26 内部電極(電極)
27 内部電極用配線(配線パターンの一部)
28 グランド電極(他の電極)
29 グランド電極用配線(配線パターンの一部)
Claims (12)
- 圧電体に変形のための電界を発生する電極に駆動回路から駆動電圧を供給し、前記圧電体の変形によって液室内の液体に圧力を付与して該液室内部から外部に液体を移送する液体移送装置において、
前記電極と、該電極を前記駆動回路に接続するための配線パターンとを1つの絶縁シート体上に形成したことを特徴とする液体移送装置。 - 前記絶縁シート体上に、前記電極と重ねて前記圧電体を形成し、該圧電体を形成した絶縁シート体の部分から前記配線パターンを形成した絶縁シート体の部分が連続して延びていることを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。
- 前記液室は、一平面上に複数個並列して設けられ、前記絶縁シート体がその各液室にわたって延び、前記圧電体が少なくとも前記液室と対応する位置において前記絶縁シート体上に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液体移送装置。
- 前記圧電体は、前記各液室にわたって連続したシート状に前記絶縁シート体上に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記絶縁シート体は、前記液室と前記圧電体との間に位置し、前記圧電体の変形を前記液室に伝達する振動板を兼ねることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記駆動回路は、前記絶縁シート体上に実装されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記絶縁シート体と反対側の前記圧電体の面には、前記各液室にわたって延び、前記電極と対向する他方の電極を兼ねる導電性シート体が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記絶縁シート体は、前記液室と前記圧電体との間に位置し、前記圧電体は、前記各液室にわたって連続したシート状に前記絶縁シート体上に形成され、前記導電性シート体は、該圧電体の前記絶縁シート体と反対側の面に沿って前記各液室にわたって延びていることを特徴とする請求項7に記載の液体移送装置。
- 前記液室は、シート状フレーム部材に穿設された開口によって形成され、前記絶縁シート体はその開口を覆って前記シート状フレーム部材に積層して固定されていることを特徴とする請求項7または8に記載の液体移送装置。
- 前記圧電体は、該圧電体を構成する超微粒子材料を前記絶縁シート体上に堆積して構成されていることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記電極は、該電極を構成する微粒子材料を前記絶縁シート体又は前記圧電体上に堆積して構成されていることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記導電性シートは、導電性を有する微粒子材料を前記圧電体上に堆積して構成されていることを特徴とする請求項7から9のいずれかに記載の液体移送装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003286084A JP3979360B2 (ja) | 2003-08-04 | 2003-08-04 | 液体移送装置 |
US10/876,531 US7290867B2 (en) | 2003-08-04 | 2004-06-28 | Liquid delivering apparatus |
DE602004010579T DE602004010579T2 (de) | 2003-08-04 | 2004-07-16 | Vorrichtung für die Abgabe von Flüssigkeiten |
EP04016799A EP1504902B1 (en) | 2003-08-04 | 2004-07-16 | Liquid delivering apparatus |
CNB2004100560071A CN100355570C (zh) | 2003-08-04 | 2004-08-04 | 液体输送装置和喷墨记录设备 |
CNU2004200068434U CN2799239Y (zh) | 2003-08-04 | 2004-08-04 | 液体输送装置和喷墨记录设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003286084A JP3979360B2 (ja) | 2003-08-04 | 2003-08-04 | 液体移送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005053072A true JP2005053072A (ja) | 2005-03-03 |
JP3979360B2 JP3979360B2 (ja) | 2007-09-19 |
Family
ID=33549998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003286084A Expired - Fee Related JP3979360B2 (ja) | 2003-08-04 | 2003-08-04 | 液体移送装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7290867B2 (ja) |
EP (1) | EP1504902B1 (ja) |
JP (1) | JP3979360B2 (ja) |
CN (2) | CN2799239Y (ja) |
DE (1) | DE602004010579T2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006347056A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットプリントヘッド |
JP2012257458A (ja) * | 2005-03-22 | 2012-12-27 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3979360B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2007-09-19 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
EP1598191B1 (en) * | 2004-05-19 | 2011-05-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, ink-jet head provided with the same, ink-jet printer and method for manufacturing piezoelectric actuator |
JP2006272909A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
US7467857B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-12-23 | Palo Alto Research Center Incorporated | Micromachined fluid ejectors using piezoelectric actuation |
JP5125120B2 (ja) * | 2007-01-30 | 2013-01-23 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
US7669985B2 (en) * | 2007-04-23 | 2010-03-02 | Xerox Corporation | Jetstack plate to plate alignment |
JP5195205B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2013-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP5195206B2 (ja) | 2008-01-22 | 2013-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
CN101954334B (zh) * | 2009-07-14 | 2013-07-03 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 压电微粒雾化器 |
JP5814764B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | 記録素子基板、記録ヘッド、および記録ヘッドの製造方法 |
CN103619599B (zh) * | 2011-06-29 | 2015-11-25 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 压电喷墨裸片堆叠 |
CN102615975A (zh) * | 2012-03-13 | 2012-08-01 | 新会江裕信息产业有限公司 | 一种打印机字车结构总成 |
CN102615976A (zh) * | 2012-03-13 | 2012-08-01 | 新会江裕信息产业有限公司 | 一种打印机喷头结构 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3378966D1 (en) | 1982-05-28 | 1989-02-23 | Xerox Corp | Pressure pulse droplet ejector and array |
US4502059A (en) * | 1982-08-20 | 1985-02-26 | Xerox Corporation | Electrical interconnection system |
US4516140A (en) | 1983-12-27 | 1985-05-07 | At&T Teletype Corporation | Print head actuator for an ink jet printer |
US5402159A (en) * | 1990-03-26 | 1995-03-28 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ink jet printer using laminated piezoelectric actuator |
US5500988A (en) | 1990-11-20 | 1996-03-26 | Spectra, Inc. | Method of making a perovskite thin-film ink jet transducer |
JP3317308B2 (ja) | 1992-08-26 | 2002-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | 積層型インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
US6601949B1 (en) | 1992-08-26 | 2003-08-05 | Seiko Epson Corporation | Actuator unit for ink jet recording head |
JPH0757545B2 (ja) | 1993-07-19 | 1995-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP3088890B2 (ja) * | 1994-02-04 | 2000-09-18 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型アクチュエータ |
EP0757939B1 (en) * | 1994-03-29 | 1998-09-02 | Citizen Watch Co. Ltd. | Ink jet head and method of manufacturing the same |
US5755909A (en) | 1996-06-26 | 1998-05-26 | Spectra, Inc. | Electroding of ceramic piezoelectric transducers |
JPH10109415A (ja) | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド形成方法 |
JP3381779B2 (ja) * | 1998-09-17 | 2003-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子ユニット、圧電振動子ユニットの製造方法、及びインクジェット式記録ヘッド |
JP4288399B2 (ja) | 2000-03-31 | 2009-07-01 | 富士フイルム株式会社 | マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP3956607B2 (ja) * | 2000-10-26 | 2007-08-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
JP3818065B2 (ja) * | 2001-01-30 | 2006-09-06 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置の駆動装置 |
US6595628B2 (en) | 2001-02-19 | 2003-07-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Laminated piezoelectric element for use as a drive device |
JP4670159B2 (ja) | 2001-02-19 | 2011-04-13 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
US7149090B2 (en) | 2001-09-11 | 2006-12-12 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Structure of flexible printed circuit board |
JP3979360B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2007-09-19 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
JP4218594B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2009-02-04 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
-
2003
- 2003-08-04 JP JP2003286084A patent/JP3979360B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-06-28 US US10/876,531 patent/US7290867B2/en active Active
- 2004-07-16 EP EP04016799A patent/EP1504902B1/en active Active
- 2004-07-16 DE DE602004010579T patent/DE602004010579T2/de active Active
- 2004-08-04 CN CNU2004200068434U patent/CN2799239Y/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-08-04 CN CNB2004100560071A patent/CN100355570C/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012257458A (ja) * | 2005-03-22 | 2012-12-27 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2006347056A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットプリントヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3979360B2 (ja) | 2007-09-19 |
CN100355570C (zh) | 2007-12-19 |
DE602004010579T2 (de) | 2008-11-27 |
CN1579766A (zh) | 2005-02-16 |
EP1504902A1 (en) | 2005-02-09 |
DE602004010579D1 (de) | 2008-01-24 |
US20050030350A1 (en) | 2005-02-10 |
CN2799239Y (zh) | 2006-07-26 |
US7290867B2 (en) | 2007-11-06 |
EP1504902B1 (en) | 2007-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3979360B2 (ja) | 液体移送装置 | |
JP2009196283A (ja) | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置 | |
JP2009119766A (ja) | 液体吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置 | |
US8317303B2 (en) | Liquid-droplet jetting apparatus and method for producing the same | |
JP4404105B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、及び、この圧電アクチュエータを備えた液体噴射装置 | |
US9365039B2 (en) | Liquid jet head, method for manufacturing liquid jet head, and liquid jet apparatus | |
JP2012257458A (ja) | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5700199B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5997219B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
US7703896B2 (en) | Liquid-droplet jetting apparatus and liquid transporting apparatus | |
JP2009178893A (ja) | 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 | |
JP2006306073A (ja) | 液体移送装置、及び、液体移送装置の製造方法 | |
JP4561641B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
US7156493B2 (en) | Droplet ejecting apparatus that contains an actuator plate having a communication hole | |
JP2010208070A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP5223255B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、液滴噴射装置 | |
JP2011212869A (ja) | 圧電アクチュエータ、液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置 | |
JP2004351879A (ja) | 圧電インクジェットヘッド | |
JP4930390B2 (ja) | 液体移送装置 | |
JP2006304588A (ja) | 圧電アクチュエータ、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5134218B2 (ja) | 液滴噴射装置及び液体移送装置 | |
JP2005035016A (ja) | 液体移送装置 | |
JP2015047768A (ja) | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 | |
JP6059394B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP2024047748A (ja) | 液体吐出ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3979360 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100706 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110706 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120706 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120706 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130706 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |