JPH09123446A - インクジェット装置及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット装置及びその製造方法Info
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- JPH09123446A JPH09123446A JP28569495A JP28569495A JPH09123446A JP H09123446 A JPH09123446 A JP H09123446A JP 28569495 A JP28569495 A JP 28569495A JP 28569495 A JP28569495 A JP 28569495A JP H09123446 A JPH09123446 A JP H09123446A
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- Japan
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- ejection
- electrode
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- ink
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 溝底部の電極を確実に、低コスト、高生産性
で除去すること。 【解決手段】 インク流路６１３の幅よりも空間６１５
の幅を広くすることにより、空間６１５の内面を構成す
るアクチュエータ壁６０３の電極６２１を過って削り取
ることなく、空間６１５の底面に形成された電極をダイ
ヤモンド円板により確実に除去することができる。
で除去すること。 【解決手段】 インク流路６１３の幅よりも空間６１５
の幅を広くすることにより、空間６１５の内面を構成す
るアクチュエータ壁６０３の電極６２１を過って削り取
ることなく、空間６１５の底面に形成された電極をダイ
ヤモンド円板により確実に除去することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット装
置及びその製造方法に関するものである。
置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置に取って変わり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の印字装置が挙げられる。中でも印
字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・オン・
デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコストの安
さ等から急速に普及している。
装置に取って変わり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の印字装置が挙げられる。中でも印
字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・オン・
デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコストの安
さ等から急速に普及している。
【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は光熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は光熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
【０００４】以上のような欠点を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。
【０００５】上記せん断モード型では、駆動の為に電圧
を印加する電極とインクとが接する駆動方法の為、電極
を絶縁層で覆う必要がありコストの上昇、生産性の低
下、という問題を抱えていた。
を印加する電極とインクとが接する駆動方法の為、電極
を絶縁層で覆う必要がありコストの上昇、生産性の低
下、という問題を抱えていた。
【０００６】しかし近年、このせん断モード型の駆動方
法を改良し、絶縁層を用いない駆動方法のせん断モード
型の提案がなされている。
法を改良し、絶縁層を用いない駆動方法のせん断モード
型の提案がなされている。
【０００７】図６に示すように、上記改良型せん断モー
ド型のインクジェット装置６００は、底壁６０１、天壁
６０２およびその間のせん断モードアクチュエータ壁６
０３からなる。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６
０１に接着され、且つ矢印６１１方向に分極された下部
壁６０７と、下部壁６０７及び天壁６０２に接着され、
且つ矢印６０９方向に分極された上部壁６０５とからな
っている。アクチュエータ壁６０３は一対となってその
間にインク流路６１３を形成し、且つ次の一対のアクチ
ュエータ壁６０３の間には、インク流路６１３と同間隔
の空間６１５を形成している。
ド型のインクジェット装置６００は、底壁６０１、天壁
６０２およびその間のせん断モードアクチュエータ壁６
０３からなる。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６
０１に接着され、且つ矢印６１１方向に分極された下部
壁６０７と、下部壁６０７及び天壁６０２に接着され、
且つ矢印６０９方向に分極された上部壁６０５とからな
っている。アクチュエータ壁６０３は一対となってその
間にインク流路６１３を形成し、且つ次の一対のアクチ
ュエータ壁６０３の間には、インク流路６１３と同間隔
の空間６１５を形成している。
【０００８】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側壁には電極６１９、６２１が
金属化層として設けられている。電極６１９は、インク
流路６１３の内面を構成する２つのアクチュエータ壁６
０３の側面に形成されると共に底壁６０１にも形成され
る。つまり２つのアクチュエータ壁６０３の側面に形成
された電極は導通している。一方、電極６２１は、空間
６１５の内面を構成する２つのアクチュエータ壁６０３
の側面には形成されるが、電極６１９とは異なり、底壁
６０１には形成されない。つまり、両アクチュエータ壁
６０３に形成された電極６２１は導通していない。そし
て、インク流路６１３内に設けられている電極６１９は
アース６２３に接地され、空間６１５側に設けられてい
る電極６２１はアクチュエータ駆動回路を与えるシリコ
ン・チップ６２５に接続されている。
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側壁には電極６１９、６２１が
金属化層として設けられている。電極６１９は、インク
流路６１３の内面を構成する２つのアクチュエータ壁６
０３の側面に形成されると共に底壁６０１にも形成され
る。つまり２つのアクチュエータ壁６０３の側面に形成
された電極は導通している。一方、電極６２１は、空間
６１５の内面を構成する２つのアクチュエータ壁６０３
の側面には形成されるが、電極６１９とは異なり、底壁
６０１には形成されない。つまり、両アクチュエータ壁
６０３に形成された電極６２１は導通していない。そし
て、インク流路６１３内に設けられている電極６１９は
アース６２３に接地され、空間６１５側に設けられてい
る電極６２１はアクチュエータ駆動回路を与えるシリコ
ン・チップ６２５に接続されている。
【０００９】次に、このインクジェット装置６００の製
造方法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電
セラミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分
極された圧電セラミックス層をさらに矢印６１１に分極
された圧電セラミックス層に接着する。圧電セラミック
ス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０５の高さに等
しい。次に、圧電セラミックス層に、平行な溝をダイヤ
モンド円板の回転等によって溝を形成して、下部壁６０
７、上部壁６０５の接合されたアクチュエータ壁６０３
を形成する。そして、真空蒸着等によって前記溝の内面
及びアクチュエータ壁６０３の天頂部に電極を形成す
る。そして、真空蒸着直後の空間６１５となる溝の内面
全てには、電極が形成されているため、先にアクチュエ
ータ壁６０３を形成するために用いたダイヤモンド円板
の厚みより薄いダイヤモンド円板の回転等で空間６１５
となる溝の底壁６０１上で導通している電極を切断加工
する。
造方法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電
セラミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分
極された圧電セラミックス層をさらに矢印６１１に分極
された圧電セラミックス層に接着する。圧電セラミック
ス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０５の高さに等
しい。次に、圧電セラミックス層に、平行な溝をダイヤ
モンド円板の回転等によって溝を形成して、下部壁６０
７、上部壁６０５の接合されたアクチュエータ壁６０３
を形成する。そして、真空蒸着等によって前記溝の内面
及びアクチュエータ壁６０３の天頂部に電極を形成す
る。そして、真空蒸着直後の空間６１５となる溝の内面
全てには、電極が形成されているため、先にアクチュエ
ータ壁６０３を形成するために用いたダイヤモンド円板
の厚みより薄いダイヤモンド円板の回転等で空間６１５
となる溝の底壁６０１上で導通している電極を切断加工
する。
【００１０】次に、アクチュエータ壁６０３の天頂部に
付着した電極を研磨加工等によって取り除くことによ
り、前記電極６１９、６２１が形成される。さらに、ア
クチュエータ壁６０３の上部壁６０５に天壁６０２を接
着して前記溝を塞いで、インク流路６１３と空間６１５
とを形成する。次に、ノズル６１８が設けられているノ
ズルプレート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１
３と対応するように、底壁６０１、天壁６０２及びアク
チュエータ壁６０３の一端に接着し、他端側でシリコン
・チップ６２５とアース６２３とを電極６１９、６２１
に接続する。
付着した電極を研磨加工等によって取り除くことによ
り、前記電極６１９、６２１が形成される。さらに、ア
クチュエータ壁６０３の上部壁６０５に天壁６０２を接
着して前記溝を塞いで、インク流路６１３と空間６１５
とを形成する。次に、ノズル６１８が設けられているノ
ズルプレート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１
３と対応するように、底壁６０１、天壁６０２及びアク
チュエータ壁６０３の一端に接着し、他端側でシリコン
・チップ６２５とアース６２３とを電極６１９、６２１
に接続する。
【００１１】そして、各インク流路６１３内のアクチュ
エータ壁６０３の側面に形成されている電極６１９はア
ース６２３に接続されているため、所定のインク流路６
１３の両側のアクチュエータ壁６０３の空間６１５側に
形成されている電極６２１に、シリコン・チップ６２５
が電圧を印加することによって、所定のインク流路６１
３の両側のアクチュエータ壁６０３がインク流路６１３
の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形して、所定
時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３の容積が
増加状態から自然状態となってインク流路６１３内のイ
ンクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１８から噴
射される。
エータ壁６０３の側面に形成されている電極６１９はア
ース６２３に接続されているため、所定のインク流路６
１３の両側のアクチュエータ壁６０３の空間６１５側に
形成されている電極６２１に、シリコン・チップ６２５
が電圧を印加することによって、所定のインク流路６１
３の両側のアクチュエータ壁６０３がインク流路６１３
の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形して、所定
時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３の容積が
増加状態から自然状態となってインク流路６１３内のイ
ンクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１８から噴
射される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインクジェット装置６００では、インク流路６
１３と空間６１５とが同じ溝幅である。したがって、空
間６１５内の電極６２１を分離するために、前記溝の底
面である底壁６０１上で電極を切断加工しようとする
と、当然ダイヤモンド円板の幅は前記溝を形成するため
に用いたものより小さいものが必要になる。ここで、イ
ンク流路６１３の最適な溝幅は使用するインク、印可す
る電圧等によって異なるが４０〜１００μｍ程度であ
り、装置の小型化の為に狭いものが望まれている。さら
にアクチュエータ壁６０３の高さ、すなわちインク流路
６１３の深さは１００〜４００μｍ程度が望ましい。
た構成のインクジェット装置６００では、インク流路６
１３と空間６１５とが同じ溝幅である。したがって、空
間６１５内の電極６２１を分離するために、前記溝の底
面である底壁６０１上で電極を切断加工しようとする
と、当然ダイヤモンド円板の幅は前記溝を形成するため
に用いたものより小さいものが必要になる。ここで、イ
ンク流路６１３の最適な溝幅は使用するインク、印可す
る電圧等によって異なるが４０〜１００μｍ程度であ
り、装置の小型化の為に狭いものが望まれている。さら
にアクチュエータ壁６０３の高さ、すなわちインク流路
６１３の深さは１００〜４００μｍ程度が望ましい。
【００１３】このように、幅が狭く、幅に対して高さの
比率が大きい溝の底部を加工するのは非常に困難であ
り、生産性が下がりコストが上がるといった問題があっ
た。また、用いるダイヤモンド円板の幅が溝幅に比べて
十分に薄く無い場合は、溝内のアクチュエータ壁６０３
に形成されている電極をまちがって削り取ってしまうと
いった問題点もあった。
比率が大きい溝の底部を加工するのは非常に困難であ
り、生産性が下がりコストが上がるといった問題があっ
た。また、用いるダイヤモンド円板の幅が溝幅に比べて
十分に薄く無い場合は、溝内のアクチュエータ壁６０３
に形成されている電極をまちがって削り取ってしまうと
いった問題点もあった。
【００１４】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、溝底部の電極を確実に、低コス
ト、高生産性で除去することができるインクジェット装
置及びその製造方法を提供することを目的とする。
になされたものであり、溝底部の電極を確実に、低コス
ト、高生産性で除去することができるインクジェット装
置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１記載では、インクが噴射される複数の噴射
チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられ、
インクが噴射されない複数の非噴射チャンネルと、前記
噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、分極
された圧電セラミックスで少なくとも一部が形成された
隔壁と、前記隔壁に形成され、圧電の印加によって前記
圧電セラミックス部に駆動電界を発生するための電極と
を有し、前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割され
たインクジェット装置であって、噴射チャンネルの幅よ
りも非噴射領域の幅を広くすることによって、非噴射チ
ャンネル内の電極の分割が行なわれる。
に、請求項１記載では、インクが噴射される複数の噴射
チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられ、
インクが噴射されない複数の非噴射チャンネルと、前記
噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、分極
された圧電セラミックスで少なくとも一部が形成された
隔壁と、前記隔壁に形成され、圧電の印加によって前記
圧電セラミックス部に駆動電界を発生するための電極と
を有し、前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割され
たインクジェット装置であって、噴射チャンネルの幅よ
りも非噴射領域の幅を広くすることによって、非噴射チ
ャンネル内の電極の分割が行なわれる。
【００１６】請求項２のインクジェット装置では、前記
噴射チャンネル内の電極を接地し、前記非噴射領域内の
電極に電圧を印加して、前記隔壁を変形させてインクを
噴射することによって、インクと接触する噴射チャンネ
ル内の電極上に絶縁膜を必要としない。
噴射チャンネル内の電極を接地し、前記非噴射領域内の
電極に電圧を印加して、前記隔壁を変形させてインクを
噴射することによって、インクと接触する噴射チャンネ
ル内の電極上に絶縁膜を必要としない。
【００１７】請求項３では、インクが噴射される複数の
噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けら
れ、インクが噴射されない複数の非噴射チャンネルと、
前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、
分極された圧電セラミックスで少なくとも一部が形成さ
れた隔壁と、前記隔壁に形成され、圧電の印加によって
前記圧電セラミックス部に駆動電界を発生するための電
極とを有し、前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割
されたインクジェット装置の製造方法であって、第一工
程で、圧電セラミックス層を有する基板に、前記噴射チ
ャンネルとなる第一溝、前記第一溝より溝幅の広い前記
非噴射チャンネルとなる第二溝及び前記隔壁を形成し、
第二工程で、前記第一溝及び前記第二溝の内面全面に導
電層を形成し、第三工程で、前記第二溝の底面に形成さ
れた導電層を除去することによって、前記非噴射チャン
ネル内の前記電極の分割が行なわれる。
噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けら
れ、インクが噴射されない複数の非噴射チャンネルと、
前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、
分極された圧電セラミックスで少なくとも一部が形成さ
れた隔壁と、前記隔壁に形成され、圧電の印加によって
前記圧電セラミックス部に駆動電界を発生するための電
極とを有し、前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割
されたインクジェット装置の製造方法であって、第一工
程で、圧電セラミックス層を有する基板に、前記噴射チ
ャンネルとなる第一溝、前記第一溝より溝幅の広い前記
非噴射チャンネルとなる第二溝及び前記隔壁を形成し、
第二工程で、前記第一溝及び前記第二溝の内面全面に導
電層を形成し、第三工程で、前記第二溝の底面に形成さ
れた導電層を除去することによって、前記非噴射チャン
ネル内の前記電極の分割が行なわれる。
【００１８】請求項４のインクジェット装置の製造方法
では、円板状工具の回転による切削加工により、前記第
一溝の溝幅より広い溝幅を有する前記第二溝の底面に形
成された導電層が除去され、前記非噴射チャンネル内の
電極が分割される。
では、円板状工具の回転による切削加工により、前記第
一溝の溝幅より広い溝幅を有する前記第二溝の底面に形
成された導電層が除去され、前記非噴射チャンネル内の
電極が分割される。
【００１９】請求項５のインクジェット装置の製造方法
では、前記第一工程における前記第一溝の形成と、前記
第三工程における前記導電層の除去とを、同一の幅を有
する円板状工具の回転による切削加工により行なうこと
によって、生産性良く、前記非噴射チャンネル内の前記
電極が分割される。
では、前記第一工程における前記第一溝の形成と、前記
第三工程における前記導電層の除去とを、同一の幅を有
する円板状工具の回転による切削加工により行なうこと
によって、生産性良く、前記非噴射チャンネル内の前記
電極が分割される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００２１】図１に示すように、従来同様に底壁６０１
に矢印６１１に分極された圧電セラミックス層７０７を
接着剤７０１にて接着し、さらに矢印６０９に分極され
た圧電セラミックス層７０５を圧電セラミックス層７０
７上に接着剤７０２にて接着層する。この時、各アクチ
ュエータ壁６０３の駆動特性を均一にするために、接着
剤７０２の厚さの均一性が望まれ、本実施例においては
ある値に対して±５μｍ以内にとした。またこの接着層
７０２には、後に加工されるアクチュエータ壁６０３の
壁厚さより大きな気泡がの巻き込みがあってはいけない
ため十分慎重な接着工程が要求される。
に矢印６１１に分極された圧電セラミックス層７０７を
接着剤７０１にて接着し、さらに矢印６０９に分極され
た圧電セラミックス層７０５を圧電セラミックス層７０
７上に接着剤７０２にて接着層する。この時、各アクチ
ュエータ壁６０３の駆動特性を均一にするために、接着
剤７０２の厚さの均一性が望まれ、本実施例においては
ある値に対して±５μｍ以内にとした。またこの接着層
７０２には、後に加工されるアクチュエータ壁６０３の
壁厚さより大きな気泡がの巻き込みがあってはいけない
ため十分慎重な接着工程が要求される。
【００２２】次に、図２に示すように、これら接着され
た３層基板にインク流路６１３（図５）、空間６１５
（図５）となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアク
チュエータ壁６０３を形成する。まずインク流路６１３
の幅と同じ幅を持つダイヤモンド円板の回転によってイ
ンク流路６１３となる第一溝６３３を圧電セラミックス
層７０５側から加工する。この時加工深さは同時に加工
する他の第一溝６３３と同一にすることが重要であり、
その深さの絶対値は噴射条件により適当に設定すること
が可能である。本実施例においては最も駆動効率の良い
深さ、すなわち底壁６０１まで加工した。
た３層基板にインク流路６１３（図５）、空間６１５
（図５）となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアク
チュエータ壁６０３を形成する。まずインク流路６１３
の幅と同じ幅を持つダイヤモンド円板の回転によってイ
ンク流路６１３となる第一溝６３３を圧電セラミックス
層７０５側から加工する。この時加工深さは同時に加工
する他の第一溝６３３と同一にすることが重要であり、
その深さの絶対値は噴射条件により適当に設定すること
が可能である。本実施例においては最も駆動効率の良い
深さ、すなわち底壁６０１まで加工した。
【００２３】次に、空間６１５となる第二溝６３５およ
びアクチュエータ壁６０３を形成するが、この時先に加
工した第一溝６３３の加工に用いたダイヤモンド円板の
幅よりも厚い幅のダイヤモンド円板を用いる。理論的に
は少しでも幅が厚ければ本発明の主旨を満足するが、本
実施例に述べるようにダイヤモンド円板を用いる加工を
行う場合は、第一溝６３３の加工に用いたダイヤモンド
円板より５μｍ程度以上大きな幅を持つダイヤモンド円
板で加工するのが望ましい。これより幅が小さいと、後
に述べる空間６１５を構成する底壁６０１上の電極をダ
イヤモンド円板で切断するときに、アクチュエータ壁６
０３に作製された電極にダイヤモンド円板が触れ謝って
電極を削り取ってしまう恐れがある。
びアクチュエータ壁６０３を形成するが、この時先に加
工した第一溝６３３の加工に用いたダイヤモンド円板の
幅よりも厚い幅のダイヤモンド円板を用いる。理論的に
は少しでも幅が厚ければ本発明の主旨を満足するが、本
実施例に述べるようにダイヤモンド円板を用いる加工を
行う場合は、第一溝６３３の加工に用いたダイヤモンド
円板より５μｍ程度以上大きな幅を持つダイヤモンド円
板で加工するのが望ましい。これより幅が小さいと、後
に述べる空間６１５を構成する底壁６０１上の電極をダ
イヤモンド円板で切断するときに、アクチュエータ壁６
０３に作製された電極にダイヤモンド円板が触れ謝って
電極を削り取ってしまう恐れがある。
【００２４】このようにしてインク流路６１３、空間６
１５となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアクチュ
エータ壁６０３の形成された３層基板に、真空蒸着等に
よって図３に示すように導電性を有する物質にて電極６
４０を形成する。本実施例においては耐食性に優れるニ
ッケルを蒸着した。次に図４に示すようアクチュエータ
壁６０３の上部壁６０５の上部に付着している電極を研
磨加工によって取り除く。本実施例では研磨加工によっ
て取り除いたが、蒸着前に上部壁６０５の上部にレジス
トを塗布しておき、電極蒸着後にレジストをリフトオフ
する事によって上部壁６０５の上部の電極を取り除くこ
とも可能である。
１５となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアクチュ
エータ壁６０３の形成された３層基板に、真空蒸着等に
よって図３に示すように導電性を有する物質にて電極６
４０を形成する。本実施例においては耐食性に優れるニ
ッケルを蒸着した。次に図４に示すようアクチュエータ
壁６０３の上部壁６０５の上部に付着している電極を研
磨加工によって取り除く。本実施例では研磨加工によっ
て取り除いたが、蒸着前に上部壁６０５の上部にレジス
トを塗布しておき、電極蒸着後にレジストをリフトオフ
する事によって上部壁６０５の上部の電極を取り除くこ
とも可能である。
【００２５】そして、次に空間６１５となる第二溝６３
５の底面である底壁６０１上に形成されている電極を同
様なダイヤモンド円板の回転で切断加工する。このとき
先に第一溝６３３を加工したダイヤモンド円板と同じ幅
のものを用いると、非常に経済的でありコストを低く押
さえることができる。さらに、第一溝６３３の加工に用
いるダイヤモンド円板の幅がこのような溝加工に耐え得
る最小幅のダイヤモンド円板を用いることができるた
め、非常に集積化されたインク流路６１３の列を形成す
ることが可能となり、インクジェット装置の小型化が達
成できる。
５の底面である底壁６０１上に形成されている電極を同
様なダイヤモンド円板の回転で切断加工する。このとき
先に第一溝６３３を加工したダイヤモンド円板と同じ幅
のものを用いると、非常に経済的でありコストを低く押
さえることができる。さらに、第一溝６３３の加工に用
いるダイヤモンド円板の幅がこのような溝加工に耐え得
る最小幅のダイヤモンド円板を用いることができるた
め、非常に集積化されたインク流路６１３の列を形成す
ることが可能となり、インクジェット装置の小型化が達
成できる。
【００２６】このようにしてインク流路６１３、空間６
１５となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアクチュ
エータ壁６０３が作製された３層基板に電極６２１、６
１９を作製した後は、図５に示すように天壁６０２を上
部壁６０５に接着してインク流路６１３、空間６１５を
形成し、従来例と同様にノズルおよびマニホールド部を
設けインクジェット装置を形成する。
１５となる第一溝６３３、第二溝６３５およびアクチュ
エータ壁６０３が作製された３層基板に電極６２１、６
１９を作製した後は、図５に示すように天壁６０２を上
部壁６０５に接着してインク流路６１３、空間６１５を
形成し、従来例と同様にノズルおよびマニホールド部を
設けインクジェット装置を形成する。
【００２７】上述したように、本実施例では、空間６１
５の幅がインク流路６１３の幅より広いので、溝６３５
底面に形成された電極の除去を、アクチュエータ壁６０
３に形成された電極を過って削ることなく、確実に行な
うことができる。そのため、インクジェット装置のコス
トを低減でき、歩留まりが向上し、生産性に優れてい
る。
５の幅がインク流路６１３の幅より広いので、溝６３５
底面に形成された電極の除去を、アクチュエータ壁６０
３に形成された電極を過って削ることなく、確実に行な
うことができる。そのため、インクジェット装置のコス
トを低減でき、歩留まりが向上し、生産性に優れてい
る。
【００２８】尚、本発明は上述した実施例に限定される
ものでなく、その主旨を逸脱しない範囲において種々の
変更を加えることが出来る。例えば、本実施例では、底
壁６０１に矢印６１１に分極された圧電セラミックス層
７０７を接着剤にて接着し、さらに矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層７０５を圧電セラミックス層７
０７上に接着したが、底壁６０１を用いずに、圧電セラ
ミックス層７０７の厚さと底壁６０１の厚さとを足した
分の厚さを有し、矢印６１１に分極された圧電セラミッ
クス層に、圧電セラミックス７０５を接着した２層の基
板を作製し、同様の作製方法によりインクジェット装置
を作製しても良い。
ものでなく、その主旨を逸脱しない範囲において種々の
変更を加えることが出来る。例えば、本実施例では、底
壁６０１に矢印６１１に分極された圧電セラミックス層
７０７を接着剤にて接着し、さらに矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層７０５を圧電セラミックス層７
０７上に接着したが、底壁６０１を用いずに、圧電セラ
ミックス層７０７の厚さと底壁６０１の厚さとを足した
分の厚さを有し、矢印６１１に分極された圧電セラミッ
クス層に、圧電セラミックス７０５を接着した２層の基
板を作製し、同様の作製方法によりインクジェット装置
を作製しても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、請
求項１記載のインクジェット装置によれば、前記噴射チ
ャンネルの幅よりも前記非噴射領域の幅の方が広いの
で、前記非噴射チャンネル内の前記電極の分割を確実に
行なうことができる。従って、コストが低減し、歩留ま
りが向上し、生産性に優れる。
求項１記載のインクジェット装置によれば、前記噴射チ
ャンネルの幅よりも前記非噴射領域の幅の方が広いの
で、前記非噴射チャンネル内の前記電極の分割を確実に
行なうことができる。従って、コストが低減し、歩留ま
りが向上し、生産性に優れる。
【００３０】請求項２のインクジェット装置によれば、
前記噴射チャンネル内の電極を接地し、前記非噴射領域
内の電極に電圧を印加して、前記隔壁を変形させてイン
クを噴射するので、インクと接触する噴射チャンネル内
の電極上に絶縁膜を必要とせず、コストが低減し、歩留
まりが向上し、生産性に優れる。
前記噴射チャンネル内の電極を接地し、前記非噴射領域
内の電極に電圧を印加して、前記隔壁を変形させてイン
クを噴射するので、インクと接触する噴射チャンネル内
の電極上に絶縁膜を必要とせず、コストが低減し、歩留
まりが向上し、生産性に優れる。
【００３１】請求項３のインクジェット装置の製造方法
によれば、第一工程で前記非噴射チャンネルとなる第二
溝の溝幅を前記噴射チャンネルとなる前記第一溝の溝幅
よりも広く形成するので、第二工程で形成された前記第
二溝の底面の導電層を、第三工程で確実に除去すること
ができる。従って、低コストで、歩留まりが向上し、生
産性に優れる。
によれば、第一工程で前記非噴射チャンネルとなる第二
溝の溝幅を前記噴射チャンネルとなる前記第一溝の溝幅
よりも広く形成するので、第二工程で形成された前記第
二溝の底面の導電層を、第三工程で確実に除去すること
ができる。従って、低コストで、歩留まりが向上し、生
産性に優れる。
【００３２】請求項４のインクジェット装置の製造方法
によれば、円板状工具の回転による切削加工により、前
記第一溝の溝幅より広い溝幅を有する前記第二溝の底面
に形成された導電層を除去するので、前記非噴射チャン
ネル内の前記電極の分割を確実に行なうことができる。
によれば、円板状工具の回転による切削加工により、前
記第一溝の溝幅より広い溝幅を有する前記第二溝の底面
に形成された導電層を除去するので、前記非噴射チャン
ネル内の前記電極の分割を確実に行なうことができる。
【００３３】請求項５のインクジェット装置の製造方法
では、前記第一工程における前記第一溝の形成と、前記
第三工程における前記導電層の除去とを、同一の幅を有
する円板状工具の回転による切削加工により行なうこと
によって、生産性良く、前記非噴射チャンネル内の前記
電極の分割を行なうことができる。
では、前記第一工程における前記第一溝の形成と、前記
第三工程における前記導電層の除去とを、同一の幅を有
する円板状工具の回転による切削加工により行なうこと
によって、生産性良く、前記非噴射チャンネル内の前記
電極の分割を行なうことができる。
【図１】本発明の一実施例のインクジェット装置の作製
工程を示す断面図である。
工程を示す断面図である。
【図２】前記実施例のインクジェット装置の作製工程を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】前記実施例のインクジェット装置の作製工程を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図４】前記実施例のインクジェット装置の作製工程を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】前記実施例のインクジェット装置を示す断面図
である。
である。
【図６】従来のインクジェット装置を示す説明図であ
る。
る。
６０１ 底壁 ６０２ 天壁 ６０３ アクチュエータ壁 ６１３ インク流路 ６１５ 空間 ６１９ 電極 ６２１ 電極 ６３３ 第一溝 ６３５ 第二溝
Claims (5)
- 【請求項１】 インクが噴射される複数の噴射チャンネ
ルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられ、インクが
噴射されない複数の非噴射チャンネルと、前記噴射チャ
ンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、分極された圧
電セラミックスで少なくとも一部が形成された隔壁と、
前記隔壁に形成され、圧電の印加によって前記圧電セラ
ミックス部に駆動電界を発生するための電極とを有し、
前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割されたインク
ジェット装置であって、 前記噴射チャンネルの幅よりも前記非噴射領域の幅が広
いことを特徴とするインクジェット装置。 - 【請求項２】 前記噴射チャンネル内の電極を接地し、
前記非噴射領域内の電極に電圧を印加することによっ
て、前記隔壁が変形してインクを噴射することを特徴と
する請求項１に記載のインクジェット装置。 - 【請求項３】 インクが噴射される複数の噴射チャンネ
ルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられ、インクが
噴射されない複数の非噴射チャンネルと、前記噴射チャ
ンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、分極された圧
電セラミックスで少なくとも一部が形成された隔壁と、
前記隔壁に形成され、圧電の印加によって前記圧電セラ
ミックス部に駆動電界を発生するための電極とを有し、
前記非噴射チャンネル内の前記電極が分割されたインク
ジェット装置の製造方法であって、 圧電セラミックス層を有する基板に、前記噴射チャンネ
ルとなる第一溝、前記第一溝より溝幅の広い前記非噴射
チャンネルとなる第二溝及び前記隔壁を形成する第一工
程と、 前記第一溝及び前記第二溝の内面全面に導電層を形成す
る第二工程と、 前記第二溝の底面に形成された導電層を除去する第三工
程とを有することを特徴とするインクジェット装置の製
造方法。 - 【請求項４】 前記第三工程における、前記第二溝の底
面に形成された導電層の除去は、円板状工具の回転によ
る切削加工により行なうことを特徴とする請求項３に記
載のインクジェット装置の製造方法。 - 【請求項５】 前記第一工程における前記第一溝の形成
と、前記第三工程における、前記第二溝の底面に形成さ
れた導電層の除去は、同一の幅を有する円板状工具の回
転による切削加工により行なうことを特徴とする請求項
３に記載のインクジェット装置の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28569495A JP3186549B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | インクジェット装置およびその製造方法 |
| US09/435,822 US6722035B1 (en) | 1995-11-02 | 1999-11-08 | Method of manufacturing an ink ejecting device wherein electrodes formed within non-ejecting channels are divided and electrodes formed within ejecting channels are continuous |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28569495A JP3186549B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | インクジェット装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09123446A true JPH09123446A (ja) | 1997-05-13 |
| JP3186549B2 JP3186549B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=17694834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28569495A Expired - Fee Related JP3186549B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | インクジェット装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3186549B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071423A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-22 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP2015171801A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 |
-
1995
- 1995-11-02 JP JP28569495A patent/JP3186549B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071423A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-22 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP2015171801A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び液体噴射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3186549B2 (ja) | 2001-07-11 |
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