JP2015047768A - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】外部から物理的に保護されているとともに、撥インク性を備えている吐出孔面を有する液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、吐出孔8および加圧室10を備えている流路部材4と、加圧部30を含んでおり、流路部材4は、複数のプレート22〜32を積層して構成されているともに、少なくとも、吐出孔8の開口している金属製のノズルプレート31と、ノズルプレート31の外側に積層されている金属製のガードプレート32とを有しており、ガードプレート32は、吐出孔8と重なる位置に、吐出孔8より大きい貫通孔18を有しており、貫通孔18の中で露出しているノズルプレート31の表面に撥インク膜40が存在し、ガードプレート32の表面に撥インク膜が実質的に存在せず、ノズルプレート31とガードプレート32とは拡散接合により接合されている。
【選択図】図5
【解決手段】液体吐出ヘッドは、吐出孔8および加圧室10を備えている流路部材4と、加圧部30を含んでおり、流路部材4は、複数のプレート22〜32を積層して構成されているともに、少なくとも、吐出孔8の開口している金属製のノズルプレート31と、ノズルプレート31の外側に積層されている金属製のガードプレート32とを有しており、ガードプレート32は、吐出孔8と重なる位置に、吐出孔8より大きい貫通孔18を有しており、貫通孔18の中で露出しているノズルプレート31の表面に撥インク膜40が存在し、ガードプレート32の表面に撥インク膜が実質的に存在せず、ノズルプレート31とガードプレート32とは拡散接合により接合されている。
【選択図】図5
Description
本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。
従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、マニホールド(共通流路)およびマニホールドから複数の加圧室それぞれ介をして繋がる吐出孔を有した平板状の流路部材と、加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータ基板とを積層して構成される(例えば、特許文献1を参照。)。この液体吐出ヘッドでは、流路部材は、各種流路となる孔が開口したプレートを接着接合して成っており、吐出孔が開口している吐出孔面には撥インク膜が形成されている。
特許文献1に記載されているような液体吐出ヘッドでは、吐出孔の形成されている吐出孔面が、液体吐出ヘッドの下面のほぼ全面で露出している。そのため、印刷している際に、印刷用紙が吐出孔面に当たるなどして、吐出孔が変形するなどし、印刷できなくなるなどの問題があった。
吐出孔面を保護するために、吐出孔面の外側に吐出孔が露出するような貫通孔を開けたプレートを積層することが考えられる。しかし、吐出孔面は、安定した吐出ができるように撥インク膜が形成されているため、吐出孔面の外側にプレートを接着接合させようとしても、接合性が悪かった。
したがって、本発明の目的は、外部から物理的に保護されているとともに、撥インク性を備えている吐出孔面を有する液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置を提供することにある。
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を備えている流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含む液体吐出ヘッドであって、前記流路部材は、複数のプレートを積層して構成されているともに、少なくとも、前記吐出孔の開口している金属製のノズルプレートと、該ノズルプレートの外側に積層されている金属製のガードプレートとを有しており、該ガードプレートは、前記吐出孔と重なる位置に、前記吐出孔より大きい貫通孔を有しており、前記貫通孔の中で露出している前記ノズルプレートの表面に撥インク膜が存在し、前記ガードプレートの表面に撥インク膜が実質的に存在せず、前記ノズルプレートと前記ガードプレートとは拡散接合により接合されていることを特徴とする。
本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
本発明の液体吐出ヘッドによれば、ノズルプレートとガードプレートとは、ノズルプレートに撥インク膜が形成されていても、拡散接合により接合可能であり、ガードプレートに撥インク膜がないことにより、吐出孔付近にインクが付着し難いので、インク付着に起因する吐出不良などが起き難い。
図1は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1(以下、プリンタ1とする)は、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。
プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。
給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。
給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。
搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。
ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。
また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。
また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。
ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。
給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。
4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端にヘッド本体13を有している。ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔8が設けられている(図4および5参照)。
1つの液体吐出ヘッド2に設けられた吐出孔8からは、同じ色の液滴(インク)が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド2の吐出孔8は、吐出孔面に開口しており、一方方向(印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向)に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。各液体吐出ヘッド2は、ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成するヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a〜122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。
なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は
、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。
、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示されたヘッド本体13を示す平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、一部の流路を省略して描いている。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、吐出孔8の位置が分かり易いように、図3とは異なる一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板21の下方にあって破線で描くべき加圧室10(加圧室群9)、しぼり12および吐出孔8などを実線で描いている。図5(a)は図3のV−V線に沿った縦断面図であり、図5(b)は、図5(a)の要部の拡大図であり、図5(c)は、図5(a)の下側(吐出孔面4−1側)から見た平面図である。なお、図5(a)では、図5(b)に描いてある撥インク膜40や接着剤層42を省略してある。
ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、圧電アクチュエータ基板21とを有している。圧電アクチュエータ基板21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータ基板21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータ基板21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータ基板21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータ基板21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線(仮想線)のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータ基板21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している(分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある)。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータ基板21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータ基板21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータ基板21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータ基板21に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体13の長手方向に延在している。
流路部材4は、複数の加圧室10がマトリクス状(すなわち、2次元的かつ規則的)に形成されている4つの加圧室群9を有している。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ基板21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室10によって形成された各加圧室群9は圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、圧電アクチュエータ基板21は複数の加圧室10を覆うように積層されるので、各加圧室10の開口は、圧電アクチュエータ基板21で
閉塞されている。
閉塞されている。
本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1〜E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。
全体では、マニホールド5から繋がる加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。
つまり、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔8を投影すると、図3に示した仮想直線のRの範囲に、4つの副マニホールド5aに繋がっている4つの吐出孔8、つまり全部で16個の吐出孔8が600dpiの等間隔に配置されている。また、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路33が接続されている。これは、600dpi分の吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路33が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm(150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である)以下の間隔で個別流路33が形成されているということである。
圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に重なる位置には個別電極35がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極35は、圧電アクチュエータ基板21の上面に、第1の方向および第1の方向とは異なる方向にわたって形成されている。個別電極35は、個別電極本体35aと個別電極35aから引き出された引出電極35bとを含む。個別電極本体35aは、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板21の上面における加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。
流路部材4の下面には多数の吐出孔8が形成されている。これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ基板21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群7は圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板21の変位素子50を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。そして、それぞれの領域内の吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャ(しぼり)プレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30、ノズルプレート31およびガードプレート32である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路33および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体13は、図5に示されているように、加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、吐出孔8は
下面にと、個別流路33を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介して副マニホールド5aと吐出孔8とが繋がる構成を有している。
下面にと、個別流路33を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介して副マニホールド5aと吐出孔8とが繋がる構成を有している。
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23(詳細には加圧室10の入り口)からサプライプレート25(詳細には副マニホールド5aの出口)までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。
第3に、加圧室10の他端から吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ(部分流路)と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23(詳細には加圧室10の出口)からノズルプレート31(詳細には吐出孔8)までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27〜29に形成されている。
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口(副マニホールド5aの出口)から吐出孔8に至る個別流路33を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8へと進む。
また、ガードプレート32には、吐出孔8と重なる位置に、吐出孔8より大きな貫通孔18が開口している。貫通孔18は、いわゆる流路ではないが、吐出孔8から吐出された液体は、貫通孔18の中を飛翔して通過してから、液体吐出ヘッド2の外部に飛び出して行く。貫通孔18については、後で詳述する。
圧電アクチュエータ基板21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板21の圧電セラミック層21a、21bの積層体の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができる。圧電アクチュエータ基板21は、流路部材4の加圧室10の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している(図3参照)。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる。
圧電アクチュエータ基板21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35を有している。必要に応じて、個別電極35の上に形成されているAg系などの金属材料からなる接続電極36を形成してもよい。個別電極35は、圧電アクチュエータ基板21の上面における加圧室10と重なる位置に配置されている個別電極本体35aと、個別電極本体35aから加圧室10と重ならない位置まで引き出されている引出電極35bとを含んでいる。引出電極35bの加圧室10のない位置には、接続電極36が形成されている。個別電極35の厚さは、0.3〜1μmである。接続電極36は例えばガラスフリットを含む銀からなり、厚さが1〜15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、図示されていないFPC(Flexible
Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号(駆動電圧)が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号(駆動電圧)が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
共通電極34は、圧電セラミック層(セラミック振動板)21aと圧電セラミック層(圧電体層)21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータ基板21に対向する領域内の全ての加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極(不図示)が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、外部配線内の別の電極と接続されている。
圧電セラミック層21aの個別電極35と共通電極34とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極35に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子30となっている。より具体的には、個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部100により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21aは加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部100からの制御でドライバICなどを介して、個別電極35に供給される駆動信号により、変位素子50が駆動(変位)させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが元の(平らな)形状に戻り(始め)、加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。これにより、加圧室10内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室10内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室10の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室10の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室10の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極35を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ12内を伝搬し、吐出孔8から液体を吐出させる。
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極35に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、圧力室10の液体の固有振動周期の半分の時間であるAL(Acoustic Length)とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。圧力室10の液体の固有振動周期は、液体の物性、圧力室10の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板21の物性や、加圧室10に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
および吐出量を最大にできる。圧力室10の液体の固有振動周期は、液体の物性、圧力室10の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板21の物性や、加圧室10に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
以上のような液体吐出ヘッド2において、流路部材4の各プレート22〜32は、製造コストの面からは、接着接合するのが好ましい。また、吐出孔面4−1の吐出孔8の周囲には、安定した吐出(安定したメニスカスの保持)ができるように、撥インク膜40が形成される。なお、ここで言う吐出孔面4−1とは、液滴が吐出される吐出孔8が開口しているノズルプレート31の下側の面のことであり、液体吐出ヘッド2の下側に露出している面全体のことではない。撥インク膜40があると、ノズルプレート31とガードプレート32とを接着接合しようとしても、撥インク膜40があるため、接着するのが難しい。プレート22〜32を接着積層して流路部材4を作製してから、撥インク膜40を付けることも可能であるが、流路部材4をマスキングする工程が増えたり、流路内に撥インク膜40の成分が入り込んで、吐出特性を変動させるおそれがある。
そこで、ノズルプレート31とガードプレート32と金属製にし、ノズルプレート31の吐出孔面4−1の略全面に撥インク膜40を付けた後、ノズルプレート31とガードプレート32とを拡散接合で接合させる。拡散接合により、接合される部分の撥インク膜40は、分解されて、その成分はノズルプレート31およびガードプレート32の双方に混ざり込んだ状態になると考えられる。
拡散接合されたノズルプレート31およびガードプレート32と、他のプレートとの接合は、拡散接合で行なってもよいが、接着接合するのが好ましい。流路となる孔が多数開いているプレートを拡散接合すると、圧力が加わり難い部分で接合が不十分となるおそれがあるが、接着接合であれは、圧力が通常より弱くても接着により接合できるからである。
また、このように作製すれば、表面に撥インク膜40が形成されていないガードプレート32を有する液体吐出ヘッド2が得られる。撥インク膜40は、吐出孔8の周囲に付着したインクが吐出孔8にまで濡れ広がり、吐出孔8内のメニスカスを破壊することで生じる、不吐出や、吐出特性の変動が起きないように付けられる。したがって、吐出孔8から離れた部分には、撥インク膜40を付ける必要性は低い。さらに、撥インク膜40がない部分にはインクが留まり易く、インクが移動して吐出孔8に到達し難くなるので、かえってガードプレート32の表面には撥インク膜40が実質的に存在しない方がよい。
ここで言うガードプレート32の表面とは、厳密に言えば、吐出孔面4−1と平行な表面のことである。貫通孔18の壁面には、撥インク膜40を設けても良い。そのようにすれば、吐出孔8の周囲にある撥インク膜40の形成されている領域が広くなり、付着したインクにより吐出孔8のメニスカスが破壊されることをより起き難くできる。また、ここで、撥インク膜40が実質的に存在しないとは、表面処理されていないガードプレート32と同程度の撥インク性であるか、もしくは、それより親インク性であること意味する。より具体的には、ガードプレート32の表面を分析して、不純物以上のガードプレート32以外の物質が存在しないか、存在したとしても、その物質が親インク性であることで確認できる。また、使用するインクや水などの指標となる液体で撥水角を測定して確認してもよい。具体的には、ガードプレート32の表面における撥水角を測定した後、ガードプレート32を研磨するなどして、撥インク膜40などが存在していたとしても、それを取り除いた後、撥水角を測定する。最初の撥水角が、後の撥水角の±10度以内であれば同程度の撥インク性、それより撥水角が小さければ、親インク性と判断できる。
また、液体吐出ヘッド2を使用して、多数回ワイピングを繰り返すと、撥インク膜40が劣化することがある。そうすると、使用頻度の違いにより、液体吐出ヘッド2によって撥インク性の状態に差が生じてしまう。そうすると、例えば、同じ条件でワイピングしても、液体吐出ヘッド2によってワイピング後の状態が異なるなどの問題が生じ、好ましく
ない。そのため、ガードプレート32の表面には最初から撥インク膜40を付けないことが好ましい。
ない。そのため、ガードプレート32の表面には最初から撥インク膜40を付けないことが好ましい。
ガードプレート32の厚さは、20μm以上にすることで吐出孔8を保護する効果を高められる。ガードプレート32の厚さを、200μm以下にすれば、ガードプレート32の上からワイピンクしても、ワイパーが変形して、貫通孔18の中の吐出孔面4−1をワイピングすることができる。貫通孔18の中の吐出孔面4−1がワイピングされ易くするには、ガードプレート32の厚さを100μm以下にするのがよい。また、ガードプレート32の厚さを、200μm以下にすれば、ガードプレート32がある分、吐出孔8から印刷用紙Pまでの液滴の飛翔距離が長くなっても、着弾位置のばらつきへの影響を小さくできる。
貫通孔18の大きさは、吐出孔18より大きく、貫通孔18の底で、吐出孔18の全周囲において吐出孔面4−1が露出している。露出している吐出孔面4−1の面積は、吐出孔8の面積が10倍以上、さらに20倍上にあることにより、吐出孔7の周囲にインクが付着し難くでき、メニスカスの破壊が起き難くできる。吐出孔8の周囲の吐出孔面4−1がワイピングされ易いように、貫通孔18の開口径は、ガードプレート32の厚さの5倍以上、さらに10倍以上であるのが好ましい。
ワイピングされ易くするには、貫通孔18は、吐出孔8に向かって大きさが小さくなっているのが好ましい。これにより吐出孔面4−1と貫通孔18の壁面との間にできる角部の近くまでワイピングできるようになる。吐出孔面4−1と貫通孔18の壁面の成す角度は、75度以下、さらに60度以下であるのが好ましい。
また、貫通孔18の平面形状は、楕円形状、さらには円形状であるのが好ましい。角のある形状であると、その角の部分における、吐出孔面4−1と貫通孔18の壁面との間にできる角部には、ワイパーが当たり難くなるが、平面形状に角がなければ、そのようなことが起きるのを抑制できる。
以上のような液体吐出ヘッド2は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層21a、21bとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極34となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極35を印刷して、焼成し、さらにAgペーストを用いて接続電極36を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータ基板21を作製する。
次に、圧延法等により得られたFe―Cr系、Fe−Ni系、WC−TiC系など金属製のプレート22〜32にエッチングや、打ち抜きなどでマニホールド5、液体加圧室10、ディセンダ、吐出孔8および貫通孔18などとなる孔や溝などを形成する。ノズルプレート31の吐出孔面4−1の略全面に撥インク膜40を、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition、化学気相成長)で、アモルファスカーボン膜を形成する。次いで、ノズ
ルプレート31の吐出孔面4−1とガードプレート32とを、高温、高圧力を加えて拡散接合させる。接合したプレートと他のプレート22〜30とを、接着剤層42を介して積層し、接着接合させて流路部材4を作製する。
ルプレート31の吐出孔面4−1とガードプレート32とを、高温、高圧力を加えて拡散接合させる。接合したプレートと他のプレート22〜30とを、接着剤層42を介して積層し、接着接合させて流路部材4を作製する。
続いて、圧電アクチュエータ基板21と流路部材4とを接着剤層を介して積層する。その後、個別電極35と共通電極34との間に電圧を加え、これらの間に挟まれている部位の圧電セラミック層21bを分極することで、液体吐出ヘッド2を得ることができる。
1・・・プリンタ
2・・・液体吐出ヘッド
4、204・・・流路部材
4−1・・・吐出孔面
4−2・・・加圧室面
5・・・マニホールド
5a・・・副マニホールド
5b・・・マニホールドの開口
6・・・個別供給流路
8・・・吐出孔
9・・・加圧室群
10・・・加圧室
11a、b、c、d・・・加圧室列
12・・・しぼり
13・・・ヘッド本体
15a、b、c、d・・・吐出孔列
18・・・
21・・・圧電アクチュエータ基板
21a・・・圧電セラミック層
21b・・・圧電セラミック層(圧電体層)
22〜32・・・プレート
31・・・ノズルプレート
32・・・ガードプレート
33・・・個別流路
34・・・共通電極
35・・・個別電極
35a・・・個別電極本体
35b・・・引出電極
36・・・接続電極
40・・・撥インク膜
42・・・接着剤層
50・・・変位素子
2・・・液体吐出ヘッド
4、204・・・流路部材
4−1・・・吐出孔面
4−2・・・加圧室面
5・・・マニホールド
5a・・・副マニホールド
5b・・・マニホールドの開口
6・・・個別供給流路
8・・・吐出孔
9・・・加圧室群
10・・・加圧室
11a、b、c、d・・・加圧室列
12・・・しぼり
13・・・ヘッド本体
15a、b、c、d・・・吐出孔列
18・・・
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21a・・・圧電セラミック層
21b・・・圧電セラミック層(圧電体層)
22〜32・・・プレート
31・・・ノズルプレート
32・・・ガードプレート
33・・・個別流路
34・・・共通電極
35・・・個別電極
35a・・・個別電極本体
35b・・・引出電極
36・・・接続電極
40・・・撥インク膜
42・・・接着剤層
50・・・変位素子
Claims (3)
- 複数の吐出孔および該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室を備えている流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、複数のプレートを積層して構成されているともに、少なくとも、前記吐出孔の開口している金属製のノズルプレートと、該ノズルプレートの外側に積層されている金属製のガードプレートとを有しており、
該ガードプレートは、前記吐出孔と重なる位置に、前記吐出孔より大きい貫通孔を有しており、
前記貫通孔の中で露出している前記ノズルプレートの表面に撥インク膜が存在し、
前記ガードプレートの表面に撥インク膜が実質的に存在せず、
前記ノズルプレートと前記ガードプレートとは拡散接合により接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記流路部材を構成する前記プレート同士は、前記ノズルプレートと前記ガードプレートとの間を除いて、接着接合により接合されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013180781A JP2015047768A (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013180781A JP2015047768A (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015047768A true JP2015047768A (ja) | 2015-03-16 |
Family
ID=52698200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013180781A Pending JP2015047768A (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015047768A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019069540A (ja) * | 2017-10-06 | 2019-05-09 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | インクジェット記録装置 |
CN112440560A (zh) * | 2019-08-29 | 2021-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷出头单元以及液体喷出装置 |
-
2013
- 2013-08-31 JP JP2013180781A patent/JP2015047768A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019069540A (ja) * | 2017-10-06 | 2019-05-09 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | インクジェット記録装置 |
CN112440560A (zh) * | 2019-08-29 | 2021-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷出头单元以及液体喷出装置 |
CN112440560B (zh) * | 2019-08-29 | 2023-04-18 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷出头单元以及液体喷出装置 |
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