JP3182851B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JP3182851B2 JP3182851B2 JP7097192A JP7097192A JP3182851B2 JP 3182851 B2 JP3182851 B2 JP 3182851B2 JP 7097192 A JP7097192 A JP 7097192A JP 7097192 A JP7097192 A JP 7097192A JP 3182851 B2 JP3182851 B2 JP 3182851B2
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- Japan
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- ink
- substrate
- piezoelectric
- electrode
- side wall
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドに
関する。更に詳しくは、インク液滴を選択的に記録媒体
に付着させるインクジェットヘッドに関する。
関する。更に詳しくは、インク液滴を選択的に記録媒体
に付着させるインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年インクジェットプリンタは高速印
字、低騒音、高印字品位等の利点から、急速に発展して
いる。インクジェットプリンタに用いられるインクジェ
ットヘッドにはいくつかの方式が提案されているが、一
般的には二つの方式に分けることができる。すなわち第
一の方式は圧電材料を使用して、インクチャンバー内に
圧力パルスを発生させ、ノズルからインク滴を吐出させ
る。第二の方式は発熱抵抗体を使用して、インクチャン
バー内に蒸気バブルを発生させ、ノズルからインク滴を
吐出させる。
字、低騒音、高印字品位等の利点から、急速に発展して
いる。インクジェットプリンタに用いられるインクジェ
ットヘッドにはいくつかの方式が提案されているが、一
般的には二つの方式に分けることができる。すなわち第
一の方式は圧電材料を使用して、インクチャンバー内に
圧力パルスを発生させ、ノズルからインク滴を吐出させ
る。第二の方式は発熱抵抗体を使用して、インクチャン
バー内に蒸気バブルを発生させ、ノズルからインク滴を
吐出させる。
【０００３】第二の方式は、発熱抵抗体の急速な加熱冷
却を繰り返すために、容易に発熱抵抗体が劣化し、耐久
性に乏しいという課題がある。また蒸気バブルが発生す
るインクしか使えないという課題もある。これに対して
第一の方式は前述の課題を持たない。しかしながら第一
の方式は圧電材料の効率が低いため、インクジェットヘ
ッド自体が大型化する。また複雑な製造工程となり、大
量生産に適さず、結果として高価なものとなる。さらに
ノズル密度の高密度化が困難なため、高印字品位を得に
くい。これらの課題がある為、広く普及するには至って
いない。
却を繰り返すために、容易に発熱抵抗体が劣化し、耐久
性に乏しいという課題がある。また蒸気バブルが発生す
るインクしか使えないという課題もある。これに対して
第一の方式は前述の課題を持たない。しかしながら第一
の方式は圧電材料の効率が低いため、インクジェットヘ
ッド自体が大型化する。また複雑な製造工程となり、大
量生産に適さず、結果として高価なものとなる。さらに
ノズル密度の高密度化が困難なため、高印字品位を得に
くい。これらの課題がある為、広く普及するには至って
いない。
【０００４】第一の方式の課題を解決する方法として、
特開昭６３−２４７５０１号公報に、ノズルの並び方向
に互いに間隔を有する複数の平行な長方形の断面積の流
路を有し、前記流路の側壁の一部または全表面に電極が
形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電材料で
構成され、前記側壁が流路の並び方向に平行な変形を
し、前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成
されたインク滴を吐出せしめるインクジェットヘッド
が、提案されている。
特開昭６３−２４７５０１号公報に、ノズルの並び方向
に互いに間隔を有する複数の平行な長方形の断面積の流
路を有し、前記流路の側壁の一部または全表面に電極が
形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電材料で
構成され、前記側壁が流路の並び方向に平行な変形を
し、前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成
されたインク滴を吐出せしめるインクジェットヘッド
が、提案されている。
【０００５】特開昭６３−２４７５０１号公報のインク
ジェットヘッドの構造を図１１をもとに説明する。図１
１はインクジェットヘッドの構成を示す図で、１は圧電
基板、２はノズルプレート、３はノズル、４はインク流
路、５は圧電材料からなる側壁（以下、圧電側壁と略
す）、６は上部基板、７はインク供給口、９はインク吐
出口、１０は電極である。
ジェットヘッドの構造を図１１をもとに説明する。図１
１はインクジェットヘッドの構成を示す図で、１は圧電
基板、２はノズルプレート、３はノズル、４はインク流
路、５は圧電材料からなる側壁（以下、圧電側壁と略
す）、６は上部基板、７はインク供給口、９はインク吐
出口、１０は電極である。
【０００６】このインクジェットヘッドは互いに平行な
流路４が多数形成されている。ノズルプレート２に形成
されたノズル３に接続し、流路４の他の一端は、スリッ
ト状のインク吐出口９に接続する。また、インク流路４
はインク供給口７を有する上部基板により蓋をされ、各
インク流路４に対応するインク供給口を経て、インク貯
蔵タンク（図示せず）に接続している。インク流路４は
圧電側壁５と上部基板６からなり、その断面形状は長方
形である。
流路４が多数形成されている。ノズルプレート２に形成
されたノズル３に接続し、流路４の他の一端は、スリッ
ト状のインク吐出口９に接続する。また、インク流路４
はインク供給口７を有する上部基板により蓋をされ、各
インク流路４に対応するインク供給口を経て、インク貯
蔵タンク（図示せず）に接続している。インク流路４は
圧電側壁５と上部基板６からなり、その断面形状は長方
形である。
【０００７】従来例のインクジェットヘッドのインク吐
出の動作を、流路の断面を示す図１２を基に説明する。
図１２（ａ）に於て、圧電側壁５は分極方向１１が異な
る２個の圧電側壁、すなわち圧電側壁５Ａと圧電側壁５
Ｂとにより形成されている。図１２（ａ）に於て、圧電
側壁５は両面に形成された電極１０に、電気的アクチュ
エート手段（図示せず）より電圧パルスを印加されない
為、変形していない。図１２（ｂ）に於て、電圧パルス
を印加されると圧電側壁５Ａ、５Ｂとも圧電側壁の接合
面にズリ変形し、発生する圧力によりインク流路４を満
たすインクの一部をノズル開口３からインク滴として吐
出させ、他の一部をインク供給口７を経てインク貯蔵タ
ンク側に排出する。インク滴吐出後のノズル部へのイン
ク供給は、ノズル３の毛管力によりインク貯蔵タンクよ
りインク供給口７とインク流路４を経てノズル３へ供給
される。
出の動作を、流路の断面を示す図１２を基に説明する。
図１２（ａ）に於て、圧電側壁５は分極方向１１が異な
る２個の圧電側壁、すなわち圧電側壁５Ａと圧電側壁５
Ｂとにより形成されている。図１２（ａ）に於て、圧電
側壁５は両面に形成された電極１０に、電気的アクチュ
エート手段（図示せず）より電圧パルスを印加されない
為、変形していない。図１２（ｂ）に於て、電圧パルス
を印加されると圧電側壁５Ａ、５Ｂとも圧電側壁の接合
面にズリ変形し、発生する圧力によりインク流路４を満
たすインクの一部をノズル開口３からインク滴として吐
出させ、他の一部をインク供給口７を経てインク貯蔵タ
ンク側に排出する。インク滴吐出後のノズル部へのイン
ク供給は、ノズル３の毛管力によりインク貯蔵タンクよ
りインク供給口７とインク流路４を経てノズル３へ供給
される。
【０００８】また従来例では、圧電側壁について、別の
構造が提案されている。以降、前述の構造を圧電側壁構
造Ａと呼び、これから説明する構造を圧電側壁構造Ｂと
呼ぶ。
構造が提案されている。以降、前述の構造を圧電側壁構
造Ａと呼び、これから説明する構造を圧電側壁構造Ｂと
呼ぶ。
【０００９】圧電側壁構造Ｂの構造を図１３を用いて説
明する。この圧電側壁構造Ｂでは各インク流路４を区画
する圧電側壁５は流路方向に対して垂直方向１１に分極
されている。図１３（ａ）は電圧パルスが印加がされな
い状態を示す図、図１３（ｂ）は電圧パルスが印加がさ
れた状態を示す図である。
明する。この圧電側壁構造Ｂでは各インク流路４を区画
する圧電側壁５は流路方向に対して垂直方向１１に分極
されている。図１３（ａ）は電圧パルスが印加がされな
い状態を示す図、図１３（ｂ）は電圧パルスが印加がさ
れた状態を示す図である。
【００１０】図１３（ａ）に於て、圧電側壁５は両面に
形成された電極１０に、電気的アクチュエート手段（図
示せず）より電圧パルスを印加されない為、変形してい
ない。図１３（ｂ）に於て、電圧パルスを印加されると
圧電側壁５の上部がズリ方向に変形し、発生する圧力に
よりインク流路４を満たすインクの一部をノズル３から
インク滴として吐出させる。
形成された電極１０に、電気的アクチュエート手段（図
示せず）より電圧パルスを印加されない為、変形してい
ない。図１３（ｂ）に於て、電圧パルスを印加されると
圧電側壁５の上部がズリ方向に変形し、発生する圧力に
よりインク流路４を満たすインクの一部をノズル３から
インク滴として吐出させる。
【００１１】さらに、圧電側壁構造Ａ、Ｂの双方で、電
極１０上に絶縁層（図示せず）を形成することにより電
導度の高いインクを電極を侵すこと無く吐出する事が可
能である。
極１０上に絶縁層（図示せず）を形成することにより電
導度の高いインクを電極を侵すこと無く吐出する事が可
能である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１１
に示す、従来例のインクジェットヘッドの圧電基板１と
上部基板６、ノズルプレート２の接着には均一な接着層
と平坦性が必要とされる。
に示す、従来例のインクジェットヘッドの圧電基板１と
上部基板６、ノズルプレート２の接着には均一な接着層
と平坦性が必要とされる。
【００１３】図１４は従来のインクジェットヘッドのイ
ンク流路の断面図である。従来は圧電基板１の接着面２
０上に形成された、不要な電極と絶縁層を、一括に平面
研磨により除去し、平坦な接着面２０を形成し、上部基
板６を接着し、図１４の構造としていた。
ンク流路の断面図である。従来は圧電基板１の接着面２
０上に形成された、不要な電極と絶縁層を、一括に平面
研磨により除去し、平坦な接着面２０を形成し、上部基
板６を接着し、図１４の構造としていた。
【００１４】しかし、多くの場合で、研磨による壁面の
絶縁層、電極の欠落２１、剥離２２が生じた。この現象
の生じたノズルは、導電性の高い水性インクを使用した
場合に、インク中への電流の漏洩により、吐出不能とな
った。
絶縁層、電極の欠落２１、剥離２２が生じた。この現象
の生じたノズルは、導電性の高い水性インクを使用した
場合に、インク中への電流の漏洩により、吐出不能とな
った。
【００１５】またインク滴吐出に支障の無い微量の電流
漏洩でも、長期に渡る使用より、電極の腐食やインクの
変質に起因して吐出不良となった。さらに、上部基板
６、あるいはノズルプレート２との接着層が充分に均一
でない場合、隙間からインクが侵入し、同様の悪影響が
生じた。
漏洩でも、長期に渡る使用より、電極の腐食やインクの
変質に起因して吐出不良となった。さらに、上部基板
６、あるいはノズルプレート２との接着層が充分に均一
でない場合、隙間からインクが侵入し、同様の悪影響が
生じた。
【００１６】本発明はかかる問題を解決するもので、幅
広いインク種の対応性を持ち、かつ良好な製造歩留ま
り、ノズルやヘッド毎の一定したインク吐出性能水準、
長期信頼性を備えたインクジェットヘッドを提供するこ
とを目的とする。
広いインク種の対応性を持ち、かつ良好な製造歩留ま
り、ノズルやヘッド毎の一定したインク吐出性能水準、
長期信頼性を備えたインクジェットヘッドを提供するこ
とを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、複数のインク流路となる溝が平行に形成さ
れ、前記流路側壁に圧電材料を駆動するための電極を備
えた圧電材料からなる基板と、この基板の前記溝を封止
するように接合されてインク流路を形成する上部基板と
を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記基板の前
記上部基板との接合面近傍に電極層が形成されていない
非電極形成部を備え、前記電極の全面及び前記非電極形
成部が絶縁層により被覆されていることを特徴とする。
ヘッドは、複数のインク流路となる溝が平行に形成さ
れ、前記流路側壁に圧電材料を駆動するための電極を備
えた圧電材料からなる基板と、この基板の前記溝を封止
するように接合されてインク流路を形成する上部基板と
を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記基板の前
記上部基板との接合面近傍に電極層が形成されていない
非電極形成部を備え、前記電極の全面及び前記非電極形
成部が絶縁層により被覆されていることを特徴とする。
【００１８】
【実施例】以下に図を用いて本発明を説明する。
【００１９】まず図１に本発明のインクジェットヘッド
の一例を示し、構造を説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すインク流路の断面図である。１は圧電基板、
４はインク流路、５は圧電側壁、６は上部基板、１０は
電極、１８は絶縁層である。インク吐出動作は、従来例
のインクジェットヘッドと同様である。
の一例を示し、構造を説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すインク流路の断面図である。１は圧電基板、
４はインク流路、５は圧電側壁、６は上部基板、１０は
電極、１８は絶縁層である。インク吐出動作は、従来例
のインクジェットヘッドと同様である。
【００２０】以下に図２から図８を用いて、本発明のイ
ンクジェットヘッドの製造工程を示す。
ンクジェットヘッドの製造工程を示す。
【００２１】図２は圧電側壁、電極形成後のインク流
路の断面図である。対抗する分極方向１１で貼り合わさ
れた圧電基板１に、ダイシングソーにより、溝幅80μm
の圧電側壁５Ａ、５Ｂからなる圧電側壁５を形成し、真
空蒸着機により電極１０を形成する。
路の断面図である。対抗する分極方向１１で貼り合わさ
れた圧電基板１に、ダイシングソーにより、溝幅80μm
の圧電側壁５Ａ、５Ｂからなる圧電側壁５を形成し、真
空蒸着機により電極１０を形成する。
【００２２】電極１０はＮｉ−Ｃｒを1.0μm、Ａｕを0.
5μm形成する。圧電側壁５は他にワイヤーソー等を用い
て加工することも可能である。
5μm形成する。圧電側壁５は他にワイヤーソー等を用い
て加工することも可能である。
【００２３】マスク剤を圧電基板１に塗布する。イン
ク流路断面は図３に示すとおりとなる。
ク流路断面は図３に示すとおりとなる。
【００２４】圧電基板１の上面の不要な電極１０とマ
スク剤１７は平面研磨により除去される。インク流路断
面形状は図４に示すとおりとなる。電極１０の断面は露
出し、平坦な上部基板接着面２０が得られる。
スク剤１７は平面研磨により除去される。インク流路断
面形状は図４に示すとおりとなる。電極１０の断面は露
出し、平坦な上部基板接着面２０が得られる。
【００２５】得られた圧電基板１をエッチング液に浸
漬する事により、上部基板接着面２０に露出した電極１
０は露出面から腐食、除去され、図５に示す形状とな
る。マスク剤１７は溶剤により取り除く。
漬する事により、上部基板接着面２０に露出した電極１
０は露出面から腐食、除去され、図５に示す形状とな
る。マスク剤１７は溶剤により取り除く。
【００２６】図６に示した、ノズルプレート接着面１９
に対しても上記と同様な処理を行い端部に形成された電
極を除去すると共に平坦性を得る。この工程により電極
は図６に示す斜視図の形状となる。
に対しても上記と同様な処理を行い端部に形成された電
極を除去すると共に平坦性を得る。この工程により電極
は図６に示す斜視図の形状となる。
【００２７】図７に示すインク流路断面形状のとお
り、スパッタリング、ＣＶＤ等により窒化珪素の絶縁層
１８を全面に形成する。溶剤に溶解したコーティング材
を用いて、ディッピング、スピンコーターによる塗布も
可能である。
り、スパッタリング、ＣＶＤ等により窒化珪素の絶縁層
１８を全面に形成する。溶剤に溶解したコーティング材
を用いて、ディッピング、スピンコーターによる塗布も
可能である。
【００２８】図８に示すとおり、上部基板接着面２０
を平坦に研磨する。絶縁層１８が均一に形成されていれ
ばこの工程は必要ない。
を平坦に研磨する。絶縁層１８が均一に形成されていれ
ばこの工程は必要ない。
【００２９】以降は従来工程と同様である。
【００３０】圧電側壁５が形成された圧電基板１にガ
ラスの上部基板６を接着する。接着材は流れだしの少な
いものが好ましい。
ラスの上部基板６を接着する。接着材は流れだしの少な
いものが好ましい。
【００３１】圧電基板１、上部基板６の端面にノズル
プレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが
好ましい。
プレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが
好ましい。
【００３２】インク供給手段、印加パルスを発生する
駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
【００３３】本発明では、図１に示すとおり、電極１０
の形成部を一部に限定し、完全に絶縁層１８で被覆する
ことにより、導電性インクに対して、安定した絶縁性と
長期信頼性を得ている。従来工法で６０％程度であった
製造歩留まりが、ほぼ１００％満足し、電流漏洩による
製造不良は解消することができた。
の形成部を一部に限定し、完全に絶縁層１８で被覆する
ことにより、導電性インクに対して、安定した絶縁性と
長期信頼性を得ている。従来工法で６０％程度であった
製造歩留まりが、ほぼ１００％満足し、電流漏洩による
製造不良は解消することができた。
【００３４】また従来は圧電側壁５／電極１０／絶縁層
１８と、上部基板６あるいはノズルプレート２というよ
うに、３層で接合部で接着しており、硬度、熱膨張率等
の物性の違いから、ヘッド駆動や工程中の加熱により接
着層に破損が生じ、電流が漏洩することがあった。しか
し、本発明の接合部は、圧電側壁５／絶縁層１８の２層
で接している。絶縁層１８に窒化珪素等のセラミクスを
用い、圧電側壁５の材質と性質を類似させることによ
り、従来の様な電流の漏洩を減少させることが可能とな
った。
１８と、上部基板６あるいはノズルプレート２というよ
うに、３層で接合部で接着しており、硬度、熱膨張率等
の物性の違いから、ヘッド駆動や工程中の加熱により接
着層に破損が生じ、電流が漏洩することがあった。しか
し、本発明の接合部は、圧電側壁５／絶縁層１８の２層
で接している。絶縁層１８に窒化珪素等のセラミクスを
用い、圧電側壁５の材質と性質を類似させることによ
り、従来の様な電流の漏洩を減少させることが可能とな
った。
【００３５】さらに本発明では、圧電側壁構造Ｂで構成
される図１０のインク流路断面構造や、圧電側壁構造Ａ
で下部に別部材である、下部基板１３を用いた図１１の
インク流路断面構造を持つインクジェットヘッドでも、
同様の効果を得ることができた。
される図１０のインク流路断面構造や、圧電側壁構造Ａ
で下部に別部材である、下部基板１３を用いた図１１の
インク流路断面構造を持つインクジェットヘッドでも、
同様の効果を得ることができた。
【００３６】
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドは、複数
のインク流路となる溝が平行に形成され、前記流路側壁
に圧電材料を駆動するための電極を備えた圧電材料から
なる基板と、この基板の前記溝を封止するように接合さ
れてインク流路を形成する上部基板とを備えたインクジ
ェットヘッドにおいて、前記基板の前記上部基板との接
合面近傍に電極層が形成されていない非電極形成部を備
え、前記電極の全面及び前記非電極形成部が絶縁層によ
り被覆されていることにより、特に基板と上部基板との
接合部近傍の電極が除去され、更に絶縁層で被覆されて
いるので、製造時における電極層の剥離といった問題が
生じることなく、製造歩留まりが良好で、幅広いインク
種対応特性を有し、更に長期に渡って高い信頼性を確保
したインクジェットヘッドが安価にできるという優れた
効果を有する。
のインク流路となる溝が平行に形成され、前記流路側壁
に圧電材料を駆動するための電極を備えた圧電材料から
なる基板と、この基板の前記溝を封止するように接合さ
れてインク流路を形成する上部基板とを備えたインクジ
ェットヘッドにおいて、前記基板の前記上部基板との接
合面近傍に電極層が形成されていない非電極形成部を備
え、前記電極の全面及び前記非電極形成部が絶縁層によ
り被覆されていることにより、特に基板と上部基板との
接合部近傍の電極が除去され、更に絶縁層で被覆されて
いるので、製造時における電極層の剥離といった問題が
生じることなく、製造歩留まりが良好で、幅広いインク
種対応特性を有し、更に長期に渡って高い信頼性を確保
したインクジェットヘッドが安価にできるという優れた
効果を有する。
【図１】本発明のインクジェットヘッドのインク流路断
面形状を示す断面図。
面形状を示す断面図。
【図２】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
の電極形成後を示す断面図。
の電極形成後を示す断面図。
【図３】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
のマスク剤塗布後を示す断面図。
のマスク剤塗布後を示す断面図。
【図４】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
の不要なマスク剤と電極を研磨後を示す断面図。
の不要なマスク剤と電極を研磨後を示す断面図。
【図５】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
のエッチング後を示す断面図。
のエッチング後を示す断面図。
【図６】本発明の一実施例のインクジェットヘッドの電
極の形状を示す斜視図。
極の形状を示す斜視図。
【図７】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
の絶縁層形成後を示す断面図。
の絶縁層形成後を示す断面図。
【図８】本発明の一実施例のインクジェットヘッド製造
の接着面研磨後を示す断面図。
の接着面研磨後を示す断面図。
【図９】本発明の他の実施例のインクジェットヘッドの
構造を示す断面図。
構造を示す断面図。
【図１０】本発明の他の実施例のインクジェットヘッド
の構造を示す断面図。
の構造を示す断面図。
【図１１】従来のインクジェットヘッドの構成を示す斜
視図。
視図。
【図１２】従来のインクジェットヘッドの圧電側壁構造
Ａの吐出動作を示す断面図。
Ａの吐出動作を示す断面図。
【図１３】従来のインクジェットヘッドの圧電側壁構造
Ｂの吐出動作を示す断面図。
Ｂの吐出動作を示す断面図。
【図１４】従来のインクジェットヘッドの構造を示す断
面図。
面図。
【符号の説明】 １ 圧電基板 ２ ノズルプレート ３ ノズル ４ インク流路 ５ 圧電側壁 ５Ａ 圧電側壁Ａ ５Ｂ 圧電側壁Ｂ ６ 上部基板 ７ インク供給口 ９ インク排出口 １０ 電極 １１ 圧電側壁の分極方向 １２ 電極取り出し口 １３ 下部基板 １７ マスク剤 １８ 絶縁層 １９ ノズルプレート接着面 ２０ 上部基板接着面 ２１ 電極、絶縁層の欠落 ２２ 電極、絶縁層の剥離
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のインク流路となる溝が平行に形成
され、前記流路側壁に圧電材料を駆動するための電極を
備えた圧電材料からなる基板と、この基板の前記溝を封
止するように接合されてインク流路を形成する上部基板
とを備えたインクジェットヘッドにおいて、 前記基板の前記上部基板との接合面近傍に電極層が形成
されていない非電極形成部を備え、前記電極の全面及び
前記非電極形成部が絶縁層により被覆されているインク
ジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7097192A JP3182851B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7097192A JP3182851B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | インクジェットヘッド |
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