JP4288399B2 - マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【技術の分野】
本発明は、圧力室に圧力を与えて、ノズルからインク滴を噴射するためのマルチノズルインクジエットヘッド及びその製造方法に関し、特に、圧力エネルギー発生体列からの電極引き出しを改良するマルチノズルインクジエットヘッド及びその製造方法に関する。
【0002】
【背景技術】
インクジェット記録ヘッドは、ノズル,インク室,インク供給系,インクタンク,トランスジューサを備え、トランスジューサでインク室に圧力を発生することにより、ノズルからインク粒子を噴射させ、紙等の記録媒体上に文字や画像を記録する。
【0003】
例えば、一般に良く知られている方式は、トランスジューサとして、発熱素子や、インク室の外壁に片面全体が接着された薄板状の圧電素子を用いる。圧電素子を用いる場合には、この圧電素子にパルス状の電圧を加え、圧電素子とインク室外壁からなる複合板を撓ませ、撓みによって生じた変位・圧力をインク室の外壁を介してインク室内に伝達するものである。
【0004】
従来の圧電素子を用いたマルチノズルインクジェットヘッド100の斜視断面図を図20に示す。図20に示すように、ヘッド100は、1列の圧電体111と、該圧電体上に形成された個別電極112と、ノズル113が設けられたノズル板114と、ノズル板114と共にノズル113に各々対応するインク室115を形成する金属または樹脂からなるインク室壁117と、振動板116で構成されている。
【0005】
各インク室115に対して、ノズル113および圧電体111が設けられ、インク室115の周辺と対応する振動板116の周辺は強固に接続されている。個別電極112に電圧の印加された圧電体111は、それぞれ対応する振動板116の部分を図中点線にて示す様に変形させる。これにより、ノズル113から、インク滴が噴射される。
【0006】
個々の圧電体111への電圧印加は、印字装置本体からの電気信号をプリント基板を介して個別に行われる。図21は、従来のヘッドとプリント基板との接続構成を示す図である。図21の例では、ヘッド100は、8列、8行のノズル113、即ち、圧電体111、個別電極112を有している。これに対し、装置のドライバ回路と、各個別電極112とを接続するため、フレキシブルプリント基板110が設けられている。
【0007】
従来技術では、この各個別電極112と、プリント基板110の各端子を接続するため、ワイヤボンデイングにより、ワイヤ120で接続していた。又、FPC配線板を直接接続したものも知られている。
【0008】
一方、印刷解像度の向上の要求により、ヘッドのノズル配置の高密度化が要求されている。ノズル密度が高くなると、端子(個別電極)の接点間隔が近くなってくる。例えば、現在、圧電体を用いたヘッドのノズル密度は150dpi程度であるが、180〜300dpi、更には360dpiに進んでおり、接点間隔が小さくなりつつある。
【0009】
これに対し、現状では、半導体製造のワイヤーボンディングでの接点間隔は、150dpiが最高であり、FPC接続でも300dpi接点を開発中である。このため、従来のように、圧電体111の上部もしくは近辺に接点111を設けて電気的接続を行う事は、隣接点との連結(短絡)の問題が生じる。又、多点を短時間に接続するには、圧電体111にかかる荷重が非常に高くなり、薄い膜の圧電体では、破壊の恐れがあり、接続が非常に困難になる。
【0010】
又、ワイヤーボンデイングは、1ポイント約1秒かかるため、ポイント数が高密度化により増加すると、製造時間が増大し、コストの増加をもたらす。例えば、図19の例では、48ポイントあるため、48秒かかることになる。更に、FPC接続においても、FPCを駆動回路を搭載したプリント基板に接続する必要があり、コストの低減が困難である。
【0011】
【発明の開示】
本発明の目的は、高密度にノズルが配置されても、容易に駆動回路との接続が可能なマルチノズルインクジエットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
又、本発明の他の目的は、ヘッド部分での接続作業を行わなくても、駆動回路との接続を可能とするマルチノズルインクジエットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
更に、本発明の更に他の目的は、ヘッドの損傷を防止し、且つコストダウンが可能なマルチノズルインクジエットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0014】
この目的の達成のため、本発明は、ノズル板と本体部とインク室形成部材とエネルギー発生部とを積層接合したマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、前記ノズル板は、インクを噴出する複数のノズルが形成され、前記本体部は、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数のインク導通路と、インク供給路とが形成され、前記インク室形成部材は、前記複数のインク導通路にそれぞれ連通するとともに、前記インク供給路に連通する複数のインク室が形成され、前記エネルギー発生部は、前記各インク室に前記ノズルからインクを噴出するためのエネルギーを付与するものであり、前記インク室形成部材には、前記本体部および前記エネルギー発生部のうち少なくとも一方との接合面に沿って、前記エネルギー発生部に駆動信号を与えるための配線パターンが埋め込まれており、前記配線パターンに電気的に接続する導電路が前記配線パターンと略直交して形成されていることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッドを提供する。
【0015】
又、本発明者等は、1999年12月10日付けのPCT出願(PCT/JP99/06960)で、圧力室以外の領域にも圧電体層を設け、この上に個別電極からの配線部を形成し、圧力室の圧電体列より離れた位置で、ヘッド外部と接続を行うことを可能とするヘッドを提案しているが、この提案でも、外部回路との接続に、接続ケーブルを必要とする。
【0016】
本発明は、接続ケーブルを不要とするものであり、これにより、外部回路との接続をより容易且つ簡略化するものである。
【0017】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの一態様では、前記インク室形成部材は、前記本体部から外にはみ出し、そのはみ出し部分において前記配線パターンと当該マルチノズルインクジエットヘッドの前記本体部および前記インク室形成部材の外部の回路基板とが電気的に接続される。
【0018】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの一態様では、前記インク室形成部材がFPC(フレキシブルプリント配線板)である。
【0019】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの一態様では、前記インク室形成部材の前記はみ出し部分には駆動回路、コネクタ及び補強板が設けられ、該はみ出し部分が折り曲げられている。これにより、ヘッド自体に、駆動回路が直結しているため、配線のためのコンタクトプロセスが不要となり、更に、コストを低減できる。又、ヘッド製造時に、各素子の状態を、前記駆動回路で検査できるため、検査のための一時接続が必要なく、検査にかかるコスト低減に極めて有効である。
【0021】
又、本発明のマルチノズルインクジェットヘッドの一態様では、前記複数のインク室が千鳥状に配置され、前記インク室形成部材の前記接合面であって前記インク室の四方に、前記配線パターンおよびダミー配線部のうち少なくともいずれかが埋め込まれている。これにより、全てのインク室の壁を補強できる。
【0022】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドは、前記エネルギー発生部は、共通電極と、前記共通電極上に、前記各インク室に対応して設けられるエネルギー発生層と、前記エネルギー発生層上に設けられ、前記インク室に対応した個別電極部とを有し、前記配線パターンは、前記個別電極部のための配線パターンと、前記共通電極のための配線パターンとを有することができる。これにより、高密度ノズルでも、外部回路により、容易に多数のノズルを駆動でき、容易に外部回路との接続が可能となる。
【0023】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドでは、前記エネルギー発生層が、圧電体層である。
【0024】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの一態様では、前記導電路は、前記エネルギー発生層を前記共通電極が存在しない領域で貫通し、前記配線パターンと前記個別電極とを電気的に接続する。
【0025】
このため、インク室形成部材に配線パターンを設けても、容易に個別電極と接続できる。
【0026】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドは、前記インク室形成部材に、前記配線パターンに接続される制御回路を設けた。これにより、更に接続が容易になり、且つ簡略化できる。
【0027】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの一態様では、前記インク室形成部材の前記本体部との前記接合面に設けられ、前記インク室形成部材に前記インク室をエッチングで形成するための少なくとも前記インク室に対応する開口部を有する金属マスク層と、前記インク室の壁面に設けられ、前記金属マスク層と前記共通電極とを電気的に接続する導電層とを有する。
【0028】
このため、金属マスクにより、インク室を精度良く形成でき、且つインク室の強度を高めることが出来る。 更に、導電層により、金属マスクを利用して、共通電極を配線パターンに接続できる。
【0029】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法は、各インク室に前記ノズルからインクを噴射するためのエネルギーを付与するエネルギー発生部を形成する工程と、前記エネルギー発生部に駆動信号を与えるための配線パターンを有するインク室形成部材を、前記エネルギー発生部に設ける工程と、前記インク室形成部材に、前記ノズルと連通する複数のインク室を形成する工程と、前記複数のノズルを形成したノズル板を前記インク室形成部材に設ける工程とを有する。本発明では、インク室形成部材に配線パターンを設けることにより、インク室形成部材を、接続ケーブルにも利用するようにした。このため、ヘッド部分での接続が不要となるため、高密度ノズルでも、ヘッドと駆動回路との接続が容易となり、ヘッドの損傷を防止し、且つヘッドのコストダウンが可能となる。
【0030】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法は、前記エネルギー発生部を形成する工程は、基板上に複数の個別電極と、複数のエネルギー発生層を設ける工程と、前記発生層上に共通電極を設ける工程とを有し、前記複数のインク室を形成する工程は、前記個別電極と前記配線パターンとの電気的接続のための導電部材を形成する工程を有する。
【0031】
本発明の他の目的、形態は、以下の発明の実施の形態の説明及び図面の記載から明らかとなる。
【0032】
【発明を実施するための最良の形態】
次に、本発明の実施の形態について、図と共に説明する。
【0033】
図1は、インクジエットヘッドを用いたインクジェット記録装置の側面図である。図中、1は、記録媒体であり、インクジェット記録装置によって印字等の処理が施される。2は、インクジェット記録ヘッドであり記録媒体1にインクを噴射する。3は、インクタンクであり、インクジェット記録ヘッド2にインクを供給する。4は、キャリッジであり、インクジェット記録ヘッド2とインクタンク3を搭載している。
【0034】
5は、送りローラ、6は、ピンチローラであり、記録媒体1を挟持して、インクジェット記録ヘッド2へと搬送する。7は、排出ローラ、8は、ピンチローラであり、記録媒体1を挟持して、排出方向へと搬送する。9は、スタッカであり、排出された記録媒体1を収納する。10は、プラテンであり、記録媒体1を押さえる。
【0035】
この実施の形態では、インクジェット記録ヘッド2は、電圧を印加して圧電素子を伸縮させることにより生じた圧力によってインクを噴射することにより、媒体に印字等の処理を行っている。
【0036】
図2は、図1のヘッドの周辺部の構成図である。ヘッド2の本体22は、インクタンク3の支持枠20を有している。支持枠20には、インク供給穴が設けられている。ヘッド本体22の支持枠20に、インクタンク3をセットすることにより、インクタンク3のインクが、ヘッド本体22に供給される。従って、インクタンク3は、ヘッド本体22に対し、交換可能である。
【0037】
ヘッド本体22は、多数のノズルを有している。ここでは、ヘッド本体22には、ノズルの個別電極21が示されている。この個別電極21は、前述の支持枠20内に設けられている。ヘッド本体22の後述する圧力室形成部材42には、各個別電極21及び共通電極と接続する配線パターンが設けられている。
【0038】
この圧力室形成部材42は、後述の本体部34から外にはみ出ている。そして、圧力室形成部材42は、キャリッジ4内に設けられたプリント基板11に接続している。この基板11には、ヘッド駆動回路12が設けられている。この基板11は、FPC13を介して、プリンタ本体の主制御回路に接続される。
【0039】
従って、圧力室形成部材42に、配線パターンを設けることにより、駆動回路12の基板11に、FPC等のケーブルを設けずに、接続できる。即ち、圧力室形成部材42は、圧力室を形成するとともに、基板11への配線ケーブルの機能を果す。このため、ヘッド本体22への接触を行わないで、ヘッドの各個別電極21と、外部回路との接続が可能となり、しかもケーブルが必要ない。これにより、ヘッドのコストダウンが可能となる。このため、ノズル密度が高くなり、端子間隔が小さくなっても、ノズル部に影響を与えずに、接続が可能である。
【0040】
図6は、図2の変形例であり、4列の千鳥配列のヘッド2への適用を示している。このヘッド2では、更に配線数が多くなるため、図2と同様に、本発明の適用が極めて有効である。
【0041】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【0042】
[第1の実施の形態]
図3は、本発明の第1実施の形態のインクジェットヘッド2の構成斜視図であり、図4は、図3のヘッドの要部断面図であり、図5は、図3のヘッドの配線パターンの説明図であり、図7及び図8は、本発明による効果を説明する図であり、図9乃至図12は、本発明の第1実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
【0043】
図3に示すように、インクジェットヘッド2は、大略すると基板20、本体部42,34、ノズル板38及びインク吐出エネルギー発生部32A等により構成されている。本体部42は、後述するように、絶縁層と配線部を含んだ積層した構造を有しており、その内部に複数の圧力室(インク室)29が形成されており、圧力室形成部を構成する。本体部34には、インク導通路41と、インクの供給路となるインク通路33とが形成されている。また、この圧力室29の図中上部は開放部とされると共に、下面はインク導通路41に連通する。
【0044】
また、本体部34の図中下面には、ノズル板38が配設され、圧力室形成部42の上面には振動板23が配設されている。ノズル板38は、例えばステンレスによりなり、インク導通路41と対向する位置にノズル39が形成されている。
【0045】
また、本実施例では、振動板23はクロム(Cr)を用いており、その上部には、圧電体27が配設され、エネルギー発生部32Aを構成している。基板20は、例えば酸化マグネシウム(MgO)により形成されており、その中央位置には開口部24が形成されている。エネルギー発生部32Aは、この開口部24により露出されている。
【0046】
エネルギー発生部32Aは、前記した振動板23(共通電極としても機能する),個別電極26及び圧電体27により構成されている。このエネルギー発生部32Aは、本体部42に複数形成されている圧力室29の形成位置と対応する位置に形成されている。
【0047】
個別電極26は、例えば白金(pt)よりなり、圧電体27の上面に形成されている。また、圧電体27は、圧電気を生じる結晶体であり、本実施例では、各圧力室29の形成位置にそれぞれ独立して形成された構成となっている(即ち、隣接するエネルギー発生部は連続していない)。
【0048】
また、本ヘッド2で特徴的な点は、圧力室形成部材42が、絶縁性樹脂で形成され、その表面に、配線パターン42A,42Bが形成されている。図5に示すように、配線パターン42Aは、各個別電極26のための信号線であり、配線パターン42Bは、共通電極(ここでは、振動板)23のための信号線である。この圧力室形成部材42は、ヘッド2の本体から延長して、伸びており、図2に示したように、外部の回路基板11に接続される。
【0049】
この配線パターン42Aの端部は、図3、図4に示すように、各個別電極26に、圧力室形成部材42及び圧電体層27を貫通する導電部42Cにより、電気的に接続されている。図4に示すように、配線パターン42Bの端部は、圧力室形成部材42を貫通する導電部42Cにより、電気的に接続されている。
【0050】
従って、ヘッド2の圧力室形成部材42は、圧力室29を形成するとともに、配線部材(FPC)の機能を有する。又、配線パターン42A,42Bは、圧力室形成部材42の裏面(ノズル側)に設けられている。
【0051】
又、上記構成とされたインクジェットヘッド2において、配線パターン42A,42Bを介して、共通電極としても機能する振動板23と個別電極26との間に電圧印加をすると、圧電体27は、圧電気現象により歪みを発生する。このように圧電体27に歪みが発生するが、剛体である振動板23はそのままの状態を保とうとする。このため、例えば電圧印加によって圧電体27が縮む方向に歪んだ場合には、振動板23側を凸とする変形が起こる。該振動板23は、圧力室29の周囲で固定されているため、振動板23が、図中破線で示すよう、圧力室29に向け、凸に変形する。
【0052】
よって、圧電体27の歪みに伴う振動板23の変形により、圧力室29内のインクは加圧され、インク導通路41及びノズル39を介して外部に吐出され、これにより記録媒体に印刷が行なわれる。
【0053】
上記構成において、本実施例に係るインクジェットヘッド2は、振動板23及びエネルギー発生部32Aである個別電極26,圧電体27を薄膜形成技術を用いて形成している(詳細な製造方法については、後述する)。
【0054】
このように、振動板23及びエネルギー発生部32Aを薄膜形成技術を用いて形成するにより、薄くかつ微細化されたエネルギー発生部を高精度にかつ高信頼性をもって形成することができる。よって、インクジェットヘッド2の低消費電力化を図ることができると共に、高解像度の印刷を可能とすることができる。
【0055】
また、本実施例では、各エネルギー発生部32Aが圧力室26に対応する位置で分割された構成としている。即ち、各エネルギー発生部は、隣接するエネルギー発生部に拘束されることなく変位することができる。よって、インク吐出に必要とされる印加電圧を低くするこができ、これによってもインクジェットヘッドの低消費電力化を図ることができる。
【0056】
ここで、前述の配線パターンは、圧電型ヘッドに更なる効果を奏する。図7は、圧電ヘッドの断面図であり、従来例を示している。図7に示すように、圧電素子27及び振動板23により、圧力室29に圧力を与えると、圧力室壁42が撓む。特に、圧力室形成部材42に樹脂を用いる場合には、圧力室壁の剛性が弱い。更に、高密度ノズルヘッドでは、圧力室壁の厚みを十分にとれない。例えば、150dpiのヘッドで、圧力室壁の厚みは、70μm程度であり、これによっても、剛性は低下する。この圧力室壁の撓みは、圧力の逃げを引き起こし、インク噴射圧力が低下する。特に、薄膜ヘッドでは、圧電素子27が薄く、発生力が小さいため、圧力損失により、インク噴射が不可能となるおそれがある。
【0057】
本発明のように、圧力室形成部材42に、配線パターン42Aを設けると、図5に示したように、圧力室29の両側に隣接圧力室の配線パターン42Aが位置する。即ち、図8に示すように、圧力室壁42に、配線パターン42Aが存在し、配線パターン42Aは金属等の剛性の強い部材で構成されるため、圧力室壁42の剛性が補強される。
【0058】
このため、図7の圧力室壁42の撓みを少なく出来、圧力損失を低減できる。又、図5に示すように、両側に配線パターン42Aの存在しない圧力室29のために、ダミー配線部43を設けることにより、全ての圧力室29の壁を補強できる。
【0059】
次に、上記構成のインクジェットヘッド2の製造方法について、図9〜図12を用いて説明する。
【0060】
インクジェットヘッド2を製造するには、先ず、図9(A)に示されるように、基板20を用意する。本実施例では、基板20として厚さが0.3mmの酸化マグネシウム(MgO)単結晶体を用いている。この基板20上には、薄膜形成技術であるスパッタリング法を用い、個別電極層26(以下、単に電極層という),圧電体層27を、図9(B),図9(C)に示すように、順次形成する。尚、本実施例では、電極層26の材質として白金(pt)を用いている。
【0061】
この後、上記積層体を後に形成する圧力室に対応する位置に分割するためのミリングパターンをドライフィルムレジスト(以下、DF−1と記す)50にて形成する。図9(D)は,DF−1パターン50を形成した状態を示しており、前記電極層26と圧電体層27の残す部分にDF−1パターン50を形成している。又、後で、電極層26と配線部42Aのコンタクトをとるための貫通穴形成部50Aも形成される。
【0062】
本実施例では、DF−1としてFI−215(東京応化製;アルカリタイプレジスト、15μm厚)を用い、2.5kgf/cm・1m/s・115℃でラミネートした後、ガラスマスクで120mJの露光を行ない、60℃・10minの予備加熱、室温までの冷却を行なった後、1wt.%のNa2CO3溶液での現像を行ないパターン形成した。
【0063】
この基板を銅ホルダーに熱伝導性の良好なグリス(APIEZON L Grease)にて固着し、照射角度15°でArガスのみを用いて700Vでミリングを行なった。その結果、図9(E)のような形状となり、ミリング部分51の深さ方向のテーパ角は、面に対して85°以上の垂直性となった。また、貫通穴42Cも形成される。
【0064】
更に、図10(F)に示すように、レジスト層50を剥離した後、図10(G)に示すように、振動板23を平坦に形成するためと、ミリング部分での上部電極(電極層26)と共通電極である振動板23との絶縁を行なうために、絶縁性を有する平坦化層52をミリング部分に形成する。但し、貫通穴42C内には形成しない。
【0065】
その後、図10(H)に示すように振動板23をスパッタにて成膜を行なうことで、アクチュエータ部が形成できる。振動板23は、Crを全面に1.5μmスパッタにて形成した。振動板23は、図10(H)に示すように、貫通穴42Cの領域を除いて設けられる。
【0066】
上記のように、薄膜形成技術を用いた各層26〜23の形成処理が終了すると、続いて図11(I)に示すように、FPC(圧力室形成部材)42を振動板23上に接合する。このFPC42は、ポリイミド樹脂で形成され、先端に接続用スルーホール穴を備えた配線パターン42A,42Bが形成されている。
【0067】
次に、FPC42に、各層23〜26の各圧電体に対応する位置に、圧力室開口部29を形成する。本実施例では、図11(J)に示すように、溶剤型のドライフィルムレジスト(以下、DF−2と記す)53を用いて形成した。用いたDF−2はPR−100シリーズ(東京応化製)で、2.5kgf/cm・1m/s・35℃でラミネートした後、ガラスマスクを用いて、180mJの露光を行ない、60℃・10minの予備加熱、室温までの冷却を行なった。その後、C−3,F−5(東京応化製)溶液での現像を行ない、レジスト膜53にパターン形成した。
【0068】
このレジスト膜53をマスクとし、FPC42をプラズマエッチングして、レジスト膜53を剥離すると、図11(K)に示すように、FPC42に、圧力室29が形成される。又、配線パターン42A,42Bの先端には、接続用スルーホールが形成される。この後、図示しない導電メッキを、スルーホール内に施し、個別電極26、振動板23と、配線パターン42A,42Bの電気的接続を行う。即ち、この状態でのA−A断面は、図4に示した通りであり、導電部42が形成される。
【0069】
一方、導通路41を有した本体部34及びノズル板38は、上記した工程と別工程を実施することにより形成される。本体部34は、ノズル板38(図示しないアライメントマーク付)にドライフィルム(東京応化製溶剤型ドライフィルムPRシリーズ)をラミネート・露光を必要回数だけ現像することにより形成される。
【0070】
具体的な本体部34の形成方法は、次の通りである。即ち、ノズル板38(厚さ20μm)上に、ノズル39(20μm径、ストレート穴)まで圧力室29からのインクを誘導し、且つインクの流れを一方向に揃えるためのインク導通路41(60μm径;深さ60μm)のパターンを、ノズル板38のアライメントマークを用いて露光し、その後10分の自然放置(室温)と加熱硬化(60℃,10分)を行い、溶剤現像によりドライフィルムの不要部分を除去する。
【0071】
上記のように形成されたノズル板39が設けられた本体部34は、図12(L)に示すように、アクチュエータ部を有するもう一方の本体部42に接合される(接合固定)。この際、圧力室29の部分で本体部34,42が精度よく対向するよう接合処理される。接合は、圧電体部のアライメントマークとノズル板に形成したアライメントマークを用い、荷重15kgf/cm2で80℃・1時間の予備加熱後、本接合を150℃・14時間行い、自然冷却して行なう。
【0072】
続いて、アクチュエータが振動できるように駆動部の基板除去を行なう。即ち、ノズル板38が下側になるよう基板20を上下反転すると共に、この基板20の略中央部分をエッチングにより除去することにより開口部24を形成する(除去工程)。
【0073】
この開口部の形成位置は、少なくともエネルギー発生部32A(図3参照)により振動板23が変形する変形領域と対応するよう選定されている。このように基板20を除去して、開口部24を形成することにより、図12(M)に示すように、電極層26は、開口部24を介し基板20から露出した構成となる。
【0074】
上記のように本実施例によれば、基板20上にスパッタリング法等の薄膜形成技術を用いて電極層26,圧電体層27,振動板23を順次形成し、エネルギー発生部を形成するため、従来に比べて薄いエネルギー発生部を高精度(上部電極と同じ形状)にかつ高信頼性をもって形成することができる。
【0075】
又、圧力室形成部材42に、配線パターンを有するFPCを用い、これに、圧力室29を形成するため、配線も同時に行うことができる。
【0076】
[第2の実施の形態]
図13は、本発明の第2の実施の形態のヘッドの斜視断面図、図14は、図13R>3の接続部分の断面図、図15は、図14の拡大図、図16は、そのヘッドの動作説明図、図17及び図18は、そのヘッドの製造工程の説明図である。
【0077】
この実施の形態は、図3のヘッドの改良であり、図3で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。図13、図14に示すように、圧力室形成部材(FPC)42の表面(基板20側)に、配線パターン42A,42Bが形成されている。又、圧力室29の形成のため、金属マスク44を、FPC42に設けている。この金属マスク44は、圧力室の壁の補強の役目を果す。更に、圧力室29の壁面に、金属メッキ層45がメッキされ、振動板23と金属マスク44とを電気的に接続している。
【0078】
この構成を説明する前に、このヘッドの製造方法を、図17及び図18により、説明する。図17及び図18は、図11(I)乃至図11(K)の変形例であり、その他の工程は、第1の実施の形態と同一である。図17(A)に示すように、振動板23の上に、FPC42を接合する。このFPC42には、図の裏面に、配線パターン42A,42Bが形成されており、表面には、圧力室形成用金属マスク44と、導電部のスルーホール形成のための金属マスク42dが形成されている。
【0079】
図17(B)に示すように、このFPC42の上に、エッチング用レジスト層56を形成する。このレジスト層56には、開口部57が設けられる。このレジスト層56をマスクとし、FPC42をプラズマエッチングする。このとき、金属マスク44,42dがマスクとして機能するため、精度良い、圧力室29が形成でき、スルーホールの精度も向上する。
【0080】
更に、図17(C)に示すように、このレジスト層をマスクとして、全面に金属メッキを施し、金属メッキ層45を形成する。この後、レジスト膜56を剥離すると、図18に示すように、FPC42の金属マスク44による圧力室29内に、金属メッキ層45が形成され、スルーホール42e内に、金属メッキ層45が形成される。従って、図14、図15の断面に示すように、個別電極26と配線パターン42Aを接続する導電部42Cが形成され、且つ振動板23と金属マスク44が電気的に接続され、金属マスク44は、スルーホール42eによる導電部42Cにより配線パターン42Bと接続する。この金属マスク44は、図16に示すように、圧力室壁42を補強し、圧力室壁42の剛性を高める。また、配線パターン42A、42Bは、振動板23側に設けられているため、振動板23の固定支持部の強度を高め、振動板23の不要な変形を防止できる。
【0081】
即ち、配線パターン42A,42BをFPC42の表面に設けることにより、振動板の固定支持を強固にでき、振動板の不要な変形を防止できる。又、金属マスク44により、圧力室壁の強度を増加できる。
【0082】
特に、高密度ノズルにおいて、製造を容易にするため、圧力室形成部材42に樹脂をもうけ、且つ圧力室壁が薄くても、圧電体の圧力損失を防止できる。この金属マスク44は、圧力室29を精度良く形成できる。
【0083】
更に、金属メッキ層45により、各配線パターンと電極との導電部を形成するとともに、圧力室内に、金属メッキ層45を形成できる。このため、振動板23と金属マスク44との電気的接続が可能となる。又、この金属メッキ層45は、圧力室壁をインクから保護する役目も果す。この金属メッキ層45の厚みにより、圧力室壁を補強することもできる。
【0084】
[第3の実施の形態]
図19は、本発明の第3の実施の形態のヘッドの構成図であり、図2及び図6で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。
【0085】
この実施の形態では、前述の圧力室形成部材42であるFPCに、駆動回路12と、コネクタ71と、補強板70を設けた。これにより、ヘッド自体に、駆動回路12が直結しているため、配線のためのコンタクトプロセスが不要となり、更に、コストを低減できる。又、ヘッド製造時に、各素子の状態を、回路で検査できるため、検査のための一時接続が必要なく、検査にかかるコスト低減に極めて有効である。
以上、本発明を実施の形態により説明したが、エネルギー発生層を圧電層の代わりに、発熱層等他のエネルギー発生層を使用しても良く、本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0086】
【産業上の利用可能性】
上述の如く本発明によれば、インク室形成部をFPCで構成するため、ヘッドに損傷を与えずに、外部回路との接続が可能となり、しかも、FPCを別に必要とせず、外部回路との接続ができるため、ヘッドの電気的接続機構を簡単にでき、コストダウンに寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマルチノズルインクジエットヘッドを用いたプリンタの構成図である。
【図2】本発明の一実施の形態のインクジエットヘッドの概観図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態のヘッドの斜視断面図である。
【図4】図3の要部断面図である。
【図5】図3のヘッドの配線パターン図である。
【図6】本発明の他の接続形態の外観図である。
【図7】比較例の説明図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態の効果の説明図である。
【図9】図3のヘッドの製造工程説明図(その1)である。
【図10】図3のヘッドの製造工程説明図(その2)である。
【図11】図3のヘッドの製造工程説明図(その3)である。
【図12】図3のヘッドの製造工程説明図(その4)である。
【図13】本発明の第2の実施の形態のインクジエットヘッドの上面図である。
【図14】図13の要部断面図である。
【図15】図14の拡大図である。
【図16】図13の構成の動作説明図である。
【図17】図13のヘッドの製造工程説明図(その1)である。
【図18】図13のヘッドの製造工程説明図(その2)である。
【図19】本発明の第3の実施の形態のインクジエットヘッドの構成図である。
【図20】従来のマルチノズルインクジエットヘッドの構成図である。
【図21】従来のインクジエットヘッドの接続機構図である。
Claims (14)
- ノズル板と本体部とインク室形成部材とエネルギー発生部とを積層接合したマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記ノズル板は、インクを噴出する複数のノズルが形成され、
前記本体部は、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数のインク導通路と、インク供給路とが形成され、
前記インク室形成部材は、前記複数のインク導通路にそれぞれ連通するとともに、前記インク供給路に連通する複数のインク室が形成され、
前記エネルギー発生部は、前記各インク室に前記ノズルからインクを噴出するためのエネルギーを付与するものであり、
前記インク室形成部材には、前記本体部および前記エネルギー発生部のうち少なくとも一方との接合面に沿って、前記エネルギー発生部に駆動信号を与えるための配線パターンが埋め込まれており、
前記配線パターンに電気的に接続する導電路が前記配線パターンと略直交して形成されていることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項1に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材は、前記本体部から外にはみ出し、そのはみ出し部分において前記配線パターンと当該マルチノズルインクジエットヘッドの前記本体部および前記インク室形成部材の外部の回路基板とが電気的に接続されることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項2に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材がFPCであることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項1に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材は、前記本体部から外にはみ出し、そのはみ出し部分には駆動回路、コネクタ及び補強板が設けられ、該はみ出し部分が折り曲げられていることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項4に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材がFPCであることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項1に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記複数のインク室が千鳥状に配置され、
前記インク室形成部材の前記接合面であって前記インク室の四方に、前記配線パターンおよびダミー配線部のうち少なくともいずれかが埋め込まれていることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項1に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、前記エネルギー発生部は、
共通電極と、
前記共通電極上に、前記各インク室に対応して設けられるエネルギー発生層と、
前記エネルギー発生層上に設けられ、前記インク室に対応した個別電極部とを有し、
前記配線パターンは、
前記個別電極部のための配線パターンと、
前記共通電極のための配線パターンとを有することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項7に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記エネルギー発生層が、圧電体層であることを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項7に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記導電路は、前記エネルギー発生層を前記共通電極が存在しない領域で貫通し、前記配線パターンと前記個別電極とを電気的に接続することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項7に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材に、前記配線パターンに接続される制御回路を設けたことを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - 請求項7に記載のマルチノズルインクジエットヘッドにおいて、
前記インク室形成部材の前記本体部との前記接合面に設けられ、前記インク室形成部材に前記インク室をエッチングで形成するための少なくとも前記インク室に対応する開口部を有する金属マスク層と、
前記インク室の壁面に設けられ、前記金属マスク層と前記共通電極とを電気的に接続する導電層と、
を有することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッド。 - インクを噴出する複数のノズルを有するマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法において、
各インク室に前記ノズルからインクを噴射するためのエネルギーを付与するエネルギー発生部を形成する工程と、
前記エネルギー発生部に駆動信号を与えるための配線パターンを有するインク室形成部材を、前記エネルギー発生部に接合する工程と、
前記インク室形成部材に、前記ノズルと連通する複数のインク室を形成する工程と、
前記複数のノズルを形成したノズル板を前記インク室形成部材に接合する工程と、
を有することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法。 - 請求項12に記載のマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法において、
前記エネルギー発生部を形成する工程は、
基板上に複数の個別電極と、複数のエネルギー発生層を設ける工程と、
前記エネルギー発生層上に共通電極を設ける工程とを有し、
前記複数のインク室を形成する工程は、
前記個別電極と前記配線パターンとの電気的接続のための導電部材を形成する工程を有することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法。 - 請求項13に記載のマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法において、
前記複数のインク室を形成する工程は、
前記インク室形成部材の前記エネルギー発生部との接合面とは反対側の面に、少なくとも前記インク室に対応する開口部を有する金属マスク層を設け、前記金属マスク層の前記開口部に対応する前記インク室形成部材の部分をエッチングすることで前記インク室を形成する工程と、
前記インク室の壁面に、前記金属マスクと前記共通電極とを電気的に接続する導電層を、メッキにより形成する工程と、
を有することを特徴とするマルチノズルインクジエットヘッドの製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016172345A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3555682B2 (ja) * | 2002-07-09 | 2004-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
US7152958B2 (en) * | 2002-11-23 | 2006-12-26 | Silverbrook Research Pty Ltd | Thermal ink jet with chemical vapor deposited nozzle plate |
JP3979360B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2007-09-19 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
US7338152B2 (en) * | 2003-08-13 | 2008-03-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
JP3952048B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2007-08-01 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 |
JP3977355B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2007-09-19 | キヤノン株式会社 | インクタンクおよび記録ヘッド |
US7651198B2 (en) * | 2004-09-22 | 2010-01-26 | Fujifilm Corporation | Liquid droplet ejection head and image forming apparatus |
JP2006102979A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体吐出ヘッド |
WO2006037995A2 (en) * | 2004-10-04 | 2006-04-13 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
JP4887747B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2012-02-29 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置 |
JP2006245299A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Canon Inc | ステージ装置及び露光装置 |
US7449816B2 (en) * | 2005-03-25 | 2008-11-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus, and method for producing piezoelectric actuator and method for producing liquid transporting apparatus |
JP4613708B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2011-01-19 | ブラザー工業株式会社 | 回路基板及びインクジェットヘッド |
US8849087B2 (en) * | 2006-03-07 | 2014-09-30 | Qd Vision, Inc. | Compositions, optical component, system including an optical component, devices, and other products |
WO2008151351A1 (en) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of forming connection between electrode and actuator in an inkjet nozzle assembly |
JP5534683B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JP6589301B2 (ja) * | 2015-03-10 | 2019-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6961976B2 (ja) * | 2017-03-29 | 2021-11-05 | ブラザー工業株式会社 | 液体噴射ヘッド |
CN116394655A (zh) | 2018-05-11 | 2023-07-07 | 马修斯国际公司 | 用于密封喷射组件中使用的微型阀的系统和方法 |
US10994535B2 (en) | 2018-05-11 | 2021-05-04 | Matthews International Corporation | Systems and methods for controlling operation of micro-valves for use in jetting assemblies |
US11639057B2 (en) | 2018-05-11 | 2023-05-02 | Matthews International Corporation | Methods of fabricating micro-valves and jetting assemblies including such micro-valves |
BR112020022990A2 (pt) * | 2018-05-11 | 2021-02-02 | Matthews International Corporation | microválvula e conjunto de jateamento |
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JP6822503B2 (ja) * | 2019-03-05 | 2021-01-27 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55126463A (en) * | 1979-03-24 | 1980-09-30 | Ricoh Co Ltd | Ink-jetting head |
JPH05238007A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-17 | Fujitsu Isotec Ltd | インクジェットヘッド |
JPH10202872A (ja) | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Tec Corp | インクジェットヘッドの駆動装置 |
JPH10202873A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
US6053600A (en) * | 1997-01-22 | 2000-04-25 | Minolta Co., Ltd. | Ink jet print head having homogeneous base plate and a method of manufacture |
JP3697850B2 (ja) * | 1997-09-04 | 2005-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
US6312109B1 (en) * | 2000-01-12 | 2001-11-06 | Pamelan Company Limited | Ink-jet head with bubble-driven flexible membrane |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016172345A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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