JP4639475B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP4639475B2 JP4639475B2 JP2001009185A JP2001009185A JP4639475B2 JP 4639475 B2 JP4639475 B2 JP 4639475B2 JP 2001009185 A JP2001009185 A JP 2001009185A JP 2001009185 A JP2001009185 A JP 2001009185A JP 4639475 B2 JP4639475 B2 JP 4639475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- electrode
- manifold member
- drive
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/18—Electrical connection established using vias
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに関し、特に、チャンネル部を区画する駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、チャンネル部を区画する駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドが知られている。
【0003】
かかるインクジェットヘッドは、図12に示すように、圧電素子を含む基板100に円盤状のブレードを用いて複数列の溝の加工を基板途中から行い、その後、該溝側に上部基板101を固着することにより圧電素子からなる駆動壁102とチャンネル部103とを交互に形成すると共に、上記駆動壁102に駆動電極104をめっき処理等により形成し、該駆動電極104に電圧を印加することにより駆動壁102をせん断変形させてチャンネル部103内のインクをノズルプレート105のノズル孔106から吐出させるようになっている。
【0004】
上記従来のインクジェットヘッドでは、チャンネル部103は円盤状のブレードにより基板途中から溝加工されるため、該チャンネル部103には徐々に浅くなる円弧部103aが形成されている。駆動電極104はこの円弧部103aを利用してプリント基板107とボンディングワイヤ108によって電気的に接続されることで電圧が印加されるようになっているため、インクジェットヘッドの長さ(チャンネル部103に沿う方向の長さ)が実際に駆動される駆動壁102の長さ102aよりも長くなり、それだけ基板からの取り数(1枚のウェハーから取れるヘッド数)が少なくなる。例えば、駆動壁102の長さが3mmの場合であっても、円弧部103aの長さが4mm、平坦な部分が3mmとすると、ヘッドの長さは10mmとなり、ウェハーの長さが50mmのものであっても、外周の耳を取り除いて1枚のウェハーから製造できるのはたった4ヘッドということになり、極めて生産性が悪いという問題がある。
【0005】
このため、本発明者は、上記円弧部103aをなくし、図3の如く、各駆動電極に電圧を印加するための配線を、駆動壁を上下から挟むように対向している上部基板又は下部基板から引き出すようにすることで、1枚のウェハーからの取り数が多く、極めて生産性を向上させたインクジェットヘッドを既に提案している(特願2000−299982号等)。
【0006】
このようなインクジェットヘッドは、チャンネル部15はその入口から出口に亘る長さ方向で大きさと形状が変わらないストレートタイプとなるため、チャンネル部15内にインクを供給するためのインク室及びインク流路を構成するインクマニホールド部材(図3においては図示せず)は、該チャンネル部15の一方開口端側(図3における奥側)に取り付けられる一方、インクの吐出は、該インクマニホールド部材と反対側のチャンネル部15の他方開口端側(図3における手前側)から行うようになっており、インクの流入と吐出とが反対面となる。そして各駆動壁14の駆動電極16への電圧印加は、上部基板13又は下部基板11から引き出された電極から行うこととなる。
【0007】
しかし、インクジェットヘッド同士を上下に多段に重ね合わせて多ノズル化(スタック構造化)を図る場合、各電極17cはこの重合面に位置し、電圧印加を行うことが困難であるため、インクジェットヘッドを多段に重ね合わせた場合でも各電極17cに電圧を印加することのできる構造が望まれている。
【0008】
また、ノズル数(=電極数)が多い場合、通常、プリンター本体との間に駆動ICを介在させることが行われる。駆動ICはプリンター本体からの信号をシリアルデータとして受け取り、適切なタイミング信号により多数の電極に駆動波形を出力するというシリアルパラレル変換機能を少なくとも有している。この機能によりプリンター本体(プリンター制御基板)との間の接続線の本数は、ノズル数よりも大幅に少なくできる。従って、インクジェットヘッド自体がこの駆動ICを有するようにすれば、インクジェットヘッドとプリンター本体との間の接続線の本数を大幅に少なくでき、接続構造の簡素化を図ることができる。このため、駆動ICを実装しつつ、多段状に重ね合わせることが可能なインクジェットヘッドの構造が望まれている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の課題は、各駆動壁に設けた駆動電極に電圧を印加する配線が上部基板又は下部基板に引き出されるようにしたインクジェットヘッドのスタック構造化を容易に図り得るようにすることにある。
【0010】
また、本発明の他の課題は、各駆動壁に設けた駆動電極に電圧を印加する配線が上部基板又は下部基板に引き出されるようにしたインクジェットヘッドとプリンター本体との間の接続構造を簡素化させ、且つスタック構造化を容易に図り得るようにすることにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下の発明よって解決される。
【0012】
請求項1記載の発明は、上部基板及び下部基板の間に圧電素子からなる駆動壁とチャンネル部とを交互に並設し、各駆動壁に設けた駆動電極に電圧を印加する配線を上記上部基板の上面に引き出すと共に、チャンネル部内にインクを供給するためのインク室及びインク流路を構成するインクマニホールド部材を該チャンネル部の一方開口端側に取り付けてなり、各駆動電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のインクを、チャンネル部の他方開口端側に取り付けたノズルプレートのノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、
上記インクマニホールド部材は上記上部基板の上面を覆うように延出された延出部を有し、上記インクマニホールド部材に電極が配設され、該電極の一端はインクマニホールド部材の背面に延設されており、他端は上記インクマニホールド部材の上記延出部を貫通して、上記上部基板の上面に引き出した上記駆動電極に電圧を印加する配線と電気的に接続され、それら電極及び配線を経由して各駆動電極への給電を可能としたことを特徴とするインクジェットヘッドである。
【0013】
これにより、インクジェットヘッドを上下に多段状に重ね合わせても、インクマニホールド部材の背面に配設されている電極から各駆動電極に電圧を印加することができるようになるため、スタック構造化を容易に図り得るものとなる。また、通常、インクが吐出されるノズル孔を有するノズルプレート側は、インク吸引等によりインク付着が避けられず、電極がこのノズルプレート近傍に配置されると電極腐蝕や漏電の発生が懸念されるが、インクマニホールド部材の電極の他端がインクマニホールド部材の延出部を貫通して駆動電極に電圧を印加する配線と電気的に接続されるようにすることで、電極がインクに関係する部分から分離され、インクの付着により腐蝕や漏電を発生させる虞れがなくなり、安定した品質のインクジェットヘッドを得ることができる。
【0014】
請求項2記載の発明は、前記上部基板は前記チャンネル部に対応する位置に貫通する貫通孔を有し、前記上部基板の上面に引き出す駆動電極に電圧を印加する配線は該貫通孔を通って引き出されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドである。
【0016】
請求項3記載の発明は、前記インクマニホールド部材の上面に駆動ICを実装するとともに、該駆動ICは前記マニホールド部材に配設されている電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッドである。
【0017】
これによりインクジェットヘッドに駆動ICを設けることができ、プリンター本体(プリンター制御基板)との間の接続線の本数をノズル数よりも大幅に少なくできる。
【0019】
請求項4記載の発明は、前記インクマニホールド部材の底面に、底面側に重ね合わされる他のインクジェットヘッドのインクマニホールド部材の上面に実装された駆動ICを収納するための凹部を形成したことを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッドである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。
【0022】
図1は、本発明に係るインクジェットヘッドを示す全体斜視図、図2はその側面断面図である。
【0023】
図中、10はヘッドチップ、20は該ヘッドチップ10に取り付けられているインクマニホールド部材であり、これらヘッドチップ10及びインクマニホールド部材20によってインクジェットヘッド1が構成される。
【0024】
ヘッドチップ10は、図3に示すように、下部基板11の上面に圧電素子12を設け、該圧電素子12側から複数列の溝を並設すると共に、該溝側から上部基板13を固着することにより、上部基板13と下部基板11との間に、圧電素子12からなる駆動壁14とチャンネル部15とを交互に並設している。
【0025】
上記チャンネル部15の形状は、溝の両側壁が垂直方向に向いており、そして互いに平行である。また、その入口から出口に亘る長さ方向で大きさと形状が変わらないストレートタイプである。このようにチャンネル部15がストレートタイプであることにより、泡抜けが良く、電力効率が高く、発熱が少なく、高速応答性が良い。
【0026】
圧電素子12に用いられる圧電材料としては、電界を加えることにより変形を生じる公知の圧電材料を用いることができ、有機材料からなる基板、非金属製の基板等がある。特に、非金属製の圧電材料基板が好ましく、成形、焼成等の工程を経て形成される圧電セラミックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成される基板等がある。
【0027】
有機材料からなる基板に用いられる有機材料としては、ポリフッ化ビニリデン等の有機ポリマーや、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料等が挙げられる。
【0028】
非金属製の圧電材料基板において、成形、焼成等の工程を経て形成される圧電セラミックス基板としては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が好ましい。さらにBaTiO3、ZnO、LiNbO3、LiTaO3等を用いてもよい。
【0029】
PZTとしては、PZT(PbZrO3−PbTiO3)と、第三成分添加PZTがある。添加する第三成分としてはPb(Mg1/2Nb2/3)O3、Pb(Mn1/3Sb2/3)O3、Pb(Co1/3Nb2/3)O3等がある。
【0030】
また、非金属製の圧電材料基板において、成形、焼成を必要としないで形成される基板としては、例えば、ゾル−ゲル法、積層基板コーティング法等で形成することができる。
【0031】
圧電素子12は、2枚の圧電材料基板12a、12bを分極方向を互いに反対に向けて接合してなる。これにより圧電素子12に複数列の溝を並設することで、分極方向が互いに反対方向となる駆動壁14が形成される。
【0032】
圧電材料基板12aと12bを接合する手段としては、接着剤を用いた接合を採用できるが、接合可能であれば、特にこれに限定されない。接着剤を用いて接合する場合、その接着剤層の硬化後の厚みは、1〜10μmの範囲が好ましい。
【0033】
下部基板11及び上部基板13としては、圧電素子12と同じものを使用すると、貼り合せた時にソリ、変形、熱膨張係数の差による剥離等が起こらないため好ましい。また、圧電素子12と同じ熱膨張係数を持つ非圧電性基板であってもよい。非圧電性基板としては、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成される基板等があり、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板として、例えばAl2O3、SiO2、それらの混合、混融体、さらにZrO2、BeO、AlN、SiC等を用いることができる。その他、有機材料からなる基板であってもよく、このような基板としては有機ポリマーや有機ポリマーと無機物のハイブリッド材料等が挙げられる。
【0034】
各駆動壁14には、チャンネル部15内に臨んで駆動電極16が形成されている。駆動電極16を形成する金属は、Ni(ニッケル)、Co(コバルト)、Cu(銅)、Al(アルミニウム)等があるが、NiやCuが好ましく、特に好ましくはNiである。
【0035】
駆動電極16の形成は、めっき処理することにより行われる。めっき方法としは、特に、無電解めっきにより形成されることが好ましい。無電解めっきによれば、均一且つピンホールフリーの金属被膜を形成することができる。
【0036】
無電解めっきによる電極形成においては、Ni−Pめっき又はNi−Bめっきを単独で使用してもよいし、あるいはNi−PとNi−Bを重層してもよい。Ni−PめっきはP含量が高くなると電気抵抗が増大するので、P含量が1〜数%程度がよい。Ni−BめっきのB含量は、普通1%以下なので、Ni−PよりNi含量が多く、電気抵抗が低く、且つ、外部配線との接続性が良いため、Ni−PよりNi−Bの方が好ましいが、Ni−Bは高価なので、Ni−PとNi−Bを組み合わせることも好ましい。また、めっき膜の厚みは0.5〜5μmの範囲が好ましい。
【0037】
この駆動電極16は、図4(a)に示すように、駆動壁14の側面から駆動壁14の上面14aに延設されており、且つ、その駆動壁14の上面14aにおいて、各駆動電極16の上端部16aは、隣接する駆動電極16との間で所定間隔をおいて設けられることで電気的に分離されている。この電気的分離を行うには、基板表面にめっき金属を析出させた後、各駆動壁14の上面をレーザー光の照射によりパターニングしたり、エッチングを行って除去するなどの方法が採用できる。
【0038】
上部基板13の裏面には、各チャンネル部15に対応するように位置して電極17aが形成されている。この各電極17aは、上部基板13が各駆動壁14の上面14a側に固着された際に、それぞれ対応するチャンネル部15内に形成されている駆動電極16の上端16aと電気的に接続されるようになっている。なお、一つの電極17aはチャンネル部15を跨ぐように設けられることで、そのチャンネル部15を挟むように対向状に配置している駆動電極16の2つの上端16a、16aと電気的に接続されている。
【0039】
また、上部基板13には、各チャンネル部15に対応するように位置して貫通孔13aが開穿されており、各貫通孔13a内に、例えば銀ペースト、銅ペースト、Niペースト等からなる導電性部材17bを、スクリーン印刷やディスペンサーによる注入等の手段により形成することで、各導電性部材17bのチャンネル部15側に臨む端部はそれぞれ電極17aと電気的に接続している。この他、導電性部材17bは、無電解めっきにより形成することもできる。めっきによる場合は、貫通孔13a内をめっき液が流れ、析出しためっき金属が成長していき、最終的には貫通孔13aを埋めるようになる。
【0040】
一方、上部基板13の上面には、各導電性部材17bと電気的に接続するように電極17cがそれぞれ形成されている。従って、各電極17cは導電性部材17bを介して上部基板13裏面の電極17aと導通し、更に該電極17aによってそれぞれ対応する駆動電極16と導通しており、これら電極17a、導電性部材17b及び電極17cにより、各駆動電極16に電圧を印加するための配線を構成している。
【0041】
なお、この貫通孔13aの大きさを適切に選ぶことで、裏面側の電極17aを省略することも可能である。すなわち、貫通孔13aが、チャンネル部15を跨ぐような大きさに形成され、その貫通孔13a内に導電性部材17bが充填されることで、該導電性部材17bのチャンネル部15内に臨む下端部が、上記チャンネル部15を挟むように対向状に配置している2つの駆動電極16の上端16aと電気的に接続可能となる。従って、この場合は、上記導電性部材17b自体が電極17aを兼用する。
【0042】
上部基板13と駆動壁14とは異方性導電接着層によって電気的機械的に接続される。この異方性導電接着層は、異方性導電接着フィルムや異方性導電剤を用いることにより形成することができる。異方性導電フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムに金属粒子が分散されているもので、加熱しながら加圧することにより上下の基板同士を機械的に接続すると共に、加圧されることによって金属粒子が上下の電極17a及び駆動電極16同士の電気的な接続を受け持つ。また、異方性導電接着剤は、エポキシ系接着剤に導電性粒子が分散されており、スクリーン印刷や転写等の方法で塗布した後、加熱、圧着により上下基板同士の電気的接続を受け持つ。
【0043】
なお、電極17a及び駆動電極16の材料として、金や白金のように表面が酸化しない物質を用いた場合には、異方性導電接着剤や異方性導電フィルムでなくても通常の圧着でも電極17a及び16同士の電気的接続は可能である。
【0044】
また、駆動電極16に電圧を印加する配線を上部基板13の上面に取り出す別の態様として、図4(b)に示すように、各チャンネル部15の内壁面全面に駆動電極16を形成し、各チャンネル部15に対応するように上部基板13に設けた貫通孔13aに充填された導電性部材17bによって、上部基板13の上面に設けた電極17cと駆動電極16とを導通させるようにしてもよい。この態様では、導電性部材17b及び電極17cによって各駆動電極16に電圧を印加するための配線が構成される。
【0045】
この場合、電極17及び導電性部材17bを予め上部基板13に設けておき、この上部基板13を、チャンネル部15を溝加工した圧電素子12上面にエポキシ系接着剤等によって接合した後、前記同様の無電解めっきにより各チャンネル部15の内壁面全面にめっき金属を析出させることで駆動電極16を形成し、導電性部材17bの下端が上部基板13の底面に形成された駆動電極16と電気的に接続することで、電極17cと駆動電極16とを導通させることができる。
【0046】
このようにして構成されたインクジェットヘッドチップの前端面には、各チャンネル部15に対応してそれぞれノズル孔18aが開設されたノズルプレート18をエポキシ系接着剤等によって接合すると共に、後端面には、各チャンネル部15に対応してそれぞれインク導入孔19aが開設されたバックプレート19をエポキシ系接着剤等によって接合し、ヘッドチップ10を構成する。
【0047】
インクマニホールド部材20は、ポリイミド、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックと呼ばれる高機能樹脂等の材質からなり、その内部に、ヘッドチップ10のバックプレート19に開設されたインク導入孔19aを通して各チャンネル部15内にインクを供給するためのインク室及びインク流路21が成形されており、図示しないインクタンクからインクが供給され、インク室及びインク流路21内部に貯留されるようになっている。
【0048】
図示する態様におけるインクマニホールド部材20は、ヘッドチップ10のチャンネル部15の一方開口端側(バックプレート19側)に、バックプレート19のインク孔19aからインク供給可能とするべくインク室及びインク流路21を臨ませてエポキシ系接着剤等により接合されると共に、この接合された状態でヘッドチップ10の両側面及び上面側を取り囲むようにそれぞれ延出し、ヘッドチップ10を包持する上面包持部22a及び側面包持部22bを有している。
【0049】
ヘッドチップ10の上面を覆うように設けられる上面包持部22aには、該ヘッドチップ10の上部基板13上面に設けられている各電極17cに対応する位置に、該上面包持部22aの上面から下面へそれぞれ電極23が貫設されており、その下端部がヘッドチップ10の各電極17cと電気的に接続すると共に、上端部がインクマニホールド部材20の上面20aに臨んでいる。また、インクマニホールド部材20の上面20aには、一端がインクマニホールド部材20の背面20b(ヘッドチップ10との接合面と対向する面)にまで延設された電極24が配設されており、その他端は上記各電極23の上端部と電気的に接続している。
【0050】
従って、インクマニホールド部材20の電極23及び電極24は、それぞれ対応するヘッドチップ10の電極17cと導通しており、これにより、図示しないプリンター本体とインクマニホールド部材20の電極24とを該インクマニホールド部材20の背面20bにおいて電気的に接続することで、インクマニホールド部材20の電極24、23及びヘッドチップ10の電極17cを介して各駆動電極16へ電圧を印加することができるようになっている。これにより、図5に示すように、インクジェットヘッド1同士を上下に多段状に重ね合わせてスタック構造化を図った場合でも、各インクジェットヘッド1の背面20b側から各駆動電極16へ電圧印加が可能となる。なお、多段状に重ね合わせる段数は、図示する2段に限定されず、3段以上でもよい。
【0051】
インクマニホールド部材20には、図6及び図7に示すように、上面20aに駆動IC30を直接実装するようにしてもよい。このように駆動IC30をインクマニホールド部材20に実装することにより、インクマニホールド部材20に配設される電極24は、ヘッドチップ10の電極17cと導通する電極24aと、駆動IC30とプリンター本体側との電気的接続を行うためにインクマニホールド部材20の上面20aから背面20bにかけて配設される駆動IC30との接続用電極24bとで構成されるが、電極24aの本数(=チャンネル数)に比べて、接続用電極24bの本数が大幅に少なくなり、インクジェットヘッド1とプリンター本体との間の接続を簡素にすることができる。この場合、インクマニホールド部材20の底面20cには、インクジェットヘッド1を上下に多段状に重ね合わせてスタック構造化を図った場合に、その底面20c側に重合される他のインクジェットヘッド1の駆動IC30を収納するための収納凹部25を形成しておくとよい。この収納凹部25は、多段状に重ね合わせた際の駆動IC30の放熱を考慮して、インクマニホールド部材20の側面20d(片側又は両側)若しくは背面20bまで延長させることが好ましい。
【0052】
また、インクマニホールド部材20に駆動IC30を設ける場合は、該インクマニホールド部材20の背面20bに延設された駆動ICとの接続用電極24bとヘッドチップ10の各駆動電極16に電圧を印加するための配線(電極17c)とが、駆動IC30が実装された第3の部材を用いて電気的に接続されるようにすることも好ましい。
【0053】
この具体的構成を図8及び図9に示す。
【0054】
この態様において、ヘッドチップ10は、図1及び図2に示す態様と上下を逆にしてインクマニホールド部材20に取り付けられており、プリンター本体側と駆動IC30との接続用電極24bが、インクマニホールド部材20の下面20cから背面20bにかけて配設されている。また、図1及び図2に示す態様と上下を逆にする代わりに、電極17cを下部基板11側から引き出すようにしてヘッドチップ10を構成するようにしてもよい。
【0055】
この駆動ICとの接続用電極24bとヘッドチップ10の電極17cとの電気的接続を受け持つ第3の部材として、ここでは片面FPC40を用いている。この片面FPC40の一面には駆動IC30が実装されており、該駆動IC30と同一面には、該駆動IC30とヘッドチップ10の各電極17cとをそれぞれ電気的に接続するための配線41a及び駆動IC30とインクマニホールド部材20に配設された各接続用電極24bとをそれぞれ電気的に接続するための配線41bがそれぞれ形成されている。
【0056】
この駆動IC30が実装された片面FPC40を、ヘッドチップ10とインクマニホールド部材20とを接合した後に、駆動IC30の取付け面側をヘッドチップ10及びインクマニホールド部材20側に向けて、片面FPC40に形成されている各配線41aとヘッドチップ10の各電極17cとの電気的接続及び同じく各配線41bとインクマニホールド部材20の各接続用電極24bとの電気的接続を行う。これらの電気的接続には、半田や異方性導電フィルムを用いた加熱圧着を採用することができる。
【0057】
この態様によれば、駆動IC30をインクジェットヘッド1に実装することによる上記利点に加え、ヘッドチップ10の電極17cとインクマニホールド部材20の接続用電極24bとが同一面であるため、組立工程が簡易化される利点がある。特に、片面FPC40は電気的接続を行う面と片面FPC40に実装されている駆動IC30とが同一面となり、また、薄く曲げ易いため、より組立工程が簡易化されると共に、安価であるため低コスト化を図ることができる。
【0058】
なお、インクマニホールド部材20の下面20cには、片面FPC40に実装されている駆動IC30を収容するための凹部26が形成されており、ヘッドチップ10及びインクマニホールド部材20に片面FPC40を電気的に接続した際の駆動IC30を収容し、該駆動IC30による片面FPC40のインクマニホールド部材20からの浮き上がりを防止するようにしている。
【0059】
また、インクマニホールド部材20の上面20aには、スタック構造化を図る際に、該上面20a側に重ね合わされる他のインクジェットヘッド1の片面FPC40を収容するためのザグリ部(掘り込み部)27が形成されている。これにより、図10の如く片面FPC40を用いて駆動IC30を設けたインクジェットヘッド1同士を多段に重ね合わせた場合に、ヘッド間を密に重合させることができる。
【0060】
この場合、駆動IC30は上下のインクマニホールド部材20間に埋め込まれた状態となり放熱が困難になる。このため、インクマニホールド部材20に形成した凹部26をインクマニホールド部材20の側面20d(片側又は両側)に延長させると共に、駆動IC30に放熱用金属31を取り付け、図9及び図11に示すように、この放熱用金属31を凹部26に沿って側面20dに延出させ、駆動IC30の熱を放熱用金属31を介してインクマニホールド部材20の側面20dから外部に向けて放熱させるようにするとよい。また、図示しないが、凹部26をインクマニホールド部材20の背面20b側に延出させ、同様にして背面20bから外部に向けて放熱させるようにしてもよい。
【0061】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成してなるから、各駆動壁に設けた駆動電極に電圧を印加する配線が上部基板又は下部基板に引き出されるようにしたインクジェットヘッドとプリンター本体との間の接続をインクジェットヘッドの背面側において行うことができるため、スタック構造化を容易に図ることができるようになる。
【0062】
また、インクジェットヘッドに駆動ICを容易に実装可能であるため、プリンター本体との間の接続構造を簡素化させることができ、加えて、インクジェットヘッドとプリンター本体との間の接続をインクジェットヘッドの背面側において行うことができるため、スタック構造化を容易に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るインクジェットヘッドの全体斜視図
【図2】本発明に係るインクジェットヘッドの側面断面図
【図3】ヘッドチップを示す一部破断する部分斜視図
【図4】(a)ヘッドチップの一例を示す正面断面図、(b)ヘッドチップの他の一例を示す正面断面図
【図5】インクジェットヘッドのスタック構造を示す全体斜視図
【図6】本発明に係るインクジェットヘッドの他の例を示す全体斜視図
【図7】図6に示すインクジェットヘッドの側面断面図
【図8】本発明に係るインクジェットヘッドの更に他の例を示す側面断面図
【図9】図8に示すインクジェットヘッドの底面図
【図10】図8に示すインクジェットヘッドのスタック構造を示す側面断面図
【図11】図8に示すインクジェットヘッドのスタック構造を示す全体斜視図
【図12】従来のインクジェットヘッドを示す部分破断斜視図
【符号の説明】
1:インクジェットヘッド
11:下部基板
12:圧電素子
12a、12b:圧電材料基板
13:上部基板
14:駆動壁
15:チャンネル部
16:駆動電極
17a、17c:電極(配線)
17b:導電性部材(配線)
18: ノズルプレート
18a:ノズル孔
19:バックプレート
20:インクマニホールド部材
20a:上面
20b:背面
20c:底面
20d:側面
21:インク室及びインク流路
22a上面包持部
22b側面包持部
23、24(24a、24b):電極
25:収納凹部
26:凹部
27:ザグリ部
30:ヘッド駆動用IC
31:放熱用金属
40:片面FPC
41a、41b:配線
Claims (4)
- 上部基板及び下部基板の間に圧電素子からなる駆動壁とチャンネル部とを交互に並設し、各駆動壁に設けた駆動電極に電圧を印加する配線を上記上部基板の上面に引き出すと共に、チャンネル部内にインクを供給するためのインク室及びインク流路を構成するインクマニホールド部材を該チャンネル部の一方開口端側に取り付けてなり、各駆動電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のインクを、チャンネル部の他方開口端側に取り付けたノズルプレートのノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、
上記インクマニホールド部材は上記上部基板の上面を覆うように延出された延出部を有し、上記インクマニホールド部材に電極が配設され、該電極の一端はインクマニホールド部材の背面に延設されており、他端は上記インクマニホールド部材の上記延出部を貫通して、上記上部基板の上面に引き出した上記駆動電極に電圧を印加する配線と電気的に接続され、それら電極及び配線を経由して各駆動電極への給電を可能としたことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記上部基板は前記チャンネル部に対応する位置に貫通する貫通孔を有し、前記上部基板の上面に引き出す駆動電極に電圧を印加する配線は該貫通孔を通って引き出されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記インクマニホールド部材の上面に駆動ICを実装するとともに、該駆動ICは前記マニホールド部材に配設されている電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記インクマニホールド部材の底面に、底面側に重ね合わされる他のインクジェットヘッドのインクマニホールド部材の上面に実装された駆動ICを収納するための凹部を形成したことを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001009185A JP4639475B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001009185A JP4639475B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002210955A JP2002210955A (ja) | 2002-07-31 |
JP4639475B2 true JP4639475B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=18876713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001009185A Expired - Fee Related JP4639475B2 (ja) | 2001-01-17 | 2001-01-17 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4639475B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4363038B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-11-11 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットヘッド |
JP4616609B2 (ja) | 2004-10-05 | 2011-01-19 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2009292009A (ja) | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法 |
JP5664555B2 (ja) | 2009-12-18 | 2015-02-04 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP5563354B2 (ja) | 2010-04-01 | 2014-07-30 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP5432064B2 (ja) * | 2010-05-31 | 2014-03-05 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6322448B2 (ja) | 2014-03-12 | 2018-05-09 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 |
JP2015171801A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 |
JP6333586B2 (ja) * | 2014-03-12 | 2018-05-30 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 |
JP6266392B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2018-01-24 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2017087532A (ja) | 2015-11-09 | 2017-05-25 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09327907A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH10211705A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
JPH10217456A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-18 | Brother Ind Ltd | プリンタのインク噴射装置 |
JPH11227191A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-24 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
-
2001
- 2001-01-17 JP JP2001009185A patent/JP4639475B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09327907A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH10211705A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
JPH10217456A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-18 | Brother Ind Ltd | プリンタのインク噴射装置 |
JPH11227191A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-24 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002210955A (ja) | 2002-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7497554B2 (en) | Ink jet print head | |
US7475968B2 (en) | Ink-jet head | |
JP4961711B2 (ja) | インクジェットヘッド用貫通電極付き基板の製造方法及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4609182B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5760475B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4639475B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
US7232207B2 (en) | Ink jet head | |
JP2006019718A (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ及びインクジェットヘッド。 | |
JP2002292871A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JP2003291337A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP4374912B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2004268315A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2012025119A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2002103614A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4363038B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
US20120026248A1 (en) | Inkjet head assembly and method for manufacturing the same | |
JP2001071490A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP2000263781A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP4507514B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4333275B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3298755B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2018192674A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
JP7415515B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4321233B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4590934B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |